EP4738020A1 - Verfahren zur herstellung von siliziumbauteilen - Google Patents

Verfahren zur herstellung von siliziumbauteilen

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EP4738020A1
EP4738020A1 EP24210962.7A EP24210962A EP4738020A1 EP 4738020 A1 EP4738020 A1 EP 4738020A1 EP 24210962 A EP24210962 A EP 24210962A EP 4738020 A1 EP4738020 A1 EP 4738020A1
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EP
European Patent Office
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layer
components
oxidation
silicon
component
Prior art date
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Pending
Application number
EP24210962.7A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Nicolas Tille
Johannes Clivaz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sigatec SA
Original Assignee
Sigatec SA
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Filing date
Publication date
Application filed by Sigatec SA filed Critical Sigatec SA
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Pending legal-status Critical Current

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    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B13/00—Gearwork
    • G04B13/02—Wheels; Pinions; Spindles; Pivots
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B15/00—Escapements
    • G04B15/14—Component parts or constructional details, e.g. construction of the lever or the escape wheel
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
    • G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
    • G04B17/066—Manufacture of the spiral spring
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B19/00—Indicating the time by visual means
    • G04B19/04—Hands; Discs with a single mark or the like
    • G04B19/042—Construction and manufacture of the hands; arrangements for increasing reading accuracy

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3882710A1 (de) * 2020-03-19 2021-09-22 Patek Philippe SA Genève Verfahren zur herstellung einer uhrenkomponente auf siliziumbasis
EP3907565A1 (de) * 2020-05-07 2021-11-10 Patek Philippe SA Genève Verfahren zur herstellung einer uhrenkomponente aus silizium
EP3989009A1 (de) * 2015-07-03 2022-04-27 Damasko Präzisionstechnik GmbH & Co. KG Spiralfeder und verfahren zu deren herstellung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3989009A1 (de) * 2015-07-03 2022-04-27 Damasko Präzisionstechnik GmbH & Co. KG Spiralfeder und verfahren zu deren herstellung
EP3882710A1 (de) * 2020-03-19 2021-09-22 Patek Philippe SA Genève Verfahren zur herstellung einer uhrenkomponente auf siliziumbasis
EP3907565A1 (de) * 2020-05-07 2021-11-10 Patek Philippe SA Genève Verfahren zur herstellung einer uhrenkomponente aus silizium

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