HK43295A - Electrodeposition of palladium films - Google Patents

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HK43295A
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HK
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palladium
acid
electroplating
surfactant
electroplating bath
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HK43295A
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Anthony Abys Joseph
Chinchankar Vijay
Toohey Eckert Virginia
Veljko Kadija Igor
John Kudrak Edward Jr
John Maisano Joseph Jr
Karl Straschil Heinrich
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At&T Corp.
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Claims (10)

  1. Procédé de placage électrolytique d'une substance métallique sur une surface, ladite substance métallique comprenant du palladium, procédé qui comprend l'étape qui consiste à faire passer un courant à travers une cathode, un bain de dépôt électrolytique et une anode, avec un potentiel cathodique suffisamment élevé pour déposer le palladium par électrolyse, ledit bain de dépôt électrolytique ayant une conductivité supérieure à 10⁻³ S.cm et comprenant une source de palladium, CARACTERISE EN CE QUE le bain de dépôt électrolytique comprend en outre un tensioactif et un azurant, ledit tensioactif étant choisi parmi les chlorures d'alkylammonium de 4 à 35 atomes de carbone et ledit azurant étant choisi parmi l'acide o-benzaldéhyde-sulfonique, l'acide 1-naphtalène-sulfonique, l'acide 2-naphtalène-sulfonique, l'acide benzène-sulfinique, l'acide oxy-4,4-bis(benzène)sulfinique, l'acide p-toluène-sulfinique et l'acide 3-trifluorométhylbenzène-sulfinique, l'allylphénylsulfone, le o-benzoïque-sulfamide, le benzysulfonylpropionamide, le phénylsulfonylacétamide, le 3-(phényl-sulfonyl)propionamide, le benzène-sulfonamide, le bis(phénylsulfonyl)méthane, le carbonate de guanidine, le sulfaguanidine et l'acide nicotinique.
  2. Procédé selon la revendication 1, CARACTERISE EN CE QUE le tensioactif est un chlorure de triméthylammonium aliphatique, à chaîne droite, ayant des longueurs de chaîne comprises entre 8 et 18 atomes de carbone.
  3. Procédé selon la revendication 2, CARACTERISE EN CE QUE le tensioactif est choisi parmi le chlorure d'undécyltriméthylammonium, le chlorure de dodécyltriméthylammonium et le chlorure de tridécyltriméthylammonium.
  4. Procédé selon la revendication 1, CARACTERISE EN CE QUE la concentration du tensioactif s'échelonne de 0,0002M à 0,4M.
  5. Procédé selon la revendication 1, CARACTERISE EN CE QUE la source de palladium comprend un composé de palladium choisit parmi PdCl₂, PdBr₂, PdI₂, PdSO₄ et Pd(NO₃)₂.
  6. Procédé selon la revendication 1, CARACTERISE EN CE QUE la source de palladium est un composé ionique complexe de palladium, l'agent complexant étant l'ammoniac.
  7. Procédé selon la revendication 1, CARACTERISE EN CE QUE le bain de dépôt électrolytique possède un pH compris entre 6,0 et 13,5.
  8. Procédé selon la revendication 1, CARACTERISE EN CE QUE le bain de dépôt électrolytique comprend un sel conducteur.
  9. Procédé selon la revendication 1, CARACTERISE EN CE QUE le sel conducteur comprend du chlorure d'ammonium.
  10. Procédé selon la revendication 1, CARACTERISE EN CE QUE le bain de dépôt électrolytique comprend un tampon (phosphate).
HK43295A 1989-08-29 1995-03-23 Electrodeposition of palladium films HK43295A (en)

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