FR3123392A3 - Pompe à vide - Google Patents

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Abstract

Pompe à vide comprenant un boîtier (14), un arbre de rotor (12) disposé dans le boîtier (14), au moins un roulement (16) supportant en rotation l'arbre de rotor contre le boîtier (14) comprenant une piste intérieure (18) en contact avec l'arbre de rotor (12) et une piste extérieure (20) en contact avec le boîtier (14), et un ressort axial (26) appliquant une force axiale sur la piste extérieure (20), une bague de roulement (24) étant disposée entre le ressort axial (26) et la piste extérieure, la bague de roulement (24) appliquant une force de serrage au boîtier (14). Fig. 1

Description

POMPE À VIDE
La présente invention concerne une pompe à vide et en particulier un roulement d'une pompe à vide.
Les pompes à vide courantes comprennent un boîtier avec une entrée et une sortie. Dans le boîtier, un arbre de rotor est supporté de manière rotative par au moins un roulement. Habituellement, deux roulements sont mis en œuvre pour supporter l'arbre de rotor. Les roulements sont généralement construits en tant que roulement à éléments roulants tels que des roulements à billes. L'arbre de rotor est entraîné par un moteur électrique et comprend au moins un élément pompe interagissant avec soit un stator construit par le boîtier de la pompe à vide et/ou interagissant avec les éléments pompe d'un deuxième arbre de rotor. Ainsi, par rotation de l'arbre de rotor, un milieu gazeux est acheminé depuis l'entrée de la pompe à vide jusqu’à la sortie de la pompe à vide.
En particulier, les deux rotors d'une pompe à vide sèche sont supportés par des roulements à billes qui sont précontraints via la piste de roulement extérieure au moyen d'une force élastique axiale pour créer un angle de contact défini du roulement. L'arrangement de l'arbre de rotor se compose d'un roulement fixe et d'un roulement flottant. Un alésage de palier de roulement du boîtier pour le roulement flottant est plus grand que pour le roulement fixe de sorte que le roulement flottant peut se déplacer axialement dans le palier de roulement lorsque le rotor se dilate thermiquement par rapport au boîtier de pompe. En raison de l'ajustement lâche entre la piste extérieure de roulement et le palier de roulement, le roulement flottant peut également se déplacer radialement. Comme la conception du ressort de précontrainte n'offre qu'une faible rigidité radiale, le roulement flottant peut facilement suivre les déplacements radiaux de l'arbre rotatif provoqués par des erreurs de faux-rond, des déséquilibres résiduels ou des forces de gaz. Il en résulte des vibrations et du bruit.
Ainsi, un objet de la présente invention est de proposer une pompe à vide fonctionnant avec moins de bruit et plus stable.
Résumé
Le problème technique de l'art antérieur est résolu par une pompe à vide comprenant un boîtier, un arbre de rotor disposé dans le boîtier, au moins un roulement supportant en rotation l'arbre de rotor contre le boîtier comprenant une piste intérieure en contact avec l'arbre de rotor et une piste extérieure en contact avec le boîtier, et un ressort axial appliquant une force axiale sur la piste extérieure, une bague de roulement étant disposée entre le ressort axial et la piste extérieure, la bague de roulement appliquant une force de serrage au boîtier.
La pompe à vide selon la présente invention est de préférence construite en tant que pompe à vide sèche. La pompe à vide comprend un boîtier et un arbre de rotor disposé dans le boîtier. En outre, la pompe à vide comprend au moins un roulement à éléments roulants supportant de manière rotative l'arbre de rotor contre le boîtier et de préférence agencé dans un alésage de palier de roulement. Le roulement à éléments roulants comprend une piste intérieure en contact avec l'arbre de rotor et une piste extérieure en contact avec le boîtier, c'est-à-dire une surface de l'alésage de palier de roulement. Un élément roulant, tel qu'une bille pour un roulement à billes ou similaire, est disposé entre la piste intérieure et la piste extérieure. De plus, un ressort axial est mis en œuvre afin d’appliquer un effort axial sur la piste extérieure. Ainsi, par la force axiale appliquée par le ressort axial, une dilatation thermique de l'arbre de rotor peut être compensée. Lors de la dilatation thermique de l'arbre de rotor, le roulement à éléments roulants peut se déplacer dans la direction de la dilatation thermique, comprimant ainsi le ressort axial. Si la dilatation thermique est réduite, le roulement à éléments roulants est ramené dans sa position initiale par la force axiale du ressort axial.
Ici, conformément à la présente invention, une bague de roulement est disposée entre le ressort axial et la piste extérieure. La bague de roulement applique une force de serrage sur le boîtier, c'est-à-dire sur une surface de l'alésage de palier de roulement. Ainsi, par la bague de roulement, une force radiale est fournie, laquelle peut être transférée à la piste extérieure du roulement à éléments roulants. Par la force radiale appliquée par la bague de roulement sur la piste extérieure, le mouvement radial du roulement à éléments roulants dans la direction radiale est entravé, réduisant les vibrations et réduisant ainsi le bruit de la pompe à vide.
De préférence, le roulement à éléments roulants et la bague de roulement sont mobiles axialement. Ainsi, le roulement à éléments roulants et la bague de roulement se déplacent en conjonction sous l'effet de la dilatation thermique de l'arbre de rotor. En particulier, la force de serrage appliquée par la bague de roulement amortit, d'une part, l'accélération/le mouvement de la piste extérieure dans la direction axiale due à la force axiale du ressort axial, mais, d'autre part, applique une force radiale sur la piste extérieure et amortit les vibrations et le bruit le long de la direction radiale. Puisque la dilatation thermique n'est pas un effet rapide, une réduction de l'accélération de la piste extérieure du roulement à éléments roulants dans la direction axiale n'a aucun inconvénient pour le fonctionnement de la pompe à vide et offre l’avantage unique de réduire le bruit de la pompe à vide pendant le fonctionnement.
De préférence, la bague de roulement est en contact direct avec la piste extérieure appliquant une force de friction à la piste extérieure. En particulier, en raison de la friction entre la bague de roulement et la piste extérieure du roulement à éléments roulants, un mouvement radial de la piste extérieure ou du roulement à éléments roulants en général est réduit, réduisant le bruit généré par la pompe à vide.
De préférence, la bague de roulement comporte une surface texturée. En particulier, la surface texturée est en contact direct avec la piste extérieure du roulement à éléments roulants. Ainsi, par la texture de la surface texturée, la force de friction appliquée à la piste extérieure du roulement à éléments roulants peut être adaptée à l'amortissement recherché de la bague de roulement.
De préférence, la bague de roulement est construite sous la forme d'une bague de verrouillage comprenant une ouverture. En raison de l'ouverture, la bague de roulement peut être comprimée afin de réduire le périmètre de la bague de roulement devant être insérée dans le boîtier, c'est-à-dire l'alésage de palier de roulement du boîtier. Lors du desserrage, la bague de roulement revient à son périmètre d'origine en appliquant la force de serrage sur le boîtier de la pompe à vide.
De préférence, la bague de roulement comprend une section transversale non constante le long de son périmètre afin de fournir une force de serrage uniforme le long de la bague de roulement. En particulier, dans la zone de l'ouverture, la section est réduite afin de réduire l'effort de serrage dans la zone de l'ouverture.
De préférence, la bague de roulement comprend une surface inclinée qui est orientée en direction du roulement à éléments roulants et est en contact direct avec la piste extérieure. Par la surface inclinée, une composante de force radiale de la force axiale du ressort axial est créée et appliquée à la piste extérieure. Ici, la force radiale est dans une direction radiale en direction de l'axe central de l'arbre de rotor entravant le mouvement radial du roulement à éléments roulants, réduisant ainsi le bruit. En particulier, la surface inclinée peut être davantage texturée afin de créer également une force de friction entravant davantage le mouvement radial de la piste extérieure ou du roulement à éléments roulants.
De préférence, la surface de contact de la piste extérieure en contact avec la bague de roulement est arrondie ou chanfreinée. Habituellement, les bords des roulements à éléments roulants courants sont arrondis ou chanfreinés. Ainsi, par les bords arrondis ou chanfreinés du roulement à éléments roulants, en particulier en lien avec la surface inclinée de la bague de roulement, une composante de force radiale est créée, appliquée à la piste extérieure et au roulement à éléments roulants afin d'entraver le mouvement radial et ainsi réduire le bruit de la pompe à vide.
Ci-après, la présente invention est décrite plus en détail en référence aux dessins joints.
Les figures montrent :
Fig. 1
un premier mode de réalisation de la présente invention ;
Fig. 2
, une vue détaillée de différents modes de réalisation de la présente invention ; et
Fig. 3
un autre mode de réalisation de la présente invention.

Claims (7)

  1. Pompe à vide comprenant
    un boîtier (14) ;
    un arbre de rotor (12) disposé dans le boîtier (14) ;
    au moins un roulement (16) supportant en rotation l'arbre de rotor (12) contre le boîtier (14) comprenant une piste intérieure (18) en contact avec l'arbre de rotor (12) et une piste extérieure (20) en contact avec le boîtier (14) ; et un ressort axial (26) appliquant une force axiale sur la piste extérieure (20),
    une bague de roulement (24) étant disposée entre le ressort axial (26) et la piste extérieure (20), la bague de roulement (24) appliquant une force de serrage au boîtier (14).
  2. Pompe à vide selon la revendication 1, dans laquelle le roulement (16) et la bague de roulement (24) sont mobiles axialement.
  3. Pompe à vide selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle la bague de roulement (24) est en contact direct avec la piste extérieure (20) appliquant une force de friction à la piste extérieure (20).
  4. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans laquelle la bague de roulement (24) comprend une surface texturée.
  5. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans laquelle la bague de roulement (24) comprend une section transversale non constante le long de son périmètre pour fournir une force de serrage uniforme le long de la bague de roulement (24).
  6. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans laquelle la bague de roulement (24) comprend une surface inclinée orientée vers le roulement (16) et en contact direct avec la piste extérieure (20) créant une composante de force radiale de la force axiale du ressort axial (26) appliquée à la piste extérieure (20).
  7. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans laquelle une surface de contact de la piste extérieure (20) en contact avec la bague de roulement (24) est arrondie.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116447163A (zh) * 2023-04-24 2023-07-18 上海裕达实业有限公司 主轴安装结构及分子泵

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD151209A5 (de) * 1979-06-30 1981-10-08 Siemens Ag Vorrichtung zur kompensation des radialen spiels eines waelzlagers in einer lagerbohrung
DE2926541C3 (de) * 1979-06-30 1984-10-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zur Kompensation des jeweiligen radialen Spiels eines Wälzlagers in einer Lagerbohrung
US4699528A (en) * 1986-04-21 1987-10-13 Zephyr Manufacturing Company Rotary assembly having self-positioning bearing, and method
DE19709205A1 (de) * 1997-03-06 1998-09-10 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Wellenlagerung
US5829891A (en) * 1997-07-22 1998-11-03 The Torrington Company Mounting for steering column
US8568827B2 (en) * 2006-11-30 2013-10-29 Caterpillar Inc. Textured coating on a component surface
JP6385286B2 (ja) * 2015-01-13 2018-09-05 Ntn株式会社 軸受予圧機構及び軸支持装置
JP6409754B2 (ja) * 2015-12-02 2018-10-24 ミネベアミツミ株式会社 ファン
GB201610896D0 (en) * 2016-06-22 2016-08-03 Edwards Ltd Vacuum scroll pump
GB2556059A (en) * 2016-11-16 2018-05-23 Valeo Air Man Uk Limited Electric supercharger with bearing retention
EP3447302B1 (fr) * 2017-08-23 2021-12-08 Sulzer Management AG Dispositif formant palier d'arbre doté du dispositif de levage
DE102020200783A1 (de) * 2020-01-23 2021-07-29 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Vorrichtung zur Zentrierung eines Loslagers
CN213235487U (zh) * 2020-09-29 2021-05-18 北京中科九微科技有限公司 一种抗振分子泵

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Publication number Publication date
GB202107625D0 (en) 2021-07-14
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JP3241012U (ja) 2023-02-22
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GB2607572A (en) 2022-12-14
DE202022001205U1 (de) 2022-06-14
TW202303002A (zh) 2023-01-16

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