JP2000077773A - Semiconductor laser module with external resonator - Google Patents
Semiconductor laser module with external resonatorInfo
- Publication number
- JP2000077773A JP2000077773A JP10241483A JP24148398A JP2000077773A JP 2000077773 A JP2000077773 A JP 2000077773A JP 10241483 A JP10241483 A JP 10241483A JP 24148398 A JP24148398 A JP 24148398A JP 2000077773 A JP2000077773 A JP 2000077773A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- laser module
- external resonator
- module
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract 25
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部共振器付半導
体レーザモジュールの改良であって、共振器に特定の波
長を透過する半値幅1nm〜5nm程度のバンドパスフ
ィルタ(BPF)を配置するとともに、このバンドパス
フィルタを透過した光を反射させる反射点を半導体レー
ザ素子から50cm程度以上離れた位置のピグテールフ
ァイバの先端に配置することにより、ファブリペロー型
半導体レーザモジュールの発振波長域を狭帯域化し、容
易に波長合成等を図ることができる外部共振器型半導体
レーザモジュールに関するものである。
【0002】
【発明の背景】近時、光通信の波長分割多重伝送方式等
(WDM=Wavelength Division Multiplex)による高密
度化に伴い、光ファイバアンプで用いられる励起用光源
の高出力化が必要となってきている。しかるに、この励
起用光源の高出力化のためには、複数個の励起半導体レ
ーザモジュールを波長合成して用いることが有効手段の
一つとされている。
【0003】一方、光アンプに用いられる、エルビウム
ドープファイバ(以下EDF )等の希土類ドープファイバ
は、信号光を励起できる波長の範囲が数nm〜数十nm
程度であるため、励起半導体レーザモジュールにおける
半導体レーザ素子の場合、発信波長が温度および電流に
対して変化するため、環境温度の変化、半導体レーザ素
子の劣化による駆動電流の増加等により、半導体レーザ
素子の発信波長が、希土類ドープファイバの励起有功波
長範囲を外れて、励起効率が低下するおそれがあった。
【0004】これらのため、反射戻り光を帰還させて発
信波長を狭帯域化する、外部共振器付半導体レーザモジ
ュールの開発が行われている。外部共振器付半導体レー
ザモジュールの構造として、紫外線照射等の手段で光フ
ァイバ内に回折格子を作成したファイバグレーティング
を用いた構造のものが多く見られる。
【0005】
【解決すべき課題】しかし、従来のこの種外部共振器付
半導体レーザモジュールにおける反射戻り光を帰還させ
るための反射点は、半導体レーザ素子に近い(例えば、
半導体レーザから50cm程度以下)に設定していたた
めに、半導体レーザの発振状態が不安定になるという問
題があった。
【0006】また、ハーフミラーを挿入する等の反射点
を設ける構造の外部共振器付半導体レーザモジュールも
開発されているが、この種外部共振器付半導体レーザモ
ジュールは、半導体レーザ素子への戻り光量を調整する
ため、精度よく角度調整を行う必要があり、製造上相当
の困難があった。本発明は、これらの問題を解決し、フ
ァブリペロー型半導体レーザモジュールの発振波長域を
狭帯域化し、容易に波長合成等を図れる外部共振器型半
導体レーザモジュールを提供する。
【0007】
【課題を解決するための手段】第1 に、半導体レーザの
共振光路上に光ファイバを設けてなる外部共振器付半導
体レーザモジュールの構成に当たり、レーザモジュール
部内に特定の波長を透過する半値幅が1nm〜5nm程
度のバンドパスフィルタを配置するとともに、このバン
ドパスフィルタを透過した光を反射させる反射点を半導
体レーザ素子から50cm程度以上離れた光ファイバの
先端に配置する。
【0008】第2に、前記外部共振器付半導体レーザモ
ジュールは、レーザモジュール部とコリメータモジュー
ル部で構成され、前記レーザモジュール部内の半導体レ
ーザ素子をファブリペロー型半導体レーザ素子で構成す
る。第3に、前記バンドパスフィルタを透過した波長の
光を、前記コリメータモジュール部内にあるピグテール
ファイバの先端に設けた反射点で反射させて、半導体レ
ーザ素子に帰還させるように構成する。
【0009】第4に、前記レーザモジュール部に所定の
間隔でもって半導体レーザ素子の出射光をコリメート光
に変換する第一のレンズおよび集光する第二のレンズを
配置する。第5に、前記第二のレンズにより集光された
光を結合させる光ファイバに設けられる反射点は、光フ
ァイバのフェルール端面にイオン蒸着した低反射膜で構
成する。
【0010】第6 に、前記光ファイバ端面に設けられる
反射点は、光ファイバのフェルール端面の空気層との反
射(フレネル反射)を利用する。第7に、前記反射点の
反射率は0.1〜50%であって、好ましくは0.5〜
10%を有している。第8に、前記コリメータモジュー
ル部は、内部にファイバからの出射光をコリメート光に
変換する第一のレンズと、コリメート光を集光する第二
のレンズを配置して構成する。
【0011】第9に、前記光ファイバ端面に形成される
反射点の低反射膜は、低反射膜を施した硝子板等を接着
することにより構成する。第10に、前記コリメータモ
ジュール部は、スポットサイズ変換(TEC)ファイバ
を用いて光ファイバからの出射光をコリメート化させる
ように構成する。第11に、コリメータモジュール部内
に、他の波長域帯カットフィルタ及び光アイソレータ等
の光部品を挿入するように構成する。
【0012】
【発明の実施態様】本発明に係る外部共振器付半導体レ
ーザモジュールは、バンドパスフィルタを透過した特定
波長の光は、半導体レーザ素子より50cm以上離れて
配置するピグテールファイバ先端の反射点で反射させて
半導体レーザ素子に帰還し、半導体レーザ素子の後面と
反射点の間でもって外部共振器を形成するものである。
【0013】
【実施例1】図1は、本発明に係る外部共振器付半導体
レーザモジュールの構成図である。図1を参照すると、
外部共振器付半導体レーザモジュールは、レーザモジュ
ール部100とコリメータモジュール部101からなっ
ており、レーザモジュール部100内のファブリペロー
型半導体レーザ素子1から出た光のうち、バンドパスフ
ィルタ4を透過した波長の光をコリメータモジュール部
101内にあるピグテールファイバ5の先端に設けた反
射点20で半導体レーザ素子1に帰還させることによ
り、波長の安定化および狭帯域化を図る構成とする。
【0014】前記100は、レーザモジュール部であ
り、1は例えば980nm帯ファブリペロー型半導体レ
ーザ素子である。2は半導体レーザ素子の出射光をコリ
メート光に変換する第一のレンズであり、3はコリメー
ト光を集光する第二のレンズである。4は半導体レーザ
素子1と同じ波長帯の光を透過する、例えば半値幅0.
3nm〜10nm程度、特に1〜5nmのバンドパスフ
ィルタ(BPF)である。
【0015】5は第二のレンズ3により集光された光を
結合させる光ファイバであり、この光ファイバ5は、5
0cm程度以上の長さに構成され、半導体レーザ素子1
からの出射光を反射させるための反射点20を有してい
る。反射点20は、光ファイバ5のフェルール端面にイ
オン蒸着された低反射膜からなり、反射率は0.1〜5
0%、特に2〜10%を有している。
【0016】前記101はコリメータモジュール部であ
り、内部にファイバ5からの出射光をコリメート光に変
換する第一のレンズ11と、コリメート光を集光する第
二のレンズ12であって、13は狭帯域化された光を外
部に取り出すための光ファイバである。以上の如く構成
した外部共振器付半導体レーザモジュールにおいて、例
えば、980nm帯ファブリペロー型半導体レーザ素子
1から出射した光は、第一のレンズ2により、コリメー
ト化され、バンドパスフィルタ(BPF)4を透過した
特定の波長の光だけが第二のレンズ3によって集光され
て光ファイバ5に結合される。そして、光ファイバ5に
結合した光は、反射点20で一部が反射帰還されること
になる。
【0017】すなわち、本発明に係る外部共振器付半導
体レーザモジュールにおける外部共振器は、980nm
帯ファブリペロー型半導体レーザ素子1の後面と光ファ
イバ5の先端に設けた反射点20との間で形成される。
この外部共振器により、発振波長幅の広い980nm帯
ファブリペロ型半導体レーザ素子1の波長範囲のうち、
バンドパスフィルタ4で決定される特定の波長のみを、
例えば、1nm程度の半値幅以下で狭帯域発振させるこ
とが可能であり、狭帯域発振させられた光は、コリメー
タモジュール部101を通過し、光ファイバ13を介し
て出射光として取り出される。
【0018】また、上記の説明では反射点20として光
ファイバ5端面に低反射膜をイオン蒸着により形成する
ように説明したが、低反射膜を施した硝子板等を接着す
ることにより反射点20を構成しても同様の効果を得る
ことができる。
【0019】
【実施例2】先の実施例では、コリメータモジュール1
01に第一レンズ11と第二レンズ12を使用したが、
これら第一、第二レンズ11,12の代わりに、例え
ば、図2に開示したスポットサイズ変換(TEC)ファ
イバ31および32等を用いて光ファイバ32からの出
射光をコリメート化させるように構成しても、前述した
実施例1と同様の効果を得ることが可能であり、上記の
実施例にのみ限定するものではない。
【0020】また、図3に開示した如く、コリメータモ
ジュール101内に、他の波長域帯カットフィルタ4
1、また、半導体レーザ素子と同波長帯の光アイソレー
タ42等の光部品を挿入することにより、レーザモジュ
ールの特性を向上させることができる。例えば他の波長
域帯(例えば、信号光1550nm帯)カットフィルタ
を挿入すれば信号光に対する反射減衰量を確保すること
ができる。
【0021】また、半導体レーザ素子と同波長域帯の光
アイソレータを挿入すれば、半導体レーザ素子への共振
に寄与しない戻り光や、複数個対向で使用した場合等に
おいて、半導体レーザ素子と同波長域帯の外部からの入
射光を低減でき、さらに半導体レーザモジュールの動作
を安定化することができる。これらの場合において、前
記光部品は単独で用いても、複数を組み合わせて用いて
構成してもよい。
【0022】また、上記の実施例では、ファブリペロー
型半導体レーザ素子の発振波長を980nm帯として説
明したが、他の波長のファブリペロー型半導体レーザ素
子、例えば1480nm帯等でも、バンドパスフィルタ
の透過波長域を1480nm帯とすれば同様の効果が得
られるので上記の実施例にのみ限定するものではない。
【0023】
【発明の効果】第1の効果は、ファブリペロー型半導体
レーザモジュールの発振波長を狭帯域化することであ
る。その理由は、BPFを透過した波長の光がファブリ
ペロー型半導体レーザ素子の後面と反射点間で外部共振
器を形成するからである。第2の効果は、波長の安定化
が図れることである。その理由は、半導体レーザ素子に
比べて、バンドパスフィルタの波長温度依存性が小さ
く、半導体レーザ素子の発振波長が温度により変化して
も、取り出せる波長が温度によらずほぼ一定となるから
である。
【0024】第3の効果は、半導体レーザモジュールの
特性を向上することが容易にできることである。その理
由は、コリメータモジュールを設けたことにより、コリ
メータモジュール内に、外部からの光が半導体レーザ素
子に入ることを防げる他の波長域帯カットフィルタ及び
光アイソレータ等の光部品を容易に挿入することができ
るためである。
【0025】つまり、本発明に係る外部共振器付半導体
レーザモジュールは、半導体レーザ素子に比べて、バン
ドパスフィルタの波長の温度依存性が小さいので、半導
体レーザ素子の発振波長が温度により変化しても、取り
出せる波長は温度によらずほぼ一定に設定可能である。
殊に、半導体レーザの波長安定化及び狭帯域化が図れ、
波長多重化等がきわめて容易である。
【0026】さらに、コリメータモジュール内に、他の
波長域帯カットフィルタ及び光アイソレータ等の光部品
を容易に挿入することができるため、外部からの光が半
導体レーザ素子に入ることなく、レーザモジュールの特
性を向上させることが容易である。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a semiconductor laser module with an external resonator, and has a half width of about 1 nm to 5 nm which transmits a specific wavelength to the resonator. By arranging a band-pass filter (BPF) and arranging a reflection point for reflecting light transmitted through the band-pass filter at the tip of a pigtail fiber at a position about 50 cm or more away from the semiconductor laser element, a Fabry-Perot type semiconductor The present invention relates to an external resonator type semiconductor laser module capable of narrowing an oscillation wavelength range of a laser module and easily combining wavelengths. 2. Description of the Related Art Recently, with the increase in the density of a wavelength division multiplex transmission system (WDM) in optical communication, it is necessary to increase the output of a pumping light source used in an optical fiber amplifier. It has become to. However, in order to increase the output of the excitation light source, one of effective means is to use a plurality of excitation semiconductor laser modules with wavelength synthesis. On the other hand, rare-earth-doped fibers such as erbium-doped fibers (hereinafter referred to as EDFs) used in optical amplifiers can excite signal light within a wavelength range of several nm to several tens nm.
In the case of a semiconductor laser device in a pumped semiconductor laser module, since the emission wavelength changes with respect to temperature and current, a change in environmental temperature, an increase in drive current due to deterioration of the semiconductor laser device, and the like cause a problem. , The transmission wavelength of the optical fiber deviates from the effective wavelength range of the excitation of the rare-earth doped fiber, and the excitation efficiency may be reduced. [0004] For these reasons, a semiconductor laser module with an external resonator has been developed in which the reflected return light is fed back to narrow the transmission wavelength. As a structure of a semiconductor laser module with an external resonator, a structure using a fiber grating in which a diffraction grating is formed in an optical fiber by means such as irradiation of ultraviolet rays is often found. However, the reflection point for returning the reflected return light in a conventional semiconductor laser module with an external resonator is close to the semiconductor laser element (for example,
(About 50 cm or less from the semiconductor laser), there is a problem that the oscillation state of the semiconductor laser becomes unstable. Further, a semiconductor laser module with an external resonator having a structure in which a reflection point such as insertion of a half mirror is provided has been developed. However, this type of semiconductor laser module with an external resonator has a light quantity returning to the semiconductor laser element. In order to adjust the angle, it is necessary to adjust the angle with high accuracy, and there is considerable difficulty in manufacturing. The present invention solves these problems, and provides an external resonator type semiconductor laser module in which the oscillation wavelength range of a Fabry-Perot type semiconductor laser module is narrowed and wavelength synthesis and the like can be easily achieved. First, in the construction of a semiconductor laser module with an external resonator in which an optical fiber is provided on a resonance optical path of a semiconductor laser, a specific wavelength is transmitted through the laser module section. A band-pass filter having a half-value width of about 1 nm to 5 nm is arranged, and a reflection point for reflecting light transmitted through the band-pass filter is arranged at a tip of an optical fiber at a distance of about 50 cm or more from the semiconductor laser device. Second, the semiconductor laser module with an external resonator is constituted by a laser module section and a collimator module section, and the semiconductor laser element in the laser module section is constituted by a Fabry-Perot type semiconductor laser element. Third, the light having the wavelength transmitted through the band-pass filter is reflected at a reflection point provided at the tip of a pigtail fiber in the collimator module, and is returned to the semiconductor laser device. Fourth, a first lens for converting light emitted from the semiconductor laser element into collimated light and a second lens for condensing light are arranged at predetermined intervals in the laser module. Fifth, the reflection point provided on the optical fiber for coupling the light condensed by the second lens is formed of a low reflection film ion-deposited on the ferrule end face of the optical fiber. Sixth, the reflection point provided on the end face of the optical fiber utilizes the reflection (Fresnel reflection) of the ferrule end face of the optical fiber with the air layer. Seventh, the reflectance at the reflection point is 0.1 to 50%, preferably 0.5 to 50%.
10%. Eighth, the collimator module includes a first lens that converts light emitted from the fiber into collimated light, and a second lens that collects collimated light. Ninth, the low reflection film at the reflection point formed on the end face of the optical fiber is formed by bonding a glass plate or the like provided with the low reflection film. Tenth, the collimator module is configured to collimate the light emitted from the optical fiber using a spot size conversion (TEC) fiber. Eleventh, an optical component such as another wavelength band cut filter and an optical isolator is inserted into the collimator module. In a semiconductor laser module with an external resonator according to the present invention, light having a specific wavelength transmitted through a band-pass filter reflects a point at the tip of a pigtail fiber which is arranged at least 50 cm away from the semiconductor laser element. Then, the light is reflected back to the semiconductor laser device, and an external resonator is formed between the rear surface of the semiconductor laser device and the reflection point. Embodiment 1 FIG. 1 is a configuration diagram of a semiconductor laser module with an external resonator according to the present invention. Referring to FIG.
The semiconductor laser module with an external resonator is composed of a laser module section 100 and a collimator module section 101. Of the light emitted from the Fabry-Perot type semiconductor laser element 1 in the laser module section 100, the light has passed through the band-pass filter 4. By returning the light of the wavelength to the semiconductor laser device 1 at the reflection point 20 provided at the tip of the pigtail fiber 5 in the collimator module 101, the wavelength is stabilized and the band is narrowed. Reference numeral 100 denotes a laser module, and reference numeral 1 denotes, for example, a 980 nm band Fabry-Perot semiconductor laser device. Reference numeral 2 denotes a first lens that converts the light emitted from the semiconductor laser element into collimated light, and reference numeral 3 denotes a second lens that collects the collimated light. Numeral 4 transmits light in the same wavelength band as the semiconductor laser device 1, for example, a half width of 0.4.
It is a band pass filter (BPF) of about 3 nm to 10 nm, particularly 1 to 5 nm. Reference numeral 5 denotes an optical fiber for coupling the light condensed by the second lens 3;
The semiconductor laser element 1 having a length of about 0 cm or more
Has a reflection point 20 for reflecting light emitted from the light source. The reflection point 20 is made of a low reflection film ion-deposited on the ferrule end face of the optical fiber 5 and has a reflectance of 0.1 to 5
0%, especially 2-10%. Reference numeral 101 denotes a collimator module, which includes a first lens 11 for converting light emitted from the fiber 5 into collimated light, and a second lens 12 for condensing collimated light. This is an optical fiber for taking out the narrowed band light to the outside. In the semiconductor laser module with an external resonator configured as described above, for example, the light emitted from the Fabry-Perot type semiconductor laser device 1 in the 980 nm band is collimated by the first lens 2, and the light is passed through the band-pass filter (BPF) 4. Only the transmitted light of a specific wavelength is collected by the second lens 3 and coupled to the optical fiber 5. Then, a part of the light coupled to the optical fiber 5 is reflected and returned at the reflection point 20. That is, in the semiconductor laser module with an external resonator according to the present invention, the external resonator has a wavelength of 980 nm.
It is formed between the rear surface of the band Fabry-Perot type semiconductor laser device 1 and a reflection point 20 provided at the tip of the optical fiber 5.
With this external resonator, the 980 nm band Fabry-Perot type semiconductor laser device 1 having a wide oscillation wavelength
Only the specific wavelength determined by the bandpass filter 4 is
For example, it is possible to oscillate in a narrow band with a half-width of about 1 nm or less. In the above description, a low-reflection film is formed on the end face of the optical fiber 5 by ion deposition as the reflection point 20, but the reflection point 20 is formed by bonding a glass plate or the like provided with the low-reflection film. , The same effect can be obtained. Embodiment 2 In the above embodiment, the collimator module 1
Although the first lens 11 and the second lens 12 were used for 01,
Instead of the first and second lenses 11 and 12, for example, the light emitted from the optical fiber 32 is collimated using spot size conversion (TEC) fibers 31 and 32 or the like disclosed in FIG. However, the same effects as in the first embodiment can be obtained, and the present invention is not limited to the above-described embodiment. Further, as disclosed in FIG. 3, another wavelength band cut filter 4 is provided in the collimator module 101.
1. Also, by inserting an optical component such as the optical isolator 42 in the same wavelength band as the semiconductor laser element, the characteristics of the laser module can be improved. For example, by inserting a cut filter in another wavelength band (for example, a signal light of 1550 nm band), the return loss for the signal light can be secured. Further, if an optical isolator having the same wavelength band as the semiconductor laser element is inserted, return light which does not contribute to resonance to the semiconductor laser element, or the same wavelength as the semiconductor laser element when a plurality of optical elements are used facing each other. The incident light from the outside of the band can be reduced, and the operation of the semiconductor laser module can be stabilized. In these cases, the optical components may be used alone or in combination. In the above embodiment, the oscillation wavelength of the Fabry-Perot type semiconductor laser device is described as being in the 980 nm band. However, even if the Fabry-Perot type semiconductor laser device of another wavelength, for example, the 1480 nm band, transmits through the band-pass filter. The same effect can be obtained if the wavelength range is set to the 1480 nm band, so that the present invention is not limited to the above embodiment. The first effect is to narrow the oscillation wavelength of the Fabry-Perot type semiconductor laser module. The reason is that the light having the wavelength transmitted through the BPF forms an external resonator between the rear surface of the Fabry-Perot semiconductor laser device and the reflection point. The second effect is that the wavelength can be stabilized. The reason is that the wavelength temperature dependence of the bandpass filter is smaller than that of the semiconductor laser element, and even if the oscillation wavelength of the semiconductor laser element changes with temperature, the wavelength that can be extracted is almost constant regardless of the temperature. . A third effect is that the characteristics of the semiconductor laser module can be easily improved. The reason is that the provision of the collimator module makes it easy to insert other optical components, such as a wavelength band cut filter and an optical isolator, which can prevent external light from entering the semiconductor laser device, in the collimator module. This is because That is, in the semiconductor laser module with an external resonator according to the present invention, the wavelength dependence of the wavelength of the band-pass filter is smaller than that of the semiconductor laser element, so that the oscillation wavelength of the semiconductor laser element changes with temperature. Also, the wavelength that can be extracted can be set substantially constant regardless of the temperature.
In particular, it is possible to stabilize the wavelength and narrow the band of the semiconductor laser,
Wavelength multiplexing and the like are extremely easy. Further, since other optical components such as a wavelength band cut filter and an optical isolator can be easily inserted into the collimator module, external light does not enter the semiconductor laser element, and the It is easy to improve the characteristics.
【図面の簡単な説明】
【図1 】図1は、本発明に係る外部共振器付半導体レー
ザモジュールの要部構造を示す説明図である。
【図2 】図2は、同じく本発明に係る外部共振器付半導
体レーザモジュールの他の実施例の要部構造を示す説明
図である。
【図3 】図3は、同じく本発明に係る外部共振器付半導
体レーザモジュールの他の実施例の要部構造を示す説明
図である。
【符号の説明】
100 レーザモジュール部
101 コリメータモジュール部
1 ファブリペロー型半導体レーザ素
子
2 第一のレンズ
3 第二のレンズ
4 バンドパスフィルタ(BPF)
5 ピグテールファイバ
11 第一のレンズ
12 第二のレンズ
13 光ファイバ
20 反射点
31 スポットサイズ変換(TEC)フ
ァイバ
32 光ファイバ
41 他の波長域帯カットフィルタ
42 光アイソレータ
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory diagram showing a main structure of a semiconductor laser module with an external resonator according to the present invention. FIG. 2 is an explanatory view showing a main structure of another embodiment of a semiconductor laser module with an external resonator according to the present invention. FIG. 3 is an explanatory view showing a main structure of another embodiment of a semiconductor laser module with an external resonator according to the present invention. DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS 100 laser module section 101 collimator module section 1 Fabry-Perot type semiconductor laser element 2 first lens 3 second lens 4 bandpass filter (BPF) 5 pigtail fiber 11 first lens 12 second lens 13 Optical Fiber 20 Reflection Point 31 Spot Size Conversion (TEC) Fiber 32 Optical Fiber 41 Other Wavelength Band Cut Filter 42 Optical Isolator
Claims (1)
設けてなる外部共振器付半導体レーザモジュールの構成
に当たり、レーザモジュール部内に特定の波長を透過す
る半値幅が1nm〜5nm程度であって好ましくは2n
m〜3nm程度を有しているバンドパスフィルタを配置
するとともに、このバンドパスフィルタを透過した光を
反射させる反射点を半導体レーザ素子から50cm程度
以上離れた光ファイバの先端に配置するようにしたこと
を特徴とする外部共振器付半導体レーザモジュール。 【請求項2】前記外部共振器付半導体レーザモジュール
は、レーザモジュール部とコリメータモジュール部で構
成され、前記レーザモジュール部内の半導体レーザ素子
をファブリペロー型半導体レーザ素子で構成したことを
特徴とする請求項1記載の外部共振器付半導体レーザモ
ジュール。 【請求項3】前記バンドパスフィルタを透過した波長の
光を、前記コリメータモジュール部内にあるピグテール
ファイバの先端に設けた反射点で反射させて、半導体レ
ーザ素子に帰還させるように構成したことを特徴とする
請求項1および請求項2記載の外部共振器付半導体レー
ザモジュール。 【請求項4】前記レーザモジュール部に所定の間隔でも
って半導体レーザ素子の出射光をコリメート光に変換す
る第一のレンズおよび集光する第二のレンズを配置した
ことを特徴とする請求項1および請求項2記載の外部共
振器付半導体レーザモジュール。 【請求項5】前記第二のレンズにより集光された光を結
合させる光ファイバに設けられる反射点は、光ファイバ
のフェルール端面にイオン蒸着した低反射膜で構成した
ことを特徴とする請求項3記載の外部共振器付半導体レ
ーザモジュール。 【請求項6 】前記光ファイバ端面に設けられる反射点
は、光ファイバのフェルール端面の空気層との反射(フ
レネル反射)を利用したことを特徴とする請求項3記載
の外部共振器付半導体レーザモジュール。 【請求項7】前記反射点の反射率は0.1〜50%であ
って、好ましくは0.5〜10%を有していることを特
徴とする請求項5記載の外部共振器付半導体レーザモジ
ュール。 【請求項8】前記コリメータモジュール部は、内部にフ
ァイバからの出射光をコリメート光に変換する第一のレ
ンズと、コリメート光を集光する第二のレンズを配置し
て構成されたことを特徴とする請求項2記載の外部共振
器付半導体レーザモジュール。 【請求項9】前記光ファイバ端面に形成される反射点の
低反射膜は、低反射膜を施した硝子板等を接着すること
により構成したことを特徴とする請求項5記載の外部共
振器付半導体レーザモジュール。 【請求項10】前記コリメータモジュール部は、スポッ
トサイズ変換(TEC)ファイバを用いて光ファイバか
らの出射光をコリメート化させるように構成したことを
特徴とすることを請求項7記載の外部共振器付半導体レ
ーザモジュール。 【請求項11】前記コリメータモジュール部内に、他の
波長域帯カットフィルタ及び光アイソレータ等の光部品
を挿入するように構成したことを特徴とする請求項2記
載の外部共振器付半導体レーザモジュール。Claims: 1. A semiconductor laser module having an external resonator having an optical fiber provided on a resonance optical path of a semiconductor laser, wherein a half value width for transmitting a specific wavelength in a laser module portion is 1 nm or more. About 5 nm, preferably 2n
A band-pass filter having a wavelength of about m to 3 nm is disposed, and a reflection point for reflecting light transmitted through the band-pass filter is disposed at a tip of an optical fiber at a distance of about 50 cm or more from the semiconductor laser device. A semiconductor laser module with an external resonator. 2. The semiconductor laser module with an external resonator according to claim 1, wherein the semiconductor laser module includes a laser module and a collimator module, and the semiconductor laser device in the laser module is a Fabry-Perot semiconductor laser. Item 2. A semiconductor laser module with an external resonator according to item 1. 3. A structure in which light having a wavelength transmitted through the band-pass filter is reflected at a reflection point provided at a tip of a pigtail fiber in the collimator module, and is returned to the semiconductor laser device. 3. The semiconductor laser module with an external resonator according to claim 1, wherein: 4. The laser module according to claim 1, wherein a first lens for converting light emitted from the semiconductor laser element into collimated light and a second lens for condensing light are arranged at predetermined intervals. 3. A semiconductor laser module with an external resonator according to claim 2. 5. A reflection point provided on an optical fiber for coupling the light condensed by the second lens, wherein the reflection point is formed by a low reflection film ion-deposited on an end face of a ferrule of the optical fiber. 4. The semiconductor laser module with an external resonator according to 3. 6. The semiconductor laser with an external resonator according to claim 3, wherein the reflection point provided on the end face of the optical fiber utilizes reflection (Fresnel reflection) of the end face of the optical fiber with the air layer. module. 7. The semiconductor with an external resonator according to claim 5, wherein the reflectance at the reflection point is 0.1 to 50%, preferably 0.5 to 10%. Laser module. 8. The collimator module includes a first lens for converting light emitted from a fiber into collimated light and a second lens for condensing collimated light therein. The semiconductor laser module with an external resonator according to claim 2. 9. The external resonator according to claim 5, wherein the low-reflection film at the reflection point formed on the end face of the optical fiber is formed by bonding a glass plate or the like provided with the low-reflection film. Attached semiconductor laser module. 10. An external resonator according to claim 7, wherein said collimator module section is configured to collimate the light emitted from the optical fiber using a spot size conversion (TEC) fiber. Attached semiconductor laser module. 11. The semiconductor laser module with an external resonator according to claim 2, wherein an optical component such as another wavelength band cut filter and an optical isolator is inserted into said collimator module.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10241483A JP2000077773A (en) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | Semiconductor laser module with external resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10241483A JP2000077773A (en) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | Semiconductor laser module with external resonator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000077773A true JP2000077773A (en) | 2000-03-14 |
Family
ID=17074994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10241483A Pending JP2000077773A (en) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | Semiconductor laser module with external resonator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000077773A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003086893A (en) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Semiconductor laser module and Raman amplifier using the same |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP10241483A patent/JP2000077773A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003086893A (en) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Semiconductor laser module and Raman amplifier using the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5163058A (en) | Semiconductor laser pump source | |
| US5845030A (en) | Semiconductor laser module and optical fiber amplifier | |
| US6041072A (en) | Apparatus for stabilizing multiple laser sources and their application | |
| EP0860917B1 (en) | Semiconductor laser module | |
| CN100420108C (en) | Traveling-wave lasers with linear resonators | |
| US6433920B1 (en) | Raman-based utility optical amplifier | |
| JP2002141609A (en) | Semiconductor laser module, laser unit, and Raman amplifier | |
| JP2001102685A (en) | Wavelength-stabilized laser light source | |
| JPH11214799A (en) | Semiconductor laser module | |
| US20050053101A1 (en) | Mode selection for single frequency fiber laser | |
| JP5259385B2 (en) | Wavelength conversion device and image display device | |
| JP4629852B2 (en) | Semiconductor laser module and optical amplifier using the same | |
| CN100437167C (en) | External resonators and semiconductor laser modules utilizing them | |
| JPS6390188A (en) | laser transmitter | |
| US20030156792A1 (en) | Optical waveguide amplifier using a circulator and an optical signal reflective surface and method employing same | |
| JP2000077773A (en) | Semiconductor laser module with external resonator | |
| JP5074645B2 (en) | Excitation light source device | |
| JP2000244043A (en) | Optical amplifier | |
| JP2002131590A (en) | Semiconductor laser module, method of manufacturing the same, and Raman amplifier | |
| JP4514312B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor laser module | |
| JP2005345694A (en) | Optical integration module | |
| JP3453767B2 (en) | Optical module for optical amplifier | |
| JPH1117286A (en) | Tunable laser device | |
| JP4809554B2 (en) | Semiconductor laser module and Raman amplifier using the same | |
| JPH11103124A (en) | External resonator type light source |