JP2000206134A - 熱線式流速センサ - Google Patents
熱線式流速センサInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】測定流速レンジが広く、且つ低速域での検出精
度が高い流速センサを提供する。 【解決手段】本発明の流速センサは、熱線Ｒｈの両側に
高流速域用の一対の温度センサ線Ｒｕ１，Ｒｄ１を配置
し、更にその外側に低流速域用の一対の温度センサ線Ｒ
ｕ２，Ｒｄ２を配置し、それぞれの温度センサ線対を利
用して、流速を検出する。外側の温度センサ線対Ｒｕ
２，Ｒｄ２により低流速域での流速を分解能高く測定
し、内側の温度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１により高流速
域での流速を測定することで、低流速域で分解能（精
度）が高く、且つ広いレンジにわたり流速を測定するこ
とができる。
度が高い流速センサを提供する。 【解決手段】本発明の流速センサは、熱線Ｒｈの両側に
高流速域用の一対の温度センサ線Ｒｕ１，Ｒｄ１を配置
し、更にその外側に低流速域用の一対の温度センサ線Ｒ
ｕ２，Ｒｄ２を配置し、それぞれの温度センサ線対を利
用して、流速を検出する。外側の温度センサ線対Ｒｕ
２，Ｒｄ２により低流速域での流速を分解能高く測定
し、内側の温度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１により高流速
域での流速を測定することで、低流速域で分解能（精
度）が高く、且つ広いレンジにわたり流速を測定するこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱線式の流速セン
サに係り、特に測定レンジを低速から高速まで広くする
ことができる流速センサに関する。
サに係り、特に測定レンジを低速から高速まで広くする
ことができる流速センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】熱線式の流速センサは、熱線を流体中に
置いたとき、その放熱によって熱エネルギが奪われ、熱
線の温度が下がると共に電気抵抗値が変化することを利
用する。流体の流れが早ければ冷却はさらに早められ、
温度が低下する。
置いたとき、その放熱によって熱エネルギが奪われ、熱
線の温度が下がると共に電気抵抗値が変化することを利
用する。流体の流れが早ければ冷却はさらに早められ、
温度が低下する。
【０００３】より感度の高い熱線式の流速センサは、熱
線の両側に温度センサ線を配置し、流 体の流速に依存
して熱線から放射される熱による等温線が上流側と下流
側とで変化することを、両側の温度センサ線が検出し、
両温度センサ線の電気抵抗値の変化を差動増幅器で検出
する。特に、シリコンチップ上に熱線と両側の温度セン
サ線を設けたマイクロマシニング技術は、センサ自体が
小型化され、流体の中においてもその流れを乱すことが
なく、高い感度と高い応答性を有し、ガスの流量測定な
どの利用が提案されている。
線の両側に温度センサ線を配置し、流 体の流速に依存
して熱線から放射される熱による等温線が上流側と下流
側とで変化することを、両側の温度センサ線が検出し、
両温度センサ線の電気抵抗値の変化を差動増幅器で検出
する。特に、シリコンチップ上に熱線と両側の温度セン
サ線を設けたマイクロマシニング技術は、センサ自体が
小型化され、流体の中においてもその流れを乱すことが
なく、高い感度と高い応答性を有し、ガスの流量測定な
どの利用が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】かかるマイクロフロー
センサは、低流速域から高流速域までの広い測定レンジ
を要求される。そのため、その測定出力をＡ・Ｄ変換回
路を利用して一定の分解能を有するデジタル出力に変換
すると、低流速域における分解能が細かくとれず、測定
精度が低下する。そこで、低流速域用のセンサチップと
高流速域用のセンサチップとを同時に流体内に置くこと
で、かかる問題を解決することができるが、複数のセン
サチップをパッケージ内に収納することやその駆動回路
などの課題があり、好ましい解決方法ではない。
センサは、低流速域から高流速域までの広い測定レンジ
を要求される。そのため、その測定出力をＡ・Ｄ変換回
路を利用して一定の分解能を有するデジタル出力に変換
すると、低流速域における分解能が細かくとれず、測定
精度が低下する。そこで、低流速域用のセンサチップと
高流速域用のセンサチップとを同時に流体内に置くこと
で、かかる問題を解決することができるが、複数のセン
サチップをパッケージ内に収納することやその駆動回路
などの課題があり、好ましい解決方法ではない。
【０００５】そこで、本発明の目的は、１つのセンサチ
ップによって、低流速域で精度が高く分解能の高い出力
を生成することができ、且つ高流速域まで広い測定レン
ジを有する流速センサを提供することにある。
ップによって、低流速域で精度が高く分解能の高い出力
を生成することができ、且つ高流速域まで広い測定レン
ジを有する流速センサを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の流速センサは、熱線の両側に高流速域用
の一対の温度センサ線を配置し、更にその外側に低流速
域用の一対の温度センサ線を配置し、それぞれの温度セ
ンサ線対を利用して、流速を検出する。外側の温度セン
サ線対により低流速域での流速を分解能高く測定し、内
側の温度センサ線対により高流速域での流速を測定する
ことで、低流速域で分解能（精度）が高く、且つ広いレ
ンジにわたり流速を測定することができる。
めに、本発明の流速センサは、熱線の両側に高流速域用
の一対の温度センサ線を配置し、更にその外側に低流速
域用の一対の温度センサ線を配置し、それぞれの温度セ
ンサ線対を利用して、流速を検出する。外側の温度セン
サ線対により低流速域での流速を分解能高く測定し、内
側の温度センサ線対により高流速域での流速を測定する
ことで、低流速域で分解能（精度）が高く、且つ広いレ
ンジにわたり流速を測定することができる。
【０００７】上記の目的を達成するために、本発明の流
速センサは、所定の電流を供給される熱線と、前記熱線
の両側であって第１の距離の位置に配置された第１及び
第２の温度センサ線と、前記熱線の両側であって前記第
１の距離より大きい第２の距離の位置に配置された第３
及び第４の温度センサ線とを有し、前記第３及び第４の
温度センサ線から第１の流速範囲内の流速を検出し、前
記第１及び第２の温度センサ線から前記第１の流速範囲
よりも広い第２の流速範囲内の流速を検出することを特
徴とする。
速センサは、所定の電流を供給される熱線と、前記熱線
の両側であって第１の距離の位置に配置された第１及び
第２の温度センサ線と、前記熱線の両側であって前記第
１の距離より大きい第２の距離の位置に配置された第３
及び第４の温度センサ線とを有し、前記第３及び第４の
温度センサ線から第１の流速範囲内の流速を検出し、前
記第１及び第２の温度センサ線から前記第１の流速範囲
よりも広い第２の流速範囲内の流速を検出することを特
徴とする。
【０００８】上記の温度センサ線対は、熱線の両側に３
対以上併設されても良い。その場合あは、低流速域の分
解能を更に高くすることができる。
対以上併設されても良い。その場合あは、低流速域の分
解能を更に高くすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態例を説明する。しかしながら、かかる実施の形
態例が、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
施の形態例を説明する。しかしながら、かかる実施の形
態例が、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１０】図１は、本発明の実施の形態例における流
速センサの平面図である。また、図２は、図１のＡ−Ａ
の断面図である。図１，２に示された流速センサは、シ
リコン基板１０上の中央部に、白金等からなる熱線Ｒｈ
を設け、その両側の対称な位置に白金等からなる第１の
温度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１を設ける。そして、更
に、その外側の対称な位置に白金等からなる第２の温度
センサ線対Ｒｕ２，Ｒｄ２を設ける。熱線Ｒｈと、温度
センサ線Ｒｕ１，２，Ｒｄ１，２は、その両側にコンタ
クト電極を有し、それぞれ４本平行になるよう配置され
る。
速センサの平面図である。また、図２は、図１のＡ−Ａ
の断面図である。図１，２に示された流速センサは、シ
リコン基板１０上の中央部に、白金等からなる熱線Ｒｈ
を設け、その両側の対称な位置に白金等からなる第１の
温度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１を設ける。そして、更
に、その外側の対称な位置に白金等からなる第２の温度
センサ線対Ｒｕ２，Ｒｄ２を設ける。熱線Ｒｈと、温度
センサ線Ｒｕ１，２，Ｒｄ１，２は、その両側にコンタ
クト電極を有し、それぞれ４本平行になるよう配置され
る。
【００１１】熱線Ｒｈと、温度センサ線Ｒｕ１，２，Ｒ
ｄ１，２は、シリコン基板１０上に設けた絶縁膜１１か
らなるダイアフラム膜上に形成され、シリコン基板１０
から熱的に絶縁される。更に、ダイアフラム膜１１に
は、熱線Ｒｈと、温度センサ線Ｒｕ１，２，Ｒｄ１，２
の間の位置に、それぞれ開口１３〜１８が設けられ、そ
れぞれの線が互いに熱的に絶縁される。ダイアフラム１
１の下には、異方性エッチングにより形成された空洞１
２が形成され、基板１０との熱絶縁が高められる。
ｄ１，２は、シリコン基板１０上に設けた絶縁膜１１か
らなるダイアフラム膜上に形成され、シリコン基板１０
から熱的に絶縁される。更に、ダイアフラム膜１１に
は、熱線Ｒｈと、温度センサ線Ｒｕ１，２，Ｒｄ１，２
の間の位置に、それぞれ開口１３〜１８が設けられ、そ
れぞれの線が互いに熱的に絶縁される。ダイアフラム１
１の下には、異方性エッチングにより形成された空洞１
２が形成され、基板１０との熱絶縁が高められる。
【００１２】この様に、熱線Ｒｈ及び温度センサ線は、
それぞれ熱的に絶縁された状態になっており、それぞれ
の熱容量は小さい。従って、熱線Ｒｄは、流体の流速に
対して高い応答特性を有し、また、その流速に応じて変
化する温度分布の変化に対して、温度センサ線も高い応
答特性をもってその温度変化を検出することができる。
それぞれ熱的に絶縁された状態になっており、それぞれ
の熱容量は小さい。従って、熱線Ｒｄは、流体の流速に
対して高い応答特性を有し、また、その流速に応じて変
化する温度分布の変化に対して、温度センサ線も高い応
答特性をもってその温度変化を検出することができる。
【００１３】本実施の形態例の流速センサは、質量流量
センサとしても利用できるが、２組の温度センサ線対Ｒ
ｕ１，Ｒｄ１、Ｒｕ２，Ｒｄ２を設けたことにより、外
側の温度センサ線対Ｒｕ２，Ｒｄ２により、低流速域で
は高い感度を有し、デジタル値に変換しても検出値の分
解能、即ち精度を高くすることができ、更に、内側の温
度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１により、より高い流速域ま
で測定することができる。
センサとしても利用できるが、２組の温度センサ線対Ｒ
ｕ１，Ｒｄ１、Ｒｕ２，Ｒｄ２を設けたことにより、外
側の温度センサ線対Ｒｕ２，Ｒｄ２により、低流速域で
は高い感度を有し、デジタル値に変換しても検出値の分
解能、即ち精度を高くすることができ、更に、内側の温
度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１により、より高い流速域ま
で測定することができる。
【００１４】図３は、従来の熱線とその両側に１対の温
度センサ線を有する流速センサに対して熱線のパワーを
変化させたときの特性を示す図である。本発明者は、従
来の流速センサの熱線のパワーを、標準、１／２、２倍
にそれぞれした時の、流速ｖ対出力の特性を調べた。そ
れによれば、熱線の電力を１／２にした場合は、より低
速域でその出力が飽和したのに対して、熱線の電力を２
倍にした場合は、より高速域まで出力が飽和しなかっ
た。
度センサ線を有する流速センサに対して熱線のパワーを
変化させたときの特性を示す図である。本発明者は、従
来の流速センサの熱線のパワーを、標準、１／２、２倍
にそれぞれした時の、流速ｖ対出力の特性を調べた。そ
れによれば、熱線の電力を１／２にした場合は、より低
速域でその出力が飽和したのに対して、熱線の電力を２
倍にした場合は、より高速域まで出力が飽和しなかっ
た。
【００１５】ここで、熱線の電力を小さくすると、熱線
から放射する熱による等温線が狭くしか拡がらないこと
を意味し、逆の言い方をすれば、標準の電力が供給され
た熱線に対して、より遠い位置に一対の温度センサ線を
設けた構成と等価である。その場合は、図３に示される
通り、測定流速レンジが低速域になる。
から放射する熱による等温線が狭くしか拡がらないこと
を意味し、逆の言い方をすれば、標準の電力が供給され
た熱線に対して、より遠い位置に一対の温度センサ線を
設けた構成と等価である。その場合は、図３に示される
通り、測定流速レンジが低速域になる。
【００１６】一方、熱線の電力を大きくすると、熱線か
ら放射する熱による等温線が広く拡がることを意味し、
逆の言い方をすれば、標準の電力が供給された熱線に対
して、より近い位置に一対の温度センサ線を設けた構成
と等価である。その場合は、図３に示される通り、測定
流速レンジが高速域まで拡がる。
ら放射する熱による等温線が広く拡がることを意味し、
逆の言い方をすれば、標準の電力が供給された熱線に対
して、より近い位置に一対の温度センサ線を設けた構成
と等価である。その場合は、図３に示される通り、測定
流速レンジが高速域まで拡がる。
【００１７】図４は、本実施の形態例における流速セン
サの動作を説明するための図である。図４（ａ）には、
流体の流れがない流速ゼロの状態における、熱線Ｒｈが
放射する熱による等温線の例が示される。流速ゼロの状
態では、図面の左側の上流と右側の下流とで、等温線は
対称形をなす。従って、第１の温度センサ線対Ｒｕ１，
Ｒｄ１の温度は等しくなる。また、第２の温度センサ線
対Ｒｕ２，Ｒｄ２の温度も等しくなる。
サの動作を説明するための図である。図４（ａ）には、
流体の流れがない流速ゼロの状態における、熱線Ｒｈが
放射する熱による等温線の例が示される。流速ゼロの状
態では、図面の左側の上流と右側の下流とで、等温線は
対称形をなす。従って、第１の温度センサ線対Ｒｕ１，
Ｒｄ１の温度は等しくなる。また、第２の温度センサ線
対Ｒｕ２，Ｒｄ２の温度も等しくなる。
【００１８】図４（ｂ）には、流速が低い領域ｖｓの状
態における、熱線Ｒｈが放射する熱による等温線の例が
示される。低速域では、流体の流れが遅いので、その等
温線は僅かに下流側（右側）にずれるのみである。その
結果、外側に設けられた第２の温度センサ線対Ｒｕ２，
Ｒｄ２の温度には、違いが発生するが、内側に設けられ
た第１の温度センサ対Ｒｕ１，Ｒｄ１の温度は、熱線Ｒ
ｈ近傍の高い温度分布の影響により、ほんのわずかな違
いしか生じない。
態における、熱線Ｒｈが放射する熱による等温線の例が
示される。低速域では、流体の流れが遅いので、その等
温線は僅かに下流側（右側）にずれるのみである。その
結果、外側に設けられた第２の温度センサ線対Ｒｕ２，
Ｒｄ２の温度には、違いが発生するが、内側に設けられ
た第１の温度センサ対Ｒｕ１，Ｒｄ１の温度は、熱線Ｒ
ｈ近傍の高い温度分布の影響により、ほんのわずかな違
いしか生じない。
【００１９】図４（ｃ）には、流速が高い領域ｖｆの状
態における、熱線Ｒｈが放射する熱による等温線の例が
示される。高速域では、流体の流れが早いので、その等
温線は大きく下流側（右側）にずれる。その結果、内側
に設けられた第１の温度センサ対Ｒｕ１，Ｒｄ１の温度
にも、大きな違いが生じることになる。また、外側に設
けられた第２の温度センサ対Ｒｕ２，Ｒｄ２に対して
は、もはや流速が大きすぎてその温度差が飽和領域に達
してしまい、それほど変化しなくなる。
態における、熱線Ｒｈが放射する熱による等温線の例が
示される。高速域では、流体の流れが早いので、その等
温線は大きく下流側（右側）にずれる。その結果、内側
に設けられた第１の温度センサ対Ｒｕ１，Ｒｄ１の温度
にも、大きな違いが生じることになる。また、外側に設
けられた第２の温度センサ対Ｒｕ２，Ｒｄ２に対して
は、もはや流速が大きすぎてその温度差が飽和領域に達
してしまい、それほど変化しなくなる。
【００２０】図５は、本実施の形態例における流速セン
サの検出回路を示す図である。２０は、高速域検出用の
第１の温度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１を利用したブリッ
ジ回路である。スイッチＳＷ１を閉じることにより、流
速ゼロの状態で抵抗Ｒ１、Ｒｕ１と抵抗Ｒ２、Ｒｄ１と
に同じ電流を流す。流速が大きくなると、温度センサ線
Ｒｄ１の温度が高くなりその抵抗値が高くなるのに対し
て、上流側の温度センサ線Ｒｕ１の温度は低くなりその
抵抗値は下がる。この抵抗値に違いによる電圧の差を、
差動アンプ２１で検出し、Ａ／Ｄ変換器２２によりデジ
タル値に変換する。
サの検出回路を示す図である。２０は、高速域検出用の
第１の温度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１を利用したブリッ
ジ回路である。スイッチＳＷ１を閉じることにより、流
速ゼロの状態で抵抗Ｒ１、Ｒｕ１と抵抗Ｒ２、Ｒｄ１と
に同じ電流を流す。流速が大きくなると、温度センサ線
Ｒｄ１の温度が高くなりその抵抗値が高くなるのに対し
て、上流側の温度センサ線Ｒｕ１の温度は低くなりその
抵抗値は下がる。この抵抗値に違いによる電圧の差を、
差動アンプ２１で検出し、Ａ／Ｄ変換器２２によりデジ
タル値に変換する。
【００２１】一方、２４は、低速域検出用の第２の温度
センサ線対Ｒｕ２，Ｒｄ２を利用したブリッジ回路であ
る。スイッチＳＷ２を閉じることにより、流速ゼロの状
態で抵抗Ｒ３、Ｒｕ２と抵抗Ｒ４、Ｒｄ２とに同じ電流
を流す。そして、上記と同様に、流速が大きくなると、
両温度センサ線Ｒｕ２，Ｒｄ２間の温度の違いにより抵
抗値に違いが生じ、この抵抗値に違いによる電圧の差
が、差動アンプ２５で検出され、Ａ／Ｄ変換器２６によ
りデジタル値に変換される。
センサ線対Ｒｕ２，Ｒｄ２を利用したブリッジ回路であ
る。スイッチＳＷ２を閉じることにより、流速ゼロの状
態で抵抗Ｒ３、Ｒｕ２と抵抗Ｒ４、Ｒｄ２とに同じ電流
を流す。そして、上記と同様に、流速が大きくなると、
両温度センサ線Ｒｕ２，Ｒｄ２間の温度の違いにより抵
抗値に違いが生じ、この抵抗値に違いによる電圧の差
が、差動アンプ２５で検出され、Ａ／Ｄ変換器２６によ
りデジタル値に変換される。
【００２２】図６は、本実施の形態例における流速セン
サの流速対出力の特性図である。図６には、図５の２つ
のＡ／Ｄ変換器２２，２６の出力Ｓ２２，Ｓ２６と、流
速ｖとの関係が示される。前述した通り、低速域用の温
度センサ線対から得られる出力Ｓ２６は、低い流速域ｖ
ｓで飽和領域まで達するが、低速域では、その感度が高
く、Ａ／Ｄ変換されたデジタル値Ｓ２６の分解能は十分
高い。一方、高速域用の温度センサ線対から得られる出
力Ｓ２２は、高い流速域ｖｆまで飽和領域に達しないの
で、より高い流速域までの測定に利用される。
サの流速対出力の特性図である。図６には、図５の２つ
のＡ／Ｄ変換器２２，２６の出力Ｓ２２，Ｓ２６と、流
速ｖとの関係が示される。前述した通り、低速域用の温
度センサ線対から得られる出力Ｓ２６は、低い流速域ｖ
ｓで飽和領域まで達するが、低速域では、その感度が高
く、Ａ／Ｄ変換されたデジタル値Ｓ２６の分解能は十分
高い。一方、高速域用の温度センサ線対から得られる出
力Ｓ２２は、高い流速域ｖｆまで飽和領域に達しないの
で、より高い流速域までの測定に利用される。
【００２３】図５に戻り、出力Ｓ２２，Ｓ２６は、スイ
ッチＳＷ３を経由してマイクロプロセッサ２８に供給さ
れる。そして、マイクロプロセッサ２８は、測定した流
速出力Outを出力する。切替制御部２７は、両出力Ｓ２
２，Ｓ２６を監視し、低速域にある時は出力Ｓ２６側に
スイッチＳＷ３を切り替え、低速域用の温度センサ線対
Ｒｕ２，Ｒｄ２から検出される流速Ｓ２６をマイクロプ
ロセッサ２８に供給する。また、高速域にある時は、出
力Ｓ２２側にスイッチＳＷ３を切り替える。
ッチＳＷ３を経由してマイクロプロセッサ２８に供給さ
れる。そして、マイクロプロセッサ２８は、測定した流
速出力Outを出力する。切替制御部２７は、両出力Ｓ２
２，Ｓ２６を監視し、低速域にある時は出力Ｓ２６側に
スイッチＳＷ３を切り替え、低速域用の温度センサ線対
Ｒｕ２，Ｒｄ２から検出される流速Ｓ２６をマイクロプ
ロセッサ２８に供給する。また、高速域にある時は、出
力Ｓ２２側にスイッチＳＷ３を切り替える。
【００２４】図５の検出回路では、切替制御部２７は、
更に、必要に応じてスイッチＳＷ１，ＳＷ２をオフにす
ることにより、ブリッジ回路２０，２４のいずれか一方
の温度センサ線にしか電流を供給しないようにする。そ
うすることにより、消費電力を節約することができる。
更に、必要に応じてスイッチＳＷ１，ＳＷ２をオフにす
ることにより、ブリッジ回路２０，２４のいずれか一方
の温度センサ線にしか電流を供給しないようにする。そ
うすることにより、消費電力を節約することができる。
【００２５】上記の実施の形態例では、熱線の両側に２
対の温度センサ線を設ける例を説明した。しかしなが
ら、本発明は、それに限定されず、更に３対以上の温度
センサ線対を設けることもできる。その場合は、温度セ
ンサ線対Ｒｕ２，Ｒｄ２の外側に更に温度センサ線対を
追加するか、或いは、温度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１の
内側に更に温度センサ線対を追加する。それにより、更
に低流速域における分解能を高めることができ、或いは
流速レンジを広くすることができる。
対の温度センサ線を設ける例を説明した。しかしなが
ら、本発明は、それに限定されず、更に３対以上の温度
センサ線対を設けることもできる。その場合は、温度セ
ンサ線対Ｒｕ２，Ｒｄ２の外側に更に温度センサ線対を
追加するか、或いは、温度センサ線対Ｒｕ１，Ｒｄ１の
内側に更に温度センサ線対を追加する。それにより、更
に低流速域における分解能を高めることができ、或いは
流速レンジを広くすることができる。
【００２６】
【発明の効果】以上、本発明によれば、広い流速レンジ
において流体の流速を検出することができ、低流速域に
おいて精度の高い流速検出を行うことができる流速セン
サを提供することができる。
において流体の流速を検出することができ、低流速域に
おいて精度の高い流速検出を行うことができる流速セン
サを提供することができる。
【図１】本発明の実施の形態例における流速センサの平
面図である。
面図である。
【図２】図１のＡ−Ａの断面図である。
【図３】従来の熱線とその両側に１対の温度センサ線を
有する流速センサに対して熱線のパワーを変化させたと
きの特性を示す図である。
有する流速センサに対して熱線のパワーを変化させたと
きの特性を示す図である。
【図４】本実施の形態例における流速センサの動作を説
明するための図である。
明するための図である。
【図５】本実施の形態例における流速センサの検出回路
を示す図である。
を示す図である。
【図６】本実施の形態例における流速センサの流速対出
力の特性図である。
力の特性図である。
Ｒｈ 熱線 Ｒｕ１，Ｒｄ１ 第１、第２の温度センサ線 Ｒｕ２，Ｒｄ２ 第３、第４の温度センサ線 １０ シリコン基板、シリコンチップ １１ ダイヤフラム １２ 空洞
Claims (4)
- 【請求項１】所定の電流を供給される熱線と、 前記熱線の両側であって第１の距離の位置に配置された
第１及び第２の温度センサ線と、 前記熱線の両側であって前記第１の距離より大きい第２
の距離の位置に配置された第３及び第４の温度センサ線
とを有し、 前記第３及び第４の温度センサ線から第１の流速範囲内
の流速を検出し、前記第１及び第２の温度センサ線から
前記第１の流速範囲よりも広い第２の流速範囲内の流速
を検出することを特徴とする流量センサ。 - 【請求項２】請求項１において、 前記熱線、第１乃至第４の温度センサ線が、基板上に設
けられたダイヤフラム膜上に配置されていることを特徴
とする流量センサ。 - 【請求項３】請求項２において、 前記ダイヤフラム膜の、前記熱線、第１乃至第４の温度
センサ線の間の位置に、それぞれ開口部が形成されてい
ることを特徴とする流量センサ。 - 【請求項４】請求項１において、 更に、前記熱線の両側であって、前記第２の距離より大
きい距離の位置にまたは前記第１の距離よりも小さい距
離の位置に、一対のまたは複数対の温度センサ線が設け
られることを特徴とする流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11004192A JP2000206134A (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | 熱線式流速センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11004192A JP2000206134A (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | 熱線式流速センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000206134A true JP2000206134A (ja) | 2000-07-28 |
Family
ID=11577845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11004192A Pending JP2000206134A (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | 熱線式流速センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000206134A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3470881B2 (ja) | 1999-04-19 | 2003-11-25 | 矢崎総業株式会社 | マイクロフローセンサ |
| JP2006017724A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Codman & Shurtleff Inc | 非対称デザインを有する熱式流量センサ |
| JP2017044637A (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-02 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
-
1999
- 1999-01-11 JP JP11004192A patent/JP2000206134A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3470881B2 (ja) | 1999-04-19 | 2003-11-25 | 矢崎総業株式会社 | マイクロフローセンサ |
| JP2006017724A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Codman & Shurtleff Inc | 非対称デザインを有する熱式流量センサ |
| JP2017044637A (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-02 | 株式会社デンソー | 流量センサ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050404 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080624 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081021 |