HK93692A - Glass-ceramics suitable for dielectric substrates - Google Patents

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Claims (9)

  1. Glaskeramischer Körper mit einer Dielektrizitätskonstante von weniger als 6 und enthaltend Willemit als vorherrschende Kristallphase und Cordierit als zweite Kristallphase mit einer Zusammensetzung, die im wesentlichen frei ist von Li₂O, Na₂O und K₂O und im wesentlichen - ausgedrückt in Gewichtsprozent auf Oxidbasis - besteht aus 15-45% ZnO, 10-30% Al₂O₃, 30-55% SiO₂ und 3-15% MgO.
  2. Glaskeramischer Körper nach Anspruch 1 auch enthaltend einen Keimbildner, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus 8-12% ZrO₂ und 0.001-0.05% eines Edelmetalls, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Au, Pd und Pt.
  3. Glaskeramischer Körper nach Anspruch 1 oder 2, auch enthaltend bis zu 15% total wenigstens eines Metalloxids in dem angegebenen Verhältnis, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus bis zu 5% B₂O₃, bis zu 5% CaO und/oder SrO und/oder BaO und/oder PbO, bis zu 7% Cs₂O und bis zu 15% MnO.
  4. Verwendung eines thermisch kristallisierbaren Glases, das im wesentlichen frei ist von Li₂O, Na₂O und K₂O und im wesentlichen - ausgedrückt in Gewichtsprozent auf Oxidbasis - besteht aus 15-45% ZnO, 10-30% Al₂O₃, 30-55% SiO₂ und 3-15% MgO zur Herstellung eines glaskeramischen Körpers gemäß Anspruch 1 durch Sintern bei einer Temperatur innerhalb des Bereichs von 875-1000°C.
  5. Verwendung nach Anspruch 4 für die Herstellung eines glaskeramischen Körpers gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das thermisch kristallisierbare Glas auch einen Keimbildner enthält, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus 8-12% ZrO₂ und 0,001-0,05% eines Edelmetalls, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Au, Pd und Pt.
  6. Verwendung nach Anspruch 4 oder 5 für die Herstellung eines glaskeramischen Körpers gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das thermisch kristallisierbare Glas auch bis zu 15% total wenigstens eines Metalloxids in dem angegebenen Verhältnis enthält, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus bis zu 5% B₂O₃, bis zu 5% CaO und/oder SrO und/oder BaO und/oder PbO, bis zu 7% Cs₂O und bis zu 15% MnO.
  7. Substrat für ein Einbettmaterial für integrierte Schaltungen, bestehend aus einem glaskeramischen Material mit einer Dielektrizitätskonstante von weniger als 6 und enthaltend Willemit als vorherrschende Kristallphase und Cordierit als zweite Kristallphase, wobei das glaskeramische Material eine Zusammensetzung besitzt, die im wesentlichen frei ist von Li₂O, Na₂O und K₂O und im wesentlichen - ausgedrückt in Gewichtsprozent auf Oxidbasis - besteht aus 15-45% ZnO, 10-30% Al₂O₃, 30-55% SiO₂ und 3-15% MgO.
  8. Substrat nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Glaskeramik auch einen Keimbildner enthält, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus 8-12% ZrO₂ und 0,001-0,05% eines Edelmetalls, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Au, Pd und Pt.
  9. Substrat nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Glaskeramik auch bis zu 15% total wenigstens eines Metalloxids in dem angegebenen Verhältnis enthält, bestehend aus bis zu 5% B₂O₃, bis zu 5% CaO und/oder SrO und/oder BaO und /oder PbO, bis zu 7% Cs₂O und bis zu 15% MnO.
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