FR1256290A - Procédé et appareil pour la fabrication de silicium très pur - Google Patents

Procédé et appareil pour la fabrication de silicium très pur

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR2572312A1 (fr) * 1984-10-30 1986-05-02 Rhone Poulenc Spec Chim Procede de fabrication de barreaux de silicium ultra-pur

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2572312A1 (fr) * 1984-10-30 1986-05-02 Rhone Poulenc Spec Chim Procede de fabrication de barreaux de silicium ultra-pur
EP0181803A1 (fr) * 1984-10-30 1986-05-21 Rhone-Poulenc Chimie Procédé de fabrication de barreaux de silcium ultra-pur

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