JPH0467211A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体基板に集積回路を形成するために、半
導体基板に種々の処理を行なう処理設備に、半導体基板
を複数枚収納する収納箱を搬送する搬送システムに関す
る。

〔従来の技術〕

通常、半導体基板（以下ウェーハと言う）に、多数の集
積回路を形成するに際しては、ウェーハを種々の処理、
例えば、薄膜形成、不純物拡散、酸化処理及びパターン
形成等を行ない、これら−連の処理を数千回はど繰り返
し行なわれていた。

このなめ、ウェーハを処理する多種多様のウェーハの処
理設備が多数台−つのフロア−に並べて配置されていた
。そして、これら設備で、決められた条件及び手順によ
り処理され、ウェーハ上に集積回路が形成されていた。

一方、このウェーハを各処理設備で処理するには、−工
程の処理設備で処理が終了した後、次工程の処理設備に
送られるのであるが、次工程の処埋設備が必ずしも前工
程の処理設備の近辺に配置されているとはかぎらない。

また、前述したように、処理工程が繰返し行なう場合は
、同じ処理設備を往復してウェーハを送る必要が生ずる
。このことは、ウェーハを如何に効率良く搬送し、適宜
に搬送する搬送システムが必要になってくる。

例えば、４ＭビットＤＲＡＭの生産工程の場合は、その
処理工程は実に数１００工程に及び、しかも量産に伴な
い、ウェーハを多数枚処理しなければならず、効率の良
い安価な搬送システムが不可欠のものになる。

第３図はウェーハ処理工場における処理設備のレイアウ
トの一例を示す平面図である。この工場の室内は極めて
塵埃を少なくしたクリーンルーム１０１があり、そのク
リーンルーム１０１には。

それぞれの処理設備がベイ１０４内に隔壁１０３を介し
て収容されている。また、このクリーンルーム１０１に
は、別置き搬送制御装置が配置され。

別室には、搬送システムを総括するホストコンピュータ
が設置されている。

−Ｈ、これらの処理設備の保守に際１−では、保守時に
発生する塵埃がベイ１０４より出なり）ように、保守は
ベイ１０４の横に配置された保守室１０２側より行なう
ことになっている。さらに、この処理装置の間には、ク
リーンルーム１０１を横切る軌道４１が配置され、各処
理に備のベイ１０４には、ステーション２１が設けられ
ている。この軌道４１に、図面には示さないが、搬送台
車が走行し、収納箱を各ステーション２１に搬送する。

また、この搬送台車としては、電磁誘導あるいは光学誘
導等を利用さた無人搬送車や、リニアモータを利用した
有軌道式の搬送車がある。

第４図は第３図のステーションを示す斜視図である。こ
のステーションは、ベイの処理設備に処理されたウェー
ハを収納する収納箱であるウェーハキャリアあるいは他
のステーションから送られてきたウェーハキャリア（以
下ワークと言う）が出入れするところである。

また、このステーションには、搬送台車３４にワーク１
を移載したりまたは取り出したりする移載機２７と、ワ
ーク１を一時的にますみ２６に収納して保管する保管槽
２５と、ワーク１を保管槽２５の人出序口２４に移送さ
せるシフタ４３と、このワーク１のバーコードを読み取
るバーコードリーダ（以下ＢＣＲと言う）２３と、入出
力装置、操作卓２２が取り付けられたステーション本体
２１とがある。

次に、このステーションでのワークの搬送手順を説明す
る。まず、処理されたワー２１は、まず、入出庫２４で
、ＢＣＲ２３により、バーコードを読み取る０次に、こ
のバーコードを入出力装置２２を経てポストコンピュー
タに送り、ワーク１の次の工程あるいは行き先及びロフ
ト番号等の情報を問合せをする。このことにより、ホス
トコンピュータからその情報を得る。次に、ワーク１は
移載機２７により一部保管橿２５に収納され、空の搬送
台車３４がステーションに到着するまで待機する０次に
、搬送台車３４が到着すると、再び、移載機２７により
そのワーク１は保管槽２５より引き出され、搬送台車３
４に積載される。搬送台車３４はホストコンピュータの
指示により目的のステーションに向って走行する。目的
のステーションに９１着すると、移載機２７によりワー
ク１は、搬送台車２７より取り外され、−時的に保管棚
２５に収納される。

第５図は従来の一例を示す搬送システムのブロック図で
ある。この搬送システムは、同図に示すように、各処理
段！間を通り抜ける軌道を走行する搬送台車３４と、Ｂ
ＣＲ２３及び入出力装置２２をもつとともに各処理設備
に付設されるステーション２１と、搬送台車３４の走行
を制御する走行制御装置３１ａと、ホストコンピュータ
１１の情報のやり取りで各ステーション２１及び走行Ｉ
Ｉ御装置を制御する搬送制御装置３１ａとで構成されて
いる。

この搬送システムの動作は、まず、ステーション２１で
入手されたワークのバーコードをＢＣＲ２３が読み取る
。次に、読み取られたバーコードは入出力装置２２を介
して搬送制御装置３１ａに送られ、搬送制御装ｆｉ３１
　ａはホストコンビュータ１１に、次の工程あるいは行
き先及び口・γト番号など間合せる。ホストコンピュー
タ１１は搬送制御装置３１ａに工程あるいは行き先及び
製造ロフトを応答し、搬送制御装置３１ａは走行制御装
置３２と該当するステーション２１に受入れあるいは出
庫等を指令する８次に、走行制御装置３２は搬送台車を
指定し、行き先のステーションを指示する。これと同時
に受は入れあるいは引渡しを担当するステーションは準
備操作をし、搬送台車３４が到着するまで待機する。

ここで、ホストコンピュータと搬送制御装置とは独立し
た通信回線を利用することが多く、例えば、モデム回線
や本国電子工業会の規格Ｒ５−２３２Ｃ通信回線が使用
される。このＲ３−２３２Ｃ通信回線を用いる場合は、
半導体製造装置通信規格の手順に従っている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の搬送システムでは、ホストコンピ
ュータと搬送制御装置、搬送制御装置と各ステーション
及び走行制御装置との情報交換が頻繁であり、搬送制御
装置に負荷がかかり過ぎるという問題がある。

例えば、４　Ｍ　Ｄ　ＲＡ　Ｍの例で述べると、このＤ
ＲＡ　Ｍの生産工程はおよそ４００ないし５００工程あ
るとされ、その量は月産ウェーハ換算で１５０００枚か
ら３００００に達している。このような多数の工程おも
ち、かつ大量生産する場合は。

搬送システムの作業量は、実に単位時間あたり３００回
程度に達する。このような作業回数の増加に伴ない、ホ
ストコンピュータと搬送制御装置との間での情報交換が
増加する。さらに、搬送制御装置には、各ステーション
の状態管理、走行制御装置の搬送指示及びステーション
間のインターロックといった負荷が集中することになる
。

このため、搬送制御装置の処理能力を大きくするのに、
ミニコンピユータあるいは小型のコンピュータなどを付
加する必要があり、コストが増大するばかりか、この搬
送制御装置の占る面積が大きくなり、ラインのレイアウ
トに不都合を生ずる欠点がある。また、ホストコンピュ
ータ、搬送制御装置及びステーションが一つの通信回線
で結ばれているため、一つのステーションで事故が生じ
、回復させる際に、全システムを停止しなければならな
い５．二のため自動化ラインの稼働率の低下をもたらす
という欠点がある。

本発明の目的は、かかる欠点を解消する搬送システムを
揚供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の搬送システムは、並べて配置される処理設備の
ステーション間を通り抜ける軌道と、この軌道を走行す
るとともに複数の半導体基板を収納する収納箱を前記ス
テーションに搬送する搬送台車と、各前記ステーション
にあるとともに前記収納箱がもつ固有情報を読みとる読
取り装置と、前記搬送台車の走行を制御する走行制御装
置と、訂記走行制御装置に指令をする搬送制御装置と、
前記固有情報を基にシステムの総括を掌るホストコンピ
ュータとを有する搬送システムにおいて、前記ステーシ
ョンのそれぞれに通信回線を介して接続される通信端末
装置を備え、この通信端末装置が蒔記ホストコンピュー
タと搬送に関する情報を交換することを特徴としている
。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す搬送システムのブロッ
ク図である。この搬送システムは、同図に示すように、
各ステーション２１とホストコンピュータ１１と結ぶ間
に通信回線１８を介して通信端末装２１４を設け、各ス
テーション２１より搬送制御装置３１に搬送指令を行な
うようにしたことである。すなわち、軌道を走行する搬
送台車３４は、走行制御装Ｗ３２によって制御され、搬
送台車３４の走行指示言い換えれば、行き先の指示は搬
送制御装置３１が行なう、また、搬送すべきワークの行
き先などの情報は、各ステーション２１から搬送制御装
置３１に送られ、搬送制御装置３１が決められた搬送手
順に従って搬送スケジュールを計画する。

次に、この搬送システムの動作を説明する。まず、各ス
テーション２１に入庫されたワークは、ＢＣＲ２３によ
ってワークのバーコードが読み取られる。次に、バーコ
ードを入出力装置を経て通信端末装置１４に送る。通信
端末装置１４はネットワーク１５を通じてホストコンピ
ュータ１１にワークの行き先及びロット番号を間合す。

ホストコンピュータ１１はネトワーク１５を通じてワー
クの行き先及びロット番号を応答する。通信端末装置１
４はステーション２１に、ワークの次の工程及びロッド
番号を送信する。次に、ステーション２１は、搬送制御
装置３１に搬送台車の指定を行なうとともに該当のワー
クの出庫の準備をする。

次に、走行制御装置３２は搬送制御装Ｗ３１より指令を
受け、搬送台車３４を走行させ、該当ステーション２１
で停止する。次に、搬送台車３４はワークを受は取り、
指定のステーション２１にワークを搬送する。このよう
に、搬送制御装置３１は、各ステーション３１より送ら
れる情報を得て、複数の搬送台車３４が円滑に効率良く
走行し、搬送出来るように制御することである。

なお、各通信端末装置１４とホストコンピュータ１１を
接続しているネトワーク１５には、ブランチ型ローカル
エリアネットワークを使用しておす１．二のネットワー
ク１５には、ホストコンピュータ１１から送信されるロ
フトの最終情報を蓄積するデータサーバ１３が製造され
ている。このデータサーバ１３は、ホストコンピュータ
が停止しても、その停止したときの搬送システムの最新
情報データを一時的に保管するものである。

第２図は本発明の他の実施例を示す搬送システムのブロ
ック図である。前述の実施例の搬送システムでは、各ス
テーション２１に独立して通信端末装置１４をもってい
たが、この実施例では、台の通信端末装置１１１４に対
して複数台のステーション２１をもていることである。

このことは、ステーション２１によっては、ワークの入
出庫が他のステーションより少なく、情報の授受の頻度
が少ないので、一つの通信端末装置１４で兼用したかな
である。

ここで、この通信端末装置として、例えば、１６ヒ１ト
バーゾナルコンピユータを使用したとしても、通常、前
述したＲ５−２３２回線のチャンネルボートは、２回線
から４回ｍｉ有しているので、ハード構成上問題ない。

また、この実施例は、前述の実施例と比べ、通信端末装
置とステーションとは、１対１に対応しておらず、ステ
ーションの数に対して通信端末装置の数が少なく、構成
する装置としてより小型で済み、より安価に出来るとい
う利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、各処理設備に付設される
ステーションと接続する通信端末装置を分散して設け、
これらの通信端末装置とホストコンピュータとを複数の
情報ネットワークで結ぶことにより、搬送制御装置の負
荷を軽減することが出来るので、よりシステム全体の構
成を小規模化が図れ、かつ冗長性をもたせることにより
、システムの保守が容易で、かつ自動化ラインの稼働率
を高める安価な搬送システムが得られるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す搬送システムのブロッ
ク図、第２図は本発明の他の実施例を示す搬送システム
のブロック図、第３図はウェーハ処理工場における処理
設備のレイアウトの一例を示す平面図、第４図は第３図
のステーションを示す斜視図、第５図は従来の一例を示
す搬送システムのブロック図である。 １・・・ワーク、ｔｌ・・・ホストコンピュータ、１３
・・・データサーバ、１４・・・通信端末装置、１５・
・・ネットワーク、１８・・・通信回線、２１・・・ス
テーション、２２・・−入出力装置、２３・−・ＢＣＲ
５２４・・・入出庫口、２５−・・保管棚、２６・−・
ますみ、２７・・・移載機、３１．３Ｌａ・・・搬送制
御装置、３２−・走行制御装置、３４・・・搬送台車、
４１・・・軌道、１０１・・・クリーンルーム、１０２
・・・保守室、１０３・・・隔壁、１０４・・−ベイ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 並べて配置される処理設備のステーション間を通り抜け
   る軌道と、この軌道を走行するとともに複数の半導体基
   板を収納する収納箱を前記ステーションに搬送する搬送
   台車と、各前記ステーションにあるとともに前記収納箱
   がもつ固有情報を読みとる読取り装置と、前記搬送台車
   の走行を制御する走行制御装置と、前記走行制御装置に
   指令をする搬送制御装置と、前記固有情報を基にシステ
   ムの総括を掌るホストコンピュータとを有する搬送シス
   テムにおいて、前記ステーションのそれぞれに通信回線
   を介して接続される通信端末装置を備え、この通信端末
   装置が前記ホストコンピュータと搬送に関する情報を交
   換することを特徴とする搬送システム。