FR1401050A - Procédé pour l'établissement de contacts sur des composants à semi-conducteurs - Google Patents

Procédé pour l'établissement de contacts sur des composants à semi-conducteurs

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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0444—Apparatus for wiring semiconductor or solid-state device
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