ES2320366T3

ES2320366T3 - Bloque terminal plano para portar un material de pulverizacion ionica de manera giratoria.

Info

Publication number: ES2320366T3
Application number: ES05857644T
Authority: ES
Inventors: Krist Dellaert; Wilmert De Bosscher; Joannes De Boever; Gregory Lapeire
Original assignee: Bekaert Advanced Coatings NV
Current assignee: Soleras Advanced Coatings BV
Priority date: 2004-10-18
Filing date: 2005-10-11
Publication date: 2009-05-21
Anticipated expiration: 2025-10-11
Also published as: DE602005012850D1; EP1799876B1; JP2014194086A; EP1799876A1; ATE423225T1; SI1799876T1; PL1799876T3; US20080105543A1; JP5582681B2; WO2006097152A1; KR20070067139A; JP2008517150A; JP6034830B2; US8562799B2; PT1799876E; DK1799876T3; KR101358820B1

Abstract

Un bloque terminal para portar de manera giratoria un material alrededor de un eje de rotación en un aparato evacuable de pulverización iónica, dicho bloque terminal comprendiendo un subconjunto de al menos dos de los siguientes medios: - un medio de accionamiento que cubre un rango del medio de accionamiento en dicho eje, dicho rango del medio de accionamiento estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de accionamiento en dicho eje, - un medio de contacto eléctrico giratorio que cubre un rango del medio de contacto en dicho eje, dicho rango del medio de contacto estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de contacto en dicho eje, - un número de medios de rodamiento, dichos medios de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de rodamiento en dicho eje, - un número de medios de sello de refrigerante giratorios, dichos medios de sello de refrigerante cubriendo un rango de los medios de sello de refrigerante en dicho eje, dicho rango de los medios de sello refrigerante estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de refrigerante en dicho eje, - un número de medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje, caracterizado porque al menos dos medios de dicho subconjunto de medios están dispuestos de manera radial uno con respecto al otro, de manera que al menos dos rangos correspondientes a dichos al menos dos medios se superpongan uno con respecto al otro en dicho eje.

Description

Bloque terminal plano para portar un material de pulverización iónica de manera giratoria.

Campo de la invención

La invención se refiere a un bloque terminal que es usado para portar un material de pulverización iónica de manera giratoria en un aparato de pulverización iónica. Más en particular se refiere a bloques terminales que son relativamente planos cuando son considerados a lo largo del eje de simetría del material, mientras aún se encuentran alojados en el interior de todos o algunos de los medios necesarios para energizar, enfriar, sellar, soportar y girar el material.

Antecedentes de la invención

La pulverización iónica de material desde un material para cubrir un sustrato se ha convertido en práctica común en un amplio rango de los campos técnicos tales como la fabricación de circuitos integrados, revestimiento con vidrio de área extensa y hoy en día más y más para el revestimiento de pantallas planas. Tal pulverización iónica tiene lugar bajo una atmósfera de presión reducida donde la pulverización iónica o gases reactivos o la mezcla de ambos son admitidos de una manera controlada. Los electrones libres que saltan en un circuito confinado magnéticamente ionizan las moléculas o átomos de gas en la vecindad de la superficie del material. Estos iones son subsecuentemente acelerados hacia el material que está polarizado negativamente, desplazando de esta manera los átomos del material y dándoles suficiente energía cinética para alcanzar el sustrato y revestirlo. La forma del circuito está definida por un arreglo magnético estático, cerca de aquella superficie del material que esta opuesta a la superficie que está siendo tratada con pulverización iónica. Tal proceso de deposición es comúnmente llamado "pulverización iónica con magnetrón" debido a la presencia del arreglo magnético.

Una plétora del aparato ha sido desarrollada, diseñada y construida con una aplicación específica a tener en cuenta. El primero aparato de pulverización iónica con magnetrón más pequeño usó materiales planos estacionarios inicialmente de manera predominante en forma circular (es decir, como la lámina de silicio que fue pulverizada anteriormente). Más tarde también formas rectangulares alargadas para el revestimiento de sustratos grandes que pasan por debajo del material se hicieron disponibles (por ejemplo, como se describió en US 3878085). Tales materiales planos alargados son ahora comúnmente usados en "revestimiento de pantallas" dedicados para la fabricación de pantallas planas como pantallas de cristal líquido (LCD) y pantallas de plasma. Estos materiales planos son usualmente montados en las puertas de acceso del aparato, la superficie del material siendo fácilmente accesible (con puertas abiertas) y expandiendo la longitud de, e incluso extendiéndose sobre el ancho del sustrato. En un revestidor de pantalla el sustrato a ser revestido es mantenido bajo un ángulo de inclinación (7º a 15º) fuera de la vertical y se apoya en un sistema transportador. Como el material debe estar paralelo al sustrato a fin de obtener un revestimiento uniforme, el material debe estar montado bajo el mismo ángulo sustancialmente.

Los materiales estacionarios son fáciles de enfriar y energizar (cuando ellos están estáticos con respecto al aparato), pero tienen la desventaja de que el material es solamente erosionado por debajo lejos del circuito. El tiempo de vida útil del material de esta manera está limitado a ese punto justamente a tiempo antes de que el material sea primero perforado. El problema de la erosión no-uniforme puede ser tratado introduciendo un arreglo de imanes que gira con relación a la superficie del material (tal como, por ejemplo, es introducido en US 4,995,958 para los magnetrones planos circulares) o que se traslada con relación a la superficie del material (tal como, por ejemplo, lo descrito en US 6,322,679 para magnetrones planos alargados). Tales construcciones, aunque alivian el desigual problema de la erosión en buena medida, hace el sistema más complejo.

Los revestidores de áreas extensas para revestir, por ejemplo, vidrio de ventana con todos los tipos de paquetes de revestimientos funcionales están usualmente equipados con un material de pulverización iónica tubular giratorio. En esta aplicación el impulsor económico es el rendimiento a un bajo costo del material y una buena calidad. Los materiales tubulares giratorios son la opción ideal para esto, ya que ellos pueden extenderse a grandes anchos y pueden ser usados durante un largo período de tiempo. La disyuntiva es que el material por si mismo esté girando con relación al aparato y por lo tanto es necesario un "bloque terminal" complejo y que ocupa espacio para soportar, rotar, energizar, enfriar y aislar (refrigerante, aire y electricidad) el material giratorio mientras que sostiene el arreglo de imanes fijado en su interior. Existen dos tipos de arreglos:

\bullet: Bloques terminales dobles de ángulo recto, tal como fue divulgado en US 5,096,562 (fig. 2, fig. 6) y US 2003/0136672 A1 donde los medios para soportar, rotar, energizar, enfriar y aislar (aire, refrigerante y electricidad) se dividen entre dos bloques, situados en cualquiera de los extremos del material. Por ángulo recto es entendido que los bloques terminales están montados en la pared que es paralela al eje de rotación del material. Estos bloques terminales están usualmente montados en la parte inferior de una caja superior que contiene equipos auxiliares. La caja superior con bloques terminales y el material montado puede ser levantada en su totalidad fuera del revestidor de área extensa para una fácil sustitución y reparación del material.

\bullet: Bloques terminales rectos simples, tal como fue divulgado en US 5,200,049 (fig. 1) donde los medios para soportar, rotar, energizar, enfriar y aislar están todos incorporados en un bloque terminal y el material está sostenido en voladizo en el interior del revestidor de área extensa. Por "recto" es entendido que el eje de rotación del material es perpendicular a la pared en la cual está montado el bloque terminal. Los arreglos "semi-voladizos" también están descritos (US 5620577) en que el extremo del material más alejado del bloque terminal está sostenido por un apoyo mecánico (sin ninguna otra funcionalidad incorporada en ese apoyo).

Aunque los materiales giratorios podrían tener muchas ventajas cuando son usados para revestidores de pantallas (aumenta el tiempo de funcionamiento, cercanamente al 100% de empleo del material), el montaje de esos materiales plantea problemas:

\bullet: Uno opta por un bloque terminal de ángulo recto doble o simple que está montado en la puerta. Pero en ese caso una parte sustancial de la longitud de la puerta está ocupada por los bloques terminales, de manera que la longitud utilizable del material no se extiende por la anchura del sustrato.

\bullet: O uno opta por un bloque terminal recto simple, pero en ese caso, es necesaria la modificación radical del revestidor de pantalla que inhibe la introducción de tal bloque terminal.

Uno está de esta manera enfrentado con un problema de restricción dimensional. Una primera solución posible, descrita en WO 2005/005682 A1, reduce el ancho de los bloques terminales incorporando sus funcionalidades dentro del interior del tubo del material. Aunque esta solución es perfectamente posible los inventores buscaron posibilidades adicionales en la reducción del tamaño y llegaron a la invención, que se describe a continuación, que resuelve el problema de restricción dimensional.

Resumen de la invención

Es un objetivo general de la invención reducir o eliminar los problemas asociados con el arte anterior. Es un objeto de la invención hacer los materiales de pulverización iónica giratorios disponibles para revestidores de pantallas, ya sea como equipamiento original o como una modernización a instalaciones existentes. Es un objeto adicional de la invención reducir la longitud del bloque terminal en la dirección del eje de rotación del material, es decir, proporcionar un bloque terminal "plano".

De acuerdo con otro aspecto de la invención, un aparato de pulverización iónica es proporcionado que usa bloques terminales planos.

Mientras pensaban en una solución al problema, llamo la atención de los inventores que todo el arte anterior, tal como US 5096562, US 5200049, US 2003/0173217, hasta la fecha se han montaba los diferentes medios para soportar, rotar, energizar, enfriar y aislar (aire, refrigerante y electricidad), con precisión uno detrás de otro a lo largo del eje de rotación del tubo del material en el interior de un bloque terminal. El pensamiento fuera de la caja los llevó al principio básico de poner estos medios sustancialmente radiales uno con respecto a otro, con el fin de ahorrar espacio en la dirección del eje de rotación. Esta nueva forma de diseñar bloques terminales está descrita en las reivindicaciones adjuntas que serán explicadas ahora con más detalle.

Un primer aspecto de la invención se refiere al bloque terminal con la combinación de características de la reivindicación 1. Las características específicas para realizaciones preferidas del bloque terminal de la invención se exponen en las reivindicaciones dependientes de la 2 a la 21.

Un bloque terminal es reivindicado. Tal bloque terminal enlaza el material de pulverización iónica en el aparato de pulverización iónica con el exterior del aparato de pulverización iónica. Tal bloque terminal puede ser montado preferiblemente como una única unidad en un aparato de pulverización iónica, aunque un bloque terminal integrado por paredes podría ser previsto también. Dentro de un bloque terminal la presión es más alta que en el aparato evacuable, preferiblemente la presión es atmosférica. Los medios que son desmontables con el tubo del material o la barra de imanes desmontable son considerados como que no pertenecen al bloque terminal. La función primaria del bloque terminal es portar y girar el material alrededor de un eje de rotación. Cuando la pulverización iónica es ejecutada bajo una presión de gas baja, el bloque terminal debe ser hermético al gas en todo momento y sin duda cuando está girando. Cuando la pulverización iónica del material genera mucho calor en la superficie del material, el material debe ser enfriado lo cual es normalmente hecho con agua u otro refrigerante apropiado. Este refrigerante debe ser alimentado y evacuado a través del bloque terminal. Además el material debe ser alimentado con una corriente eléctrica a fin de mantener el material por encima de un cierto potencial eléctrico. De nuevo esta corriente eléctrica debe pasar a través del
bloque terminal. A fin de incorporar todas estas funciones, un bloque terminal puede comprender diferentes medios:

A.): Un medio de accionamiento para hacer girar el material. Preferiblemente esto se hace por medio de un sistema de engranaje de espiral, o un sistema de engranaje-engranaje cilíndrico o un sistema de engranaje-engranaje cónico de eje transversal, o un sistema de polea y correa, o cualquier otro medio conocido en el arte para hacer girar el material. Cualquier tipo de medio de accionamiento ocupará un cierto rango en el eje de rotación. El rango del medio de accionamiento está definido por el intervalo en el eje de rotación entre los dos puntos de intersección de dos planos que son perpendiculares a ese eje de rotación, los planos que limitan la polea o engranaje de accionamiento que giran a la misma velocidad rotacional que el material. En el caso de un engranaje estos planos definen el mayor ancho de la rueda dentada. En el caso de una polea estos planos definen el ancho de la polea.

B.): Un medio de contacto eléctrico giratorio para proporcionar corriente eléctrica al material. Esto es preferiblemente logrado por medio de un conmutador eléctrico equipado con escobillas que están en contacto deslizante con un anillo conmutador. En lugar de un arreglo de escobilla y anillo, también se pueden usar dos anillos deslizantes uno contra otro, o un tipo de correa de conducción de conexión puede ser usada tal como una correa metálica. Esta última solución combina convenientemente los medios de accionamiento radiales con el medio de contacto eléctrico. En cualquier caso este medio de contacto eléctrico giratorio ocupará un cierto rango en el eje de rotación, un rango que puede de nuevo ser definido por los puntos de intersección de dos planos con el eje de rotación, los planos siendo perpendiculares al eje de rotación.

C.): Un número de medios de rodamiento. Dependiendo del peso del material, más de un medio de rodamiento puede ser necesario. El experto en el arte fácilmente seleccionará que tipo de rodamientos que sean apropiados de los diferentes tipos conocidos tales como rodamiento de bolas, rodamiento de rodillos, rodamiento liso, rodamiento axial o de cualquier otro tipo conocido en el arte. Como puede haber un número de medios de rodamiento necesarios, cada uno de ellos definirá un rango de los medios de rodamiento en el eje de rotación. De nuevo, un rango de los medios de rodamiento está definido como el intervalo entre los puntos de intersección en el eje de rotación de dos planos perpendiculares al eje de rotación que limitan los medios de rodamiento.

D.): Un número de medios de sello de refrigerante giratorios. Estos sellos de refrigerante garantizan que el refrigerante no se fugue al bloque terminal o, peor aún, hacia el aparato de vacío mientras las partes fijas y giratorias del bloque terminal giran unas con respecto a las otras. A fin de reducir este riesgo, un número de sellos de refrigerante son introducidos en cascada. Un detector de refrigerante es a veces introducido entre el sello primario y el secundario a fin de detectar fugas, y permitir el apagado controlado de la máquina. Típicamente son usados sellos de reborde como sellos de refrigerante ya que son bien conocidos en el arte. Sin embargo, otros tipos, sin ser exhaustivos, de sellos tales como sellos de cara mecánicos o sellos de laberinto no son excluidos. Como antes, cada medio de sello de refrigerante define un rango de los medios de sello de refrigerante entre los puntos de intersección con el eje de rotación de dos planos paralelos que delimitan el sello de refrigerante y son perpendiculares al eje de rotación.

E.): Finalmente es necesario un número de medios de sello de vacío giratorios. Estos sellos de vacío aseguran la integridad del vacío mientras las partes fijas y giratorias del bloque terminal giran unas con respecto a las otras. Una serie en cascada de sellos de vacío, que protegen el vacío de manera progresiva, es preferida a fin de reducir el riesgo de tener una fuga de vacío. De nuevo diferentes sellos son conocidos entre los cuales el sello de reborde es el más popular aunque otros tipos nuevos de sellos, tales como los sellos ferrofluídicos, por supuesto pueden ser usados también. Asimismo, cada medio de sello de vacío define un rango del medio de sello de vacío que cubre el intervalo entre dos puntos definidos por la intersección de dos planos paralelos que son perpendiculares al eje de rotación y que delimitan el sello de vacío.

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Aparte de lo anterior, el bloque terminal también tendrá algunos medios para sostener el arreglo magnético, que se introduce en el tubo del material antes de montarlo en el bloque terminal, en una posición estacionaria, mientras que el tubo del material gira alrededor de él. En el otro extremo del arreglo de imanes, un medio de rodamiento usualmente sostiene el arreglo centrado con respecto al tubo del material.

El bloque terminal de la invención comprende al menos dos de los cinco medios identificados anteriormente (A, B, C, D y E). Por lo tanto, el bloque terminal de la invención puede comprender un subconjunto de esos medios siempre que haya dos o más de ellos en el subconjunto mientras que los otros medios son incorporados en otro bloque terminal (esto agrega hasta exactamente 14 subconjuntos tecnológicamente significativos). El conjunto de todos los cinco medios está también considerado como un subconjunto.

La idea básica de montar esos diferentes medios de manera radial en lugar de longitudinalmente (uno tras otro) puede ahora ser expresada convenientemente con la parte caracterizante de de la reivindicación 1. Dos medios están considerados para ser montados de manera radial uno con respecto al otro cuando los dos rangos que se corresponden con esos medios se superponen uno con otro en el eje de rotación. La superposición entre los rangos puede ser parcial, es decir, cuando ambos rangos solamente tienen una parte en común. O puede ser completa, en cuyo caso uno de los medios es completamente cubierto, ya sea radialmente hacia adentro o radialmente hacia afuera por otros medios. En el bloque terminal de la invención, al menos dos medios se superponen uno con respecto a otro. No se excluye de esta manera que más de un par de medios de superposición estén presentes, por ejemplo, que dos pares de medios de superposición existan dentro de un bloque terminal simple (lo cual implica, por supuesto, que tres medios deben estar presentes en el bloque terminal). Esto también, no excluye que tres medios se superpongan unos con respecto a los otros (lo cual es equivalente a superposiciones en forma de tres pares). El experto en el arte fácilmente se dará cuenta que construir más medios radiales, el máximo siendo por supuesto cinco, puede reducir adicionalmente la longitud axial del bloque terminal.

En las reivindicaciones dependientes de la 2 a la 9, particularmente los subconjuntos útiles de los medios comprendidos en un bloque terminal son reivindicados donde cada vez al menos dos medios diferentes están montados de manera radial uno con respecto al otro.

En una primera realización preferida, reivindicación 2, el medio de accionamiento (A), el medio de contacto eléctrico (B) y el medio de sello de refrigerante (D) están combinados en un bloque terminal simple (otros medios siendo implementados en, por ejemplo, el bloque terminal en el otro extremo del material). Con esta combinación preferida los medios mínimos para tener todas las interconexiones (refrigerante, electricidad, movimiento) a través de un bloque terminal simple están presentes. Al menos dos de los medios mencionados deben superponerse uno con respecto al otro.

Un segundo subconjunto preferido, reivindicación 3, comprende el medio de accionamiento (A), el medio de rodamiento (C) y el medio de sello de vacío (E) en un bloque terminal simple (el otro bloque debe entonces acomodarse para los medios restantes). Tal bloque se describió en US 2003/0136672, fig. 3. De nuevo, al menos dos medios deben superponerse para tener un bloque terminal de acuerdo con la invención. Más pares de medios de superposición no están excluidos.

En un tercer subconjunto reivindicado, reivindicación 4, el bloque terminal aloja de manera compacta el medio de contacto eléctrico giratorio (B), el medio de rodamiento (C) y el medio de sello de vacío (E). Al menos dos de los medios deben superponerse, más superposiciones, por supuesto, no están excluidas.

Un cuarto subconjunto, reivindicación 5, incorpora el medio de rodamiento (C), el medio de sello de refrigerante giratorio (D) y el medio de sello de vacío giratorio (E) en un bloque terminal simple (una combinación representada, por ejemplo, en US 5096562, fig. 6, bloque izquierdo). El concepto inventivo requiere que al menos dos, y posiblemente más, de estos deben superponerse en forma de pares.

Un quinto subconjunto, reivindicación 6, incorpora cuatro medios, específicamente, el medio de accionamiento (A), el medio de rodamiento (C), el medios de sello de refrigerante giratorio (D) y el medios de sello de vacío giratorio (E) dentro de un bloque terminal simple (muy parecida a US 5096562, fig. 2, bloque izquierdo). El bloque terminal de la invención tiene al menos dos de los cuatro medios en una posición de superposición, más pares de medios de superposición son posibles también.

Un sexto subconjunto, reivindicación 7, realiza un medio de accionamiento (A), un medio de contacto eléctrico giratorio (B), un medio de rodamiento (C) y un medio de sello de vacío giratorio (E) en un bloque terminal simple (ver US 5096562, Fig. 6, bloque derecho). De nuevo en el bloque terminal de la invención, al menos dos de los medios están montados de manera radial y superponiéndose. Asimismo más pares de medios de superposición son
posibles.

Un séptimo subconjunto, reivindicación 8, comprende el contacto eléctrico giratorio (B), el medio de rodamiento (C), el sello de refrigerante giratorio (D) y el sello de vacío giratorio (E) en un bloque terminal (como en US 2003/0136672 fig. 6). De acuerdo con el concepto inventivo al menos dos de los cuatro medios deben estar situados en una posición de superposición. Sin embargo, más pares de medios de superposición son igualmente posibles, siendo el máximo seis. Finalmente un octavo subconjunto como es reivindicado en la reivindicación 9 comprende todos los medios, el medio de accionamiento (A), el medio de contacto eléctrico giratorio (B), el medio de rodamiento (C), el medio de sello de refrigerante (D) y el medio de sello de vacío (E), en un bloque terminal simple (fig. 1 de US 5200049). No se excluye que el otro extremo este sostenido por un medio de rodamiento. Al menos dos los medios deben estar dispuestos de manera radial de acuerdo con el concepto inventivo, pero se aplica igualmente si más pares de medios de superposición están presentes.

La superposición de dos funcionalidades es descrita además en las reivindicaciones dependientes de la 10 a la 19. Todas las combinaciones pueden depender de la reivindicación 1. Para algunos subconjuntos de medios, sólo un número de pares de superposición son posibles. En una primera combinación preferida, al menos el rango del medio de accionamiento y el rango del medio de contacto eléctrico se superponen (reivindicación 10). En una segunda combinación (reivindicación 11), el medio de accionamiento y el medio de rodamiento están montados de manera radial uno con respecto al otro. La reivindicación 12 describe una realización compacta preferida donde el medio de accionamiento está dispuesto de manera radial con respecto al sello de refrigerante. Alternativamente, el sello de vacío, puede estar montado de manera radial con respecto al medio de accionamiento (reivindicación 13). Las reivindicaciones 14, 15 y 16 definen combinaciones preferidas donde uno de los grupos que consiste en el medio de rodamiento, el sello de refrigerante y el sello de vacío está situado de manera radial al medio de contacto eléctrico: realizaciones compactas que son fáciles de implementar. Una combinación del medio de rodamiento y el medio de refrigerante montados de manera radial (reivindicación 17) o el medio de rodamiento y el medio de sello de vacío (reivindicación 18) es bastante fácil de implementar y de esta manera preferida compactar el bloque terminal. Lo mismo se aplica a la combinación radial del medio de sello de refrigerante y el medio de sello de vacío (reivindicación 19).

De nuevo: las combinaciones como son definidas en las reivindicaciones de la 10 a la 19 no excluyen la posibilidad de más de una superposición de pares de medios en un bloque terminal simple. Incluso más superposiciones son posibles en un bloque terminal simple, por ejemplo tres medios dispuestos de manera radial unos con respecto a los otros. Efectivamente, es perfectamente posible, por ejemplo, montar el medio de rodamiento, el medio de contacto eléctrico y el sellador de refrigerante de manera radial unos con respecto a los otros como será demostrado en las realizaciones.

El bloque terminal de acuerdo con la invención puede ser del tipo de ángulo recto (reivindicación 20) donde el eje de rotación del material es paralelo a la pared en la cual está montado el bloque terminal. O puede ser del tipo recto (reivindicación 21), es decir, donde el eje de rotación del material es perpendicular a la pared.

Un segundo aspecto de la invención se refiere al aparato de pulverización iónica usando el bloque terminal de la invención de acuerdo con las características de la reivindicación 22. Las características específicas para los montajes preferidos del bloque terminal en el aparato de pulverización iónica están definidas en las reivindicaciones dependientes de la 23 a la 24.

Como se explicó en los objetos de la invención, el bloque terminal de acuerdo con la invención está particularmente destinado, sin estar limitado a ello, a ser montado dentro de un aparato de pulverización iónica tal como un revestidor de pantalla. Tal aparato de pulverización iónica tiene un espacio evacuable delimitado por paredes. El aparato de pulverización con el bloque terminal o bloques terminales de la invención situados en una de estas paredes es particularmente reivindicado (reivindicación 22). Más preferido es que el(los) bloque(s) terminal(s) esté(n) montado(s)
en una pared desmontable de la cámara para facilitar el mantenimiento (reivindicación 23). Lo más preferido es que el(los) bloque(s) terminal(s) esté(n) montado(s) sobre una puerta de acceso (reivindicación 24).

Breve descripción de los dibujos

La invención será ahora descrita en más detalle con referencia a los dibujos acompañantes donde

- la Figura 1A muestra una vista en perspectiva esquemática de un revestidor de pantalla

- la Figura 1B muestra una sección transversal esquemática de un revestidor de pantalla perpendicular a la dirección en que viaja el sustrato

- la Figura 2 muestra una realización esquemática de un bloque terminal que incorpora todos los medios necesarios y que tiene un alto grado de superposiciones.

- la Figura 3 muestra una sección transversal del diseño donde el medio de contacto eléctrico giratorio se superpone al medio de sello de refrigerante y parcialmente se superpone al medio de rodamiento.

- la Figura 4 muestra una sección transversal del diseño donde el medio de accionamiento se superpone al medio de contacto eléctrico giratorio que a su vez se superpone al medio de sello de refrigerante primario, el medio de accionamiento también superponiéndose al medio de rodamiento.

Descripción de las realizaciones preferidas de la invención

La Figura 1A y B, son ilustrativas al problema que resuelve la invención.

La Figura 1A representa esquemáticamente un aparato de pulverización iónica abierto 10, que está sustancialmente orientado de manera vertical como normalmente están los revestidores de pantallas.

La Figura 1B muestra una sección transversal del mismo aparato 10 con la puerta cerrada. Tal aparato 10 comprende una cámara 100 evacuable. Tal cámara 100 puede ser parte de una línea de producción que puede estar interconectada a través de las cerraduras 101 que permiten a la cámara 100 estar aislada del resto de la línea. En la cámara 100, los sustratos 102 son transportados secuencialmente por medio de un sistema transportador 104. Los sustratos 102 son reclinados bajo un ángulo de inclinación en una serie de rodillos 105. La puerta 106 de la cámara 100 sostiene uno, dos o más materiales giratorios 108, 108'. Al cerrarse la puerta (Figura 1B) los materiales 108, 108' quedan paralelos al sustrato 102. Cada uno de los materiales 108, 108' está sostenido en la puerta por medio de dos bloque terminales 110, 112 (para 108) y 110', 112' (para 108'). Un bloque terminal 110, 112 es el conector entre el material giratorio 108 y la cámara estacionaria. Su función primaria es permitirle al material 108 girar alrededor de su eje de rotación 111. Dentro del bloque terminal no hay régimen de baja presión, es decir, por preferencia hay presión atmosférica. Los diferentes medios (A, B, C, D y E) deben ser incorporados en un bloque terminal simple (ya sea el inferior 110, o el superior 112) o distribuidos sobre dos bloques terminales 110, 112, a ambos extremos del material. Los medios que son incorporados en el parte de baja presión del aparato no se consideran que son partes de los medios de un bloque terminal. En el caso de un bloque terminal simple, por ejemplo, un pasador de centrado montado en la puerta 106 en el extremo del material opuesto al extremo del material que está conectado al bloque terminal no se considera que es un bloque terminal. A través del movimiento giratorio del bloque terminal 120, el refrigerante 124 y la corriente del material 122 son alimentados al material.

La Figura 2 muestra un dibujo esquemático de una primera realización preferida de un bloque terminal de acuerdo con la invención. El bloque terminal 200 incorpora todos los medios (A, B, C, D y E) dentro de un alojamiento simple 201. Este es del tipo de ángulo recto y puede se montado en la pared o en la puerta 202 por un revestidor que sostiene el extremo superior del material 220. El material 220 es capaz de girar alrededor de su eje de rotación 222. El material 220 está conectado a un anillo sostenedor 226 por medio del conector 224. El tubo refrigerante del material 230, que porta la barra de imanes no mostrada, está conectado a través del tubo de alimentación de refrigerante 228 a través de un conector 232. El tubo de alimentación de refrigerante 228 está atado firme y fijamente al alojamiento del bloque terminal 201. El refrigerante se alimenta a través de la alimentación de refrigerante 234 dentro del tubo de refrigerante 228. El refrigerante se recolecta en un recolector de refrigerante estacionario 229, coaxial al tubo de refrigerante 228 y es extraído a través del tubo 236.

El material 220 es accionado giratoriamente por la rueda dentada 204 a través del anillo sostenedor 226 de esta manera se proporciona un medio de accionamiento (A). Los dientes del engranaje engranan con un eje espiral 205 que a su vez es accionado, por ejemplo, por un motor eléctrico (no mostrado). Un anillo de montaje 207 sostiene un rodamiento axial 208 que funciona como un medio de rodamiento (C). Un medio de contacto eléctrico giratorio (B) es proporcionado por una serie de escobillas 206 montadas como segmentos anulares coaxiales al eje de rotación 222. Estos escobillas 206 están montadas en resortes en un anillo eléctricamente conductor 290 y se deslizan contra un anillo deslizante 203. Las escobillas 206 reciben corriente eléctrica a través del anillo conductor 290 que a su vez es alimentado por el conductor eléctrico 209. El anillo deslizante 203 está en contacto eléctrico con el material 220 a través del engranaje 204 y el anillo sostenedor 226. Dos medios de sello de vacío giratorio (E) son proporcionados por el sello de reborde 212. El medio de sello de refrigerante giratorio (D) está incorporado mediante el sello de refrigerante 210 que es un sello de laberinto. El sello de refrigerante 210 está montado entre el anillo sostenedor 226 y el recolector de refrigerante 229.

Cada uno de los medios anteriores ocupa cierta longitud a lo largo del eje de rotación. Por ejemplo, el ancho de la rueda dentada 204 ocupa un rango "a" como se indica en la Figura 2. El rango "a" está definido como aquel intervalo en el eje de rotación formado por los puntos de intersección de dos planos que delimitan la rueda dentada 204 y son perpendiculares al eje de rotación con el mismo eje de rotación. Asimismo, los otros medios ocuparan un cierto rango en el eje de rotación:

\bullet: El medio de contacto eléctrico giratorio (B) ocupa un rango "b" que es tan amplio como el ancho axial de las escobillas 206, y los anillos 203, 290.

\bullet: El medio de rodamiento (C) ocupa un rango "c" cubierto por el rodamiento 208.

\bullet: El medio de sello de refrigerante (D) ocupa un rango "d" que corresponde al sello de refrigerante 210.

\bullet: El medio de sello de vacío (E) cubre dos rangos "e1" y "e2" en el eje de rotación, ya que hay dos sellos de vacío 212.

: Uno consigue, en línea con el concepto inventivo, la siguiente superposición de rangos (Tabla 1):

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TABLA 1

1

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donde "P" denota una superposición Parcial y "F" denota una superposición Total. Una celda vacía indica que no hay superposición en absoluto. El experto en el arte apreciará fácilmente que el arreglo anterior conduce a un bloque terminal que no toma mucho espacio a lo largo del eje longitudinal de rotación.

La Figura 3 muestra un dibujo de ingeniería que incorpora las características del bloque terminal de la invención. Tal dibujo detallado posibilita al experto en el arte fabricar el bloque terminal. A fin de no sobrecargar la divulgación, las partes de las cuales la función es evidente no serán identificadas o denominadas. Una parte como los medios de fijación, tal como tornillos, pernos o similares, o el medio de sellado estacionario, tal como anillos O, serán fácilmente reconocidos por el experto en el arte en el dibujo.

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El bloque terminal de la invención 300 porta un (parcialmente mostrada) material 302 alrededor de un eje de rotación 304. El material 302 está fijado de manera desmontable al bloque terminal a través del anillo de montaje 303. El anillo de montaje está unido a una pieza intermedia giratoria 311. El bloque terminal 300 está unido a la pared 306 de una instalación de pulverización iónica. El bloque terminal tiene cavidades para alimentar 305 y extraer el refrigerante 307, las flechas indican la dirección del flujo del refrigerante. La barra de imanes (no mostrada) está sostenida de manera estacionaria a través de un conector 309 que bloquea tangencialmente en el tubo interior 308 que está conectado fijamente en el interior del bloque terminal 300.

El material 302 está accionado por un par de engranajes cónicos de eje transversal 310-312 a través del cual el engranaje 312 es accionado por un motor eléctrico (no mostrado) a través del eje 314. El engranaje principal 310 está fijo al material 302 a través de la pieza intermedia giratoria 311. También unido a la pieza intermedia 311 está un anillo conmutador 320 que consta de seis escobillas 322 que están distribuidas en forma de segmentos sobre la circunferencia del anillo 320. Las escobillas 322 se deslizan contra el interior del anillo de contacto estacionario 324. El material 302 recibe, por lo tanto, su corriente de la fuente de corriente (no mostrada) a través de los conductores (no mostrados), el anillo de contacto 324, las escobillas 322, el anillo conmutador 320 y la pieza intermedia 311. El material es portado de manera giratoria por dos rodamientos: un rodamiento de bolas 332 y un rodamiento de aguja 330. El refrigerante es mantenido en el circuito por dos sellos de reborde giratorios: el sello primario 342 y el sello secundario 340. La integridad del vacío del bloque terminal está garantizada a través de dos sellos de reborde giratorios 350 y 352.

De nuevo los diferentes rangos asociados con estos medios pueden ser identificados. Ellos se resumen en la Tabla 2. Las letras pequeñas se refieren a los rangos como los indicados en la Figura 3.

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TABLA 2

2

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Aquí se ha usado el mismo significado que en la Tabla 1 para las letras P, F y la celda vacía igualmente denota la ausencia de una superposición. Estará claro de la tabla que, aunque los diferentes medios solamente muestran un pequeño grado de superposición, el bloque terminal de la Figura 3 aún cae dentro del mismo concepto inventivo de montaje de los medios de manera radial unos con respecto a los otros.

La Figura 4 muestra una tercera realización preferida de la invención. El bloque terminal 400 es proporcionado con un anillo conector 403 para conectar fijamente pero de manera desmontable el tubo del material (no mostrado) con la pestaña receptora del material 401. El tubo del material (no mostrado) es girado por la pestaña 401 alrededor del eje de rotación 404. El material es alimentado con refrigerante (no mostrado) a través de un cuerpo interno aislado eléctricamente 408. El extremo del cuerpo interno 408 es proporcionado con un accesorio 409 que engrana con el inserto de la barra de imanes (no mostrado) que sostiene la barra de imanes estacionaria con respecto al material giratorio. El refrigerante sigue la dirección de las flechas. El bloque terminal 400 es para ser montado en la pared 406 del aparato de pulverización iónica.

El material (no mostrado) es accionado por una correa dentada 412 que engrana con una rueda dentada 410. Esta rueda dentada se conecta a la pestaña receptora del material 401 a través de la pieza intermedia 405. En el interior de esta rueda dentada 410, está provisto un conmutador estacionario 420 fijado a un electrodo de conexión 421 que está incrustado en el cuerpo interior 408. El conmutador está provisto con seis escobillas 422, cada uno cubriendo un segmento de la circunferencia del conmutador 420. Las escobillas están montadas en resortes y se deslizan contra el anillo interior 424 fijado en el interior de la rueda dentada 410. La corriente de esta manera sigue la siguiente trayectoria desde la fuente de corriente (no mostrada) al material (no mostrado): el electrodo 421, el anillo conmutador estacionario 420, las escobillas estacionarias 422, el anillo giratorio 424, la rueda dentada 410, la pieza intermedia 405, la pestaña receptora del material 401. Un rodamiento de aguja 430 y un rodamiento de bolas grande 432 proporcionan los medios de rodamiento necesarios. Un casete de sello mecánico 443 proporciona un primer sello de refrigerante. Tal casete tiene dos anillos de igual diámetro que están axialmente presionados uno con respecto al otro. Las superficies de contacto están pulidas precisamente para que no pueda escapar el refrigerante a través de las superficies de contacto 442. Un lado del casete de sello mecánico 443 está bloqueado tangencialmente en la posición por medio de los pasadores 441, 441'. El anillo de carburo de tungsteno situado de frente 444 encaja herméticamente con la pieza intermedia giratoria 405 y es sellado al flujo de refrigerante por medio de dos anillos O estacionarios. Un sello de reborde secundario 440 asegura adicionalmente la integridad del circuito de refrigerante. La integridad del vacío está garantizada a través del sello de reborde de vacío primario 450' y el sello de reborde secundario 450.

De nuevo una tabla, tabla 3, puede ser elaborada que resume las regiones de superposición de este diseño. Los diversos rangos empleados en el eje de rotación por los diferentes medios se identifican en letras pequeñas, a, b, c1, c2, d1, d2, e1, e2, en la Figura 4.

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TABLA 3

3

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Esta tercera realización, por consiguiente, realiza claramente el concepto inventivo presentado por los inventores.

Las realizaciones descritas anteriormente tienen todos los medios necesarios incorporados en un bloque terminal simple. El otro extremo del bloque terminal puede de esta manera ser liberado o mantenido centrado por medio de un pasador de centrado conectado a la misma pared que la pared sobre la que está montado el bloque terminal.

El experto en el arte tendrá poca dificultad para redistribuir los medios necesarios para hacer que el aparato funcione sobre dos bloques terminales, uno en cada extremo del material, tomando estas realizaciones preferidas y eliminando de ellas medios específicos. Se entenderá fácilmente que, siempre que estas realizaciones enmendadas muestren medios de superposición, estas caerán dentro del alcance de la invención.

Asimismo todos los bloque terminales descritos son del tipo de ángulo recto, es decir, el eje de rotación es paralelo a la pared sobre la que está montado el bloque terminal. El experto en el arte tendrá poca dificultad para convertir estos tipos de ángulo recto a los tipos rectos, es decir, los bloques terminales donde el eje de rotación es perpendicular a la pared sobre la que está montado el bloque terminal. Por ejemplo, la realización de la Figura 4 puede ser adaptada fácilmente por alargamiento de la pieza intermedia 405 de modo que suficiente espacio esté disponible para montar el bloque terminal con el material orientado de frente a la pared del aparato de pulverización iónica (con la introducción de los anillos o necesarios y medios de fijación).

Claims

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1. Un bloque terminal para portar de manera giratoria un material alrededor de un eje de rotación en un aparato evacuable de pulverización iónica, dicho bloque terminal comprendiendo un subconjunto de al menos dos de los siguientes medios:

\bullet

un medio de accionamiento que cubre un rango del medio de accionamiento en dicho eje, dicho rango del medio de accionamiento estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de accionamiento en dicho eje,

\bullet

un medio de contacto eléctrico giratorio que cubre un rango del medio de contacto en dicho eje, dicho rango del medio de contacto estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de contacto en dicho eje,

\bullet

un número de medios de rodamiento, dichos medios de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de rodamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de refrigerante giratorios, dichos medios de sello de refrigerante cubriendo un rango de los medios de sello de refrigerante en dicho eje, dicho rango de los medios de sello refrigerante estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de refrigerante en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje,

caracterizado porque

al menos dos medios de dicho subconjunto de medios están dispuestos de manera radial uno con respecto al otro, de manera que al menos dos rangos correspondientes a dichos al menos dos medios se superpongan uno con respecto al otro en dicho eje.
2. El bloque terminal de acuerdo con la reivindicación 1 donde dicho subconjunto comprende los siguientes medios:

\bullet

un medio de accionamiento que cubre un rango del medio de accionamiento en dicho eje, dicho rango del medio de accionamiento estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de accionamiento en dicho eje,

\bullet

un medio de contacto eléctrico giratorio que cubre un rango del medio de contacto en dicho eje, dicho rango del medio de contacto estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de contacto en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de refrigerante giratorios, dichos medios de sello de refrigerante cubriendo un rango de los medios de sello de refrigerante en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de refrigerante estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de refrigerante en dicho eje.
3. El bloque terminal de acuerdo con la reivindicación 1 donde dicho subconjunto comprende los siguientes medios:

\bullet

un medio de accionamiento que cubre un rango del medio de accionamiento en dicho eje, dicho rango del medio de accionamiento estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de accionamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de rodamiento, dichos medio de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de rodamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje.
4. El bloque terminal de acuerdo con la reivindicación 1 donde dicho subconjunto comprende los siguientes medios:

\bullet

un medio de contacto eléctrico giratorio que cubre un rango del medio de contacto en dicho eje, dicho rango del medio de contacto estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de contacto en dicho eje,
```
\global\parskip1.000000\baselineskip
```
\bullet

un número de medios de rodamiento, dichos medios de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de rodamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje.
5. El bloque terminal de acuerdo con la reivindicación 1 donde dicho subconjunto comprende los siguientes medios:

\bullet

un número de medios de rodamiento, dichos medios de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de rodamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de refrigerante giratorios, dichos medios de sello de refrigerante cubriendo un rango de los medios de sello refrigerante en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de refrigerante estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de sello refrigerante en dicho eje,

\bullet

un número de los medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje.
6. El bloque terminal de acuerdo con la reivindicación 1 donde dicho subconjunto comprende los siguientes medios:

\bullet

un medio de accionamiento que cubre un rango del medio de accionamiento en dicho eje, dicho rango del medio de accionamiento estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de accionamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de rodamiento, dichos medios de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de rodamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de refrigerante giratorios, dichos medios de sello de refrigerante cubriendo un rango de los medios de sello refrigerante en dicho eje, dicho rango de los medios de sello refrigerante estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de refrigerante en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje.
7. El bloque terminal de acuerdo con la reivindicación 1 donde dicho subconjunto comprende los siguientes medios:

\bullet

un medio de accionamiento que cubre un rango del medio de accionamiento en dicho eje, dicho rango del medio de accionamiento estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de accionamiento en dicho eje,

\bullet

un medio de contacto eléctrico giratorio que cubre un rango del medio de contacto en dicho eje, dicho rango del medio de contacto estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de contacto en dicho eje,

\bullet

un número de medios de rodamiento, dichos medios de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de rodamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje.
8. El bloque terminal de acuerdo con la reivindicación 1 donde dicho subconjunto comprende los siguientes medios:

\bullet

un medio de contacto eléctrico giratorio que cubre un rango del medio de contacto en dicho eje, dicho rango del medio de contacto estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de contacto en dicho eje,

\bullet

un número de medios de rodamiento, dichos medios de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de rodamiento en dicho eje

\bullet

un número de medios de sello de refrigerante giratorios, dichos medios de sello de refrigerante cubriendo un rango de los medios de sello de refrigerante en dicho eje, dicho rango de los medios de sello refrigerante estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello refrigerante en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje.
9. El bloque terminal de acuerdo con la reivindicación 1 donde dicho subconjunto comprende los siguientes medios:

\bullet

un medio de accionamiento que cubre un rango del medio de accionamiento en dicho eje, dicho rango del medio de accionamiento estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de accionamiento en dicho eje,

\bullet

un medio de contacto eléctrico giratorio que cubre un rango del medio de contacto en dicho eje, dicho rango del medio de contacto estando definido como la proyección perpendicular de dicho medio de contacto en dicho eje,

\bullet

un número de medios de rodamiento, dichos medios de rodamiento cubriendo un rango de los medios de rodamiento en dicho eje, dicho rango de los medios de rodamiento estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de rodamiento en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de refrigerante giratorios, dichos medios de sello de refrigerante cubriendo un rango de los medios de sello de refrigerante en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de refrigerante estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de refrigerante en dicho eje,

\bullet

un número de medios de sello de vacío giratorios, dichos medios de sello de vacío cubriendo un rango de los medios de sello de vacío en dicho eje, dicho rango de los medios de sello de vacío estando definido como la proyección perpendicular de dichos medios de sello de vacío en dicho eje.
10. El bloque terminal de cuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 2, 7 ó 9 donde dicho rango del medio de accionamiento se superpone con dicho rango del medio de contacto.
11. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 3, 6, 7 ó 9 donde dicho rango del medio de accionamiento se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de rodamiento.
12. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 2, 6, ó 9 donde dicho rango del medio de accionamiento se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de sello de refrigerante.
13. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 3, 6, 7, ó 9 donde dicho rango del medio de accionamiento se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de sello de vacío.
14. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 4, 7, 8 ó 9 donde dicho rango del medio de contacto se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de rodamiento.
15. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 2, 8 ó 9 donde dicho rango del medio de contacto se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de sello de refrigerante.
16. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 4, 7, 8 ó 9 donde dicho rango del medio de contacto se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de sello de vacío.
17. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 5, 6, 8 ó 9 donde al menos uno de dichos rangos de los medios de rodamiento se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de sello de refrigerante.
18. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 3, 4, 5, 6, 7, 8 ó 9 donde al menos uno de dichos rangos de los medios de rodamiento se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de sello de vacío.
19. El bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1, 3, 4, 5, 7 u 8 donde al menos uno de dichos rangos de los medios de sello de refrigerante se superpone con al menos uno de dichos rangos de los medios de sello de vacío.
20. Un bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones de la 1 a la 19, dicho bloque terminal para portar un material de manera giratoria, dicho material teniendo un eje de rotación, dicho bloque terminal para montarse en una pared de un aparato de pulverización iónica, dicho bloque terminal estando además caracterizado porque dicho eje de rotación es sustancialmente paralelo a dicha pared.
21. Un bloque terminal de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones de la 1 a la 19, dicho bloque terminal para portar un material de manera giratoria, dicho material teniendo un eje de rotación, dicho bloque terminal para montarse en una pared de un aparato de pulverización iónica, dicho bloque terminal estando además caracterizado porque dicho eje de rotación es sustancialmente perpendicular a dicha pared.
22. Un aparato de pulverización iónica que comprende paredes para proporcionar un espacio evacuable, dicho aparato además comprendiendo un bloque terminal montable en una de dichas paredes, dicho bloque terminal teniendo las características de cualquiera de las reivindicaciones de la 1 a la 21.
23. Un aparato de pulverización iónica como en la reivindicación 22 donde dicha pared en la cual dicho bloque terminal es montado es desmontable.
24. Un aparato de pulverización iónica como en la reivindicación 23 donde dicha pared desmontable está abisagrada a dicho aparato.