JP2000077754A - レーザ装置 - Google Patents
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ媒質ガス中に金属粉等の不純物が飛散
することなく、十分な予備電離が行なえ、レーザガスの
劣化を抑制する。 【解決手段】 レーザ光軸に直交する方向に対向して設
けられた一対の主放電電極間にグロー放電を行ってレー
ザ管内に封入された高気圧のレーザ媒質ガスを励起する
ことによりレーザ光を得るレーザ装置において、前記主
放電電極による前記レーザ媒質ガスの放電励起に先立
ち、レーザ媒質ガスを予備電離するための少なくとも一
対の予備電離電極と、該予備電離電極の陰極と陽極を各
々被覆する絶縁部材と、該絶縁部材を介して前記予備電
離電極間にコロナ放電を発生させるためのコンデンサ
と、前記主放電電極による放電によって励起されて発生
した光を共振増幅するための共振光学系と、を備えるこ
とを特徴とする。
することなく、十分な予備電離が行なえ、レーザガスの
劣化を抑制する。 【解決手段】 レーザ光軸に直交する方向に対向して設
けられた一対の主放電電極間にグロー放電を行ってレー
ザ管内に封入された高気圧のレーザ媒質ガスを励起する
ことによりレーザ光を得るレーザ装置において、前記主
放電電極による前記レーザ媒質ガスの放電励起に先立
ち、レーザ媒質ガスを予備電離するための少なくとも一
対の予備電離電極と、該予備電離電極の陰極と陽極を各
々被覆する絶縁部材と、該絶縁部材を介して前記予備電
離電極間にコロナ放電を発生させるためのコンデンサ
と、前記主放電電極による放電によって励起されて発生
した光を共振増幅するための共振光学系と、を備えるこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、封入された高気圧
のレーザ媒質ガスに放電を行って励起し、レーザ光を発
振させるレーザ装置に係り、殊に放電励起型ガスレーザ
装置の予備電離に関する。
のレーザ媒質ガスに放電を行って励起し、レーザ光を発
振させるレーザ装置に係り、殊に放電励起型ガスレーザ
装置の予備電離に関する。
【０００２】
【従来の技術】エキシマレーザ等のレーザ装置の励起方
式としては、レーザ媒質ガスの予備電離を十分に行った
後、レーザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一
対の主放電電極間にグロー放電を行って励起する放電励
起方式が知られている。予備電離方法としては一般的
に、アーク（スパーク）放電によるアーク予備電離方
式、コロナ放電によるコロナ予備電離方式が知られてい
る。図５は放電励起の構成をレーザ光軸と直交する方向
から模式的に示した図であり、（ａ）がアーク予備電離
方式、（ｂ）がコロナ予備電離方式である。
式としては、レーザ媒質ガスの予備電離を十分に行った
後、レーザ光軸に直交する方向に対向して設けられた一
対の主放電電極間にグロー放電を行って励起する放電励
起方式が知られている。予備電離方法としては一般的
に、アーク（スパーク）放電によるアーク予備電離方
式、コロナ放電によるコロナ予備電離方式が知られてい
る。図５は放電励起の構成をレーザ光軸と直交する方向
から模式的に示した図であり、（ａ）がアーク予備電離
方式、（ｂ）がコロナ予備電離方式である。
【０００３】図５（ａ）のアーク予備電離方式では、対
向する一対の主放電電極５０ａ、５０ｂが導電体である
保持板５１ａ、５１ｂにそれぞれ固定されている。主放
電電極５０ａの両側には、予備電離ピン５３を備えたピ
ーキングコンデンサ５２が保持板５１ａに設けられてお
り、保持板５１ｂには予備電離ピン５４が予備電離ピン
５３と所定の間隔（ギャップ）を持って対向するように
設けられている。
向する一対の主放電電極５０ａ、５０ｂが導電体である
保持板５１ａ、５１ｂにそれぞれ固定されている。主放
電電極５０ａの両側には、予備電離ピン５３を備えたピ
ーキングコンデンサ５２が保持板５１ａに設けられてお
り、保持板５１ｂには予備電離ピン５４が予備電離ピン
５３と所定の間隔（ギャップ）を持って対向するように
設けられている。
【０００４】ピーキングコンデンサ５２を充電すること
により、対向する予備電離ピン５３、５４間にアーク
（スパーク）放電が発生する。アーク放電により予備電
極間に生じる紫外線が主放電電極５３ａ、５３ｂ間のレ
ーザガスを予備電離し、ピーキングコンデンサ５２が所
定の高電圧に達すると、主放電電極５３ａ、５３ｂ間に
主放電であるグロー放電が行われて放電領域のレーザガ
スが励起され、エキシマレーザが発生する。
により、対向する予備電離ピン５３、５４間にアーク
（スパーク）放電が発生する。アーク放電により予備電
極間に生じる紫外線が主放電電極５３ａ、５３ｂ間のレ
ーザガスを予備電離し、ピーキングコンデンサ５２が所
定の高電圧に達すると、主放電電極５３ａ、５３ｂ間に
主放電であるグロー放電が行われて放電領域のレーザガ
スが励起され、エキシマレーザが発生する。
【０００５】図５（ｂ）のコロナ予備電離方式では、ピ
ーキングコンデンサ５２が保持板５１ａ、５１ｂを連結
するように接続して設けられており、コロナ用電極５５
ａを絶縁部材５５ｂで被覆した予備電離ロッド５５と、
アース（接地）された金属製のアース電極ロッド５６に
より予備電離が行われる。
ーキングコンデンサ５２が保持板５１ａ、５１ｂを連結
するように接続して設けられており、コロナ用電極５５
ａを絶縁部材５５ｂで被覆した予備電離ロッド５５と、
アース（接地）された金属製のアース電極ロッド５６に
より予備電離が行われる。
【０００６】予備電離ロッド５５のコロナ用電極５５ａ
に電圧が印可されると、予備電離ロッド５５とアース電
極ロッド５６との間にコロナ放電が発生する。コロナ放
電により主放電電極間のレーザガスを予備電離し、主放
電電極間にグロー放電が行われると、放電領域のレーザ
ガスが励起され、エキシマレーザが発生する。
に電圧が印可されると、予備電離ロッド５５とアース電
極ロッド５６との間にコロナ放電が発生する。コロナ放
電により主放電電極間のレーザガスを予備電離し、主放
電電極間にグロー放電が行われると、放電領域のレーザ
ガスが励起され、エキシマレーザが発生する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
アーク予備電離方式の場合、アーク放電の際に予備電離
ピンが高温となるため、ピンの一部が溶融飛散し、不純
物となってレーザガス中に混入する。レーザガス中に不
純物（金属粉や金属イオン）が混入すると、レーザガス
の寿命が短くなるだけでなく、電離能力の低下や主放電
の不均一化によるレーザ出力の低下などの悪影響を及ぼ
す。
アーク予備電離方式の場合、アーク放電の際に予備電離
ピンが高温となるため、ピンの一部が溶融飛散し、不純
物となってレーザガス中に混入する。レーザガス中に不
純物（金属粉や金属イオン）が混入すると、レーザガス
の寿命が短くなるだけでなく、電離能力の低下や主放電
の不均一化によるレーザ出力の低下などの悪影響を及ぼ
す。
【０００８】また、後者のコロナ予備電離方式の場合、
アーク予備電離方式に対して予備電離されるイオン密度
が極端に小さく、十分な予備電離が行い難い。予備電離
が十分に行われない状態で主放電（グロー放電）が行わ
れると、主放電電極間にグロー放電のほかにアーク放電
が生じる。主放電電極間にアーク放電が生じると、主放
電電極の一部が溶融飛散し、不純物としてレーザガス中
に混入することになり、アーク予備電離方式と同様の問
題が生じる。
アーク予備電離方式に対して予備電離されるイオン密度
が極端に小さく、十分な予備電離が行い難い。予備電離
が十分に行われない状態で主放電（グロー放電）が行わ
れると、主放電電極間にグロー放電のほかにアーク放電
が生じる。主放電電極間にアーク放電が生じると、主放
電電極の一部が溶融飛散し、不純物としてレーザガス中
に混入することになり、アーク予備電離方式と同様の問
題が生じる。
【０００９】さらに、十分な予備電離を行うために大き
なコロナ放電を生じさせると、誘電体を被覆していない
方の電極から金属粉等の不純物をレーザ媒質ガスに放出
する可能性がある。
なコロナ放電を生じさせると、誘電体を被覆していない
方の電極から金属粉等の不純物をレーザ媒質ガスに放出
する可能性がある。
【００１０】本発明は上記従来技術に鑑み、レーザ媒質
ガス中に金属粉等の不純物が飛散することなく、十分な
予備電離が行なえ、レーザガスの劣化を抑制するレーザ
装置を提供することを技術課題とする。
ガス中に金属粉等の不純物が飛散することなく、十分な
予備電離が行なえ、レーザガスの劣化を抑制するレーザ
装置を提供することを技術課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
【００１２】（１） レーザ光軸に直交する方向に対向
して設けられた一対の主放電電極間にグロー放電を行っ
てレーザ管内に封入された高気圧のレーザ媒質ガスを励
起することによりレーザ光を得るレーザ装置において、
前記主放電電極による前記レーザ媒質ガスの放電励起に
先立ち、レーザ媒質ガスを予備電離するための少なくと
も一対の予備電離電極と、該予備電離電極の陰極と陽極
を各々被覆する絶縁部材と、該絶縁部材を介して前記予
備電離電極間にコロナ放電を発生させるためのコンデン
サと、前記主放電電極による放電によって励起されて発
生した光を共振増幅するための共振光学系と、を備える
ことを特徴とする。
して設けられた一対の主放電電極間にグロー放電を行っ
てレーザ管内に封入された高気圧のレーザ媒質ガスを励
起することによりレーザ光を得るレーザ装置において、
前記主放電電極による前記レーザ媒質ガスの放電励起に
先立ち、レーザ媒質ガスを予備電離するための少なくと
も一対の予備電離電極と、該予備電離電極の陰極と陽極
を各々被覆する絶縁部材と、該絶縁部材を介して前記予
備電離電極間にコロナ放電を発生させるためのコンデン
サと、前記主放電電極による放電によって励起されて発
生した光を共振増幅するための共振光学系と、を備える
ことを特徴とする。
【００１３】（２） （１）のレーザ装置において、前
記絶縁部材はセラミックス基材であることを特徴とす
る。
記絶縁部材はセラミックス基材であることを特徴とす
る。
【００１４】（３） （２）のレーザ装置において、前
記セラミックス基材の比誘電率は１０００以上であるこ
とを特徴とする。
記セラミックス基材の比誘電率は１０００以上であるこ
とを特徴とする。
【００１５】（４） （１）のレーザ装置において、前
記予備電離電極はレーザ光軸に平行に設けられているこ
とを特徴とする。
記予備電離電極はレーザ光軸に平行に設けられているこ
とを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１はエキシマレーザ装置の概略
構成図である。
に基づいて説明する。図１はエキシマレーザ装置の概略
構成図である。
【００１７】レーザ媒質ガスのレーザ管１への供給・排
気は、ガス供給排気系２により行われる。レーザ媒質ガ
スは、例えば、Ａｒ（アルゴン）の希ガスとＦ2（フッ
素）のハロゲンガスの混合ガスを使用すると、ＡｒＦの
エキシマレーザ（発振波長１９３ｎｍ）を得ることがで
きる。
気は、ガス供給排気系２により行われる。レーザ媒質ガ
スは、例えば、Ａｒ（アルゴン）の希ガスとＦ2（フッ
素）のハロゲンガスの混合ガスを使用すると、ＡｒＦの
エキシマレーザ（発振波長１９３ｎｍ）を得ることがで
きる。
【００１８】レーザ管１の前後には反射ミラー７、出力
ミラー８が配置されて共振光学系が構成されている。レ
ーザ光軸上に配置され、共振光学系を構成する全反射ミ
ラー７は波長１９３ｎｍの光を全反射し、出力ミラー８
は波長１９３ｎｍの光を一部透過する特性をそれぞれ持
つ。
ミラー８が配置されて共振光学系が構成されている。レ
ーザ光軸上に配置され、共振光学系を構成する全反射ミ
ラー７は波長１９３ｎｍの光を全反射し、出力ミラー８
は波長１９３ｎｍの光を一部透過する特性をそれぞれ持
つ。
【００１９】励起回路３からの信号によって、レーザ管
１内に配置される放電電極間に放電が生じると、レーザ
管１内のレーザ媒質ガスが励起される。放電励起により
放出された光は共振光学系間を往復して増幅され、レー
ザ光として出力ミラー８からレーザ管１を出射した後、
導光光学系４を介して被照射物を照射する。
１内に配置される放電電極間に放電が生じると、レーザ
管１内のレーザ媒質ガスが励起される。放電励起により
放出された光は共振光学系間を往復して増幅され、レー
ザ光として出力ミラー８からレーザ管１を出射した後、
導光光学系４を介して被照射物を照射する。
【００２０】制御部５は入力部６からのレーザ照射条件
等の入力信号に基づいて、ガス供給排気系２、励起回路
３、導光光学系４を駆動制御し、レーザ管１のレーザ発
振の動作、導光光学系４による被照射物へのレーザ照射
動作を行なう。
等の入力信号に基づいて、ガス供給排気系２、励起回路
３、導光光学系４を駆動制御し、レーザ管１のレーザ発
振の動作、導光光学系４による被照射物へのレーザ照射
動作を行なう。
【００２１】以下、レーザ管の説明を、図２に示すレー
ザ管１内の要部構成断面図、図３に示す図２のＡ−Ａ断
面図に基づいて説明する。
ザ管１内の要部構成断面図、図３に示す図２のＡ−Ａ断
面図に基づいて説明する。
【００２２】導電体である保持板１０ａ、１０ｂは取付
部１１及び支柱１２により、レーザ管１に取付けられて
いる。各々の保持板１０ａ、１０ｂには対を成すレール
状のエルンスト型主放電電極１３ａ、１３ｂが設けられ
ている。エルンスト型主放電電極１３ａ、１３ｂの横断
面は、主放電電極間で一様なグロー放電を行うに適した
蒲鉾状の形状をしている。主放電電極１３ａ、１３ｂの
両側には円筒型のピーキングコンデンサ１４がその電極
方向を主放電方向と平行になるように保持板１０ａ、１
０ｂを連結するように固定配置されている。
部１１及び支柱１２により、レーザ管１に取付けられて
いる。各々の保持板１０ａ、１０ｂには対を成すレール
状のエルンスト型主放電電極１３ａ、１３ｂが設けられ
ている。エルンスト型主放電電極１３ａ、１３ｂの横断
面は、主放電電極間で一様なグロー放電を行うに適した
蒲鉾状の形状をしている。主放電電極１３ａ、１３ｂの
両側には円筒型のピーキングコンデンサ１４がその電極
方向を主放電方向と平行になるように保持板１０ａ、１
０ｂを連結するように固定配置されている。
【００２３】コロナ予備電離用の陰極ロッド１５は、中
心電極１５ａとこれを被覆する絶縁部材１５ｂより構成
されており、レーザ光軸に平行に配置される。アース
（接地）されている陽極ロッド１６もまた、中心電極１
６ａとこれを被覆する絶縁部材１６ｂより構成されてお
り、レーザ光軸に平行に配置される。絶縁部材１５ｂ、
１６ｂにはガラス、セラミックス、サファイア等の誘電
体が使用され、好ましくは比誘電率が１０００以上の高
誘電率を有する誘電体セラミックス、例えば、チタン酸
ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ3）等がよい。
心電極１５ａとこれを被覆する絶縁部材１５ｂより構成
されており、レーザ光軸に平行に配置される。アース
（接地）されている陽極ロッド１６もまた、中心電極１
６ａとこれを被覆する絶縁部材１６ｂより構成されてお
り、レーザ光軸に平行に配置される。絶縁部材１５ｂ、
１６ｂにはガラス、セラミックス、サファイア等の誘電
体が使用され、好ましくは比誘電率が１０００以上の高
誘電率を有する誘電体セラミックス、例えば、チタン酸
ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ3）等がよい。
【００２４】レーザ管１内にはガス供給排気系２に接続
された供給管２０からレーザ媒質ガスが供給されて封入
され、使用されたガスは排気管２１から排気される。封
入されたレーザ媒質ガスはガスフローファン２２の回転
によりレーザ管１内で循環され、常に新しいガスを放電
領域に供給する。ガスフローファン２２は保持板１０ａ
上の両端部に設けられた支持部材２３により回転可能に
支持されており、その回転はレーザ管１の外部に設けら
れたモータ等からなる回転駆動機構２４によりマグネテ
ィックカップリング２５を介して行われる。
された供給管２０からレーザ媒質ガスが供給されて封入
され、使用されたガスは排気管２１から排気される。封
入されたレーザ媒質ガスはガスフローファン２２の回転
によりレーザ管１内で循環され、常に新しいガスを放電
領域に供給する。ガスフローファン２２は保持板１０ａ
上の両端部に設けられた支持部材２３により回転可能に
支持されており、その回転はレーザ管１の外部に設けら
れたモータ等からなる回転駆動機構２４によりマグネテ
ィックカップリング２５を介して行われる。
【００２５】図４は励起回路３の要部構成図であり、高
圧電源４０の陰極側に、コロナ予備電離用のコンデンサ
４１、及び主放電用のコンデンサ４２が設けられ、その
先には各々にコロナ予備電離用陰極ロッド１５の中心電
極１５ａ、主放電陰電極１３ａに接続されている。高圧
電源４０と並列に、ピーキングコンデンサ１４、外部の
トリガ信号により高速スイッチング動作を行なうサイラ
トロン等のスイッチング素子４３、及びコンデンサ４
１、４２を充電するための抵抗４４、４５が設けられ、
陽極（接地）側には主放電陽電極１３ｂ、コロナ予備電
離用陽極ロッド１６の中心電極１６ａと接続されてい
る。
圧電源４０の陰極側に、コロナ予備電離用のコンデンサ
４１、及び主放電用のコンデンサ４２が設けられ、その
先には各々にコロナ予備電離用陰極ロッド１５の中心電
極１５ａ、主放電陰電極１３ａに接続されている。高圧
電源４０と並列に、ピーキングコンデンサ１４、外部の
トリガ信号により高速スイッチング動作を行なうサイラ
トロン等のスイッチング素子４３、及びコンデンサ４
１、４２を充電するための抵抗４４、４５が設けられ、
陽極（接地）側には主放電陽電極１３ｂ、コロナ予備電
離用陽極ロッド１６の中心電極１６ａと接続されてい
る。
【００２６】以上のような構成をそなえるレーザ装置に
関して、以下にそのレーザ発振動作を説明する。
関して、以下にそのレーザ発振動作を説明する。
【００２７】レーザ管１内にガス供給排気系２より高気
圧のレーザ媒質ガスが供給され、封入される。サイラト
ロン４３がＯＦＦの状態で高圧電源４０を作動させる
と、コンデンサ４１及びコンデンサ４２に高電圧が印加
される。高電圧が印加されると、コンデンサ４１及び４
２は抵抗４４、４５を介して充電される。
圧のレーザ媒質ガスが供給され、封入される。サイラト
ロン４３がＯＦＦの状態で高圧電源４０を作動させる
と、コンデンサ４１及びコンデンサ４２に高電圧が印加
される。高電圧が印加されると、コンデンサ４１及び４
２は抵抗４４、４５を介して充電される。
【００２８】外部信号を入力してサイラトロン４３のス
イッチを瞬間的にＯＮすると、コンデンサ４１及び４２
に蓄積された電荷は、陰極ロッド１５と陽極ロッド１
６、及びピーキングコンデンサ１４に移行する。
イッチを瞬間的にＯＮすると、コンデンサ４１及び４２
に蓄積された電荷は、陰極ロッド１５と陽極ロッド１
６、及びピーキングコンデンサ１４に移行する。
【００２９】陰極ロッド１５と陽極ロッド１６の間に電
荷が付加されると、電極ロッド１５、１６間でコロナ放
電が生じ、主放電電極間が放電破壊電圧に達する前にレ
ーザ媒質ガスの十分な予備電離が行なわれる。陰極ロッ
ド１５と陽極ロッド１６には高誘電率の絶縁部材（誘電
体）１５ｂ、１６ｂが被覆されているため、コロナ放電
による電離イオン密度も高いものとなり、主放電電極１
３ａ、１３ｂ間のレーザ媒質ガスの予備電離を十分に行
なうことができる。また、絶縁部材１５ｂ、１６ｂの被
覆により、放電による金属の溶融飛散がなく、不純物と
して金属粉や金属イオンがレーザ媒質ガス内に放出され
ることがないため、レーザ出力が安定し、レーザガス寿
命を長くすることができる。
荷が付加されると、電極ロッド１５、１６間でコロナ放
電が生じ、主放電電極間が放電破壊電圧に達する前にレ
ーザ媒質ガスの十分な予備電離が行なわれる。陰極ロッ
ド１５と陽極ロッド１６には高誘電率の絶縁部材（誘電
体）１５ｂ、１６ｂが被覆されているため、コロナ放電
による電離イオン密度も高いものとなり、主放電電極１
３ａ、１３ｂ間のレーザ媒質ガスの予備電離を十分に行
なうことができる。また、絶縁部材１５ｂ、１６ｂの被
覆により、放電による金属の溶融飛散がなく、不純物と
して金属粉や金属イオンがレーザ媒質ガス内に放出され
ることがないため、レーザ出力が安定し、レーザガス寿
命を長くすることができる。
【００３０】ピーキングコンデンサ１４が充電されて主
放電電極間が放電破壊電圧に達すると、予備電離により
電離した電子によってグロー放電である主放電が短時間
に発生するようになる。このような強力な放電エネルギ
により、レーザ媒質ガスが効率良く励起され、放出され
た光が共振器光学系間を往復して増幅し、エキシマレー
ザがレーザ管１から発振される。
放電電極間が放電破壊電圧に達すると、予備電離により
電離した電子によってグロー放電である主放電が短時間
に発生するようになる。このような強力な放電エネルギ
により、レーザ媒質ガスが効率良く励起され、放出され
た光が共振器光学系間を往復して増幅し、エキシマレー
ザがレーザ管１から発振される。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ーザ媒質ガス中に金属粉等の不純物が飛散することな
く、十分な予備電離が行なえ、レーザガスの劣化を抑制
することができる。
ーザ媒質ガス中に金属粉等の不純物が飛散することな
く、十分な予備電離が行なえ、レーザガスの劣化を抑制
することができる。
【図１】実施例のエキシマレーザ装置の概略構成図であ
る。
る。
【図２】レーザ管１内の要部構成断面図である。
【図３】図２のＡーＡ断面図である。
【図４】励起回路３の要部構成図である。
【図５】従来のエキシマレーザ装置における放電励起の
構成のレーザ光軸と直交する方向の横断面を模式的に示
した図である。
構成のレーザ光軸と直交する方向の横断面を模式的に示
した図である。
１ レーザ管 ４ 導光光学系 １３ａ、１３ｂ 主放電エルンスト型電極 １４ ピーキングコンデンサ １５ コロナ用陰極ロッド １５ｂ 絶縁部材 １６ コロナ用陽極ロッド １６ｂ 絶縁部材
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ光軸に直交する方向に対向して設
けられた一対の主放電電極間にグロー放電を行ってレー
ザ管内に封入された高気圧のレーザ媒質ガスを励起する
ことによりレーザ光を得るレーザ装置において、前記主
放電電極による前記レーザ媒質ガスの放電励起に先立
ち、レーザ媒質ガスを予備電離するための少なくとも一
対の予備電離電極と、該予備電離電極の陰極と陽極を各
々被覆する絶縁部材と、該絶縁部材を介して前記予備電
離電極間にコロナ放電を発生させるためのコンデンサ
と、前記主放電電極による放電によって励起されて発生
した光を共振増幅するための共振光学系と、を備えるこ
とを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項２】 請求項１のレーザ装置において、前記絶
縁部材はセラミックス基材であることを特徴とするレー
ザ装置。 - 【請求項３】 請求項２のレーザ装置において、前記セ
ラミックス基材の比誘電率は１０００以上であることを
特徴とするレーザ装置。 - 【請求項４】 請求項１のレーザ装置において、前記予
備電離電極はレーザ光軸に平行に設けられていることを
特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10242185A JP2000077754A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10242185A JP2000077754A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000077754A true JP2000077754A (ja) | 2000-03-14 |
Family
ID=17085581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10242185A Pending JP2000077754A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000077754A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112424696A (zh) * | 2018-07-17 | 2021-02-26 | 车桐镐 | 气体激光的气体成分监控装置 |
| WO2022123714A1 (ja) * | 2020-12-10 | 2022-06-16 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2024195064A1 (ja) * | 2023-03-22 | 2024-09-26 | ギガフォトン株式会社 | レーザチャンバ装置、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP10242185A patent/JP2000077754A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112424696A (zh) * | 2018-07-17 | 2021-02-26 | 车桐镐 | 气体激光的气体成分监控装置 |
| WO2022123714A1 (ja) * | 2020-12-10 | 2022-06-16 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置及び電子デバイスの製造方法 |
| JPWO2022123714A1 (ja) * | 2020-12-10 | 2022-06-16 | ||
| WO2024195064A1 (ja) * | 2023-03-22 | 2024-09-26 | ギガフォトン株式会社 | レーザチャンバ装置、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051206 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051214 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060405 |