FR76571E - Méthode de production du silicium à haute pureté - Google Patents

Méthode de production du silicium à haute pureté

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International Standard Electric Corp
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon
    • C01B33/021—Preparation
    • C01B33/027—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
    • C01B33/029—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material by decomposition of monosilane

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2376072A1 (fr) * 1976-12-29 1978-07-28 Westinghouse Electric Corp Production de silicium de haute purete par reduction des intermediaires du silicium dans un element de chauffage a arc

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FR2376072A1 (fr) * 1976-12-29 1978-07-28 Westinghouse Electric Corp Production de silicium de haute purete par reduction des intermediaires du silicium dans un element de chauffage a arc

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