ITTO20000739A0 - Processo di pulitura della superficie di un contenitore di un circuito integrato per la preparazione della stessa per un successivo processo - Google Patents

Processo di pulitura della superficie di un contenitore di un circuito integrato per la preparazione della stessa per un successivo processo

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ITTO20000739A0
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IT
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preparation
integrated circuit
same
circuit container
cleaning process
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IT2000TO000739A
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Andrea Cigada
Pierre Yves Shechter
Sivakuma Krithivasan
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St Microelectronics Srl
St Microelectronics Pte Ltd
Stmicroelectronics Sdn Bhd
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    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
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