ES2045622T3 - Dispositivo de sujecion y transporte para un disco. - Google Patents

Dispositivo de sujecion y transporte para un disco.

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ES2045622T3
ES2045622T3 ES90107650T ES90107650T ES2045622T3 ES 2045622 T3 ES2045622 T3 ES 2045622T3 ES 90107650 T ES90107650 T ES 90107650T ES 90107650 T ES90107650 T ES 90107650T ES 2045622 T3 ES2045622 T3 ES 2045622T3
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ES
Spain
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disc
cylinder
fixed
support
support arms
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ES90107650T
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Rudolf Wagner
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OC Oerlikon Balzers AG
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Balzers AG
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
    • H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
    • H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Chain Conveyers (AREA)
  • Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

PARA EL TRATAMIENTO DE CUERPOS EN FORMA DE DISCO, ESPECIALMENTE DE DISCOS SEMICONDUCTORES EN UNA INSTALACION DE VACIO, ESTOS DEBEN TRANSPORTAR Y DEPOSITARSE ENTRE LAS ESTACIONES. UN DISCO (17) SE APOYA EN SU BORDE CON DOS BRAZOS DE SOPORTE (21) CON DOS DEDOS CADA UNO (22) Y SUPERFICIE DE APOYO EN LOS EXTREMOS DE LOS DEDOS EN CUATRO PARTES REPARTIDAS POR EL PERIMETRO DEL DISCO (17). CON EL FIN DE DISMINUIR O AGRANDECER LA DISTANCIA ENTRE LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) AL RECOGER O LIBERAR EL DISCO, AMBOS BRAZOS CON FIJADOS EN UNA UNIDAD DE CILINDRO/EMBOLO (24). ALLI SE MUEVE EL CILINDRO (27) DE FORMA RELATIVA AL EMBOLO FIJO (25). AMBOS EXTREMOS DEL EMBOLO SON FIJADOS, UNO EN FRENTE DEL OTRO, EN UN EJE DE GIRO (26) QUE VA VERTICALMENTE A LOS EJES DE LOS CILINDROS CON LOS QUE SE PUEDEN GIRAR LAS DOS UNIDADES DE CILINDRO/EMBOLO (24) CON LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) DE UNA ESTACION A LA SIGUIENTE DENTRO DE LA INSTALACION DE VACIO. LAS DOS UNIDADES DE CILINDRO/EMBOLO (24) SE ACTIVAN MEDIANTE UN MEDIO DE PRESION QUE VA POR CONDUCTOS (31) QUE PASAN POR EL EJE DE GIRO HUECO (26) Y POR LOS EMBOLOS HUECOS PARA ABRIR LOS BRAZOS DE SOPORTE (21) EN CONTRA DEL EFECTO DE UN RESORTE DE PRESION (34) QUE SE APOYA DENTRO DEL CILINDRO (27) EN ESTE Y EN EL EMBOLO (29) PARA EL MOVIMIENTO CONTRARIO DE ELEVACION.
ES90107650T 1989-05-08 1990-04-23 Dispositivo de sujecion y transporte para un disco. Expired - Lifetime ES2045622T3 (es)

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DE3915038A DE3915038A1 (de) 1989-05-08 1989-05-08 Halte- und transportvorrichtung fuer eine scheibe

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ES2045622T3 true ES2045622T3 (es) 1994-01-16

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