JP2000203702A - 自動搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、前述した従来の搬送システムでの問
題点を解決し、次工程への短時間での搬送を可能とし、
よりシンプルな搬送システムを提供することを目的とす
る。 【解決手段】工程間搬送システムにより、保管棚に格納
された搬送物を工程内搬送システムが、保管棚から直接
製造装置へ搬送するシステム構成のため、移載回数が削
減出来るため、搬送時間を短縮することができることか
ら、次工程への短時間での搬送が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハ，円
盤状の情報記録媒体，液晶や厚膜基板などの、複数枚の
生産対象物をカセットに収納した形態での自動搬送、特
に各製造装置による処理工程を順次経て生産していく形
態での、生産対象物を自動的に搬送する自動搬送装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハの生産工場では、多数の製
造装置を有する生産ラインにおいて、生産対象物を各製
造装置に供給し、あるいは生産対象物を各製造装置から
搬出するために、人手による搬送または自動搬送システ
ムが用いられている。半導体工場では、工程（処理）毎
に製造装置をまとめて配置する方式（ジョブショップ方
式）が主流であり、製品は同一種類の製造工程ごとに区
分けされたショップ内やショップ間を複雑に行き来しな
がら処理が進んで行く。

【０００３】従来の半導体ウェハの生産工場では、ショ
ップ間の搬送を工程間搬送システムにより自動搬送を行
い、ショップ内の搬送を工程内搬送システムで自動搬送
を行っている。各ショップには、それぞれの製造装置で
の処理スループットが異なるため、バッファの意味を兼
ねたストッカが設置されている。ストッカは、工程内搬
送が人手による搬送が主流であったため、バッファ機能
の他に、在庫管理も行っており、その構成は、ワークを
保管する棚，ストッカ内を搬送するスタッカクレーン及
び、工程間搬送システムとのワーク移載を行うための移
載機であり、棚に格納されているワークの管理、及び工
程間・工程内への搬出・搬入を行っている。

【０００４】工程間搬送は、前述の各ショップに配置さ
れたストッカ間を自動搬送し、工程内搬送は、前述のス
トッカから各ショップ内に配設された製造装置間の自動
搬送を行う。従来の自動搬送システムには、工程間自動
搬送装置として特開平8− 8324号公報に代表されるも
のや、工程内搬送装置として特開平9−193053 号公報に
代表されるものがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の自動搬送システ
ム構成では、生産装置から次の工程の生産装置へワーク
を自動搬送するためには、製造装置→工程内搬送システ
ム→ストッカ→工程間搬送システム→ストッカ→工程内
搬送システム→製造装置といった搬送経路をたどり、ワ
ークの搬送が行われる。各ショップにストッカが必要と
なってしまっている理由は、これまでの工程内搬送が、
人手による搬送が主流であったため、各工程に搬送され
てきたワークの一時保管・管理を行うためにストッカが
必要不可欠であったためである。

【０００６】工程内の自動化を検討するにあたり、人手
による搬送の自動化のみの検討を行い、ストッカを含め
た工程内自動搬送システムとしての検討が不十分であっ
たため、従来の搬送システム構成では、ストッカが必要
不可欠なシステム構成となってしまっている。工程内搬
送の自動化を検討するにあたり、ストッカでの機能必要
性も合わせて検討する必要がある。

【０００７】また、生産においては、次工程への短時間
での搬送が要求されており、これまでの搬送設備構成と
すると、ストッカでの移載のための時間が必要となって
しまう。各搬送装置の移載機構の動作時間の短縮や搬送
装置単体の動作速度を向上するにしても、搬送物へのダ
メージ等の問題から限界があるため移載動作そのもの、
つまり乗り継ぐ搬送システム数の削減が必要となってく
る。

【０００８】本発明の目的は、前述した従来の搬送シス
テムでの問題点を解決し、次工程への短時間での搬送を
可能とし、よりシンプルな搬送システムを提供すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、工程間自動搬送システムと工程内搬送システ
ム間のストッカを排除し、ワークを置くための保管棚の
み配置し、工程間搬送システムにより前述保管棚へ直接
格納し、前述保管棚より工程内自動搬送システムが直接
ワークを製造装置へ搬送することを可能とするシステム
構成とすることを特徴とする。

【００１０】即ち、保管棚の管理を行っていたスタッカ
クレーン（ストッカ）の削減及び、工程間自動搬送シス
テムとストッカの移載を行っていた移載装置を削減する
ことができるため、搬送時間を短縮することが可能とな
ることから、次工程への短時間での搬送が可能となる。
また、搬送システム構成要素が削減することが可能にな
ることから、よりシンプルなシステムを提供することが
可能となる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を説明す
る。

【００１２】図１により本発明の設備構成を説明する。
設備の構成は、製造装置７と保管棚２、及び前述製造装
置７と保管棚２間を搬送する移載機本体３，移載機軌道
５，６からなる。移載機本体３は走行機構・昇降機構を
もつ移載機アーム４を持ち、移載機軌道５上を走行製造
装置７と保管棚２との間で搬送を行う。

【００１３】移載機本体３は走行機構・昇降機構をもつ
移載機アーム４により、目的棚位置へワーク１を搬送す
ることができる。保管棚２の背面には、移載機軌道６が
あり、前工程から搬送されてきたワーク１を保管棚２へ
格納、または製造装置での処理完了後に保管棚２に格納
されたワーク１を次工程の製造装置設置エリアの保管棚
２へ搬送する。

【００１４】図２により、製造装置７ｃから製造装置７
ｇへ搬送する場合について説明する。製造装置７ｃで処
理が完了したワーク１は、移載機軌道５ａ上を走行する
移載機本体３ａの移載アーム４により、製造装置７ａか
ら取り出される。移載機本体３ａは、移載アーム４上に
ワーク１を保持しながら移載機軌道５ａ上を走行し、保
管棚２ａの空き棚へ移載機本体３ａに搭載されている移
載アーム４によりワーク１を格納する。

【００１５】格納されたワーク１は、移載機軌道６上を
走行する移載機本体３ｃ，３ｅに搭載されている移載ア
ーム４により、保管棚２ａからとりだされ、移載機本体
３ｃ，３ｅにより保管棚２ｂまで搬送され移載機本体３
ｃ，３ｅに搭載されている移載アーム４により、保管棚
２ｂの空き棚に格納される。その後、移載機軌道５ｂ上
を走行する移載装置３ｂに搭載されている移載アーム４
により保管棚２ｂからとりだされたワーク１は、製造装
置７ｇまで搬送され、製造装置７ｇへ卸される。

【００１６】高搬送能力を要求されないエリアでは、保
管棚２ａ，移載機軌道５ａ，移載機本体３ａからなるシ
ステムとし、移載機本体３ａは、前進後進タイプとす
る。高搬送能力を要求されるエリアでは、保管棚２ｂ，
移載機軌道５ｂ，移載機本体３ｂ，移載機本体３ｄのよ
うなループ軌道を構成し、複数台数の移載機本体３を走
行可能なシステム構成とする。

【００１７】次に図３に示す実施例について説明する。
本システム構成は、移載機軌道５ａ上を走行する移載機
本体３ａで構成されるシステムと移載機軌道５ｂ上を走
行する移載機本体３ｂ，３ｄで構成されるシステムの間
に保管棚２ｅを配置した構成であり、製造装置７ｃから
製造装置７ｇへ搬送する場合、移載機軌道５ａ上を走行
する移載機本体３ａで構成されるシステムにより製造装
置７ｃから取り出され、保管棚２ａを使用して、移載機
軌道６上を走行する移載機本体３ｃ，３ｅで構成される
システムにより保管棚２ｂを経由して移載機軌道５ｂ上
を走行する移載機本体３ｂで構成されるシステムにより
製造装置７ｇへ搬送されるルートと、移載機軌道５ａ上
を走行する移載機本体３ａで構成されるシステムにより
製造装置７ｃから取り出され、保管棚２ｅを使用して、
移載機軌道５ｂ上を走行する移載機本体３ｂ，３ｄで構
成されるシステムにより製造装置７ｇへ搬送される、２
通りの搬送ルートを選択することが可能となる。

【００１８】前述のような設備構成にすることにより、
搬送のバックアップ搬送ルートを確保することが可能で
あり、移載機軌道６上を走行する移載機本体３ｃ，３ｅ
で構成されるシステムが故障した場合、もしくは搬送が
移載機軌道６上を走行する移載機本体３ｃ，３ｅで構成
されるシステムに搬送指示が集中した場合、搬送ルート
を変更し、移載機軌道５ｂ上を走行する移載機本体３
ｂ，３ｄで構成されるシステムにより搬送のバックアッ
プが可能となる。このように、搬送ルートの選択を行え
るようにすることで、搬送指示の集中をさけることが可
能になり、効率良く搬送することが出来るようになる。

【００１９】保管棚２の棚ロケーション及び在庫，製造
装置のロケーション，ワークのトラッキングは、上位の
コンピュータで管理される。搬送指示は、製造装置側か
らの要求により、上位のコンピュータで生成され、移載
機本体に与えられる。移載機本体３は、与えられた搬送
指示に従って、自動的にワーク１を搬送する。各ワーク
には、それぞれワークナンバーが取り付けられており、
移載機本体３に搭載されている移載アーム４に取り付け
られたワークナンバーの読みとり装置にて移載機本体３
は搬送すべきワークを確認する。

【００２０】移載機本体３は、上位コンピュータから搬
送指示として、搬送元ロケーション・ワークナンバー・
搬送先ロケーションデータを受け取り、搬送元ロケーシ
ョンにてワークを確認後、搬送を行い搬送完了後、上位
コンピュータへ搬送の完了報告を行う。上位コンピュー
タは、前述の完了報告により、自動的にトラッキングの
更新，ロケーションの更新を行う。

【００２１】人手にて保管棚２へワーク１を格納、また
保管棚２より人手にてワーク１を取り出す場合は、在庫
及びロケーションの修正は在庫及び、ロケーション修正
用のコンピュータにおいて人手にて入力・修正する。人
手にて空き棚に格納する場合は、自動搬送の搬送先と人
手による格納棚の重複をさけるために、人手格納用のエ
リアを保管棚にあらかじめ設定しておき、人手での保管
棚からの取り出し、または人手による保管棚への格納を
可能とする。

【００２２】

【発明の効果】本発明によれば、従来工程間搬送システ
ムと工程内搬送システム間の受け渡しを行っていたスタ
ッカクレーン（ストッカ）及び移載装置を排除すること
が出来、移載回数が削減出来るため、搬送時間の短縮及
び、搬送システムの構成要素を削減出来るため、より安
価な自動搬送システムを提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送装置の一実施例を示す斜視図。

【図２】本発明の搬送装置の一実施例を示す平面図。

【図３】本発明の搬送装置の一実施例を示す平面図。

【符号の説明】

１…ワーク、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…保管棚、
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ…移載機本体、４…移載
機アーム、５ａ，５ｂ，６…移載機軌道、７ａ，７ｂ，
７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆ，７ｇ，７ｈ，７ｉ，７ｊ，７
ｋ，７ｌ，７ｍ，７ｎ，７ｏ，７ｐ…製造装置。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】生産建屋内通路の両側に沿って複数の製造
   装置を直線的に隣接した製造装置のワーク投入口側前方
   に、製造装置に沿って平行して配設した走行路上を移載
   機アームを搭載した有軌道方式の自動搬送車により、ワ
   ークを搬送する搬送システムにおいて、前述自動搬送車
   により、搬送物を保管棚から製造装置へ直接搬送するこ
   とを特徴とする自動搬送システム。
2. 【請求項２】移載機アームを搭載した有軌道方式の自動
   搬送車により、保管棚の前面と背面の両面から、ワーク
   の保管棚への卸し作業及び保管棚からの積み込み作業を
   行うことを可能にすることにより、自動搬送装置間でワ
   ークを受け渡しするためのストッカを必要としないこと
   を特徴とする自動搬送システム。
3. 【請求項３】複数個のワークをも同時搬送可能な自動搬
   送車の荷台に仮置台構成要素を配設することを特徴とす
   る請求項１記載の自動搬送システム。
4. 【請求項４】自動搬送車を無軌道方式とすることを特徴
   とする請求項１から３のいばれか１項記載の自動搬送シ
   ステム。