JP2000059934A - ガス回収充填装置 - Google Patents
ガス回収充填装置Info
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- JP2000059934A JP2000059934A JP10232022A JP23202298A JP2000059934A JP 2000059934 A JP2000059934 A JP 2000059934A JP 10232022 A JP10232022 A JP 10232022A JP 23202298 A JP23202298 A JP 23202298A JP 2000059934 A JP2000059934 A JP 2000059934A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空ポンプを使用して被回収機器内のガスを
真空引きにより完全に回収する場合に、真空状態の被回
収機器内にガスを戻すとき吸着塔内を流れるガスの流速
を制限することにより、吸着剤の性能を十分に確保し得
るガス回収充填装置を提供する。 【解決手段】 ガス回収充填装置Aは、被回収機器Bか
らガスを吸引して圧縮する圧縮機と、この圧縮機で圧縮
されたガスを気体状態のままあるいは液化して回収する
回収容器1と、この回収容器内からガスを被回収機器に
戻すときそのガス中の水分を除去する吸着剤を収納する
吸着塔33とを備えることを前提とする。そして、更に
ガス回収充填装置Aは、被回収機器からガスを真空引き
して圧縮機側へ送給する真空ポンプと、吸着塔と被回収
機器との間の管路30に設けられかつ吸着塔側の圧力を
所定圧に保持する保圧弁52とを備える。
真空引きにより完全に回収する場合に、真空状態の被回
収機器内にガスを戻すとき吸着塔内を流れるガスの流速
を制限することにより、吸着剤の性能を十分に確保し得
るガス回収充填装置を提供する。 【解決手段】 ガス回収充填装置Aは、被回収機器Bか
らガスを吸引して圧縮する圧縮機と、この圧縮機で圧縮
されたガスを気体状態のままあるいは液化して回収する
回収容器1と、この回収容器内からガスを被回収機器に
戻すときそのガス中の水分を除去する吸着剤を収納する
吸着塔33とを備えることを前提とする。そして、更に
ガス回収充填装置Aは、被回収機器からガスを真空引き
して圧縮機側へ送給する真空ポンプと、吸着塔と被回収
機器との間の管路30に設けられかつ吸着塔側の圧力を
所定圧に保持する保圧弁52とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、点検などのために
被回収機器からガスを一時的に回収し、点検などの終了
後にその被回収機器にガスを充填して戻すためのガス回
収充填装置に関する。
被回収機器からガスを一時的に回収し、点検などの終了
後にその被回収機器にガスを充填して戻すためのガス回
収充填装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電力の変電所においては、遮断器
としてSF6ガスを圧縮して収容してなるガス遮断器
(GCB)を使用することがあり、また、最近は変電所
母線をタンクの中に入れ、絶縁性の高いSF6ガスを封
入したガス絶縁変電所(GIS)が用いられるようにな
ってきている。そして、このような変電所でガス遮断器
やタンク内を定期点検するときなどには、予めガス回収
充填装置を変電所内に搬入し、そのガス回収充填装置に
より変電所のタンク内等からSF6ガスを一時的に液化
ガスとして回収し、点検終了後にその液化ガスを気化さ
せてタンク内等に戻すようにしている。
としてSF6ガスを圧縮して収容してなるガス遮断器
(GCB)を使用することがあり、また、最近は変電所
母線をタンクの中に入れ、絶縁性の高いSF6ガスを封
入したガス絶縁変電所(GIS)が用いられるようにな
ってきている。そして、このような変電所でガス遮断器
やタンク内を定期点検するときなどには、予めガス回収
充填装置を変電所内に搬入し、そのガス回収充填装置に
より変電所のタンク内等からSF6ガスを一時的に液化
ガスとして回収し、点検終了後にその液化ガスを気化さ
せてタンク内等に戻すようにしている。
【0003】上記ガス回収充填装置は、通常、被回収機
器からSF6などのガスを吸引して圧縮する圧縮機と、
この圧縮機で圧縮されたガスを冷却して液化させる凝縮
器と、この液化ガスを貯溜する回収容器(タンク又はボ
ンベ)と、この回収容器内の液化ガスを加熱して気化さ
せる気化器とを備えている。また、気化器で気化したガ
ス中には水分が含まれることがあるが、この水分はSF
6ガスの絶縁性に悪影響を及ぼすため、気化ガス中の水
分を除去するシリカゲルなどの吸着剤を収納する吸着塔
をも備えるのが普通である。尚、ガス回収充填装置とし
ては、凝縮器と気化器とを備えず、回収したガスを気体
状態で回収容器内に貯溜するものもあるが、このもので
も、回収したガスを被回収機器に戻すときには通常吸着
塔で水分を除去するようにしている。
器からSF6などのガスを吸引して圧縮する圧縮機と、
この圧縮機で圧縮されたガスを冷却して液化させる凝縮
器と、この液化ガスを貯溜する回収容器(タンク又はボ
ンベ)と、この回収容器内の液化ガスを加熱して気化さ
せる気化器とを備えている。また、気化器で気化したガ
ス中には水分が含まれることがあるが、この水分はSF
6ガスの絶縁性に悪影響を及ぼすため、気化ガス中の水
分を除去するシリカゲルなどの吸着剤を収納する吸着塔
をも備えるのが普通である。尚、ガス回収充填装置とし
ては、凝縮器と気化器とを備えず、回収したガスを気体
状態で回収容器内に貯溜するものもあるが、このもので
も、回収したガスを被回収機器に戻すときには通常吸着
塔で水分を除去するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
ガス回収充填装置では、圧縮機の作動に伴う吸引力で被
回収機器内のガスを吸引しているに過ぎないため、被回
収機器内にガスが回収されずに残り易くなる。特に、ガ
ス絶縁変電所(GIS)に用いられるSF6ガスの場合
はその回収量が非常に多く、残る量も多くなる。残った
ガスは大気中に放出され、地球温暖化などの一因とな
る。
ガス回収充填装置では、圧縮機の作動に伴う吸引力で被
回収機器内のガスを吸引しているに過ぎないため、被回
収機器内にガスが回収されずに残り易くなる。特に、ガ
ス絶縁変電所(GIS)に用いられるSF6ガスの場合
はその回収量が非常に多く、残る量も多くなる。残った
ガスは大気中に放出され、地球温暖化などの一因とな
る。
【0005】そこで、この問題を解決するために、真空
ポンプをガス回収充填装置に装備し、真空ポンプにより
被回収機器内のガスを真空引きして回収することが考え
られる。しかし、真空状態の被回収機器内にガスを戻す
ときには、次のような問題がある。
ポンプをガス回収充填装置に装備し、真空ポンプにより
被回収機器内のガスを真空引きして回収することが考え
られる。しかし、真空状態の被回収機器内にガスを戻す
ときには、次のような問題がある。
【0006】すなわち、ガス回収充填装置に装備される
吸着塔内の吸着剤は、その中を流れるガス中の水分を除
去するためにその流速をある値以下に制限するものであ
るが、真空状態の被回収機器内にガスを戻すときにはそ
の流速がこの値を超え、吸着剤の性能が十分に発揮され
なくなるという問題である。
吸着塔内の吸着剤は、その中を流れるガス中の水分を除
去するためにその流速をある値以下に制限するものであ
るが、真空状態の被回収機器内にガスを戻すときにはそ
の流速がこの値を超え、吸着剤の性能が十分に発揮され
なくなるという問題である。
【0007】本発明はかかる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その課題とするところは、真空ポンプを使用し
て被回収機器内のガスを真空引きにより完全に回収する
場合に、真空状態の被回収機器内にガスを戻すとき吸着
塔内を流れるガスの流速を制限することにより、吸着剤
の性能を十分に確保し得るガス回収充填装置を提供する
ものである。
であり、その課題とするところは、真空ポンプを使用し
て被回収機器内のガスを真空引きにより完全に回収する
場合に、真空状態の被回収機器内にガスを戻すとき吸着
塔内を流れるガスの流速を制限することにより、吸着剤
の性能を十分に確保し得るガス回収充填装置を提供する
ものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明は、ガス回収充填装置として、被回収機器か
らガスを吸引して圧縮する圧縮機と、この圧縮機で圧縮
されたガスを気体状態のままあるいは液化して回収する
回収容器と、この回収容器内からガスを被回収機器に戻
すときそのガス中の水分を除去する吸着剤を収納する吸
着塔とを備えることを前提とする。そして、更に、上記
被回収機器からガスを真空引きして圧縮機側へ送給する
真空ポンプと、上記吸着塔と被回収機器との間の管路に
設けられかつ吸着塔側の圧力を所定圧に保持する保圧弁
とを備える構成とする。
め、本発明は、ガス回収充填装置として、被回収機器か
らガスを吸引して圧縮する圧縮機と、この圧縮機で圧縮
されたガスを気体状態のままあるいは液化して回収する
回収容器と、この回収容器内からガスを被回収機器に戻
すときそのガス中の水分を除去する吸着剤を収納する吸
着塔とを備えることを前提とする。そして、更に、上記
被回収機器からガスを真空引きして圧縮機側へ送給する
真空ポンプと、上記吸着塔と被回収機器との間の管路に
設けられかつ吸着塔側の圧力を所定圧に保持する保圧弁
とを備える構成とする。
【0009】この構成では、被回収機器からガスを回収
するときには、真空ポンプの真空引きにより被回収機器
内にガスを残すことなく回収することができる。この回
収したガスは、圧縮機で圧縮された後回収容器内に気体
状態のまま、あるいは液化して回収される。
するときには、真空ポンプの真空引きにより被回収機器
内にガスを残すことなく回収することができる。この回
収したガスは、圧縮機で圧縮された後回収容器内に気体
状態のまま、あるいは液化して回収される。
【0010】一方、被回収機器内にガスを戻すときに
は、上記回収容器内からガスを吸着塔に導き、その吸着
塔内の吸着剤によりガス中の水を除去した後、それを被
回収機器内に充填する。この場合、ガスの充填開始時に
は被回収機器内は真空状態であるが、吸着塔側の圧力は
保圧弁により所定圧に維持され、吸着塔内を流れるガス
の流速も抑制されることになる。このため、吸着塔内の
吸着剤の性能が十分に発揮され、被回収機器内に充填さ
れるガス中の水分が確実に除去される。
は、上記回収容器内からガスを吸着塔に導き、その吸着
塔内の吸着剤によりガス中の水を除去した後、それを被
回収機器内に充填する。この場合、ガスの充填開始時に
は被回収機器内は真空状態であるが、吸着塔側の圧力は
保圧弁により所定圧に維持され、吸着塔内を流れるガス
の流速も抑制されることになる。このため、吸着塔内の
吸着剤の性能が十分に発揮され、被回収機器内に充填さ
れるガス中の水分が確実に除去される。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1及び図2は本発明の一実施形
態に係るガス回収充填装置Aを示し、図1は同装置Aの
うち、被回収機器であるガス絶縁変電所(GIS)Bか
らSF6ガスを回収する部分の流体回路構成を示し、図
2は回収したガスをガス絶縁変電所B内へ充填する部分
の流体回路構成を示す。
に基づいて説明する。図1及び図2は本発明の一実施形
態に係るガス回収充填装置Aを示し、図1は同装置Aの
うち、被回収機器であるガス絶縁変電所(GIS)Bか
らSF6ガスを回収する部分の流体回路構成を示し、図
2は回収したガスをガス絶縁変電所B内へ充填する部分
の流体回路構成を示す。
【0012】図1において、ガス回収充填装置Aは、ガ
ス絶縁変電所Bから回収容器である回収タンク1に連通
されるガス回収管路2に上流側(ガス絶縁変電所B側)
より順にサージタンク3、モータ駆動式の2段圧縮機
4、フィルタ5及び凝縮器6などを備え、2段圧縮機4
の作動によりガス絶縁変電所BからSF6ガスを吸引し
て圧縮するとともに、凝縮器6で冷却することにより液
化させ、その液化ガスを回収タンク1に貯溜するように
なっている。
ス絶縁変電所Bから回収容器である回収タンク1に連通
されるガス回収管路2に上流側(ガス絶縁変電所B側)
より順にサージタンク3、モータ駆動式の2段圧縮機
4、フィルタ5及び凝縮器6などを備え、2段圧縮機4
の作動によりガス絶縁変電所BからSF6ガスを吸引し
て圧縮するとともに、凝縮器6で冷却することにより液
化させ、その液化ガスを回収タンク1に貯溜するように
なっている。
【0013】上記凝縮器6に付随して冷却装置11が設
けられている。この冷却装置11は、本実施形態では、
冷凍機12と膨張弁13などにより冷媒回路を構成し、
凝縮器6にて熱交換をしてその中を流れるSF6ガスを
冷却するようになっている。尚、冷却装置11として
は、単にファンにより冷却するものでもよい。
けられている。この冷却装置11は、本実施形態では、
冷凍機12と膨張弁13などにより冷媒回路を構成し、
凝縮器6にて熱交換をしてその中を流れるSF6ガスを
冷却するようになっている。尚、冷却装置11として
は、単にファンにより冷却するものでもよい。
【0014】また、ガス回収充填装置Aは、上記ガス回
収管路2のサージタンク3上流側に真空ポンプ16を備
えており、この真空ポンプ16は、ガス絶縁変電所Bか
らガスを真空引きしてサージタンク3を介して圧縮機4
へ送給するものである。真空ポンプ16とサージタンク
3との間にはオイルフィルタ17と真空ポンプ16の排
気側の圧力を所定圧(例えば0.2kgf/cm2)に
保持する保圧弁18とが設けられている。また、真空ポ
ンプ16の排気側と吸気側とを連通する管路21にも保
圧弁22が設けられており、この保圧弁22の設定圧
は、上記保圧弁18の設定圧より高い値(例えば0.4
kgf/cm2)に設定されていて、真空ポンプ16の
排気側の圧力がこの設定値以上になったときその圧力を
リークするようになっている。
収管路2のサージタンク3上流側に真空ポンプ16を備
えており、この真空ポンプ16は、ガス絶縁変電所Bか
らガスを真空引きしてサージタンク3を介して圧縮機4
へ送給するものである。真空ポンプ16とサージタンク
3との間にはオイルフィルタ17と真空ポンプ16の排
気側の圧力を所定圧(例えば0.2kgf/cm2)に
保持する保圧弁18とが設けられている。また、真空ポ
ンプ16の排気側と吸気側とを連通する管路21にも保
圧弁22が設けられており、この保圧弁22の設定圧
は、上記保圧弁18の設定圧より高い値(例えば0.4
kgf/cm2)に設定されていて、真空ポンプ16の
排気側の圧力がこの設定値以上になったときその圧力を
リークするようになっている。
【0015】一方、図2において、ガス回収充填装置A
は、回収タンク1からガス絶縁変電所Bに連通されるガ
ス充填管路30に上流側(回収タンク1側)より順に流
量計31、ヒータ式蒸発器32、吸着塔33などを備
え、回収タンク1より所定量の液化ガスを気化器として
の蒸発器32に送りながらその蒸発器32で液化ガスを
加熱気化させ、その気化ガスを吸着塔33内を通してガ
ス絶縁変電所Bへ充填して戻すようになっている。上記
吸着塔33は、その内部にシリカゲルなどの吸着剤が格
納され、その中を流れる気化ガス中の水分を除去するも
のである。
は、回収タンク1からガス絶縁変電所Bに連通されるガ
ス充填管路30に上流側(回収タンク1側)より順に流
量計31、ヒータ式蒸発器32、吸着塔33などを備
え、回収タンク1より所定量の液化ガスを気化器として
の蒸発器32に送りながらその蒸発器32で液化ガスを
加熱気化させ、その気化ガスを吸着塔33内を通してガ
ス絶縁変電所Bへ充填して戻すようになっている。上記
吸着塔33は、その内部にシリカゲルなどの吸着剤が格
納され、その中を流れる気化ガス中の水分を除去するも
のである。
【0016】上記蒸発器32は、熱媒液として所定量の
熱媒油を収容する円筒状の液槽41を有し、この液槽4
1の内部には円筒状部材42が同心状にかつ下端を液槽
41の底面に固定して配置され、この円筒状部材42に
より液槽41が内槽43とそれより外側の外槽44とに
仕切られている。内槽43内にはヒータ45が垂下して
配置されている一方、外槽44内には円筒状部材42の
外周を囲むように螺旋状の伝熱管46が配置されてい
る。この伝熱管46は、ガス充填管路30の一部を構成
し、その中を回収タンク1から流出した液化ガスが流れ
るようになっている。
熱媒油を収容する円筒状の液槽41を有し、この液槽4
1の内部には円筒状部材42が同心状にかつ下端を液槽
41の底面に固定して配置され、この円筒状部材42に
より液槽41が内槽43とそれより外側の外槽44とに
仕切られている。内槽43内にはヒータ45が垂下して
配置されている一方、外槽44内には円筒状部材42の
外周を囲むように螺旋状の伝熱管46が配置されてい
る。この伝熱管46は、ガス充填管路30の一部を構成
し、その中を回収タンク1から流出した液化ガスが流れ
るようになっている。
【0017】上記液槽41の外槽44側には循環管路4
7の一端が、内槽43側には循環管路47の他端がそれ
ぞれ接続されているとともに、この循環管路47にはオ
イルポンプ48が設けられ、このオイルポンプ48と循
環管路47とにより、液槽41内の熱媒油を外槽44側
より取り出しそれを内槽43側へ戻す熱媒油循環系49
が構成されている。液槽41内における熱媒油の油面
は、使用状態で円筒状部材42の上端よりも高く設定さ
れ、上記熱媒油循環系49で熱媒油を循環させるとき液
槽41内においては、熱媒油が内槽43側より円筒状部
材42の上端をオーバーフローして外槽44側へ流入す
るようになっている。
7の一端が、内槽43側には循環管路47の他端がそれ
ぞれ接続されているとともに、この循環管路47にはオ
イルポンプ48が設けられ、このオイルポンプ48と循
環管路47とにより、液槽41内の熱媒油を外槽44側
より取り出しそれを内槽43側へ戻す熱媒油循環系49
が構成されている。液槽41内における熱媒油の油面
は、使用状態で円筒状部材42の上端よりも高く設定さ
れ、上記熱媒油循環系49で熱媒油を循環させるとき液
槽41内においては、熱媒油が内槽43側より円筒状部
材42の上端をオーバーフローして外槽44側へ流入す
るようになっている。
【0018】また、上記ガス充填管路30における蒸発
器32と吸着塔33との間には減圧弁51が設けられて
いるとともに、吸着塔33とガス絶縁変電所Bとの間に
は吸着塔33側の圧力を所定圧(例えば3kgf/cm
2)に保持する保圧弁52が設けられている。尚、図1
及び図2中、61は電磁弁、62は開閉弁、63はスト
レーナ、64は圧力計、65は真空計、66は温度計、
67は安全弁である。
器32と吸着塔33との間には減圧弁51が設けられて
いるとともに、吸着塔33とガス絶縁変電所Bとの間に
は吸着塔33側の圧力を所定圧(例えば3kgf/cm
2)に保持する保圧弁52が設けられている。尚、図1
及び図2中、61は電磁弁、62は開閉弁、63はスト
レーナ、64は圧力計、65は真空計、66は温度計、
67は安全弁である。
【0019】次に、上記ガス回収充填装置Aの作用・効
果を説明するに、ガス絶縁変電所B(詳しくはそのタン
ク)からSF6ガスを回収するときには、真空ポンプ1
6の真空引きによりガス絶縁変電所B内にSF6ガスを
残すことなく回収することができるので、SF6ガスの
大気中への放出による地球温暖化などの問題を解消する
ことができる。この回収したガスは、2段圧縮機4で圧
縮された後凝縮器6で冷却されることにより液化し、液
化ガスとして回収タンク1内に貯溜される。
果を説明するに、ガス絶縁変電所B(詳しくはそのタン
ク)からSF6ガスを回収するときには、真空ポンプ1
6の真空引きによりガス絶縁変電所B内にSF6ガスを
残すことなく回収することができるので、SF6ガスの
大気中への放出による地球温暖化などの問題を解消する
ことができる。この回収したガスは、2段圧縮機4で圧
縮された後凝縮器6で冷却されることにより液化し、液
化ガスとして回収タンク1内に貯溜される。
【0020】一方、回収タンク1内の液化ガスをガス絶
縁変電所B内に元の気化ガスとして戻すときには、回収
タンク1内の液化ガスを蒸発器32で加熱気化させた
後、吸着塔33内の吸着剤により気化ガス中の水を除去
し、それをガス絶縁変電所B内に充填する。この場合、
ガスの充填開始時にはガス絶縁変電所B内は真空状態で
あるが、ガス充填管路30における吸着塔33側の圧力
は保圧弁52により所定圧に維持され、吸着塔33の中
を流れる気化ガスの流速も抑制される。このため、吸着
塔33内の吸着剤の性能を十分に発揮することができ、
ガス絶縁変電所B内に充填される気化ガス中の水分を確
実に除去することができる。
縁変電所B内に元の気化ガスとして戻すときには、回収
タンク1内の液化ガスを蒸発器32で加熱気化させた
後、吸着塔33内の吸着剤により気化ガス中の水を除去
し、それをガス絶縁変電所B内に充填する。この場合、
ガスの充填開始時にはガス絶縁変電所B内は真空状態で
あるが、ガス充填管路30における吸着塔33側の圧力
は保圧弁52により所定圧に維持され、吸着塔33の中
を流れる気化ガスの流速も抑制される。このため、吸着
塔33内の吸着剤の性能を十分に発揮することができ、
ガス絶縁変電所B内に充填される気化ガス中の水分を確
実に除去することができる。
【0021】尚、本発明は上記実施形態に限定されるも
のではなく、その他種々の形態を包含するものである。
例えば上記実施形態では、回収容器としてタンク1を使
用し、そのタンク1内の液化ガスを蒸発器32で加熱気
化させる場合について述べたが、本発明は、回収容器と
してガスボンベを使用したり、蒸発器(つまり気化器)
を使用せず回収容器内の液化ガスを自然気化させたりす
る場合にも適用することができる。
のではなく、その他種々の形態を包含するものである。
例えば上記実施形態では、回収容器としてタンク1を使
用し、そのタンク1内の液化ガスを蒸発器32で加熱気
化させる場合について述べたが、本発明は、回収容器と
してガスボンベを使用したり、蒸発器(つまり気化器)
を使用せず回収容器内の液化ガスを自然気化させたりす
る場合にも適用することができる。
【0022】また、本発明は、実施形態の如くガス絶縁
変電所BからSF6ガスを回収する場合に限らず、被回
収機器からその他のガスを回収する場合にも適用するこ
とができ、また回収容器内にガスを回収するとき、実施
形態の如く凝縮器6を用いてガスを液化することなく、
気化状態のまま回収する場合にも適用することができ
る。
変電所BからSF6ガスを回収する場合に限らず、被回
収機器からその他のガスを回収する場合にも適用するこ
とができ、また回収容器内にガスを回収するとき、実施
形態の如く凝縮器6を用いてガスを液化することなく、
気化状態のまま回収する場合にも適用することができ
る。
【0023】
【発明の効果】以上のように、本発明のガス回収充填装
置によれば、真空ポンプの真空引きにより被回収機器内
にガスを残すことなく回収することができ、しかも、そ
の真空状態の被回収機器内にガスを戻すときには吸着塔
側の圧力が保圧弁により所定圧に維持され、その中を流
れるガスの流速を抑制することができるので、吸着剤の
性能を十分に確保することができ、被回収機器内に充填
されるガス中の水分を確実に除去することができる。
置によれば、真空ポンプの真空引きにより被回収機器内
にガスを残すことなく回収することができ、しかも、そ
の真空状態の被回収機器内にガスを戻すときには吸着塔
側の圧力が保圧弁により所定圧に維持され、その中を流
れるガスの流速を抑制することができるので、吸着剤の
性能を十分に確保することができ、被回収機器内に充填
されるガス中の水分を確実に除去することができる。
【図1】本発明の実施形態に係るガス回収充填装置の回
収部分の流体回路構成図である。
収部分の流体回路構成図である。
【図2】同じく充填部分の流体回路構成図である。
A ガス回収充填装置 B ガス絶縁変電所(被回収機器) 1 回収タンク(回収容器) 4 2段圧縮機 16 真空ポンプ 33 吸着塔 52 保圧弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F25J 1/00 F25J 1/00 A H02B 3/00 H02B 3/00 Q
Claims (1)
- 【請求項1】 被回収機器からガスを吸引して圧縮する
圧縮機と、この圧縮機で圧縮されたガスを気体状態のま
まあるいは液化して回収する回収容器と、この回収容器
内からガスを被回収機器に戻すときそのガス中の水分を
除去する吸着剤を収納する吸着塔とを備えたガス回収充
填装置において、 上記被回収機器からガスを真空引きして圧縮機側へ送給
する真空ポンプと、 上記吸着塔と被回収機器との間の管路に設けられ、吸着
塔側の圧力を所定圧に保持する保圧弁とを備えたことを
特徴とするガス回収充填装置。
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