FR1417120A - Méthode d'obturation gazeuse dans un appareil pour travailler des matières au moyen d'un faisceau de particules chargées - Google Patents

Méthode d'obturation gazeuse dans un appareil pour travailler des matières au moyen d'un faisceau de particules chargées

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FR1417120A
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/301—Arrangements enabling beams to pass between regions of different pressure

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