ITTO990035A1 - Procedimento per la sua realizzazione di corpi sagomati cavi di vetro, rivestiti internamente, e tubo di vetro come semilavorato per la rea- - Google Patents

Procedimento per la sua realizzazione di corpi sagomati cavi di vetro, rivestiti internamente, e tubo di vetro come semilavorato per la rea-

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ITTO990035A1
ITTO990035A1 IT99TO000035A ITTO990035A ITTO990035A1 IT TO990035 A1 ITTO990035 A1 IT TO990035A1 IT 99TO000035 A IT99TO000035 A IT 99TO000035A IT TO990035 A ITTO990035 A IT TO990035A IT TO990035 A1 ITTO990035 A1 IT TO990035A1
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glass
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Description

DESCRIZIONE
deI brevetto per Invenzione Industriale di
La presente invenzione si riferisce ad un procedimento per la realizzazione di un corpo sagomato cavo di vetro, rivestito internamente, da un tubo di vetro a basso punto di fusione come semilavorato .
La presente invenzione si riferisce inoltre a un tubo di vetro a basso punto di fusione come semilavorato per la realizzazione di un corpo sagomato cavo di vetro con un rivestimento interno che incrementa la resistenza chimica .
I vetri a basso punto di fusione, quali caratteristicamente i vetri al boro silicato oppure i vetri a soda e calce, notoriamente si corrodono al contatto con acqua o con altri liquidi. Così, soprattutto l'acqua sottrae al vetro ioni di sodio.
Per numerose applicazioni di corpi sagomati di vetro che vengono realizzati da un vetro a basso punto di fusione, in particolare da corpi sagomati cavi di vetro, realizzati da tubi di vetro come semilavorati, è pertanto necessario aumentare la resistenza chimica del corpo sagomato di vetro. Corpi sagomati cavi di vetro che necessitano di una resistenza chimica superiore della superficie interna, sono per esempio quelli
per la costruzione di impianti chimici - che vengono utilizzati per il misuratore di portata per mezzi chimicamente aggressivi, e
- a scopi analitici (per esempio tubi per burette, cilindri di titolazione, ecc.)
- provette per scopi particolari
- per rivestimenti di elettrodi di misurazione in mezzi aggressivi
per scopi di illuminazione, per esempio lampade alogene
- per lampade a scarica elettrica
- che vengono utilizzate come componenti per reattori biotecnologici, e
- che vengono utilizzate come contenitori a scopi medicinali (per esempio fiale, flaconi, tubicini di siringhe, ampolle cilindriche ecc.), all'ultima applicazione essendo attribuito un significato particolare.
È pertanto noto il fatto di realizzare tubi di vetro da vetro silicico (vetro al quarzo, vetro di SiO2) come semilavorati per la realizzazione di corpi sagomati cavi di vetro, che presentano una resistenza chimica elevatissima. La realizzazione di tali tubi è tuttavia molto dispendiosa e costosa a causa del punto di fusione elevato del vetro di Si02; inoltre tali tubi possono essere realizzati solo con una qualità ottica limitata e sono poco adatti come prodotti di massa. Tali tubi possono inoltre essere deformati plasticamente solo con dispositivi molto particolari in quanto, da una parte, le temperature di deformazione sono molto elevate, dall'altra, l'intervallo della temperatura in cui tali deformazioni plastiche sono possibili, è limitatissimo.
Tubi di vetro silicico come semilavorati non possono tuttavia essere prodotti con una qualità e una economicità sufficienti per le applicazioni di massa .
Per questo, per prodotti di tubi di vetro delle grandi apparecchiature tecniche vengono utilizzati vetri per lo più a basso punto di fusione, per esempio vetro al boro silicato oppure vetri a soda e calce. Questi possono essere realizzati e deformati come tubi in modo vantaggiosamente economico.
Esempi di tali vetri sono: Duran ®-Borosilicatglas (Schott Glas), Fiolax ®klar (Schott Glas), Fiolax ®braun (Schott Glas), Kimble N 51 A (Ditta Kimble).
La composizione di tali vetri preferibilmente prodotti con la forma di tubi è riepilogata nella seguente tabella.
Composizioni di vetro utilizzate *) (Contenuto in percentuale di peso)
(al numero 10 e 11 Fe2O3 e TiO3 insieme 3, 5% ) .
È noto il fatto di aumentare la resistenza chimica di tali tubi di vetro a basso punto di fusione tramite procedimenti in cui la superficie del vetro viene lisciviata chimicamente. A tale scopo, nel tubo di vetro ancora caldo viene introdotto un gas aggressivo corrispondente, caratteristicamente (S02, (NH4)2 S04 oppure gas di HCL) che determina reazioni superficiali e una riduzione del contenuto alcalino sulla superficie.
Tali procedimenti dealcalinizzanti sono per esempio descritti in H.A. Schaeffer et. al., Glastechn. Ber. 54 (1981) Nr. 8, pp. 247 - 256. Gli svantaggi di questi procedimenti sono che vengono utilizzati gas principalmente tossici, la superficie del vetro dopo il trattamento chimico può contenere ancora tracce di questi gas di reazione aggressivi, e che la struttura superficiale del vetro viene danneggiata, cosa che determina una superficie rialzata e centri attivi delle superfici. Inoltre, l'utilizzo di tali gas aggressivi, dal punto di vista dell'ambiente e delle condizioni di sicurezza non è conveniente. Nel caso di alcuni gas proposti si formano prodotti secondari corrosivi, per esempio gas di cloruro di Idrogeno, cosa che agisce in modo altamente corrosivo sui pezzi metallici dell'impianto. Durante la deformazione plastica di tali tubi di vetri lisciviati, può verificarsi un distacco di particelle dalla superficie danneggiata porosa. Inoltre prima dell'impiego dei tubi di vetro lisciviati è necessario un procedimento di lavaggio per la rimozione dei prodotti di reazione. Questo procedimento di lavaggio rende necessaria una asciugatura e uno smaltimento successivi dei prodotti di reazione, cioè aumenta i costi per la realizzazione dei tubi di vetro semilavorati.
Nel documento US-A-3,314 772 viene descritto un ulteriore procedimento per la dealcalinizzazione di vetro a basso punto di fusione tramite fluorurizzazione per mezzo di acido di fluoro, il quale presenta gli stessi inconvenienti principali tipici degli altri procedimenti descritti in precedenza per la dealcalinizzazione.
Al fine di evitare gli inconvenienti dei procedimenti di dealcalinizzazione, è ,anche noto il fatto di dotare recipienti di vetro realizzati a forma di tubo in vetro a basso punto di fusione, che servono soprattutto come confezione per sostanze farmaceutiche, di uno strato di ossido di silicio (SiO2) , sulla superficie interna degli stessi, tale strato, per la sua inerzia, è equivalente ad una superficie di vetro al quarzo (M. Walther, "Packaging of sensitive parenteral drugs in glass containers with a quartz-like surface", Pharmaceutical Technology Europe, Maggio 1996, Voi. 8, N°5, pagine 22-27.
Il rivestimento della superficie interna dei corpi sagomati di vetro realizzati avviene tramite separazione chimica del materiale di rivestimento ossidico dalla fase gassosa dello stesso, in particolare per mezzo di un procedimento CVD di deposizione sottovuoto a vapore di plasma (PECVD = Plasma enhanced Chemical vapour deposition), in particolare per mezzo di plasma pulsato (PICVD = Plasma-impuls-chemical-vapour deposition).
Questi procedimenti PECVD e PICVD sono noti già da tempo per il rivestimento della parte interna di corpi cavi, in particolare di quelli in plastica (documento DE 196 29 877 e DE-Z-"Multilayer Barrier Coating System produced by Plasma-impulse Chemical Vapor Deposition (PRCVD) ", di M. Walther, M. Heming, M. Spallek, pubblicato in "Surface and Coatings Technology" 80 (1996), pagg.
200-205).
Nel caso noto (DE 29609 958 Ul) i recipienti realizzati finiti, cioè i corpi sagomati di vetro stessi, vengono rivestiti internamente. Per questo ciascun recipiente sagomato di vetro di per sé, adattato alla sua forma, deve essere sottoposto ad un costoso procedimento di rivestimento.
Il compito della presente invenzione è di dotare corpi sagomati cavi di vetro a basso punto di fusione di un rivestimento interno in modo semplice ed economico.
La soluzione di questo compito ha successo in termini di procedure prendendo spunto dal procedimento definito nell'introduzione per la realizzazione di un corpo sagomato cavo di vetro rivestito internamente da un tubo di vetro a basso punto di fusione come semilavorato con le fasi:
rivestire la superficie interna del tubo di vetro semilavorato con materiali ossidici con uno spessore dello strato che sia adattato alle condizioni di deformazione successive per il corpo sagomato di vetro e i requisiti di resistenza chimica, e produrre il corpo sagomato di vetro dal tubo di vetro semilavorato rivestito internamente.
Per quanto riguarda il tubo di vetro definito nell'introduzione composto da vetro a basso punto di fusione come semilavorato per la realizzazione di un corpo sagomato cavo di vetro rivestito internamente, la soluzione del compito secondo la presente invenzione risulta dal fatto che la superficie interna del tubo di vetro semilavorato è dotata di uno strato di materiali ossidici il cui spessore è adattato alle condizioni di deformazione per il corpo sagomato di vetro e i requisiti di resistenza chimica.
Grazie alle misure secondo la presente invenzione è possibile produrre tubi di vetro che conservano in grande misura la propria resistenza chimica anche dopo un procedimento di deformazione. Tali procedimenti di deformazione sono per esempio procedimenti in cui sull'estremità dei tubi di vetro vengono eseguite rastremazioni, fusioni, deformazioni plastiche, per esempio per congiungere gli stessi, per chiuderli, per collegarli, ecc.
L'invenzione non si riferisce solo alla realizzazione di corpi sagomati cavi di vetro con un grado di deformazione elevato, cioè "alla realizzazione" di quei corpi sagomati di vetro, ma anche a corpi sagomati di vetro con un grado di realizzazione piuttosto limitato, per esempio corpi cilindrici, che sono prodotti da semilavorati tramite formatura a caldo o a freddo, per esempio un procedimento di imbutitura, e che alla fine devono essere "lavorati" soltanto sulle parti frontali degli stessi. Tali corpi sagomati di vetro sono caratteristicamente cilindri stampati a iniezione, per esempio secondo il documento DE 39 24 830 Al oppure provette secondo il documento DE 94 04 753 Ul, oppure cilindri stampati a iniezione aperti sui due lati che sono chiusi con due tappi su cui è applicabile una spina.
Grazie alla presente invenzione è inoltre possibile preparare tubi di vetro con una resistenza chimica interna elevata che dopo un procedimento di deformazione doti la parte principale della superficie del sistema complessivo di una resistenza chimica elevata, mentre sono ammesse parti di superficie minore con una resistenza chimica inferiore. Esempi per le applicazioni sono:
tubi di vetro che vengono utilizzati nella biotecnologia e sono impiegati con mezzi che assorbono sulle superfici di vetro standard, contenitori a scopi medicinali dove la lisciviazione totale degli ioni del contenitore riveste un ruolo importante (per esempio emissione di ioni alcalini e metallici).
Dato che durante il procedimento secondo la presente invenzione i tubi di vetro relativamente lunghi, fungenti da semilavorato per il corpo sagomato di vetro da realizzare vengono rivestiti in una fase di lavorazione, da qui è possibile fabbricare in modo semplice ed economico diversi corpi sagomati di vetro rivestiti internamente, in quanto il rivestimento rimane notevolmente conservato dopo la deformazione. Un semilavorato (o prodotto semifinito) è notoriamente un prodotto semilavorato, un prodotto tra materiale grezzo e prodotto finito che ha superato diverse fasi di , produzione ma che ne deve superare ancora.
Un procedimento per il rivestimento interno di tubi di vetro è di per sé noto. Tali tubi di vetro vengono per esempio utilizzati come prestampi per la produzione di fibre ottiche e fibre di regolazione. In questo modo, si ottengono due tipi di vetro otticamente diversi all'interno di un tubo, i quali tuttavia per poter essere deformati come fibre devono presentare condizioni termiche molto simili (temperatura di ammorbidimento e temperatura di deformazione) e coefficienti di dilatazione molto simili.
Nel caso noto non si tratta quindi di dotare tubi di vetro a basso punto di fusione, che servono da semilavorato per la realizzazione di corpi sagomati cavi di vetro, di un rivestimento interno di materiale ossidico per aumentare la resistenza chimica della superficie interna di vetro.
Lo spessore dello strato dei materiali ossidici è adattato alle condizioni di deformazione e ai requisiti di resistenza chimica. Questi due requisiti, in linea di principio, si contraddicono in quanto una resistenza chimica elevata è garantita da uno spessore dello strato considerevole, tuttavia una deformabilità viene impedita da uno strato molto spesso. Un’indicazione concreta definitiva dello spessore dello strato necessario non è pertanto possibile, piuttosto, lo spessore dello strato deve essere specificamente adattato caso per caso al procedimento di deformazione e ai requisiti di resistenza chimica.
Un intervallo di spessore dello strato tipico secondo uno sviluppo della presente invenzione è l'intervallo da 1 nm fino a 500 nm. Lo spessore dello strato dipende pertanto anche dal materiale di rivestimento ossidico selezionato.
Come materiale di rivestimento secondo una realizzazione della presente invenzione tra gli altri possono essere utilizzati anche i seguenti ossidi: SiO2, Al2O3, TiO2 e miscele di questi.
Come procedimento per il rivestimento della superficie interna dei tubi di vetro semilavorati sono adatti soprattutto:
un rivestimento tratto dalla fase fluida (rivestimenti di sol o di gel) come descritto p.e. in H. Bach, D. Krause: Thin Films on Glas, Springer Verlag, Berlino (1997),
un procedimento per la separazione da soluzioni soprassature.
Inoltre, possono essere utilizzati procedimenti di deposizione catodica sebbene il loro utilizzo per substrati tubolari sia complicato in quanto i procedimenti di deposizione catodica sono procedimenti mirati.
Vantaggiosamente, per la produzione secondo la presente invenzione di tubi di vetro semilavorati, rivestiti, vengono utilizzati procedimenti CVD (Chemical Vapour Deposition= deposizione sottovuoto a vapore).
-Con il cosiddetto procedimento termico CVD, il rivestimento viene realizzato a temperatura più elevata. Tali procedimenti possono essere utilizzati direttamente durante la realizzazione del tubo di vetro secondo i processi di imbutitura noti per i tubi di vetro. A tale scopo, come aria di trasporto/aria di soffiaggio viene opportunamente utilizzato gas di rivestimento. In un determinato intervallo di temperatura del tubo di vetro, il gas di rivestimento viene scomposto e forma un rivestimento sulla superficie interna del tubo .
Un procedimento corrispondente può naturalmente essere utilizzato anche indipendentemente dalla realizzazione del tubo di vetro, tuttavia è necessario un nuovo riscaldamento del tubo di vetro.
Il riscaldamento successivo può pertanto avvenire con diversi procedimenti per esempio: riscaldamento diretto, riscaldamento con il laser, ecc. Utilizzando la radiazione luminosa per l'attivazione/generazione delle condizioni di rivestimento attive è possibile scegliere una temperatura di rivestimento chiaramente più bassa. - Vantaggiosamente la separazione dalla fase gassosa del materiale di rivestimento ossidico, dal gas di rivestimento avviene tramite un procedimento CVD sottovuoto a vapore di plasma, il cosiddetto procedimento PECVD (Plasma enhanced Chemical vapour deposition) .
Il procedimento PECVD viene descritto da molta letteratura. Diverse forme di attuazione vengono utilizzate con le alimentazioni di energia più diverse dalla bassa frequenza (per esempio 40 kHz) alla frequenza media (13,56 MHz) fino alle microonde (2,45 GHz e oltre). Esempi a questo riguardo si trovano in G. Janzen: Plasmatechnik, Hutig-Verlag, Heidelberg 1992.
Con un particolare vantaggio può essere vantaggiosamente utilizzato un procedimento PECVD modificato, il cosiddetto procedimento PICVD (procedimento CVD ad impulsi di plasma) in modo vantaggioso, il quale garantisce una omogeneità elevata durante il rivestimento di substrati di grossa superficie.
La tecnologia PICVD è nota anche nella letteratura brevettuale dal documento DE 4008 405 CI nonché del documento US-A-5.154.943 e viene per esempio utilizzata per la generazione di strati di bloccaggio su contenitori di plastica (DE 4438 359 Al) . Questa tecnologia utilizza un plasma pulsato per la separazione degli strati dal gas di rivestimento corrispondente.
Sulla scorta di un esempio di attuazione di un dispositivo per il rivestimento interno, rappresentato nella singola Figura del disegno del Brevetto, di un tubo di vetro secondo la presente invenzione, questo dispositivo viene descritto più dettagliatamente di seguito. Da qui risultano anche altre realizzazioni della presente invenzione. Nell'esempio di attuazione è mostrato un dispositivo per un rivestimento secondo il procedimento PICVD. Un pezzo di tubo di vetro 1 da rivestire internamente, di vetro a basso punto di fusione, come vetro al boro silicato oppure vetro a soda e calce, che serva da semilavorato per la realizzazione di corpi sagomati cavi di vetro rivestiti internamente, è supportato in un recipiente 2 a tenuta di vuoto per mezzo di guarnizioni 3.
Il pezzo 1 del tubo di vetro, in questo esempio di attuazione, presenta una lunghezza di 1500 mm e un diametro interno di 12 mm.
La lunghezza dei pezzi di tubo di vetro da rivestire si basa così sulle dimensioni dell'impianto di rivestimento disponibile.
L'interno del tubo di vetro 1 è collegato su un'estremità ad un sistema del vuoto con una pompa 4 e un valvola 5.
Il recipiente 2 viene inoltre penetrato da elettrodi (antenne) di una alimentazione di microonde 6 in cui sulle due estremità mediante componenti a microonde 6a, 6b corrispondenti è accoppiabile a impulsi una radiazione di microonde. La durata degli impulsi a microonde va in questo caso da 0,1 a 10 ms.
L'interno del tubo di vetro 1 è collegato sull'altra estremità dello stesso ad una disposizione 7 di alimentazione di gas. Tramite questa disposizione, da una parte, tramite un rilevatore del flusso di massa 8 viene introdotto il gas, in cui viene acceso un plasma, caratteristicamente ossigeno, e, dall'altra, attraverso un altro regolatore del flusso di massa 9 viene introdotto il gas, il gas di reazione necessario, per la formazione dello- strato, all'interno del tubo di vetro 1.
Caratteristicamente si tratta di gas di reazione metallo-organici quali silossano, preferibilmente esametildisilossano (HMDSO), tetrameti Idisilossano, titantetraisopropossido (TIPT) oppure silazano, da cui con la scelta di una durata di impulsi adeguata viene formato lo strato sulla parte interna del tubo di vetro 1. La durata degli impulsi è pertanto un parametro aggiuntivo che influenza anche la composizione dello strato depositato .
Un controllo non rappresentato del processo controlla il procedimento di rivestimento in modo di per sé noto nel seguente modo:
per prima cosa l'intero sistema di tubi viene svuotato e successivamente regolato ad una pressione di processo di circa 1 mbar. Successivamente, attraverso il regolatore del flusso di massa 8 viene introdotto ossigeno nel sistema con un flusso di 135 cm<3 >standard. Dopo 5 s, attraverso gli elettrodi dell'alimentazione a microonde 6 sui due lati del tubo di vetro 1 viene accoppiata una radiazione a microonde con una frequenza di 2,45 GHz e una potenza di 1 KW. In questo modo all'interno del tubo di vetro 1 si accende un plasma che viene scaldato alla temperatura di processo di 250°C. Quando questa temperatura è stata raggiunta, attraverso il regolatore 9 del flusso dì massa viene regolato il flusso di massa di gas di reazione di 4 cm<3 >standard, preferibilmente HMDSO, in modo tale che all'interno del tubo di vetro 1 si trovi una miscela gassosa di ossigeno e HMDSO. Tramite gli elettrodi 6 viene ora inserita ad impulsi una potenza a microonde di 1,5 kW nel plasma all'interno del tubo di vetro 1, per cui le molecole del gas di reazione sono sottoposte a piroscissione. I prodotti di piroscissione così risultanti si diffondono sulla superficie immediatamente adiacente - in questo caso il tubo di vetro da rivestire - è formano lentamente lo strato desiderato. Nell'intervallo degli impulsi fino all'innesco dell'impulso successivo che si trova nell'intervallo da 10 a 100 ms, i gas di reazione consumati vengono rispettivamente rimossi dalla camera del vuoto tipo un motore a due tempi tramite aspirazione per mezzo della fase del vuoto 4, 5 e sostituiti con un gas di reazione e ossigeno nuovi. In questo modo, entro 2 s può essere precipitato uno strato con uno spessore di 5 nm.
La caratteristica dello strato dipende sostanzialmente dai parametri "durata degli impulsi" e "concentrazione del gas di reazione". In generale, con concentrazioni limitate e una durata di impulsi prolungata vengono depositati strati più duri che determinano un aumento sostanziale dell'inerzia. Con concentrazioni elevate e durate degli impulsi limitate vengono depositati strati più morbidi.
In linea di principio può essere prodotto anche uno strato multiplo. A tale scopo, non appena è stato raggiunto lo spessore sufficiente per il primo strato, il gas di reazione corrispondente viene sostituito con il gas di reazione necessario per la produzione del secondo strato. Per realizzare un passaggio più definito tra i due strati, per un determinato periodo di tempo può essere introdotta una miscela dei due gas di reazione. Per passaggi regolari, si può ridurre la percentuale del primo gas di reazione e aumentare contemporaneamente la percentuale del secondo gas di reazione costantemente fino al valore nominale.
Inoltre oppure al posto dell'ossigeno quale gas per il plasma possono anche essere utilizzati altri gas noti nella tecnica del plasma per la generazione di un plasma, come per esempio argo, elio, idrogeno oppure azoto; altri esempi vengono descritti nel libro "Plasma Technik" di Schade e altri, apparso nel 1990 in Velag Technik GmbH Berlino.
Esempi
Variando il periodo di rivestimento, con il dispositivo secondo il disegno, sono stati realizzati quattro campioni con spessore dello strato di 0,5 nm, 1 nm, 5nm e 50 nm. Dai tubi di vetro semilavorati rivestiti sono state di volta in volta realizzate fiale quali corpi sagomati di vetro. Sia i campioni dei tubi di vetro non sagomati che le fiale da qui formate, incluso un campione non rivestito corrispondente, sono stati esaminati dopo il trattamento in autoclave con vapore acqueo con l'ausilio della spettroscopia di assorbimento di atomi per verificare i valori limite secondo ISO 4802, parte II.
La tabella riportata di seguito presenta il risultato della lisciviazione con Na dopo un'ora di trattamento in autoclave, e cioè per i tubi nella colonna 2 e per le fiale nella colonna 4.
Inoltre, durante la deformazione dei campioni di tubo in fiale, la deformabilità è stata valutata in modo approssimativo. .Questa valutazione è riportata nella tabella in colonna 3 per gli spessori degli strati corrispondenti. E’ risultato che i tubi di vetro non erano deformabili con lo spessore dello strato di 50 nm e che con uno spessore dello strato di 5 nm potevano essere realizzate soltanto fiale insufficienti.
Tabella: valori misurati delle prove di deformazione su tubi di vetro semilavorati rivestiti internamente in ampolle quali corpi sagomati di vetro.
Dalla Tabella risulta che l'azione di bloccaggio dello strato con lo spessore dello strato aumenta, allo stesso tempo tuttavia le fiale non possono essere realizzate se lo strato è troppo spesso. Tra 1 nm e sotto 5 nm in questo sistema a strati è prevedibile un optimum dello spessore dello strato con una lisciviazione minima.

Claims (13)

  1. RIVENDICAZIONI. 1. Procedimento per la realizzazione di un corpo sagomato cavo di vetro, rivestito internamente, da un tubo di vetro a basso punto di fusione come semilavorato, con le fasi: - rivestire la superficie interna del tubo di vetro semilavorato con materiali ossidici in uno spessore dello strato che è adattato alle condizioni di deformazione successive per il corpo sagomato di vetro e ai requisiti di resistenza chimica, e - preparare il corpo sagomato di vetro dal tubo di vetro semilavorato rivestito internamente.
  2. 2. Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che la superficie interna è dotata di uno strato di materiale ossidico, il cui spessore rientra in un intervallo da 1 nm a 500 nm
  3. 3. Procedimento secondo la rivendicazione 1 o 2, caratterizzato dal fatto che il materiale di rivestimento ossidico è SiO2, oppure Al2O3, oppure TiO2, oppure miscele di questi.
  4. 4. Procedimento secondo una delle rivendicazioni 1-3, caratterizzato dal fatto che il rivestimento della superficie interna del tubo di vetro semilavorato ha luogo da una fase liquida dopo il procedimento di sol o di gel oppure tramite precipitazione da una soluzione sovrassatura con il materiale di rivestimento ossidico.
  5. 5. Procedimento secondo una delle rivendicazioni 1-3, caratterizzato dal fatto che il rivestimento della superficie interna del tubo di vetro semilavorato avviene tramite deposizione catodica del materiale di rivestimento ossidico solido .
  6. 6. Procedimento secondo una delle rivendicazioni 1-3, caratterizzato dal fatto che il rivestimento della superficie interna del tubo dì vetro semilavorato avviene tramite separazione chimica del materiale di rivestimento ossidico dalla fase gassosa dello stesso (procedimento CVD).
  7. 7. Procedimento secondo la rivendicazione 6, caratterizzato dal fatto che la separazione avviene a temperatura elevata.
  8. 8. Procedimento secondo la rivendicazione 7, caratterizzato dal fatto che la separazione avviene direttamente durante la realizzazione del tubo di vetro semilavorato dopo il procedimento di imbutitura.
  9. 9. Procedimento secondo la rivendicazione 7, caratterizzato dal fatto che la separazione avviene indipendentemente dalla realizzazione del tubo di vetro semilavorato, con un successivo nuovo riscaldamento tramite riscaldamento diretto o radiazione laser.
  10. 10. Procedimento secondo una delle rivendicazioni 6-9, caratterizzato dal fatto che la separazione chimica dalla fase gassosa del materiale di rivestimento ossidico avviene per mezzo di un procedimento CVD sottovuoto a vapore di plasma (procedimento PECVD).
  11. 11. Procedimento secondo la rivendicazione 10, caratterizzato dal fatto che il procedimento PECVD viene eseguito per mezzo di un plasma pulsato (procedimento PICVD).
  12. 12. Tubo di vetro a basso punto di fusione come semilavorato per la realizzazione di un corpo sagomato cavo di vetro con un rivestimento interno incrementante la resistenza chimica, caratterizzato dal fatto che la superficie interna del tubo di vetro semilavorato (1) è dotata di uno strato di materiali ossidici, il cui spessore è adattato alle condizioni di deformazione per il corpo sagomato di vetro e ai requisiti di resistenza chimica.
  13. 13. Tubo di vetro secondo la rivendicazione 12, caratterizzato dal fatto che lo spessore dello strato di materiale ossidico rientra in un intervallo da 1 nm a 500 nra.
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