JP2000200970A - プラグ製造装置および方法ならびにペ―スト混合装置 - Google Patents

プラグ製造装置および方法ならびにペ―スト混合装置

Info

Publication number
JP2000200970A
JP2000200970A JP11053304A JP5330499A JP2000200970A JP 2000200970 A JP2000200970 A JP 2000200970A JP 11053304 A JP11053304 A JP 11053304A JP 5330499 A JP5330499 A JP 5330499A JP 2000200970 A JP2000200970 A JP 2000200970A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
pressure
mixing
chamber
plug
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11053304A
Other languages
English (en)
Inventor
Honyu Ryo
本▲ユ▼ 廖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Unimicron Technology Corp
Original Assignee
Unimicron Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Unimicron Technology Corp filed Critical Unimicron Technology Corp
Publication of JP2000200970A publication Critical patent/JP2000200970A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C39/00Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor
    • B29C39/02Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor for making articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C39/10Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor for making articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. casting around inserts or for coating articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C67/00Shaping techniques not covered by groups B29C39/00 - B29C65/00, B29C70/00 or B29C73/00
    • B29C67/08Screen moulding, e.g. forcing the moulding material through a perforated screen on to a moulding surface
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0094Filling or covering plated through-holes or blind plated vias, e.g. for masking or for mechanical reinforcement
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4038Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
    • H05K3/4053Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections by thick-film techniques
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/01Manufacture or treatment
    • H10W70/05Manufacture or treatment of insulating or insulated package substrates, or of interposers, or of redistribution layers
    • H10W70/095Manufacture or treatment of insulating or insulated package substrates, or of interposers, or of redistribution layers of vias therein
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C2791/00Shaping characteristics in general
    • B29C2791/004Shaping under special conditions
    • B29C2791/005Using a particular environment, e.g. sterile fluids other than air
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09209Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/095Conductive through-holes or vias
    • H05K2201/0959Plated through-holes or plated blind vias filled with insulating material
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/01Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0104Tools for processing; Objects used during processing for patterning or coating
    • H05K2203/0126Dispenser, e.g. for solder paste, for supplying conductive paste for screen printing or for filling holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/08Treatments involving gases
    • H05K2203/082Suction, e.g. for holding solder balls or components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/11Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
    • H05K2203/1105Heating or thermal processing not related to soldering, firing, curing or laminating, e.g. for shaping the substrate or during finish plating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1233Methods or means for supplying the conductive material and for forcing it through the screen or stencil
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Screen Printers (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 空洞の無いプラグを製造する装置およびその
方法ならびにペースト混合装置を提供する。 【解決手段】 プラグ製造方法は次の工程を備えてい
る。閉じたプリント室の底に設けた基板が設けられる。
プリント回路基板とステンシルとを順次基板上に取り付
ける。ステンシルをプリント回路基板に整列させる。ス
テンシル上に予熱されたペーストを置く。閉じたプリン
ト室内の圧力を調整して第1圧力とする。プリント回路
基板にプラグを形成するようにプリントを行う。閉じた
プリント室内の圧力を調整して第2圧力としてプラグ内
に捕らえられた空洞を除去する。閉じたプリント室内の
圧力を調整して第3圧力とする。余分のペーストを除去
するスクレーピングを行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はプラグ製造装置お
よび方法ならびにペースト混合装置に関するものであ
り、特にメッキされたスルーホールのためのプラグの製
造装置および方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】メッキされたスルーホール(PTH)
は、プリント回路基板(PCB)、マルチチップモジュ
ール積層板(MCM−L)、セラミック基板、厚膜装置
および集積回路パッケージ装置(例えばボールグリッド
アレイ(BGA)、チップスケールパッケージ(CS
P)等)等の多くの分野で広く用いられている。
【0003】メッキされたスルーホールにプラグを施す
ためには、半田マスク(S/M)エポキシ樹脂、導電性
ペースト(例えば銀、銅あるいはこれらの混合ペース
ト)が一般的に用いられている。現在はメッキされたス
ルーホールにプラグを形成するためにステンシルプリン
タが用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】プリント工程に於いて
は、ステンシルをプリント回路基板に整列させる。作業
者は大量のペーストをステンシル上に乗せ、メッキされ
たスルーホールをペーストでプラグするためにスキージ
(へら)を用いると、メッキされたスルーホール内にプ
ラグが形成される。しかしながら、一般にプラグには空
洞(ボイド)が発生するという問題があり、このような
空洞はパッケージの信頼性に影響を及ぼし、プラグの表
面一様性を損なうことになる。
【0005】プリント工程は大気雰囲気中で行われるの
で、プリント工程中にペースト内に空気が混入され、ペ
ースト内に泡が形成される。このようにプラグの空洞が
形成されるのは空気のためである。更にペーストそのも
のも空洞発生の原因となる。ペーストは通常フラックス
と溶剤とからなり、大気雰囲気中で混合される。空気は
ペースト内に容易に混入されてしまい、ペーストを用い
てメッキされたスルーホールにプラグを施す際にプラグ
に容易に空洞が形成されてしまうのである。更に、プリ
ント工程に於いてペーストはステンシル上に大量に供給
されるので、ペースト内に混合されている溶剤が蒸発し
続ける結果、ペーストの粘性はプリント工程期間中に連
続的に変化し、プリント工程中のペーストの粘性が増大
し続けるのでプラグの表面一様性が悪くなってしまう。
【0006】従ってこの発明の目的は、空洞の無いプラ
グを製造するためのプラグ製造装置およびその方法を提
供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明によればプラグ製造装置は、底に基板を有す
る閉じたプリント室を備えている。閉じたプリント室に
は圧力制御装置が接続されている。基板は加熱装置を備
えている。ペースト供給タンクは閉じたプリント室内に
設けられている。
【0008】また上述の目的を達成するために、本発明
によればプラグ製造方法は、次の工程を備えている。閉
じたプリント室の底に設けた基板が設けられる。プリン
ト回路基板とステンシルとを順次基板上に取り付ける。
ステンシルをプリント回路基板に整列させる。ステンシ
ル上に予熱されたペーストを置く。閉じたプリント室内
の圧力を調整して第1圧力とする。プリント回路基板に
プラグを形成するようにプリントを行う。閉じたプリン
ト室内の圧力を調整して第2圧力としてプラグ内にとら
えられた空洞を除去する。閉じたプリント室内の圧力を
調整して第3圧力とする。余分のペーストを除去するス
クレーピングを行う。
【0009】本発明の装置および方法はいずれもプラグ
に空洞が形成されるのを防ぐことができ、パッケージの
信頼性は改善されてプラグの表面一様性も改善される。
【0010】
【発明の実施の形態】図1は本発明のペースト混合装置
を示す概略図である。図1に於いて、真空室12を備え
たペースト混合装置30が設けられている。真空室12
はそれぞれペーストと溶剤を貯蔵する2つの貯蔵タンク
を備えている。一方はペースト供給タンク11であり、
他方は溶剤供給タンク13である。真空室12は適当な
真空度に維持されている。真空室12は2つの領域に分
かれている。一つは2つのスクリュウの混合装置等の混
合装置18を備えた混合領域14であり、他方は加熱装
置20と供給開口22とを備えた貯蔵領域16である。
加熱装置20はペーストを加熱してその粘度を下げるた
めに用いられる。加熱されたペーストはプリント工程中
には供給開口22から供給される。
【0011】混合工程は真空室12内で行われ、空気が
ペースト内に混入しないようにする。ペーストは空洞の
無い状態となる。更に、真空室12はペーストが貯蔵工
程中に空気と接触しないようにできるので、プラグを形
成するためのプリント工程中にプラグに空洞が形成され
る確率が小さくなる。
【0012】図2は本発明のプラグ製造装置を示す概略
図である。図2に於いて、プラグ製造装置10は閉じた
プリント室32を備えている。閉じたプリント室32は
プリント回路基板にプラグを形成するための作業をする
領域である。閉じたプリント室32は、閉じたプリント
室32の圧力を制御するのに用いられる圧力制御装置3
4に接続されている。加熱装置38を有する基板36が
閉じたプリント室32の底に設けられている。基板36
はプリント回路基板の取り付け表面として用いられる。
加熱装置38はプリント工程中に基板36上に取り付け
られた回路基板上のペーストを加熱するために用いられ
る。ペーストを供給するペースト供給タンク40が閉じ
たプリント室32の内部に設けられている。ペースト供
給タンク40は望ましくは図1に示すペースト混合装置
である。ペースト供給タンク40は真空中でペーストを
混合し貯蔵する機能を持っている。ペースト供給タンク
40はペーストを基板36に供給できれば簡単な容器で
もよい。
【0013】図3A乃至図3Cは本発明のプラグ製造方
法の工程を示す概略断面図である。図3Aに於いて、メ
ッキされたスルーホール60を有するプリント回路基板
50が閉じたプリント室(図2の閉じたプリント室3
2)内に設けられた基板56上に取り付けられており、
基板56とプリント回路基板50との間には保護フィル
ム54が設けられている。基板56は加熱装置(図2の
加熱装置38)を備えている。プリント回路基板50は
一般的なプリント配線回路基板あるいはボールグリッド
アレイ基板を有している。メッシュ58を有するステン
シル52がプリント回路基板50上に取り付けられてい
る。メッシュ58はメッキされたスルーホール60に対
して整列している。予熱されたペースト64がステンシ
ル52上に乗せられる。ペースト64の量はプリント工
程を一、二回行うのに十分な量であるのが望ましい。ペ
ースト64はステンシル52上に乗せる前に約40℃乃
至90℃の温度に予熱される。閉じたプリント室は約
0.01乃至5トル(Torr)にポンプにより減圧さ
れ、プリント工程を実行する。ペースト64はプリント
工程中に基板56の加熱装置により約50℃乃至120
℃の温度に加熱される。メッキされたスルーホール60
をプラグするためにスキージ(へら)62を使用する。
【0014】ペースト64を予熱する目的はペースト6
4の粘度を低くして、メッキされたスルーホール60に
プラグを形成するのに用いられるときにペースト64に
空洞が形成されるのを防ぐことである。プリント工程中
にペースト64を加熱する目的も同様である。加熱温度
はペースト64の材質に応じて変えるが、粘度を小さく
するのに十分なだけの温度とすべきで、ペースト64を
熱硬化させるような高温にすべきではない。更に、ペー
スト64の量は減少させてプリント工程中にペースト6
4に混入されていた溶剤が蒸発するのを防ぐ。このよう
にして、ペースト64の粘度は毎回のプリント工程につ
いて一定とされる。
【0015】図3Bに於いて、プラグ66がメッキされ
たスルーホール60内に形成されている。ペースト64
の粘度あるいはペースト64の流れのためにプラグ66
に泡68が形成されている。泡68を確実に完全に除去
するために、閉じたプリント室を空気で約350乃至1
000トル(Torr)に加圧して正の圧力を設定す
る。このようにして泡68はプラグ66の表面にまで移
動されて正の圧力のために破壊される。正の圧力はまた
プラグ66の密度を高くする助けにもなる。上述の工程
は粘度が約200乃至300Pa・sの低粘度ペースト
に対して適当である。
【0016】粘度が約600乃至1000Pa・sの非
常に高粘度のペースト64に対しては、正の圧力を0.
5乃至2.0Kg/cm2としてプラグ66内に捕らえ
られていた泡68の除去効率が増進させる。必要なら
ば、泡68をさらに除去するために正の圧力を与える期
間を長くすることもできる。
【0017】図3Cに於いて、閉じたプリント室は約5
乃至20トル(Torr)にポンプ減圧される。スキー
ジ(へら)62を用いてペースト64を掻き延ばす(ス
クレーピング)。このため、余分のペースト64が除去
され、プラグ66aの表面一様性が改善される。
【0018】ここに説明する実施形態に於いてはプリン
ト回路基板を用いて説明したが、本発明はこれに限定さ
れるものではない。本発明は同様にマルチチップモジュ
ール積層板および集積回路パッケージ装置(例えばボー
ルグリッドアレイ、チップスケールパッケージ等に用い
るのにも適当である。
【0019】図4は図3A乃至図3Cの製造方法に於け
る時間と圧力との関係を示す概略図である。図4に於い
て、閉じたプリント室をポンプ減圧して約0.01乃至
5トル(図4の符号70参照)とする。プラグに捕らえ
られている泡が完全に除去されてペーストを高密度化さ
れるように、閉じたプリント室が空気で約350乃至1
000トル(図4の符号72参照)に加圧されて正の圧
力を設定する。このようにして泡はプラグの表面にまで
移動されて正の圧力のために破壊される。閉じたプリン
ト室は約5乃至20トル(Torr)(図4の符号76
参照)にポンプ減圧される。スキージ(へら)を用いて
余分のペーストを除去し、プラグの表面一様性を改善す
る。上述の工程は粘度が約200乃至300Pa・sの
低粘度ペーストに対して適当である。
【0020】粘度が約600乃至1000Pa・sの非
常に高粘度のペースト64に対しては、正の圧力を0.
5乃至2.0Kg/cm2(図4の符号74参照)とし
てプラグ内に捕らえられていた泡の除去効率を増進させ
る。閉じたプリント室は約5乃至20トル(Torr)
(図4の符号78参照)にポンプ減圧される。スキージ
(へら)を用いて余分のペーストが除去され、プラグの
表面一様性が改善される。
【0021】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば次のような効
果が得られる。
【0022】1.ペーストが空気に触れぬように真空中
でペーストを混合するので、ペーストで形成したプラグ
に空洞が発生しない。
【0023】2.プラグ製造装置の作業室は真空に維持
されるのでプラグに空洞が発生する問題を解消できる。
【0024】3.プラグ製造方法によればプラグが真空
中で製造されるので、プラグに空洞が発生するのを防ぐ
ことができ、従ってパッケージの信頼性が改善される。
【0025】4.ペースト供給タンクからのペーストの
供給時およびプリント工程時に加熱装置を用いてペース
トを加熱してペーストの粘度を小さくするので、プラグ
内に空洞が発生しない。
【0026】5.プリント工程中に用いるペーストの量
を正確に制御して無駄を無くすペースト混合装置が得ら
れる。ペースト混合装置を用いればペーストの粘度はあ
まり変化しないのでプラグの表面一様性が改善される。
【0027】当業者には本発明の範囲および趣旨から逸
脱せずに本発明の構造に対して様々な変更および変形を
することができることは明らかであろう。従って、本発
明は本願請求項の範囲内の変更および変形並びにそれら
の均等物をも包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のペースト混合装置を示す概略図。
【図2】 本発明のプラグ製造装置を示す概略図。
【図3】 本発明のプラグ製造方法の工程を示す概略断
面図。
【図4】 本発明のプラグ製造方法の工程に於ける時間
と圧力との関係を示す概略図である。
【符号の説明】
10 プラグ製造装置、11 ペースト供給タンク、1
2 真空室、13 溶剤供給タンク、14 混合領域、
16 貯蔵領域、18 混合装置、20 加熱装置、2
2 供給開口、30 ペースト混合装置、32 プリン
ト室、34 圧力制御装置、36 基板、38 加熱装
置、40 ペースト供給タンク、50プリント回路基
板、52 ステンシル、54 保護フィルム、56 基
板、58メッシュ、60 メッキされたスルーホール、
64 ペースト、66 プラグ、68 泡。

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 プリント回路基板用のプラグを製造する
    ために、 基板を持つ閉じたプリント室を設け、 複数の穴を有するプリント回路基板と、複数のメッシュ
    を有するステンシルとを順次上記基板上に取り付け、 上記プリント回路基板および上記ステンシルを整列さ
    せ、 上記ステンシル上に予熱されたペーストを置き、 上記閉じたプリント室内の圧力を調整して第1圧力と
    し、上記ペーストを上記穴に充填させるプリント工程を
    実行し、 上記閉じたプリント室内の圧力を調整して第2圧力と
    し、 上記閉じたプリント室内の圧力を調整して第3圧力とし
    て余分のペーストを除去するスクレーピングを行うプリ
    ント回路基板用のプラグ製造方法。
  2. 【請求項2】 上記プリント工程および上記スクレーピ
    ング工程中に上記ペーストを上記基板により加熱するこ
    とを特徴とする請求項1記載のプラグ製造方法。
  3. 【請求項3】 上記ペーストが約50℃乃至120℃に
    加熱されることを特徴とする請求項1記載のプラグ製造
    方法。
  4. 【請求項4】 上記ペーストの予熱温度が約40℃乃至
    90℃であることを特徴とする請求項1記載のプラグ製
    造方法。
  5. 【請求項5】 上記第1圧力が約0.01乃至5トルで
    あることを特徴とする請求項1記載のプラグ製造方法。
  6. 【請求項6】 上記ペーストの粘度が約200乃至30
    0Pa・sであるとき、上記第2圧力が約350乃至1
    000トルであることを特徴とする請求項1記載のプラ
    グ製造方法。
  7. 【請求項7】 上記ペーストの粘度が約600乃至10
    00Pa・sであるとき、上記第2圧力が約0.5乃至
    2Kg/cm2であることを特徴とする請求項1記載の
    プラグ製造方法。
  8. 【請求項8】 上記第3圧力が約5乃至20トルである
    ことを特徴とする請求項1記載のプラグ製造方法。
  9. 【請求項9】 閉じたプリント室と、 上記閉じたプリント室に接続された圧力制御装置と、 上記閉じたプリント室内に設けられた基板と、 上記閉じたプリント室内に設けられたペースト供給タン
    クとを備えたプラグ製造装置。
  10. 【請求項10】 上記基板が加熱装置を備えたことを特
    徴とする請求項9記載のプラグ製造装置。
  11. 【請求項11】 上記ペースト供給タンクが混合領域と
    貯蔵領域とを有する真空室を備えたことを特徴とする請
    求項9記載のプラグ製造装置。
  12. 【請求項12】 上記混合領域が2つのスクリュウの混
    合装置であることを特徴とする請求項11記載のプラグ
    製造装置。
  13. 【請求項13】 上記貯蔵領域が加熱装置と供給開口と
    を備えたことを特徴とする請求項11記載のプラグ製造
    装置。
  14. 【請求項14】 加熱装置を有し閉じたプリント室内に
    設けられた基板と、 2つのスクリュウの混合装置を有する混合領域ならびに
    加熱装置および供給開口を有する貯蔵領域を備えた真空
    室を有し、上記プリント室内に設けられたペースト供給
    タンクとを備えたプラグ製造装置。
  15. 【請求項15】 閉じたプリント室と、 上記閉じたプリント室に接続された圧力制御装置と、 加熱装置を有し閉じたプリント室内に設けられた基板
    と、 2つのスクリュウの混合装置を有する混合領域ならびに
    加熱装置および供給開口を有する貯蔵領域を備えた真空
    室を有し、上記プリント室内に設けられたペースト供給
    タンクとを備えたプラグ製造装置。
  16. 【請求項16】 一方にペーストを収容し他方に溶剤を
    収容する2つの貯蔵タンクと、 混合領域および上記混合領域に接続された貯蔵領域を有
    する真空室とを備え、上記真空室は上記貯蔵領域の一端
    に設けられた供給開口を有してなるペースト混合装置。
  17. 【請求項17】 上記混合領域が2つのスクリュウの混
    合装置を備えたことを特徴とする請求項16記載のペー
    スト混合装置。
  18. 【請求項18】 上記貯蔵領域が加熱装置を備えたこと
    を特徴とする請求項16記載のペースト混合装置。
  19. 【請求項19】 上記加熱装置の加熱範囲が約40℃乃
    至90℃であることを特徴とする請求項18記載のペー
    スト混合装置。
JP11053304A 1998-12-31 1999-03-01 プラグ製造装置および方法ならびにペ―スト混合装置 Pending JP2000200970A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW87121965 1998-12-31
TW087121965A TW409490B (en) 1998-12-31 1998-12-31 The equipment for plug hole process and the method thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000200970A true JP2000200970A (ja) 2000-07-18

Family

ID=21632527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11053304A Pending JP2000200970A (ja) 1998-12-31 1999-03-01 プラグ製造装置および方法ならびにペ―スト混合装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US6264862B1 (ja)
JP (1) JP2000200970A (ja)
TW (1) TW409490B (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003229659A (ja) * 2002-02-05 2003-08-15 Murata Mfg Co Ltd 電子部品の製造方法
KR100657405B1 (ko) 2005-12-14 2006-12-14 삼성전기주식회사 솔더 페이스트 도포장치
KR100797710B1 (ko) 2006-11-13 2008-01-23 삼성전기주식회사 솔더페이스트 도포장치
CN105900538A (zh) * 2013-12-17 2016-08-24 桑米纳公司 形成用于印刷电路板的分段通孔的方法
CN113352734A (zh) * 2021-06-02 2021-09-07 广东捷骏电子科技有限公司 塞孔印刷装置

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001185566A (ja) * 1999-12-22 2001-07-06 Nec Corp 液状樹脂による樹脂封止装置及び樹脂封止方法
CN1444839A (zh) * 2000-05-31 2003-09-24 Ttm先进电路公司 填充方法
US6659328B2 (en) * 2001-12-18 2003-12-09 Xerox Corporation Method and apparatus for deposition of solder paste for surface mount components on a printed wiring board
US7180186B2 (en) * 2003-07-31 2007-02-20 Cts Corporation Ball grid array package
US9757260B2 (en) 2006-03-30 2017-09-12 Medtronic Vascular, Inc. Prosthesis with guide lumen
CN100485895C (zh) * 2006-07-11 2009-05-06 欣兴电子股份有限公司 内埋式晶片封装结构及其工艺
US8122847B2 (en) 2009-06-29 2012-02-28 Ttm Technologies, Inc. System for filling holes in a printed circuit board with a fluid fill material
US8444770B2 (en) * 2009-06-29 2013-05-21 Ttm Technologies, Inc. System for cleaning components for filling holes in a printed circuit board with a fluid fill material
EP2421343B1 (de) * 2010-08-06 2013-03-20 Mass GmbH Anlage und Verfahren zum Bearbeiten von Leiterplatten
US9872398B1 (en) * 2016-08-08 2018-01-16 International Business Machines Corporation Implementing backdrilling elimination utilizing via plug during electroplating
CN106714474A (zh) * 2016-12-29 2017-05-24 中国电子科技集团公司第二研究所 一种控制ltcc生瓷片通孔填充高度的方法
CN106982513A (zh) * 2017-05-23 2017-07-25 四会富士电子科技有限公司 一种选择性树脂塞孔的方法
CN109413870A (zh) * 2018-12-25 2019-03-01 东莞美维电路有限公司 一种提高真空塞孔产能的辅助设备
JP7004921B2 (ja) * 2019-04-26 2022-01-21 日亜化学工業株式会社 発光モジュールの製造方法及び発光モジュール

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3384931A (en) * 1966-06-24 1968-05-28 Ibm Injection printing of electrical circuit components
US4260675A (en) * 1979-05-10 1981-04-07 Sullivan Donald F Photoprinting plate and method of preparing printed circuit board solder masks therewith
US4515297A (en) * 1983-05-26 1985-05-07 At&T Technologies, Inc. Methods for multipoint dispensing of viscous material
US4597420A (en) * 1983-05-26 1986-07-01 At&T Technologies, Inc. Techniques for multipoint dispensing of viscous material
US4622239A (en) * 1986-02-18 1986-11-11 At&T Technologies, Inc. Method and apparatus for dispensing viscous materials
US5038466A (en) * 1989-08-04 1991-08-13 Motorola, Inc. Multifunctional end effector and method of converting single purpose robot arm
JP3583462B2 (ja) * 1993-04-05 2004-11-04 フォード モーター カンパニー 電子成分のための微小はんだ付け装置および方法
US5410806A (en) * 1993-09-15 1995-05-02 Lsi Logic Corporation Method for fabricating conductive epoxy grid array semiconductors packages
CA2135508C (en) * 1994-11-09 1998-11-03 Robert J. Lyn Method for forming solder balls on a semiconductor substrate
US5832600A (en) * 1995-06-06 1998-11-10 Seiko Epson Corporation Method of mounting electronic parts
US6253957B1 (en) * 1995-11-16 2001-07-03 Nordson Corporation Method and apparatus for dispensing small amounts of liquid material
GB2307446A (en) * 1995-11-25 1997-05-28 Ibm Solder paste deposition
US5772106A (en) * 1995-12-29 1998-06-30 Microfab Technologies, Inc. Printhead for liquid metals and method of use
US5746127A (en) * 1996-05-03 1998-05-05 Amtx, Inc. Electroformed squeegee blade for surface mount screen printing
US6080668A (en) * 1996-05-30 2000-06-27 International Business Machines Corporation Sequential build-up organic chip carrier and method of manufacture
JP2915379B2 (ja) * 1996-06-18 1999-07-05 レイセオン・カンパニー 落下衝撃に耐える導電接着剤
US5744285A (en) * 1996-07-18 1998-04-28 E. I. Du Pont De Nemours And Company Composition and process for filling vias
US5714086A (en) * 1996-08-09 1998-02-03 Quantum Materials, Inc. Propargyl ether-containing compositions useful for underfill applications
US5740730A (en) * 1996-09-03 1998-04-21 Micron Electronics, Inc. Apparatus for depositing solder and adhesive materials onto a printed circuit board
US5920123A (en) * 1997-01-24 1999-07-06 Micron Technology, Inc. Multichip module assembly having via contacts and method of making the same
US6224180B1 (en) * 1997-02-21 2001-05-01 Gerald Pham-Van-Diep High speed jet soldering system
TW340296B (en) * 1997-02-21 1998-09-11 Ricoh Microelectronics Kk Method and apparatus of concave plate printing, method and apparatus for formation of wiring diagram, the contact electrode and the printed wiring nickel substrate
US6012231A (en) * 1997-12-08 2000-01-11 Micron Technology, Inc. Soldered integrated circuit connections
US6073817A (en) * 1998-09-04 2000-06-13 Ford Motor Company Pneumatically-actuated throttle valve for molten solder dispenser
US6114098A (en) * 1998-09-17 2000-09-05 International Business Machines Corporation Method of filling an aperture in a substrate
TW409383B (en) * 1998-12-31 2000-10-21 World Wiser Electronics Inc Apparatus of plug hole process and the method thereof
US6234077B1 (en) * 1999-02-26 2001-05-22 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for screen printing

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003229659A (ja) * 2002-02-05 2003-08-15 Murata Mfg Co Ltd 電子部品の製造方法
KR100657405B1 (ko) 2005-12-14 2006-12-14 삼성전기주식회사 솔더 페이스트 도포장치
KR100797710B1 (ko) 2006-11-13 2008-01-23 삼성전기주식회사 솔더페이스트 도포장치
CN105900538A (zh) * 2013-12-17 2016-08-24 桑米纳公司 形成用于印刷电路板的分段通孔的方法
CN113352734A (zh) * 2021-06-02 2021-09-07 广东捷骏电子科技有限公司 塞孔印刷装置
CN113352734B (zh) * 2021-06-02 2022-05-31 广东捷骏电子科技有限公司 塞孔印刷装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6264862B1 (en) 2001-07-24
US6398099B1 (en) 2002-06-04
TW409490B (en) 2000-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000200970A (ja) プラグ製造装置および方法ならびにペ―スト混合装置
KR100295732B1 (ko) 인쇄배선기판홀충진방법
US6436803B2 (en) Manufacturing computer systems with fine line circuitized substrates
US5243142A (en) Printed wiring board and process for producing the same
CN1732565B (zh) 用热固树脂清漆执行衬底印记的方法及其形成的产品
US7066378B2 (en) Filling device
KR19980064439A (ko) 기판에 땜납을 형성하기 위한 방법 및 장치
US6374733B1 (en) Method of manufacturing ceramic substrate
KR20030007755A (ko) 채움 장치
JP3203345B2 (ja) 真空印刷装置及び真空印刷方法
JP4421081B2 (ja) パワーモジュールとその製造方法
JP4292638B2 (ja) 配線板の製造方法
JP4341300B2 (ja) プリント基板の製造方法
KR20030007753A (ko) 채움 방법
JP2003257891A (ja) 導電性ペーストの充填方法及び貫通電極付き基板並びに非貫通電極付き基板
US6115911A (en) Method of manufacturing a plug
JPH03101191A (ja) ビア充填方法
CN1262595A (zh) 塞孔制作工艺的装置及方法
KR100771283B1 (ko) 인쇄회로기판의 비아홀 충진 방법
JPH11220049A (ja) サブストレ−トの製造方法
CN201608977U (zh) 内置超声波的制作印制电路板的烘箱
WO2025154773A1 (ja) 導電ビア付基板の製造方法及び導電ビア付基板、並びに、導電ビア付配線基板の製造方法及び導電ビア付配線基板
JPH07249866A (ja) 硬化性ペーストの充填方法
JP2002141641A (ja) プリント配線板の製造方法
CN1262597A (zh) 塞孔制作工艺的装置及方法