ES2257448T3 - Proceso de recuperacion de hidroxidos -onio a partir de soluciones que contengan compuestos -onio. - Google Patents

Proceso de recuperacion de hidroxidos -onio a partir de soluciones que contengan compuestos -onio.

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ES2257448T3 ES01977876T ES01977876T ES2257448T3 ES 2257448 T3 ES2257448 T3 ES 2257448T3 ES 01977876 T ES01977876 T ES 01977876T ES 01977876 T ES01977876 T ES 01977876T ES 2257448 T3 ES2257448 T3 ES 2257448T3
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Abstract

Un proceso de recuperación de hidróxido ónico a partir de un material intercambiador de cationes con cationes de ónio absorbidos en él, que comprende: (A) poner en contacto el susodicho material intercambiador de cationes con una solución acuosa de un hidróxido orgánico para formar un hidróxido ónico, y (B) recuperar una solución acuosa de hidróxido ónico.

Description

Proceso de recuperación de hidróxidos -ónio a partir de soluciones que contengan compuestos -ónio.
Campo técnico
Este invento describe los procesos para regenerar hidróxidos -ónio a partir de soluciones que contengan compuestos ónio. En particular, el invento se refiere a los procesos para la recuperación de hidróxidos -ónio a partir de soluciones que contengan hidróxidos -ónio y/o sales -onio, usando un material intercambiador de cationes y una base.
Antecedentes de la invención.
Los hidróxidos -ónio, como los hidróxidos cuaternarios de amonio, incluyendo el hidróxido de tretrametilamonio (TMAH) y el hidróxido de tetraetilamonio (TEAH), son bases orgánicas fuertes que se conocen desde hace años. A los hidróxidos cuaternarios de amonio se le han encontrado variedad de usos incluyendo la fabricación de zeolito y fabricación de polímetros. Soluciones acuosas de hidróxidos cuaternarios de amonio, en particular soluciones de TMAH, han sido usadas también como reveladores para fotorresistencias en tarjetas de circuitos impresos y en la fabricación de microchips. Por diferente tipo de razones, es deseable minimizar la cantidad total de revelador usado en la fabricación de tarjetas de circuitos impresos y microchips. Una forma de reducir la cantidad total del revelador de hidróxido es volver a usar el revelador de desecho. Reutilizar el revelador disminuye la cantidad perdida y reduce los problemas de su eliminación.
El revelador sobrante contiene impurezas incluyendo las impurezas iónicas y las no iónicas. Las impurezas iónicas incluyen una variedad de cationes metálicos como sodio, potasio, zinc, níquel, aluminio, cobre y calcio; y de aniones como halógenos orgánicos, nitratos, nitritos, carbonatos, carboxilatos, sulfatos. Las impurezas no iónicas incluyen fotorresistencias, surfactantes, aminos y otras numerosas moléculas orgánicas. El revelador sobrante también contiene concentraciones relativamente bajas del revelador de hidróxido. En consecuencia, permanece una continua necesidad de recuperar eficazmente el revelador de hidróxido en una forma útil de tal manera que pueda ser reutilizado, minimizando de este modo la cantidad de revelador usado en la fabricación de tarjetas de circuito impreso y microchips.
La patente USA. 4.714.530 (Hale et al) describe un proceso electrolítico para preparar hidróxidos cuaternarios de amonio de alta pureza, utilizando una celda que contiene un compartimiento catolito y otro anolito separados por una membrana de intercambio iónico. El proceso consiste en cargar una solución de hidróxido cuaternario de amonio en el compartimiento del anolito, añadir agua al compartimiento del catolito, y hacer pasar una corriente directa a través de la celda de electrolisis para producir un hidróxido cuaternario de amonio de mayor pureza en el compartimiento del catolito, el cual es recuperado a posteriori. La patente '530 también describe una mejora que consiste en calentar el hidróxido cuaternario de amonio a una elevada temperatura antes de cargarlo en el compartimiento del anolito de la celda electrolítica.
La patente USA 4.938.854 (Sharifian et al) describe también un proceso electrolítico de purificación de hidróxidos cuaternarios de amonio mediante la reducción del contenido latente del halide (sal del ácido halógeno). La célula electrolítica debe estar dividida en un compartimiento del anolito y un compartimiento del catolito por un separador que debe ser una membrana selectiva de aniones o cationes. El cátodo en el compartimiento del catolito contiene zinc, cadmio, estaño, plomo, cobre o titanio, o aleaciones de estos, mercurio o amalgamas de mercurio.
La patente Kokai japonesa Nº 60-131985 (1985) (Takahashi et al) describe un método de obtención de hidróxido cuaternario de amonio de alta pureza en una celda electrolítica, la cual es dividida en una cámara anódica y una cámara catódica por una membrana intercambiadora de cationes. Una solución de hidróxido cuaternario de amonio conteniendo impurezas es cargada en la cámara anódica y una corriente directa es aplicada a dos electrodos después que se haya cargado de agua la cámara catódica. El hidróxido cuaternario de amonio purificado se obtiene de la cámara catódica. Este hidróxido cuaternario de amonio purificado contiene reducidas cantidades de metales alcalinos, metales alcalinotérreos, aniones, etc.
Las patentes USA 5.439.564 y 5.545.309 (Shimizu et al) están relacionadas con los métodos de procesamiento de líquidos de desecho que contienen hidróxido orgánico cuaternario de amonio por contacto del líquido de desecho con un material intercambiador de cationes, elucionando los cationes del cuaternario de amonio orgánico desde el material intercambiador de cationes, y electrolizando la elución en una celda electrolítica de dos cámaras equipada con un ánodo, un cátodo y una membrana intercambiadora de cationes. El hidróxido orgánico cuaternario de amonio se obtiene de la cámara catódica de la celda lectrolítica.
La patente USA 5.968.338 (Hulme et al) describe el proceso para regenerar hidróxidos -onio a partir de soluciones que contengan compuestos -onio tales como hidróxidos y sales, usando un material intercambiador de cationes, un ácido para formar una sal y una celda electroquímica compuesta al menos de tres compartimientos, para regenerar el hidróxido -onio.
Resumen de la invención
En una realización, el presente invento es un proceso de recuperación de un hidróxido -onio a partir de un material intercambiador de cationes que haya absorbido cationes onio, el cual comprende:
(A)
poner en contacto el mencionado material intercambiador de cationes con una solución acuosa de una base seleccionada a partir de hidróxidos de metal alcalino e hidróxido de amonio, para formar un hidróxido -onio, y
(B)
recuperar una solución acuosa del hidróxido -onio.
En otra realización, el presente invento trata del proceso de recuperación de un hidróxido -onio a partir de una solución que contenga un compuesto onio tal como un hidróxido -onio y/o una sal -onio, incluyendo el contacto de la solución con el material intercambiador de cationes, de esta manera al menos una porción de cationes onio procedentes del compuesto onio son absorbidos por el material intercambiador de cationes; el contacto del material intercambiador de cationes que ha absorbido los cationes onio con una solución acuosa de una base inorgánica para formar un hidróxido -onio; y la recuperación de la solución del hidróxido -onio. Entre los hidróxidos -onio que pueden ser recuperados de esta manera se incluyen los hidróxidos cuaternarios de amonio, hidróxidos cuaternarios de fosfonio, e hidróxidos terciarios de sulfonio.
En otra realización, el presente invento trata el proceso de recuperación de hidróxidos de tetraalquilamonio a partir de soluciones de desecho que contengan componentes de tetraalquilamonio, incluyendo: el contacto de la solución de desecho con el material intercambiador de cationes de manera que al menos una porción de los cationes del tetraalquilamonio del compuesto de tetraalquilamonio sean absorbidos por el material intercambiador de cationes; el contacto de una base inorgánica con el material intercambiador de cationes por el cual un hidróxido de tetraalquilamonio se forma; y la recuperación de la solución de hidróxido de tetraalquilamonio.
Como resultado del proceso del presente invento, se pueden obtener soluciones recicladas de hidróxidos -onio en las que la concentración y pureza son aumentadas. El reciclaje de soluciones de hidróxidos -onio gastadas, no solo proporciona ahorro de costes, sino también beneficios medioambientales por la eliminación o reducción de la necesidad de sintetizar nuevas soluciones de componentes hidróxidos, del caro proceso asociado de purificación, y de la toxicidad de las aguas residuales de soluciones de desecho. Además, no sería necesario almacenar grandes cantidades de productos químicos. La relativamente alta concentración y pureza de los hidróxidos -onio obtenidos mediante el actual invento permite usarlos eficazmente en numerosas aplicaciones donde las soluciones de hidróxido -onio son requeridas.
Descripción de las realizaciones preferentes de la invención
En una de las realizaciones de la invención, los hidróxidos -onio son recuperados a partir de un material intercambiador de cationes que previamente ha absorbido cationes onio, éste proceso consta de:
(A)
poner en contacto el mencionado material intercambiador de cationes con una solución acuosa de una base seleccionada a partir de hidróxidos de metal alcalino e hidróxido de amonio, para formar un hidróxido -onio, y
(B)
recuperar una solución acuosa del hidróxido -onio.
Este proceso está descrito con mayor detalle a continuación.
En otra realización de la invención presente, los hidróxidos -onio son regenerados (producidos, purificados o reciclados) a partir de soluciones que contienen compuestos onio como hidróxidos -onio y/o sales -onio. En una realización, la solución que contiene un componente onio es una solución de desecho de un hidróxido -onio que con anterioridad ha sido usado en un proceso, como el proceso de revelado asociado a la fabricación de tarjetas de circuitos impresos y microchips. En otras palabras, la solución que contiene el compuesto onio debe ser una solución usada de deshecho de un hidróxido -onio. En otra realización, la solución que contiene el compuesto onio es una solución de desecho de una sal -onio después de haber sido usada en un proceso. La solución o solución de desecho puede contener otros compuestos, tales como las impurezas descritas anteriormente y a continuación.
Las soluciones que contienen compuestos onio que son tratadas de acuerdo con el proceso de la invención presente son mezclas, preferentemente soluciones, que contienen un líquido oxidable con un porcentaje desde un 0.01% a un 50% en peso del compuesto onio y, generalmente, cantidades variables de una o mas impurezas indeseables, por ejemplo, aniones como el halide, carbonato, formato, acetato, nitrito, nitrato, sulfato, etc., algunos cationes metálicos incluyendo zinc y calcio, sodio, potasio y algunas especies neutrales como fotorresistencias, metanol, aminos, etc. El líquido oxidable puede ser agua, mezclas de agua y un líquido orgánico, o un líquido orgánico. Los líquidos orgánicos incluyen alcoholes, tales como metanol y etanol, glicoles y similares. En una realización, las soluciones tratadas de acuerdo con este invento contienen desde un 0.01% hasta un 10% por peso del compuesto onio. Aquí y en cualquier lugar de las especificaciones y en las reivindicaciones, los límites del alcance y del ratio pueden ser combinados.
En una realización, el proceso del presente invento es efectivo en la reducción de la cantidad de impurezas tanto iónicas como no-iónicas presentes en soluciones de compuestos onio, mientras que produce hidróxidos -onio de gran pureza. En una realización adicional, el proceso de la invención actual da como resultado una reducción de las impurezas de iones metálicos además de las impurezas orgánicas de una solución de compuesto onio, mientras que produce hidróxidos -onio de gran pureza. En otra realización, el proceso del presente invento es útil en la preparación de hidróxidos -onio purificados tales como hidróxidos cuaternarios de amonio, hidróxidos cuaternarios de fosfonio e hidróxidos terciarios de sulfonio.
Los hidróxidos -onio pueden ser generalmente representados por la formula
(I)A (OH)_{X}
donde A es un grupo onio y X es un número entero igual a la valencia de A. Ejemplos de grupos onio incluyen a los grupos de amonio, grupos de fosfonio y grupos de sulfonio. El hidróxido -onio debería ser lo suficientemente soluble en una solución tal como agua, alcohol u otro líquido orgánico o mezcla de ellos, para permitir un ritmo de recuperación útil.
Los hidróxidos cuaternarios de amonio y los hidróxidos cuaternarios de fosfonio pueden ser representados por la fórmula
1
en la que A es un átomo de nitrógeno o de fósforo, R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} son cada uno independientemente grupos alquilos conteniendo desde 1 hasta unos 20 átomos de carbono o de 1 a 10 átomos de carbono, grupos de hidroxialquilo o alcoxialquilo conteniendo de 2 hasta 20 o de 2 a 10 átomos de carbono, grupos arilos o grupos de hidroxiarilos; o que R^{1} y R^{2} junto con A formen un grupo heterocíclico con tal de que si este grupo contiene un grupo -C=A- , R^{3} sea el segunda lazo.
Los grupos alquilos R^{1} a R^{4} pueden ser lineales o ramificados, y ejemplos específicos de grupos alquilos que contienen de 1 a 20 átomos de carbono incluyen los grupos del metil, etil, propil, butil, pentil, hexil, octil, nonil, decil, isodecil, dodecil, tridecil, isotridecil, hexadecil y octadecil. R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} también pueden ser grupos de hidroxialquilos que contengan de 2 a 5 átomos de carbono tales como el hidroxietil y los diferentes isómeros del hidroxipropil, hidroxibutil, hidroxipentil, etc. En una realización, R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} son independientemente grupos alquilos que contienen de 1 hasta 4 o 5 átomos de carbono y/o grupos hidroxialquilos que contienen 2 o 3 átomos de carbono. Ejemplos específicos de grupos alcoxialquilos incluyen etoxietil, butoxietil, butoxibutil, etc. Ejemplos de diferentes grupos de arilo e hidroxiarilo incluyen los grupos del fenil, bencil y equivalentes en los que los anillos de benceno han sido sustituidos con uno o más grupos hidróxidos.
Las sales cuaternarias ónicas que pueden ser tratadas con el invento presente se caracterizan por la fórmula (III).
2
en la que A, R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} son definidos como en la fórmula (II), X^{-} es un anión de un ácido, e y es un número entero igual a la valencia de X. Ejemplos de aniones de ácidos incluyen bicarbonatos, halides, nitratos, formatos, acetatos, sulfatos, carbonatos, fosfatos, etc.
Los compuestos cuaternarios de amonio (hidróxidos y sales) que pueden ser tratados de acuerdo con el proceso del presente invento se pueden representar por la fórmula (IV).
3
donde R^{1}, R^{2}, R^{3}, R^{4} e y son definidos como en la fórmula (III), y X^{-} es un anión hidróxido o un anión de un ácido. En una realización del proceso, R^{1}- R^{4} son grupos alquilos que contienen de 1 hasta 4 átomos de carbono y grupos de hidroxialquilos con 2 o 3 átomos de carbono. Ejemplos específicos de hidróxidos de amonio incluyen el hidróxido de tetrametilamonio (TMAH), hidróxido de tetraetilamonio (TEAH), hidróxido de tetrapropilamonio, hidróxido de tetrabutilamonio, hidróxido de tretra-n-octilamonio, hidróxido de metiltrietilamonio, hidróxido de dietildimetilamonio, hidróxido de metiltripropilamonio, hidróxido de metiltributilamonio, hidróxido de cetiltrimetilamonio, hidróxido de trimetilhidroxietilamonio, hidróxido de trimetilmetoxietilamonio, hidróxido de dimetildihidroxietilamonio, hidróxido de metiltrihidroxietilamonio, hidróxido de feniltrimetilamonio, hidróxido de feniltrietilamonio, hidróxido de benciltrimetilamonio, hidróxido de benciltrietilamonio, hidróxido de dimetilpirolidinio, hidróxido de dimetilpiperidinio, hidróxido de diisopropilpilimidazolinio, hidróxido de N-alcalipiridinio, etc. En una realización, los hidróxidos cuaternarios de amonio tratados de acuerdo con este invento son el TMAH y el TEAH. Las sales cuaternarias de amonio representadas por la fórmula IV, pueden ser similares a los hidróxidos cuaternarios de amonio anteriormente citados con la salvedad de que el anión de hidróxido es sustituido, por ejemplo, por una anión de sulfato, un anión de clorato, un anión de carbonato, un anión de formato, un anión de fosfato, etc. Por ejemplo, la sal puede ser clorato tetrametilamonico, sulfato tetrametilamonico (y = 2), bromato tetrametilamonico, hexafluorato 1metil-2butil imidazolium, hexafluorato n-butil piridium, etc.
Ejemplos de sales cuaternarias de fosfonio que representen la formula II donde A = P, que puedan ser tratadas de acuerdo con el proceso del presente invento son el hidróxido de tetrametilfosfonio, hidróxido de tetraetilfosfonio, hidróxido de tetrapropilfosfonio, hidróxido de tetrabutilfosfonio, hidróxido de trimetilhidroxietilfosfonio, hidróxido de dimetildihidroxietilfosfonio, hidróxido de metiltrihidroxietilfosfonio, hidróxido de feniltrimetilfosfonio, hidróxido de feniltrietilfosfonio e hidróxido de benciltrimetilfosfonio, etc, y los correspondientes halides, sulfatos, carbonatos, fosfatos, etc.
En otra realización, los hidróxidos terciarios de sulfonio y las sales que pueden ser recicladas o purificadas de acuerdo con este invento pueden ser representados por la fórmula
4
donde R^{1}, R^{2} y R^{3}, X^{-} e y son definidos como en la fórmula III.
Ejemplos de compuestos terciarios de sulfonio representados por la fórmula V incluyen al hidróxido de trimetilsulfonio, hidróxido de trietilsulfonio, hidróxido de tripropilsulfonio, etc, y las correspondientes sales tales como halides, sulfatos, nitratos, carbonatos, etc.
Los hidróxidos -onio se pueden obtener comercialmente. Además, los hidróxidos - onio pueden ser preparados a partir de sus correspondientes sales -onio tales como halides -onio, carbonatos, sulfatos y similares. Varios métodos de preparación son descritos en las patentes USA 4.917.781 (Sharifian et al) y 5.286.354 (Bard et al) por lo que son incorporadas como referencia. No hay un límite establecido en lo concerniente a como se obtiene o prepara el hidróxido -onio.
Antes de ponerlas en contacto con el material intercambiador de cationes, las soluciones que contienen hidróxido -onio y/o sales -onio y/o impurezas pueden ser opcionalmente concentradas o preparadas de antemano. Esto es, la concentración del hidróxido -onio y/o sal -onio en la solución puede ser aumentada antes de ponerla en contacto con el material intercambiador de cationes y/o varias impurezas pueden ser eliminadas de la solución del compuesto onio.
En algunas realizaciones, es útil concentrar la solución de hidróxido -onio y/o sal antes de ponerlo en contacto con el material intercambiador de cationes. Procesos de aumento de la concentración son conocidos por los expertos en la materia e incluyen la evaporación, destilación, nanofiltración y la ósmosis inversa entre otros.
En otras realizaciones, es útil tratar de antemano la solución de componente onio con alguna forma de filtrado antes de ponerla en contacto con el material intercambiador de cationes de acuerdo con el invento. Varios tipos de filtrado pueden llevarse a cabo incluyendo el filtrado por gravedad, micro filtración como la nanofiltración, filtrado por flujo transversal, cartucho de filtrado, filtrado por vacío y filtrado por presión inducida. Tratamientos previos de depuración y separación pueden ser efectuados. Las membranas filtro pueden ser de conocidos materiales útiles para separar sólidos de líquidos incluyendo plásticos como el PTFE, PVDF, PET, nylon, polietileno y polipropileno, acetato de celulosa, nitrato de celulosa, celulosa regenerada, nitrocelulosa, papel incluyendo el papel sin cenizas, fibras variadas incluyendo la fibra de vidrio, y macropartículas variadas como el carbón activado, sílice, arena, etc. Como alternativa, los tratamientos previos pueden incluir el contacto de la solución de compuesto onio con varios materiales de macropartículas, por ejemplo el carbón activado, de este modo las impurezas orgánicas son absorbidas hasta ser eliminadas de la solución por el material de macropartículas.
En algunas realizaciones del proceso, se pueden efectuar más de un tipo (o más de una pasada) de un tratamiento previo de filtrado, ya que cada tratamiento previo de filtrado puede eliminar diferentes clases de impurezas. Por ejemplo, en una realización son efectuados dos tratamientos previos de filtrado: las impurezas orgánicas son substancialmente o parcialmente eliminadas mediante un filtrado por gravedad, y las impurezas metálicas son substancialmente o parcialmente eliminadas por otra pasada por el filtrado por gravedad después de haber sido aumentado el pH de la solución provocando que ciertos metales formen sales de hidróxido solubles facilitando así su filtrado (y así la separación de las especies insolubles).
En otras realizaciones, es preferible tratar previamente la solución de componente onio con alguna forma de tratamiento de metales antes de ponerla en contacto con el material intercambiador de cationes de acuerdo con el invento. Un tratamiento previo de metales elimina el exceso de impurezas metálicas de la solución de compuesto onio. En una realización, el tratamiento previo de metales conlleva el contacto de la solución de compuesto onio con un material intercambiador de iones para la eliminación del metal. El material intercambiador de iones preliminar es preferentemente un material intercambiador de cationes que pueda discriminar selectivamente entre cationes metálicos y cationes onio, así al menos una porción de impurezas de iones metálicos en la solución de compuesto onio es absorbida por el material intercambiador de iones. Por ejemplo, un material intercambiador de iones preliminar, por el cual el sodio tenga afinidad, puede ser usado como tratamiento metálico previo para eliminar el sodio de la solución de compuesto onio de acuerdo con el invento.
En otra realización, el tratamiento previo de metales conlleva el poner en contacto una solución de compuestos onio con un compuesto metálico complejo. Los compuestos metálicos complejos absorben, atraen a, forman complejos, coordinan, forman quelados o dicho de otra forma enganchan al menos una porción de las impurezas de la solución de compuestos onio y así las eliminan antes de entrar en contacto con el material intercambiador de cationes de acuerdo con el invento. Ejemplos de compuestos metálicos complejos incluyen éteres corona, criptandos y compuestos quelados (diaminos, diquetonatos, etc).
Incluso en otra realización, el tratamiento previo de metales conlleva el poner en contacto una solución de compuestos -onio con un ácido o una sal capaces de formar un precipitado insoluble (al menos parcialmente insoluble) con un catión metálico, permitiendo de esta manera una fácil eliminación del precipitado y así del metal de la solución antes de ponerla en contacto con el material intercambiador de cationes de acuerdo con el invento.
Conforme al presente invento, una solución que contenga compuestos onio es puesta en contacto con el primer material intercambiador de cationes de manera que el material intercambiador de cationes absorbe cationes onio de la solución (cationes derivados del hidróxido -onio y/o sal -onio). El material intercambiador de cationes puede ser cualquier material intercambiador de iones que absorba eficazmente cationes onio derivados de componentes onio. El material intercambiador de cationes puede ser tanto un material intercambiador de cationes débilmente ácido como un material intercambiador de cationes fuertemente ácido. La base del material intercambiador de cationes puede ser tanto un material intercambiador de cationes orgánico tal como una resina intercambiadora de cationes como un material intercambiador de cationes inorgánico tal como zeolito, gel de sílice o similares.
El material intercambiador de cationes puede estar en forma de polvo, perlas, gránulos, película y/o material fibroso. Dos o más materiales intercambiadores de cationes pueden ser combinados, por ejemplo, una combinación de un material intercambiador débilmente ácido y un material intercambiador de cationes fuertemente ácido, una combinación de un material intercambiador de cationes inorgánico con un material intercambiador de cationes orgánico, una combinación de dos o más materiales intercambiadores de cationes de diferentes formas, tales como un polvo con una fibra, dependiendo de la identidad y propiedades de la solución de compuestos onio. Dado el manejo, aspectos económicos y capacidad de intercambio de iones de los materiales intercambiadores de cationes, los preferidos son resinas granulares intercambiadoras de cationes débilmente ácidas y/o resinas granulares intercambiadoras de cationes fuertemente ácidas. En una realización, materiales intercambiadores de cationes en la forma de ión hidrónio (H^{+}) son empleados en el presente invento.
Ejemplos útiles de materiales intercambiadores de cationes incluyen resinas intercambiadoras de cationes en gel o porosas producidas mediante la introducción de grupos de ácidos sulfónicos o ácidos carboxílicos dentro de una base polímera o copolímera de, por ejemplo, estireno como el poliestireno o similares, polímeros o copolímeros acrílicos como resinas poliacrílicas o similares, polímeros o copolímeros tetrafluoretilénicos como el politetrafluoretileno o similares, o dentro de una base polímera o copolímera modificada que se preparada modificando los polímeros o copolímeros con un agente de cruzamiento y enlace tal como el divinilbenceno o similar. Entre los materiales intercambiadores de cationes además se incluyen resinas ácidas fosfóricas y fosfóreas así como materiales inorgánicos intercambiadores de cationes como el zeolito, gel de silicio y similares.
Ejemplos específicos incluyen resinas intercambiadoras de cationes vendidas bajo las denominaciones comerciales de AMBERLITE® y DOWEX® de Rohm & Haas Co. y Dow Chemical Co., respectivamente. Más ejemplos específicos son: resinas intercambiadoras bajo la denominación comercial AMBERLITE, tales como IR-100, IR-105, IR-105 G, IR-112, IR-120, IR-122, IR-124, IRC-50, IRC-76, y IRC-84SP; resinas bajo la denominación comercial DUOLITE, tales como C-280, C-291, C-433 y C464 de Rohm & Haas Co.; lonac CC y C-267 de Sybron; varias resinas intercambiadoras de cationes de Organo Co.; y aquellas bajo la denominación DIAION, tales como PK216H, PK212, PK 228, HPK25, SK-1 BS, SK-104, SK-112, SK-112, SK-116, WK10, WK11, WK20, WK40 y WK100 de Mitsubishi Kasei Corp; y Lewatit CNP80 de Bayer. En una realización del proceso, la resina intercambiador de cationes es al menos una de las siguientes: IRC-84SP de Rohm & Haas Co.; MONOSPHERE DOWEX C350, C500 y C650 de Dow Chemical Co.; PK216H, PK212 y WK40 de Mitsubishi Kasei Corp y Lewatit CNP80 de Bayer.
Cualquier método conocido puede ser empleado, de acuerdo con la identidad y la forma del material intercambiador de cationes, para poner en contacto la solución que contiene el hidróxido -onio y/o la sal -onio con el material intercambiador de cationes. Por ejemplo, un sistema de columna puede ser empleado, donde la solución que contiene el compuesto onio pasa a través de una columna rellena con el material intercambiador de cationes. Alternativamente un sistema por lotes puede ser utilizado, donde el material intercambiador de cationes es añadido a la solución que contiene el compuesto onio de modo que éste último se pone en contacto con el primero por agitación, y posteriormente la mezcla es filtrada por separación sólido-liquido.
El material intercambiador de cationes con los cationes onio absorbidos es entonces puesto en contacto con una solución de una base inorgánica tal como hidróxido de metal alcalino o hidróxido amónico, a través de la cual los cationes onio absorbidos son extraídos y eliminados formando el deseado hidróxido -onio. En realizaciones donde el sistema de columna es empleado, la base puede ser añadida a la columna tanto a favor de corriente como contra corriente.
La solución acuosa básica útil en este invento puede ser una solución de una base inorgánica. En una realización, la base inorgánica es un hidróxido de metal alcalino o hidróxido amónico. En otra realización, la base es una base fuerte de un metal alcalino seleccionado entre hidróxido sódico, hidróxido potásico e hidróxido de litio. La concentración de la base en la solución acuosa puede variar sobre un amplio rango, y generalmente las soluciones acuosas contienen desde un 5% hasta un 20 o 25% en peso de la base. En una realización, la concentración de la base es desde un 5% hasta un 12%.
Cuando el hidróxido -onio es extraído del material intercambiador de iones que contiene los cationes onio, es deseable minimizar la cantidad de metal alcalino o de hidróxido amónico recogida. Es posible reducir la cantidad de base recogida variando el caudal de la solución básica y la concentración de la base en contacto con el material intercambiador de cationes. Cuando se usan columnas intercambiadoras de iones, los caudales y concentraciones deseadas varían dependiendo del material intercambiador de cationes empleado así como de la base utilizada. Caudales y niveles de concentración pueden ser determinados en cada instante por expertos en la materia.
Una de las ventajas de utilizar columnas intercambiadores de iones, a diferencia del proceso por lotes, es que el proceso puede ser llevado a cabo como un proceso semicontinuo en donde una cantidad dada de solución conteniendo hidróxido -onio y/o sal es bombeada a través de la columna intercambiadora de iones, y el efluente puede ser recogido en dos o más fracciones. Por ejemplo, el efluente puede ser dividido en tres fracciones: La primera fracción contendrá solamente pequeñas cantidades de hidróxido -onio; la segunda fracción contendrá una relativamente alta concentración de hidróxido -onio; y la tercera fracción (cola) contendrá una menor cantidad de hidróxido -onio. La primera y tercera fracciones pueden ser descartadas como desecho o reutilizadas de acuerdo con lo descrito en otros puntos de la especificación. Por ejemplo, la primera y tercera fracción pueden ser reutilizadas como fuente de la base inorgánica.
Para ser breves, la siguiente exposición tratará la situación en la que tres fracciones son recogidas según lo descrito anteriormente, y la fracción de en medio que contiene una alta concentración de hidróxido -onio (p.ej. desde 8 hasta un 15 o 20 por ciento en peso) es la considerada como el producto del proceso.
Otra ventaja del proceso del presente invento es que el proceso descrito anteriormente da como resultado la formación y recuperación de un hidróxido -onio directamente. En algunos procesos artesanales precedentes como establecía la metodología anteriormente, los materiales intercambiadores de cationes que han absorbido cationes ónicos eran tratados con un ácido, produciendo así una sal onio que debe entonces ser tratada utilizando un caro proceso de electrolisis o electrodiálisis para convertir la sal en el deseado hidróxido. Consecuentemente, el proceso del presente invento es más económico que los procesos artesanales precedentes porque elimina el paso más caro de los esos procesos.
En algunos ejemplos, la solución de hidróxido -onio recuperada a partir de la resina intercambiadora de cationes de acuerdo con el proceso anterior del presente invento, contiene parte del material de la base como una impureza, y la concentración del hidróxido -onio en la solución acuosa podría no estar a un nivel aceptable para todas las aplicaciones. De acuerdo con una realización del presente invento, el hidróxido -onio que es recuperado mediante el proceso anterior (p.ej. a partir de la primera columna intercambiadora de iones) puede contener impurezas no deseadas y/o una insuficiente concentración de hidróxido -onio. El nivel de impurezas puede ser reducido y la concentración del hidróxido -onio aumentada mediante el contacto de la solución obtenida por el proceso anterior (columna primera), con un segundo material intercambiador de cationes que está en forma del correspondiente catión onio. Esto es, si el hidróxido -onio que está siendo purificado por contacto con un segundo material intercambiador de cationes es TMAH, la resina intercambiadora de cationes en el paso de la purificación debe estar en forma de catión de TMA. La resina intercambiadora de cationes en la forma de catión de TMA, puede ser preparada por contacto con un material intercambiador de cationes con una solución acuosa que contenga TMAH. La solución conteniendo TMAH utilizada para este propósito puede ser un fluido de desecho que contenga TMAH, o una solución acuosa de TMAH conteniendo una concentración mayor de TMAH. La fuente de TMAH podría ser también la primera o tercera fracción del efluente procedente de la primera columna intercambiadora de cationes. Como podría ser evidente, la segunda columna conteniendo materiales intercambiadores de cationes con cationes onio absorbidos en ella, puede ser elaborada de la misma manera que la primera columna intercambiadora de cationes con cationes onio absorbidos en ella. Así, en una realización, la práctica de la invención podría proceder como sigue:
1)
Proporcionar varias columnas en paralelo conteniendo resina intercambiadora de cationes en forma de hidrónio;
2)
Poner en contacto una solución acuosa que contenga una pequeña cantidad (p.ej. 0,5% en peso) de TMAH, con la resina intercambiadora de cationes en forma de hidrónio contenida en la primera columna;
3)
el efluente es descartado, y cuando la capacidad intercambiadora de iones de la resina en la columna 1 esté agotada, el flujo del material de desecho en la columna 1 es terminado y derivado a la columna 2;
4)
La solución acuosa que contiene TMAH es añadida a la columna 2 hasta que la capacidad de la resina en la columna 2 esté agotada por lo que el flujo de la solución acuosa conteniendo TMAH es derivado a la columna 3. Este proceso se repite en la columna 4, etc. Hasta que la solución acuosa se agota.
cuando la capacidad de la resina de la columna 1 ha sido agotada y la solución acuosa de TMAH ha sido desviada a otra columna, una solución básica acuosa, como la descrita anteriormente, es añadida a la columna 1 para eluir el TMAH a partir de la resina y formar una solución acuosa de TMAH que contenga menos impurezas y una mayor concentración de TMAH que la solución inicial.
La solución de TMAH (o fracción de ésta) que es recogida como efluente de la primera columna puede ser purificada y concentrada más aún mediante el contacto de la solución con la resina intercambiadora de cationes de la columna 2, la cual contiene ahora cationes de TMA absorbidos para ello. En este paso, la segunda columna actúa como columna purificadora. Cationes de sodio presentes en la solución de TMAH recuperada desde la columna 1 son absorbidos sobre la resina como intercambio por cationes de TMA, formando TMAH adicional. La solución de TMAH recuperada desde la segunda columna (p.ej. la columna de purificación) ha reducido significantemente los niveles de sodio y de otras impurezas catiónicas. Generalmente, los niveles de sodio y de otras impurezas catiónicas están en un margen de cientos de partes por billón. La concentración de TMAH es incrementada en la solución recuperada desde la segunda columna en un ejemplo, hasta un 15% en peso.
En una realización del presente invento, las fracciones del efluente que contienen pequeñas pero significantes cantidades de la base y del hidróxido ónico (p.ej. desde un 3 a un 5% de hidróxido sódico y un 3 a 4% de TMAH), pueden ser recuperadas y usadas como composición para las soluciones básicas de mayor concentración que son usadas eluir las columnas. Por ejemplo, hidróxido sódico concentrado en forma de cristales de hidróxido sódico (más de 99% de hidróxido sódico) o en la forma comercialmente disponible de concentrado de hidróxido sódico (hidróxido sódico al 50%), puede ser añadido al efluente que contiene de un 3 a un 4% de hidróxido sódico para dar la concentración deseada de, por ejemplo un 10% de hidróxido sódico, para uso como solución básica para eluir el TMAH desde una columna en la que cationes de TMA han sido absorbidos por el material intercambiador de cationes. La capacidad de recuperar y utilizar las soluciones básicas que contienen de 3 a 5% de hidróxido sódico trae como resultado una reducción significante de los problemas de eliminación, reduce el gasto de hidróxido sódico, y reduce el coste y la cantidad de hidróxido sódico requerido para todo el proceso.
También, ya que desde la base los iones metálicos o amónicos reemplazan a los iones ónicos del material intercambiador de iones, este material intercambiador de iones puede ser regenerado (p.ej., devolviéndolo a la forma hidrónica o protónica) fácilmente para reutilizarlo, mediante el contacto con un ácido. El ácido usado para regenerar al material intercambiador de cationes puede ser seleccionado de entre los ácidos inorgánicos, como el ácido hipoclorhídrico, ácido nítrico, ácido sulfúrico, ácido fosfórico, ácido fosforoso y similares, y entre los ácidos orgánicos, como el ácido acético, ácido fórmico, ácido oxálico y similares. En una realización, el ácido tiene un pKa de menos de 5, y preferiblemente un pKa de menos de 4. La concentración del ácido puede variar bastante, y puede ser seleccionada de entre un amplio margen desde un 0.01% hasta sobre un 20%. En una realización, el ácido es preferiblemente un ácido inorgánico. Ejemplos particulares de ácidos útiles incluyen al ácido carbónico, ácido hidroclórico o un diluido ácido sulfúrico, teniendo una concentración desde un 0.05% o sobre un 2.0%.
Un ácido es puesto en contacto con el material intercambiador de cationes gastado y así se eliminan los iones metálicos (p.ej. iones sódicos) y se forma una base metálica soluble en agua. La sal metálica eluida a partir del material intercambiador de cationes está por lo menos parcialmente constituida por un componente que contiene un catión metálico (derivado de la solución básica que inicialmente contactó con el material intercambiador de cationes consumido) y un anión (derivado del ácido usado para regenerar el material intercambiador de cationes consumido).
En algunos ejemplos, es deseable purificar aun más la solución de hidróxido -onio que es obtenida cuando la solución de hidróxido -onio recuperada de la primera columna intercambiadora de cationes pasa por la segunda columna intercambiadora de cationes. Puede ser deseable por ejemplo, purificar más aún el hidróxido -onio para particulares aplicaciones electrónicas. Puede ser deseable, por ejemplo, eliminar impurezas iónicas metálicas (p.ej. Na+). Para purificar más aún la solución de hidróxido onio de modo y que pueda ser usada en aplicaciones de máxima pureza tales como fabricación de semi-conductores, se puede poner la solución en contacto con un material intercambiador de aniones en forma de ión hidróxido y/o con un tercer material intercambiador de cationes en forma de ión onio. Alternativamente, en lugar de o además del tercer material intercambiador iónico, se puede poner la solución de hidróxido -onio en contacto con un barredor de iones metálicos el cual se debe de estar formado de al menos un quelato, de un material nanoporoso, y de un material de separación química mecánicamente asistida (MACS). Este proceso y los barredores de iones metálicos útiles para el mismo están descritos en detalle en la también pendiente Aplicación USA número de serie 09/270.682 (Moulton et al). Alternativamente, los iones metálicos pueden ser eliminados poniendo en contacto la solución de hidróxido -onio recuperada con un ácido o una sal capaces de formar un precipitado insoluble (al menos parcialmente insoluble) con un catión metálico, permitiendo así una fácil eliminación del precipitado (y consecuentemente de los cationes metálicos del producto) de solución de hidróxido -onio. Estos pasos de purificación adicional son denominados en este documento como "ultrapurificación".
Cuando tanto una resina intercambiadora de aniones como una resina intercambiadora de cationes se usan como material intercambiador iónico, ambas pueden mezclarse y ser usadas en forma de un paquete de mezcla de resina intercambiadora iónica en una columna o en una torre. De cualquier manera, la combinación se usa preferiblemente en forma de paquete de estructura estratificada en una columna o en una torre, donde la resina intercambiadora de aniones se sitúa corriente arriba de la resina intercambiadora de cationes, se dispone corriente abajo. Cuando la solución de hidróxido -onio a tratar contiene sólo una ligera cantidad de fotorresistencia, a modo contrario al anterior, la resina intercambiadora de cationes puede ser dispuesta corriente arriba de la resina intercambiadora de aniones, dispuesta corriente abajo. Más aún, una columna o torre corriente arriba constituida por resina intercambiadora de aniones puede ser dispuesta separadamente pero usada en conexión con una columna o torre corriente abajo constituida por resina intercambiadora de cationes. En este caso, solo una de las resinas intercambiadoras de aniones y cationes, cuando la capacidad de intercambio de iones baja o se deteriora por uso de larga duración, puede convenientemente ser reemplazada con facilidad por una resina virgen.
Ejemplos de material intercambiador de aniones que pueden ser usados en el presente invento incluyen resinas intercambiadoras de aniones disponibles comercialmente tales como el estireno, acrílico o resinas intercambiadoras de aniones similares, que pueden estar en forma de fibra, granular o similar. Los materiales intercambiadores de aniones pueden ser usados solos o como una mezcla o estructura estratificada de una variedad de ellos en una proporción arbitraria. Las resinas intercambiadoras de aniones del tipo estireno son especialmente útiles para eliminar fotorresistencias. Las resinas intercambiadoras de aniones del tipo acrílico son aquellas obtenidas mediante un enlace cruzado de un ácido (met)acrílico y un ester con divinilbenceno (DVB) o similar. Las resinas intercambiadoras de aniones fuertemente básicas son también útiles eliminando fotorresistencias, pero las resinas intercambiadoras de aniones débilmente básicas también ejercen ese efecto eliminador de fotorresistencias particularmente en el lado neutral o ácido. Así, una pluralidad de resinas intercambiadoras de aniones fuertemente y débilmente básicas puede ser usada en forma de mezcla o una estructura estratificada en una proporción arbitraria. Aunque el contador de iones de una resina intercambiadora de aniones puede ser OH^{-}, o Cl^{-} o similar, el uso de resinas intercambiadoras de aniones en forma OH, que tiene iones OH como contador de iones, es preferido. Esto es porque el uso de resinas intercambiadoras de iones en forma Cl o similar, que tienen iones Cl^{-} o similar como contadores de iones, trae como resultado la transformación de al menos una parte de los iones contadores de los iones de onio, en iones Cl^{-} o similares. Cuando una resina intercambiadora de aniones débilmente básica se usa en el lado neutral o ácido, o cuando se hace con una resina intercambiadora de aniones en forma Cl o similar, las sales ónicas se pueden reconvertir a forma de hidróxido mediante procedimientos conocidos por los expertos en la materia.
Ejemplos de material intercambiador de cations en forma de ión H o ión de onio que puedan ser usadas en el paso de la ultrapurificación del presente invento incluyen los materiales intercambiadores de cationes descritos anteriormente y los cuales pueden ser débilmente o fuertemente ácidos. Pueden ser usados solos o como una mezcla o estructura estratificada de una variedad de ellos en una proporción arbitraria.
Los materiales intercambiadores de cationes comercialmente disponibles están normalmente en forma de ión H o ión sodio (Na). Tales resinas intercambiadoras de cationes (preferiblemente convertidas a forma de ión H si originalmente están en forma de ión Na), se pueden convertir preliminarmente a forma de ión de onio antes de usarlas, evitando el fenómeno por el cual el catión onio es absorbido en la resina intercambiadora de cationes en la fase inicial del recorrido de la solución a través de la resina intercambiadora de cationes, reduciendo la concentración ión onio de la solución tratada resultante. Más específicamente, es preferible el uso de una resina intercambiadora de cationes después tras convertirla a forma de catión onio, aunque pueda ser usada en la forma H como así ocurre. Sin embargo, también se puede usar la resina intercambiadora de cationes no solo en forma de ión onio sino parcialmente en forma de ión H, o tanto la resina en la forma H como la resina en forma de onio pueden ser usadas, como otra alternativa, en forma de mezcla o estructura estratificada en una proporción arbitraria.
Es preferible el uso de resinas intercambiadoras de aniones o resinas intercambiadoras de aniones, tratadas alternativamente con soluciones alcalinas acuosas y soluciones ácidas acuosas, bien aclaradas con agua (ultra)pura para dejarlas libres de cualquier materia que pueda disolverse desde ellas durante el transcurso de su servicio.
Dependiendo de la cantidad permisible de impurezas varias tales como las fotorresistencias, otros aniones y cationes que deben quedar en la solución de hidróxido -onio para ser rejuvenecida en relación con el uso de esa solución, se determinará cual de entre una resina intercambiadora de aniones, una resina intercambiadora de cationes, o ambas, se utilizará como resina intercambiadora de iones. En el caso donde la rejuvenecida solución de hidróxido -onio es usada como revelador en la producción de, por ejemplo, componentes electrónicos como semi-conductores, pantallas de cristal líquido y tarjetas impresas como las descritas anteriormente, con todo, tanto la resina intercambiadora de aniones como la resina intercambiadora de cationes son de uso deseable.
Los siguientes ejemplos ilustran el proceso del presente invento. A menos que se indique en los ejemplos, y en cualquier lugar de la especificación y las reivindicaciones, todas las partes y porcentajes son por peso, temperaturas en grados centígrados, y la presión es o está próxima a la atmosférica.
Ejemplo 1
Una resina intercambiadora de cationes comercial fabricada por Bayer AG, identificada como CNP-80, es usada para llenar una columna de 2,2 cm. de diámetro a una altura de unos 53 cm. El material intercambiador de cationes está en forma regenerada (ión hidrónio). Catorce litros de una solución acuosa de desecho con una concentración de 0,5% por peso de hidróxido de tetrametilamonio (TMAH) pasa a través de la columna de resina a un caudal de 800 ml./h. El cation TMA de la solución acuosa es absorbido por la resina intercambiadora de cationes. Ya que la resina es específica para cationes, los aniones e impurezas orgánicas del torrente de desecho diluido pasan a través de la resina, y el efluente conteniendo una mayor concentración de estas impurezas puede ser descartado. El cation TMA es entonces eluido desde la resina intercambiadora de cationes usando 800 ml. de solución acuosa de hidróxido de sodio al 10%, que es bombeada a través de la columna a un caudal de 200 ml./h. La solución de hidróxido de sodio es seguida por 600 ml. de agua desionizada con un caudal de 200 ml./h. La solución emergiendo desde la columna intercambiadora de cationes como efluente es dividida en tres fracciones. Los primeros 200 ml. de efluente son separados como primer efluente. Esta fracción diluida que tiene una composición de 63 partes por billón (en peso) de sodio y un 0,4% en peso de TMAH puede ser reutilizada o descartada como desecho. Los siguientes 600 ml. de efluente son recogidos por separado como segundo efluente. Contiene 1,4% en peso de hidróxido sódico y 10% de TMAH. Esta fracción es la solución deseada de TMAH. Finalmente, los siguientes 600 ml. de efluente de la columna son recogidos, y esta fracción contiene 2,5% en peso de hidróxido sódico y 2,2% en peso de TMAH. Esta fracción diluida puede ser reutilizada (por ejemplo como fuente de hidróxido sódico) o descartada como desecho.
La columna de resina intercambiadora de cationes usada en este ejemplo puede ser preparada para reutilizarla haciendo pasar 700 ml. de ácido sulfúrico al 6,7% en peso a un caudal de 1500 ml./h. seguido por 600 ml. de agua desionizada. La solución recogida al efectuar este paso contiene 200 partes por millón (en peso) de TMAH y puede ser descartada como desecho.
Ejemplo 2
Este ejemplo ilustra el proceso del presente invento por el cual la solución de TMAH recuperada en el Ejemplo 1 como producto (segunda fracción) es purificada más aún mediante el contacto de la solución producto con una segunda columna de resina intercambiadora de cationes, donde la resina está en forma de ión TMA. La segunda columna de resina intercambiadora de cationes, donde la resina está en forma de ión TMA, puede ser preparada mediante el paso de una solución de TMAH a través de una columna de resina intercambiadora de cationes por el procedimiento descrito en el Ejemplo 1.
En consecuencia, los 600 ml. de solución recuperada como el segundo efluente en el Ejemplo 1 que contiene 1% por peso de hidróxido sódico y 10% por peso de TMAH se pasa a través de la segunda columna de resina intercambiadora de cationes, donde la resina es CNP-80 y está en forma de catión TMA. EL TMAH pasa a través de la columna donde los iones sódicos y otras impurezas catiónicas son absorbidos por la resina de la segunda columna, eliminando así las impurezas de la solución.
Los primeros 200 ml. de solución que salen de la segunda columna intercambiadora iónica son recogidos como primer efluente y tiene una composición de 26 partes por millón de hidróxido sódico y un 0,04% por peso de TMAH. Esta fracción diluida puede ser reutilizada o descartada como desecho. Los siguientes 600 ml. de efluente son recogidos como segundo efluente y se considera que es el producto del proceso, que contiene 14% de TMAH y sólo 200 partes por billón de sodio. La tercera y última fracción que comprende 600 ml. es recogida y se encuentra que contiene un 3% de TMAH y un 4% de hidróxido sódico. Esta corriente diluida puede ser reutilizada o descartada como desecho.
La columna de resina intercambiadora de cationes se prepara para reutilizarla haciendo pasar 600 ml. de ácido sulfúrico al 6.7% en peso seguido por 100 ml. de agua desionizada a través de la columna usada a un caudal de 1400 ml./h. La solución recogida al efectuar este paso contiene menos de 10 partes por millón por peso de TMAH y puede ser descartada como desecho.
Ejemplo 3
Este ejemplo utiliza la resina intercambiadora de cationes CNP-80 en una columna de 2 cm. de diámetro con una altura de 20 cm. La resina está en forma de ión hidrónico regenerado. Cinco litros de solución de desecho con una concentración de 0,5% en peso de hidróxido de tetraetilamonio (TEAH) son pasados por la columna de resina. El cation TEA de la solución acuosa es absorbido por la resina intercambiadora de cationes. El TEAH es entonces eluido desde la resina usando una solución acuosa de hidróxido sódico al 10%, que se bombea a través de la columna a un caudal de 100 a 150 ml./h. La solución de hidróxido sódico es seguida por agua desionizada a un caudal de 100 a 150 ml./h.
La solución que emerge de la columna intercambiadora iónica como efluente es recogida en tres fracciones separadas. Los primeros 100 ml. de efluente son separados como primer efluente, y esta fracción contiene 5 partes por billón en peso de sodio y 0,05% en peso de TEAH. Los siguientes 300 ml. de efluente son recogidos como producto y contiene 0,6% en peso de hidróxido sódico y 8% de TEAH. Los siguientes 200 ml. de efluente de la columna son recogidos, y esta fracción contiene 2,3% en peso de hidróxido sódico y 1% en peso de TEAH. Esta corriente diluida puede ser reutilizada o descartada como desecho.
Ejemplo 4
En este ejemplo, un material intercambiador de cationes comercialmente disponible por Mitsubishi bajo la designación WK-40, es usado en una columna de 2,2 cm. de diámetro con una altura de resina de 53 cm. El material intercambiador de cationes está en forma de ión hidrónio regenerado. Una solución acuosa de desecho (16,7 litros) con una concentración de 0,48% en peso de TMAH pasa a través de la columna. Los cationes TMA en la solución acuosa son absorbidos sobre la resina intercambiadora de cationes. Después de esto, el TMAH es eluido desde la resina haciendo pasar una solución acuosa al 14% en peso de hidróxido potásico a través de la columna a un caudal de 200 ml./h. La solución de hidróxido potásico es seguida por agua desionizada. La solución que emerge de la columna intercambiadora iónica como efluente, es recogida en tres fracciones separadas. Los primeros 200 ml. de efluente son separados como primer efluente, y a esta fracción se le encuentra que contiene 0,3% en peso de TMAH. Esta corriente diluida puede ser reutilizada o descartada como desecho. Los siguientes 600 ml. de efluente son recogidos como el producto, y esta fracción contiene 0,7% en peso de hidróxido potásico y 11,9% en peso de TMAH. Los siguientes 500 ml. de efluente son recogidos, y esta fracción contiene 7,08% de hidróxido potásico y 1,1% en peso de TMAH. Esta corriente diluida puede ser reutilizada o descartada como desecho.
Ejemplo 5
En este ejemplo, el material intercambiador de cationes utilizado es el WK-40 en forma de ión hidrónico regenerado, y la resina intercambiadora está contenida en una columna de 2,2 cm. de diámetro con una altura de 53 cm. Dieciséis litros de una solución acuosa de desecho con una concentración de 0,5% en peso de TMAH pasa a través de la columna de resina, y los cationes de TMA son absorbidos sobre la resina intercambiadora de cationes. Después de esto, el TMAH es eluido desde la resina usando una solución acuosa al 6% en peso de hidróxido de litio que se bombea a través de la columna a un caudal de 200 ml./h. La solución de hidróxido de litio es seguida por agua desionizada. La solución que emerge de la columna intercambiadora iónica como efluente, es recogida en tres fracciones separadas. Los primeros 200 ml. de efluente son separados como el primer efluente, y esta fracción tiene una concentración de 0,16% en peso de TMAH. Los siguientes 600 ml. de efluente son recogidos como el producto, y el producto contiene 0,03% en peso de hidróxido de litio y un 11,3% en peso de TMAH. La tercera fracción es recogida y descartada.
Puesto que el invento ha sido explicado en relación a sus realizaciones preferentes, se entiende que modificaciones varias del mismo serán evidentes para aquellos expertos en la materia tan pronto como lean la especificación. Por tanto, se entiende que el invento aquí revelado pretende cubrir tales modificaciones cuando caigan dentro del alcance de las reivindicaciones adjuntas.

Claims (24)

1. Un proceso de recuperación de hidróxido ónico a partir de un material intercambiador de cationes con cationes de ónio absorbidos en él, que comprende:
(A)
poner en contacto el susodicho material intercambiador de cationes con una solución acuosa de un hidróxido orgánico para formar un hidróxido ónico, y
(B)
recuperar una solución acuosa de hidróxido ónico.
2. El proceso de reivindicación 1, en el que el catión ónico es un catión cuaternario amónico, un catión cuaternario fosfónico, o un catión terciario sulfónico.
3. El proceso de reivindicación 1, en el que el catión ónico es un catión cuaternario amónico.
4. El proceso de la reivindicación 3, en el que el catión cuaternario amónico es caracterizado por la fórmula:
5
en la que R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} son cada uno independientemente grupos alquilos conteniendo desde 1 hasta unos 10 átomos de carbono, hidroxialquilos de grupos alcoxialquilos conteniendo desde 2 hasta unos 10 átomos de carbono, o arilos o grupos hidroxiarilos; o que R^{1} y R^{2} sean grupos alquilos que junto con el átomo de nitrógeno pueden formar un anillo heterocíclico aromático o no-aromático, con tal que si el grupo heterocíclico contiene un -C=N- , R^{3} sea el segundo lazo.
5. El proceso de la reivindicación 4 en el que R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} son grupos alquilos conteniendo de 1 a 5 átomos de carbono.
6. El proceso de la reivindicación 4 en el que R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} son grupos alquilos conteniendo de 1 o 2 átomos de carbono.
7. El proceso de cualquier reivindicación precedente en el que el hidróxido orgánico es seleccionado entre hidróxido sódico, hidróxido potásico e hidróxido de litio.
8. El proceso de cualquier reivindicación precedente en el que los cationes de onio son absorbidos por el material intercambiador de cationes por pasos, incluyendo el contacto de una solución conteniendo compuesto ónico, la cual contiene un cation de onio y un anión, con el material intercambiador de cationes en forma de hidrógeno.
9. El proceso de reivindicación 8 en el que el componente ónico es seleccionado entre hidróxido ónico y sales ónicas.
10. El proceso de reivindicación 9 en el que las sales ónicas son seleccionadas entre bicarbonatos, halides, nitratos, formatos, acetatos, sulfatos, carbonatos y fosfatos.
11. El proceso de la reivindicación 8, en el que el compuesto ónico es una sal cuaternaria de amonio.
12. El proceso de la reivindicación 8, en el que el compuesto ónico es seleccionado entre un hidróxido cuaternario de amonio, un hidróxido cuaternario fosfónico o un hidróxido terciario sulfónico.
13. El proceso de la reivindicación 9, en el que el compuesto ónico es un compuesto cuaternario de amonio.
14. El proceso de la reivindicación 13, en el que el componente cuaternario amónico es caracterizado por la fórmula:
6
en la que R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} son independientemente grupos alquilos conteniendo desde 1 hasta unos 10 átomos de carbono, hidroxialquilos o grupos alcoxialquilos conteniendo de 2 hasta unos 10 átomos de carbono, o arilos o grupos hidroxiarilos; o R^{1} y R^{2} son grupos alquilos los cuales junto con el átomo de hidrógeno pueden formar un anillo heterocíclico aromático o no-aromático con tal que si el grupo heterocíclico contiene un -C=N-, R^{3} sea el segundo lazo; X^{-} es un anión hidróxido o un anión de un ácido; e y es un número igual a la valencia de X.
15. El proceso de la reivindicación 14 en el que X^{-} es un anión de halide, sulfato, fosfato o carbonato.
16. El proceso de la reivindicación 14 en el que X^{-} es un anión de hidróxido.
17. El proceso de la reivindicación 14 en el que R^{1}, R^{2}, R^{3} y R^{4} son grupos alquilos de entre 1 y 4 átomos de carbono, o grupos hidroxialquilos conteniendo de 2 a 5 átomos de carbono.
18. El proceso de la reivindicación 14 en el que el hidróxido orgánico es seleccionado entre hidróxido sódico, hidróxido potásico e hidróxido de litio.
19. El proceso de cualquier reivindicación precedente que además incluye:
(C)
poner en contacto la solución acuosa recuperada en (B) con un material intercambiador de cationes que haya absorbido cationes de onio que son los mismos cationes absorbidos en el material intercambiador de cationes usado en el paso (A), por el cual al menos una porción de cationes del hidróxido inorgánico contenido en la solución son absorbidos por el material intercambiador de cationes, y
(D)
recuperar una solución de hidróxido de onio conteniendo una cantidad reducida de hidróxido inorgánico.
20. El proceso de la reivindicación 19 en el que la solución de hidróxido ónico recuperado en (D) es purificada más aún
(E)
poniendo en contacto la solución de hidróxido ónico recuperado en (D) con un material intercambiador de aniones en forma de hidroxilo y con una columna de material intercambiador de cationes, en la que el catión de onio es el mismo que el cation de onio absorbido en el material intercambiador de cationes en (A), el contacto puede ser por separado, en cualquier orden o como una mezcla de ambos.
21. El proceso de la reivindicación 19, en el que el hidróxido de onio es un hidróxido cuaternario de amonio.
22. El proceso de la reivindicación 21 en el que la solución de hidróxido cuaternario de amonio recuperado en (D) es purificada más aún
(E)
poniendo en la solución de hidróxido cuaternario de amonio recuperado en (D) con un material intercambiador de aniones en forma de hidroxilo y con un material intercambiador de cationes en forma de cuaternario amónico en la que el catión cuaternario amónico es el mismo que el absorbido sobre el material intercambiador de cationes en (A), el contacto puede ser por separado, en cualquier orden o como una mezcla de ambos.
23. El proceso de la reivindicación 20 en el que la solución de hidróxido de onio es puesta en contacto con el material intercambiador de aniones en forma de hidroxilo y posteriormente con la resina intercambiadora de cationes en forma de ión de onio.
24. El proceso de la reivindicación 22 en el que la solución de hidróxido cuaternario de amonio es puesta en contacto con el material intercambiador de aniones en forma de hidroxilo y posteriormente con una resina intercambiadora de cationes en forma de cuaternario amónico.
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