ES2253680T3 - Metodo y aparato para la coloracion de una capa de material nanocristalino. - Google Patents

Metodo y aparato para la coloracion de una capa de material nanocristalino.

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Abstract

Método de coloración de una capa de material nanocristalino sobre un sustrato (16) utilizando un colorante líquido, el cual comprende los siguientes pasos sucesivos: (i) proveer dicha capa sobre un sustrato (16), (ii) proveer un aparato para la coloración de dicha capa; dicho aparato comprende al menos un recipiente de alimentación para el colorante líquido, un soporte de sustrato que se puede volver a cerrar (1) para el sustrato (16) provisto de una capa de material nanocristalino, estando el soporte de sustrato provisto de al menos una entrada (2) y al menos una salida (3) que están conectadas mediante un conducto de circulación hacia el recipiente de alimentación, dicho aparato comprende además medios de conducción y circulación (6, 7, 8, 9) para hacer que el colorante líquido circule a través del recipiente de alimentación y del soporte de sustrato (1) y que fluya contra la capa de material nanocristalino (16), (iii) colocar el sustrato (16) con dicha capa en el soporte de sustrato (1)y ajustar el soporte de sustrato (1), y proveer un colorante líquido en el recipiente de alimentación y (iv) hacer que el colorante líquido del recipiente de alimentación circule durante un tiempo determinado a través de un soporte de sustrato (1) y que fluya contra la capa de material nanocristalino (16).

Description

Método y aparato para la coloración de una capa de material nanocristalino.
El invento se refiere a un método para la coloración de una capa de material nanocristalino sobre un sustrato utilizando un colorante líquido.
Un ejemplo de una capa de material nanocristalino sobre un sustrato es el electrodo de trabajo de un elemento fotovoltáico que contiene líquido.
Un elemento fotovoltáico que contiene líquido se conoce de la Patente US 5.350.644. El elemento fotovoltáico conocido comprende un electrodo de trabajo que está formado por una estructura de capas, de las cuales al menos la primera es una capa eléctricamente conductora, que es por ejemplo depositada sobre un primer sustrato, o incluso forma un primer sustrato, una capa nanocristalina de material semiconductor de óxido metálico depositada sobre la primera capa eléctricamente conductora, un contra-electrodo que está formado por una capa secundaria transparente eléctricamente conductora depositada sobre un segundo sustrato transparente, y un líquido electrolítico contenido entre la capa del material semiconductor y la segunda capa eléctricamente conductora. En situaciones prácticas, generalmente se utiliza una placa de vidrio para el primer y segundo sustrato. El material nanocristalino semiconductor de óxido metálico se colorea con un colorante orgánico que sensibiliza al material semiconductor a la luz que incide sobre el elemento fotovoltáico para causar un efecto fotovoltáico en el elemento con esta luz incidente, lo que produce la creación de un portador de carga eléctrica negativa y positiva (respectivamente un electrón y un hueco).
Durante la fabricación de un electrodo de trabajo, éste debe ser coloreado con un colorante orgánico.
En técnicas anteriores, la coloración tiene lugar, según se desee, en tandas o una a una, pero en ambos casos manualmente. Aquí la superficie del electrodo es sucesivamente puesta en contacto con el colorante orgánico, calentada, enjuagada con etanol, y secada.
La coloración manual de electrodos tiene como desventajas que es laboriosa, insume mucho tiempo y es cara. Además, es complicado durante la coloración manual controlar los parámetros del proceso, tales como la concentración del colorante, la temperatura del proceso y la duración del proceso de coloración.
A partir US 2001/004901, se da a conocer un método para la coloración de una capa de material nanocristalino sobre un sustrato, utilizando un colorante líquido; en este método el colorante líquido se hace circular dentro de un espacio determinado formado por sustratos opuestos, uno de los cuales está provisto de material nanocristalino. Los sustratos están sellados entre sí con un vidrio poroso en una disposición separada, y se forman aberturas de entrada y salida en un espacio cerrado a través de las cuales la solución de colorante circula mediante bombeo. La circulación es producida por una bomba y a través de una manguera y un recipiente de alimentación para el colorante líquido.
Uno de los objetivos del invento es proporcionar un método, de acuerdo con el cual una capa de material nanocristalino sobre un sustrato, y en particular un electrodo de trabajo, pueda ser coloreado en un lapso breve de tiempo.
Un objetivo adicional es proveer un método según el cual los parámetros del proceso que son importantes en el proceso de coloración sean ajustables de manera repetible dentro de tolerancias predeterminadas.
Estos objetivos son alcanzados mediante un método del tipo planteado en el preámbulo, el cual de acuerdo con el invento, comprende los siguientes pasos sucesivos: (i) proveer dicha capa sobre un sustrato, (ii) proveer un aparato para la coloración de dicha capa, el cual comprende al menos un recipiente de alimentación para el colorante líquido, un soporte para el sustrato que se puede volver a cerrar provisto de una capa de material nanocristalino, estando el soporte del sustrato provisto de al menos una entrada y al menos una salida conectadas mediante un conducto de circulación hacia el recipiente de alimentación, el aparato comprende además medios de conducción y circulación para hacer que el colorante líquido circule a través del recipiente de alimentación y del soporte del sustrato y que fluya contra la capa de material nanocristalino, (iii) colocar el sustrato con dicha capa en el soporte de sustrato y cerrar el soporte de sustrato, y proveer un colorante líquido en el recipiente de alimentación y (iv) hacer que el colorante líquido del recipiente de alimentación circule durante un tiempo determinado a través del soporte del sustrato y que fluya contra la capa de material nanocristalino.
El soporte de sustrato que se debe proveer en el segundo paso (ii) está preferentemente provisto de medios de calentamiento, y en el cuarto paso (iv) el sustrato y el colorante líquido son calentados durante la circulación del colorante líquido utilizando estos medios de calentamiento.
La adhesión del colorante líquido al material nanocristalino se incrementa por el calentamiento del colorante líquido y el sustrato.
En un método, de acuerdo con el invento, el colorante líquido se coloca preferentemente agitándolo en el soporte de sustrato mientras se realiza el cuarto paso (iv) para así hacer que el colorante líquido tome contacto en el menor tiempo posible con toda la superficie de material nanocristalino que se va colorear, y el tiempo de proceso, por consiguiente, se reduce al máximo.
El invento además se refiere a un aparato para realizar el método anteriormente descrito; dicho aparato de acuerdo con el invento comprende un recipiente de alimentación para colorante líquido, un soporte de sustrato que se puede volver a cerrar para un sustrato provisto de una capa de material nanocristalino, estando el soporte del sustrato provisto de al menos una entrada y al menos una salida que están conectadas mediante un conducto de circulación hacia el recipiente de alimentación; el aparato además comprende medios de conducción y circulación para hacer que el colorante líquido del recipiente de alimentación circule a través del soporte del sustrato y fluya contra la capa de material nanocristalino.
En una realización conveniente en la práctica, el soporte de sustrato en un aparato, de acuerdo con el invento, comprende una plataforma para colocar el sustrato encima de ésta; dicha plataforma está provista de al menos un canal de entrada que se interconecta con la entrada y que está provisto de una abertura de salida dirigida hacia un sustrato ubicado sobre la plataforma y con al menos un canal de salida que se interconecta con la salida y está provisto de aberturas de salida.
En esta última realización, la plataforma está fabricada, por ejemplo, con un material plástico químicamente inerte, preferentemente politetrafluoretileno (PTFE).
El soporte del sustrato está preferentemente provisto de medios de calentamiento para calentar el sustrato colocado en el soporte de sustrato y el colorante líquido que circula a través de este soporte.
En una realización, tales medios de calentamiento comprenden un elemento inductivo.
En otra realización, tales medios de calentamiento comprenden un elemento resistor que está fabricado, por ejemplo, con un óxido conductor transparente (OCT) el cual está dispuesto sobre una placa, la que en posición operativa se extiende sobre un sustrato ubicado en el soporte de sustrato.
El invento se explica a continuación sobre la base de una realización de un aparato con referencias a los dibujos.
En los dibujos
la fig. 1 muestra una vista superior de una realización de un soporte de sustrato para un aparato de coloración de un electrodo de trabajo de una célula solar, y
la fig. 2 es una sección transversal vertical a través del soporte de sustrato representado en la fig. 1 a lo largo de la línea II-II
Los componentes correspondientes están designados en los dibujos con los mismos números de referencia.
La fig. 1 representa un soporte de sustrato 1, provisto de entradas 2 y salidas 3 que están conectadas mediante un conducto de circulación (no representado) hacia un recipiente de alimentación (no representado) para un colorante líquido el cual, utilizando una bomba (no representada), se puede hacer circular en la dirección de las flechas 4 a través del soporte de sustrato 1 y el recipiente de alimentación. Una placa que forma una plataforma 5 sobre la cual se puede colocar un sustrato se dispone dentro del soporte de sustrato 1; dicha plataforma 5 esta provista de canales de entrada 6 respectivos que están conectados a entradas 3, las cuales están provistas de aberturas de salida 7 que están dirigidas al sustrato colocado sobre la plataforma 5 y fuera del cual, puede fluir el colorante líquido (indicado simbólicamente con las flechas 10), y con canales de salida 8 respectivos que están conectados a las salidas 3 y que están provistos de aberturas de entrada 9.
La fig.2 representa un soporte de sustrato 1 en sección transversal vertical a lo largo de la línea II-II en la fig. 1, el cual tiene, además de los componentes ya descritos, una placa de calentamiento 15, la cual está provista en su cara inferior con un anillo separador 13 con un sello 14 de un material de silicona apropiado. Una película resistente de óxido conductor transparente (OCT) se dispone en la placa de calentamiento 15 provista de conexiones eléctricas (no representadas). En una posición de operación, la placa de calentamiento 15 es presionada utilizando un elemento de presión neumático (no representado) contra el electrodo de trabajo 16, cuya capa de material nanocristalino para coloración está dirigida hacia abajo, y cuyo borde periférico sin cobertura de material nanocristalino se apoya sobre el sello 14, con el cual se sella el electrodo a la plataforma 5. Durante la coloración, el colorante líquido, el cual preferentemente está precalentado hasta una temperatura, por ejemplo de 60°C, fluye a través de las entradas 2, los canales de entrada 6 y las aberturas de salida 7, según indican las flechas 10, contra el electrodo de trabajo 16, el cual ha sido calentado hasta una temperatura máxima de 60°C utilizando la placa de calentamiento 15.

Claims (11)

1. Método de coloración de una capa de material nanocristalino sobre un sustrato (16) utilizando un colorante líquido, el cual comprende los siguientes pasos sucesivos:
(i)
proveer dicha capa sobre un sustrato (16),
(ii)
proveer un aparato para la coloración de dicha capa; dicho aparato comprende al menos un recipiente de alimentación para el colorante líquido, un soporte de sustrato que se puede volver a cerrar (1) para el sustrato (16) provisto de una capa de material nanocristalino, estando el soporte de sustrato provisto de al menos una entrada (2) y al menos una salida (3) que están conectadas mediante un conducto de circulación hacia el recipiente de alimentación, dicho aparato comprende además medios de conducción y circulación (6, 7, 8, 9) para hacer que el colorante líquido circule a través del recipiente de alimentación y del soporte de sustrato (1) y que fluya contra la capa de material nanocristalino (16),
(iii)
colocar el sustrato (16) con dicha capa en el soporte de sustrato (1) y ajustar el soporte de sustrato (1), y proveer un colorante líquido en el recipiente de alimentación y
(iv)
hacer que el colorante líquido del recipiente de alimentación circule durante un tiempo determinado a través de un soporte de sustrato (1) y que fluya contra la capa de material nanocristalino (16).
2. El método de acuerdo con la reivindicación 1, caracterizado porque en el segundo paso (ii) se provee un aparato que comprende un soporte de sustrato (1) el cual está provisto de medios de calentamiento (15), y en el cuarto paso (iv) el sustrato (16) y el colorante líquido se calientan durante la circulación del colorante líquido utilizando dichos medios de calentamiento (15).
3. El método de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 1-2, caracterizado porque el colorante líquido se agita en el soporte de sustrato (1) durante la realización del cuarto paso (iv).
4. Aparato para realizar un método de acuerdo con la reivindicación 1, el cual comprende al menos un recipiente de alimentación para un colorante líquido, un soporte de sustrato que se puede volver a cerrar (1) para un sustrato (16) provisto de una capa de material nanocristalino; estando el soporte de sustrato (1) provisto de al menos una entrada (2) y al menos una salida (3) que están conectadas mediante un conducto de circulación hacia el recipiente de alimentación, cuyo aparato comprende además medios de conducción y circulación (6, 7, 8, 9), para hacer que el colorante líquido circule a través del recipiente de alimentación y del soporte del sustrato (1) y que fluya contra la capa de material nanocristalino (16).
5. El aparato de acuerdo con la reivindicación 4, caracterizado porque el soporte de sustrato (1) comprende una plataforma (5) para colocar el sustrato (16) encima de ésta; dicha plataforma (5) está provista de al menos un canal de entrada (6) que se interconecta con la entrada (2), la cual está provista de aberturas de salida (7) dirigidas hacia el sustrato (16) colocado sobre la plataforma (5) y de al menos un canal de salida (8) que se interconecta con la salida (3), la cual está provista de aberturas de entrada (9)
6. El aparato de acuerdo con la reivindicación 5, caracterizado porque la plataforma (5) está fabricada de un material plástico químicamente inerte.
7. El aparato de acuerdo con la reivindicación 6, caracterizado porque la plataforma (5) está fabricada de politetrafluoretileno (PTFE).
8. El aparato de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 4-7 para realizar un método de acuerdo con la reivindicación 2, caracterizado porque el soporte de sustrato (1) está provisto de medios de calentamiento (15) para calentar al sustrato (16) colocados en el soporte de sustrato (1) y colorante líquido que circula a través de este soporte.
9. El aparato de acuerdo con la reivindicación 8, caracterizado porque el medio de calentamiento comprende un elemento inductivo.
10. El aparato tal y como se reivindica en la reivindicación 8, caracterizado porque el sistema de calentamiento (15) comprende un elemento resistor.
11. El aparato de acuerdo con la reivindicación 10, caracterizado porque el elemento resistor (15) está fabricado con óxido conductor transparente (OCT) el cual está dispuesto en una placa que, en posición de operación, se extiende por encima del sustrato (16) colocado en el soporte de sustrato (1).
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8222513B2 (en) 2006-04-13 2012-07-17 Daniel Luch Collector grid, electrode structures and interconnect structures for photovoltaic arrays and methods of manufacture
US8138413B2 (en) 2006-04-13 2012-03-20 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US8664030B2 (en) 1999-03-30 2014-03-04 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US20090111206A1 (en) 1999-03-30 2009-04-30 Daniel Luch Collector grid, electrode structures and interrconnect structures for photovoltaic arrays and methods of manufacture
US7507903B2 (en) 1999-03-30 2009-03-24 Daniel Luch Substrate and collector grid structures for integrated series connected photovoltaic arrays and process of manufacture of such arrays
US8198696B2 (en) 2000-02-04 2012-06-12 Daniel Luch Substrate structures for integrated series connected photovoltaic arrays and process of manufacture of such arrays
US7732229B2 (en) * 2004-09-18 2010-06-08 Nanosolar, Inc. Formation of solar cells with conductive barrier layers and foil substrates
US7276724B2 (en) * 2005-01-20 2007-10-02 Nanosolar, Inc. Series interconnected optoelectronic device module assembly
US7838868B2 (en) 2005-01-20 2010-11-23 Nanosolar, Inc. Optoelectronic architecture having compound conducting substrate
US8927315B1 (en) 2005-01-20 2015-01-06 Aeris Capital Sustainable Ip Ltd. High-throughput assembly of series interconnected solar cells
US9006563B2 (en) 2006-04-13 2015-04-14 Solannex, Inc. Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US8884155B2 (en) 2006-04-13 2014-11-11 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US8822810B2 (en) 2006-04-13 2014-09-02 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US9865758B2 (en) 2006-04-13 2018-01-09 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US8729385B2 (en) 2006-04-13 2014-05-20 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US9236512B2 (en) 2006-04-13 2016-01-12 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US8247243B2 (en) * 2009-05-22 2012-08-21 Nanosolar, Inc. Solar cell interconnection
JP2013110066A (ja) * 2011-11-24 2013-06-06 Ulvac Japan Ltd 色素増感型太陽電池の製造装置及び色素増感型太陽電池の製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0814644B2 (ja) * 1985-12-16 1996-02-14 三菱電機株式会社 色フィルタ染色装置
DE69115688T2 (de) 1990-04-17 1996-08-14 Ecole Polytech Photovoltaische zellen
AU4936796A (en) * 1995-03-23 1996-10-08 Ecole Polytechnique Federale De Lausanne Process for applying a predetermined quantity of a sensitiserto a surface
US6022587A (en) * 1997-05-13 2000-02-08 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for improving film deposition uniformity on a substrate
US6258170B1 (en) * 1997-09-11 2001-07-10 Applied Materials, Inc. Vaporization and deposition apparatus
JP2000348783A (ja) * 1999-06-01 2000-12-15 Nikon Corp 色素増感型太陽電池の製造方法
JP4414036B2 (ja) * 1999-12-27 2010-02-10 シャープ株式会社 色素増感型太陽電池の作製方法
TWI227012B (en) * 2000-01-12 2005-01-21 Hitachi Ltd A method of manufacturing an optical disk substrate, an apparatus of manufacturing an optical disk and an optical disk substrate
WO2002095485A2 (en) * 2001-05-23 2002-11-28 E-Vision, L.L.C. Focusing mirrors having variable reflective properties

Also Published As

Publication number Publication date
DE60302662D1 (de) 2006-01-12
US7709051B2 (en) 2010-05-04
WO2003102985A1 (en) 2003-12-11
ATE312407T1 (de) 2005-12-15
US20060107471A1 (en) 2006-05-25
WO2003102985A9 (en) 2004-07-29
AU2003238710B2 (en) 2008-04-03
NL1020748C2 (nl) 2003-12-08
WO2003102985A8 (en) 2004-06-10
JP4418365B2 (ja) 2010-02-17
DE60302662T2 (de) 2006-07-20
JP2005528749A (ja) 2005-09-22
EP1509935B1 (en) 2005-12-07
EP1509935A1 (en) 2005-03-02
AU2003238710A1 (en) 2003-12-19

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