FR1257306A - Procédé et appareil pour la fabrication de monosilane pur - Google Patents

Procédé et appareil pour la fabrication de monosilane pur

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FR1257306A
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    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/04—Hydrides of silicon
    • C01B33/043—Monosilane
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/06—Metal silicides

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0164250A3 (en) * 1984-06-07 1986-03-19 Idemitsu Kosan Company Limited Process for production of silane

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EP0164250A3 (en) * 1984-06-07 1986-03-19 Idemitsu Kosan Company Limited Process for production of silane

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