JP2000208255A - 有機エレクトロルミネセント表示装置及びその製造方法 - Google Patents

有機エレクトロルミネセント表示装置及びその製造方法

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JP2000208255A
JP2000208255A JP11006075A JP607599A JP2000208255A JP 2000208255 A JP2000208255 A JP 2000208255A JP 11006075 A JP11006075 A JP 11006075A JP 607599 A JP607599 A JP 607599A JP 2000208255 A JP2000208255 A JP 2000208255A
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organic
light emitting
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JP11006075A
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Shigeyoshi Otsuki
重義 大槻
Yoshikazu Yamaguchi
嘉和 山口
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NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】有機EL素子において、フォトリソグラフィや
メタルマスクを用いることなく、有機EL層のパターニ
ングを行う。 【解決手段】先ず、陽極基板1上に透明電極2及び正孔
輸送層3を形成する。次いで、金属ストリップ11とそ
の周囲を覆う有機発光層12とからなり、赤、緑及び青
色の光を発する三種類の積層素子16を形成し、これら
の積層素子16を、有機発光層12が上方を向くよう
に、絶縁基板10上に配列する。その後、透明電極2と
積層素子16とが相互に交差し、かつ、正孔輸送層3と
有機発光層12とが相互に対向するように、陽極基板1
と絶縁基板10とを相互に重ね合わせる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機エレクトロル
ミネセント層(以下、「有機EL層」と呼ぶ)を用いた
有機エレクトロルミネセント表示装置(以下、「有機E
L表示装置」と呼ぶ)及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】有機エレクトロルミネセント素子(以
下、「有機EL素子」と呼ぶ)は、アノードと、カソー
ドと、これらアノードとカソードの2種の電極間に挟ま
れ、有機発光性化合物からなる超薄膜の有機EL層と、
からなる。アノードとカソード間に電圧を印加すると、
アノードからは正孔が、カソードからは電子がそれぞれ
有機EL層に注入されて再結合し、その際に生ずるエネ
ルギーにより有機EL層を構成する有機発光性化合物の
分子が励起される。このようにして励起された分子が基
底状態に失活する過程で発光現象が生じる。有機EL素
子はこの発光現象を利用した発光素子である。
【0003】有機EL層は、正孔と電子が再結合して発
光する発光層と呼ばれる有機層、正孔が注入されやす
く、かつ、電子を移動させにくい正孔輸送層と呼ばれる
有機層、及び、電子が注入されやすく、かつ、正孔を移
動させにくい電子輸送層と呼ばれる有機層のうち少なく
とも一つを含む単層構造または多層積層構造を有してい
る。
【0004】有機EL素子を構成する薄膜は、通常、真
空蒸着法で形成され、膜厚は通常1μm以下である。こ
れら薄膜を形成する際に水や酸又はアルカリ溶液を用い
ると、それらは有機EL層、有機EL層とカソードとの
界面及びカソードに浸潤していくため、有機EL層の発
光性能及び寿命特性を著しく劣化させてしまう問題があ
った。
【0005】従って、有機EL層の高精細分離加工に
は、従来良く知られているウェットエッチングを使った
フォトリソグラフィ技術を用いることはできなかった。
【0006】また、ドライエッチング法によっても、レ
ジストの塗布、現像及び剥離の各工程において、溶剤、
現像液、剥離液が有機EL層あるいはカソードに損傷を
与えることがあるため、ドライエッチング法も用いるこ
とはできなかった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】これまで、このような
有機EL素子を使ってカラーディスプレイを製作する方
式として、大きく分けて次の3種の方式が提案されてい
る。
【0008】第一の方式は、白色発光の有機EL素子を
用い、赤、緑及び青の3原色に塗り分けられたカラーフ
ィルターを通してカラー化する方式である。例えば、特
開平8−96959号公報がこの白色発光素子とカラー
フィルターとを使ったカラー化技術を開示している。
【0009】この方式は、透過型カラー液晶などで広く
採用されている方式と原理的に同様な方式である。この
方式によれば、フォトリソグラフィ技術を用いてカラー
フィルターの高精細化を容易に行うことができ、さら
に、白色発光の一種類の有機EL素子を用意すればよい
ため、有機層のパターニングが不要である。このため、
製造が簡単であるという利点がある。
【0010】しかし、原理的には、この方式は、白色発
光中の不要な波長成分をフィルターでカットしてしまう
ものであるため、有機EL素子の発光の大部分を無駄に
捨てることになり、有機EL素子の発光を効率的に利用
することができないという欠点を有している。
【0011】さらには、この方式の前提として、発光効
率が高く、かつ、寿命が長い白色発光有機材料を開発す
ることが必要であるが、このような有機材料の開発は極
めて困難であるという問題もある。
【0012】第二の方式は、青色発光の有機EL素子と
色変換層とを使う、色変換と呼ばれる方式である。例え
ば、特開平3−152897号公報がこの色変換方式に
よる有機EL素子のカラー化技術を開示している。
【0013】この色変換方式は、有機EL素子を用い
て、波長の短い青色光を発光させ、青色光より長い波長
の緑色光と赤色光はそれぞれ色変換層を介して変換して
作り出す方式である。この方式によれば、第一の方式と
同様に有機EL素子を微細化することは必要ではなく、
また、フォトリソグラフィ技術により色変換層の高精細
化を行うことが可能であるため、高精細カラー化が比較
的容易であるという利点がある。
【0014】しかし、現実には色変換層の変換効率を高
くすることは極めて困難であり、従って、この方式は有
機EL素子の発光の利用効率が低いという欠点を有す
る。
【0015】また、色変換層のパターニングを行う際
に、その表面の平坦性を確保することが難しく、平坦化
層を設けてもその上に透明電極を断線せずにパターニン
グすることが困難であるという問題もあった。
【0016】以上のような欠点を有する有機EL素子の
カラー化方式に対して、有機EL素子の発光を効率よく
表示に利用することができるカラー化方式として、それ
ぞれ赤、緑及び青の3原色を発光する有機EL素子をそ
れぞれ独立に形成して配置する方式が提案されている。
【0017】この方式においては、メタルマスクなどの
シャドウマスクを基板と蒸着源との間に置き、シャドウ
マスクの開口部を介して蒸着物を基板上に堆積させるこ
とにより、パターニングが行われる。この方式によれ
ば、有機EL素子の発光のうち、フィルターや色変換層
などを通過することにより生じるロスはなくなり、高い
変換効率の下に有機EL素子をカラー化することが可能
になる。
【0018】しかしながら、この方式には大きな欠点が
あった。それは3原色の有機EL素子を独立に配置する
方法として、前述したように、ウェットエッチングプロ
セスを使うことができないため、メタルマスクなどのシ
ャドウマスクを使ってパターニングをしなければなら
ず、高精細なパターニングや大面積のパターニングがで
きないという問題である。
【0019】本発明は、以上のような従来の有機EL素
子における問題点に鑑みてなされたものであり、フォト
リソグラフィやメタルマスクを用いずに、有機EL層の
パターニングを行うことができ、かつ、高精細や大面積
のパターニングを可能にする有機EL素子及びその製造
方法を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明のうち、請求項1は、陽極基板上にパターニ
ングされた透明電極を形成する第一の過程と、透明電極
上に正孔輸送層を形成する第二の過程と、赤、緑及び青
色の光を発する発光層をそれぞれ有する三種類の発光素
子を形成する第三の過程と、絶縁基板上に、発光層が上
方を向くように三種類の発光素子を配置する第四の過程
と、透明電極と発光素子とが相互に交差し、かつ、正孔
輸送層と発光層とが相互に対向するように、陽極基板と
絶縁基板とを相互に重ね合わせる第五の過程と、相互に
重ね合わされた陽極基板及び絶縁基板の周囲を封止する
第六の過程と、からなる有機エレクトロルミネセント表
示装置の製造方法を提供する。
【0021】本請求項に係る方法によれば、発光素子を
構成する有機媒体のパターニングをフォトリソグラフィ
やメタルマスクを使わずに行うことができるため、カラ
ー有機EL表示素子を容易に製作することができる。
【0022】また、メタルマスクなどのシャドウマスク
を用いることなく、発光層をパターニングすることがで
きるため、高精細なパターニングや大面積のパターニン
グを行うことが可能になる。
【0023】請求項2に記載されているように、第三の
過程において、発光素子は、例えば、ストリップ状の金
属片の表面に、金属陰極と、赤、緑又は青色の光を発す
る有機発光層とを順次積層させることにより、形成する
ことができる。
【0024】発光素子をこのように形成することによ
り、各発光色ごとに別々に発光素子を形成することがで
きるので、メタルマスクやフォトリソグラフィの方法と
比較して、無駄になる材料を少なくすることができ、生
産コストを抑制することができる。
【0025】また、各発光色毎に発光素子を形成するこ
とができるので、各発光色の材料が混ざり合うことがな
く、混色が起きない。
【0026】さらに、不良の発光素子は工程途中に一つ
一つ交換することができるので、ロスコストを少なく、
ひいては、製品歩留まりを高くすることができる。
【0027】また、陰極として金属ストリップを用いる
ことができるので、陰極の配線抵抗を極めて小さくする
ことができる。
【0028】請求項3に記載されているように、第三の
過程において、発光層の表面には、光を散乱させる光散
乱層を形成することが好ましい。
【0029】あるいは、請求項4に記載されているよう
に、金属片の表面には、光を乱反射させるための凹凸を
形成することが好ましい。
【0030】このように、金属ストリップの表面に凹凸
を形成することにより、陰極の反射特性を制御すること
が可能になり、高コントラスト表示を達成することがで
きる。
【0031】請求項5は、陽極基板と、絶縁基板と、陽
極基板上に形成され、第一の方向に延びる複数本のライ
ン状の透明電極と、透明電極上に形成された正孔輸送層
と、正孔輸送層と絶縁基板の間に配置され、第一の方向
と交差する第二の方向に延び、かつ、赤、緑及び青色の
光を発する発光層をそれぞれ有し、発光層が正孔輸送層
と接している三種類の発光素子と、からなる有機エレク
トロルミネセント表示装置を提供する。
【0032】請求項6に記載されているように、発光素
子は、ストリップ状の金属片と、金属片の表面上に形成
された金属陰極と、金属陰極上に形成され、赤、緑及び
青色の光を発する有機発光層と、からなるものであるこ
とが好ましい。
【0033】請求項7に記載されているように、発光層
の表面には、光を散乱させる光散乱層が形成されている
ことが好ましい。
【0034】請求項8に記載されているように、金属片
の表面には、光を乱反射させるための凹凸が形成されて
いることが好ましい。
【0035】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施形態に係
る有機EL表示装置の縦断面図である。
【0036】図1に示すように、本実施形態に係る有機
EL表示装置は、板ガラスからなる陽極基板1を備えて
おり、この陽極基板1上には、複数本のライン状の透明
電極2と、透明電極2上に形成された正孔輸送層3とが
形成されている。
【0037】ライン状の透明電極2は、図1の左右の方
向に相互に平行に延びている。
【0038】本実施形態に係る有機EL表示装置は、さ
らに、絶縁基板10を備えており、この絶縁基板10上
には、三原色の光を発光する発光素子16が並べて配置
されている。
【0039】各発光素子16は、図1の紙面と垂直の方
向に延びている金属ストリップ11と、金属ストリップ
11の周囲に形成された金属陰極(図示せず)と、金属
陰極上に形成された、発光性有機化合物からなる有機発
光層12と、からなっている。金属陰極及び有機発光層
12は、金属ストリップ11の一側面が露出するように
金属ストリップ11を覆っており、各発光素子16は、
露出した金属ストリップ11の一側面が絶縁基板10に
接するようにして、それぞれ絶縁基板10に取り付けら
れている。
【0040】さらに、各発光素子16は、赤、緑及び青
の光を発する発光素子がこの順番になるように、交互に
絶縁基板10上に取り付けられている。
【0041】陽極基板1と絶縁基板10とは、正孔輸送
層3と有機発光層12とが相互に接するようにして、接
着剤層13を介して相互に張り合わされている。
【0042】本実施形態に係る有機EL素子によれば、
発光素子16を構成する有機発光層12のパターニング
をフォトリソグラフィやメタルマスクを使わずに行うこ
とができるため、カラー有機EL表示素子を容易に製作
することができる。
【0043】また、図7に示すように、発光素子16を
形成する金属ストリップ11の表面には、光を乱反射さ
せる光散乱層としての凹凸11aを形成することができ
る。光散乱層としての凹凸11aを設けることにより、
透明電極2側から照射される外光が金属ストリップ11
の表面において鏡面反射せず、乱反射する。この結果、
外光を発する照明器具や太陽の映り込みを防止すること
ができ、画像のコントラストを向上させることができ
る。
【0044】次いで、図1に示した本実施形態に係る有
機EL素子の製造方法を以下に説明する。図2は、有機
EL素子の製造方法における各過程を示すフローチャー
トである。
【0045】先ず、図3に示すように、厚さ0.3mm
乃至1.1mmの板ガラスからなる陽極基板1にスパッ
ター法によりITO(酸化インジウム錫)膜を約50n
m乃至300nmの厚みで成膜する(図2のステップ1
00)。
【0046】板ガラスとしては、水分の吸着が少ない無
アルカリガラス、例えば、コーニング社の7059ガラ
スや1737ガラスが望ましいが、基板乾燥を充分行う
ことによって安価な低アルカリガラス板あるいはソーダ
ライムガラス板を用いることもできる。
【0047】このガラス基板1に成膜されたITO膜
を、フォトリソグラフィ法によるウェットエッチングに
より、相互に間隔をあけて縦方向(図3の左右方向)に
延びるようにストライプ状にパターニングし、透明電極
2を形成した(図2のステップ110)。
【0048】ITO膜のパターン形状は任意に選択する
ことができる。例えば、本実施形態においては、各透明
電極2の幅は330μmとし、隣接する透明電極2相互
間の間隔を30μmとした。
【0049】このようにしてパターニングされた透明電
極2を有する陽極基板1を、透明電極2を下にして真空
蒸着装置内に入れる。すなわち、透明電極2が蒸着源に
向かい合うようにする。蒸着源の抵抗加熱ボートまたは
坩堝に正孔輸送性の有機化合物としてのN,N'-ジフェ
ニル-N,N'-ビス(α-ナフチル)-1,1'-ビフェニル-
4,4'-ジアミン(以下、「α−NPD」と呼ぶ)を秤
量して入れる。抵抗加熱ボートまたは坩堝には加熱用ヒ
ーターが組み込まれている。
【0050】次いで、真空ポンプで真空蒸着装置内を1
×10-4Pa以下程度まで排気する。
【0051】この後、図4に示すようなメタルマスク1
4を陽極基板1と蒸着源との間において、陽極基板1に
対して固定されるように配置する。メタルマスク14に
は、図4に示すように、陽極基板1に有機EL層を蒸着
させる範囲を四角形にくり抜いて、複数のスリット15
が形成されている。本実施形態においては、各スリット
15は、メタルマスク14を陽極基板1と重ね合わせた
ときに、各透明電極2とそれぞれ重なり合うように設け
られている。
【0052】メタルマスク14を陽極基板1と蒸着源と
の間に配置させた後、α−NPDを入れた抵抗加熱ボー
トまたは坩堝に組み込まれているヒーターに電流を流
し、α−NPDを加熱し、透明電極2上ににα−NPD
を膜厚50nmになるまで蒸着させる。
【0053】このようにして、透明電極2上にα−NP
Dをを蒸着させ、正孔輸送層3が形成される(図2のス
テップ120)。
【0054】一方、厚み約20μm、幅約100μmの
金属ストリップ11を製作する(図2のステップ20
0)。
【0055】この金属ストリップ11を、図5に示すよ
うに、真空蒸着装置内に入れ、蒸着源17内の蒸着材料
18を加熱することにより、金属陰極(図示せず)と有
機発光層12とを金属ストリップ11に蒸着させ、発光
素子16を製作する(図2のステップ210)。
【0056】金属ストリップ11は、例えば、直径約5
0μmの銅線を圧延ローラーで圧延して製作する。
【0057】金属ストリップ11の材質としては、導電
性があれば、銅以外の金属を用いることもできる。例え
ば、鉄、銀、金、アルミニウム、クロム、コバルト、ス
ズ、ニッケル、白金などでも良く、またこれらの合金で
も良い。
【0058】また、金属をストリップ状に加工する方法
も線材の圧延法に限定されるものではない。例えば、薄
板から切断して製作する方法や型に入れて抜く方法、溶
融金属を細長い穴から抜き出して冷却して製作する方法
などをも選択することができる。
【0059】金属陰極は次のようにして形成される。先
ず、アルミニウムを抵抗加熱ボートまたは坩堝に入れ、
真空蒸着装置内で膜厚50nmになるまで金属ストリッ
プ11に蒸着する。次に、リチウムとアルミニウムを別
々の抵抗加熱ボートまたは坩堝に入れて同時に加熱し、
リチウムとアルミニウムとを膜厚20nmになるまで金
属陰極上に共蒸着する。このようにして、アルミニウム
と、リチウム及びアルミニウムとの積層構造からなる金
属陰極が形成される。 金属陰極を形成した後、蒸着源
の抵抗加熱ボートまたは坩堝にトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム錯体(以下、「Alq3」という)を
秤量して入れ、前述と同様にして、ヒーターによりAl
q3を加熱し、膜厚50nmになるまで金属陰極上にA
lq3を蒸着する。
【0060】以上のようにして金属ストリップ11上
に、アルミニウムの蒸着とアルミニウム及びリチウムの
混合物の共蒸着とにより形成した金属陰極、緑色を発光
する有機発光層12を順次積層させた緑色発光用発光素
子16Gが形成される。
【0061】次いで、有機発光層12を形成する有機化
合物として、Alq3と4−ジシアノメチレン−2−メ
チル−6−(p−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピ
ラン(以下、「DCM」と呼ぶ)とを用い、DCMがA
lq3の5wt%になるように別々の蒸着源からそれら
を別個の金属ストリップ11の金属陰極上に共蒸着す
る。有機発光層12は膜厚が約50nmになるまで成膜
する。このようにして、赤色発光用発光素子16Rが形
成される。
【0062】同様にして、有機発光層12を形成する有
機化合物としてペリレンを用い、ペリレンを秤量し、抵
抗加熱ボートまたは坩堝に入れ、ヒーターにより加熱す
る。膜厚が約50nmとなるまで別個の金属ストリップ
11の金属陰極上に蒸着し、青色発光用発光素子16B
を作製する。
【0063】次いで、図6に示すように、絶縁基板10
の上に、発光層12が上になるようにして、すなわち、
各発光素子16の金属ストリップ11の露出面が絶縁基
板10に接するようにして、赤、緑、青、赤、緑、青、
…と一定の順序に各発光素子16R、16G、16Bを
並べる(図2のステップ220)。
【0064】絶縁基板10には予め接着剤が塗布されて
おり、各発光素子16はこの接着剤を介して絶縁基板1
0に固着される。
【0065】次いで、各発光素子16R、16G、16
Bの各有機発光層12上に正孔輸送層3を対向させるよ
うにして、陽極基板1を絶縁基板10上に載せる。この
時、透明電極2と金属ストリップ11とは互いに交差す
る配置にする。すなわち、本実施形態においては、透明
電極2は図3の左右方向に延びているのに対して、金属
ストリップ11は図6の紙面と垂直な方向に延びている
ので、透明電極2と金属ストリップ11とが相互に直交
するように、陽極基板1は絶縁基板10上に載せられる
(図2のステップ300)。すなわち、透明電極2と金
属ストリップ11とは互いに交差してマトリクス状に配
置される。
【0066】陽極基板1と絶縁基板10とはそれらの周
囲において接着剤層13を介して相互に張り合わされ
る。この後、陽極基板1及び絶縁基板10の周囲を密閉
封止する(図2のステップ310)。
【0067】以上のようにして、図1に示したような本
実施形態に係る有機EL表示装置が製作される。
【0068】以上のようにして形成された本実施形態に
係る有機EL表示装置は次のように作動する。 金属ス
トリップ11と透明電極2との間に金属陰極が相対的に
負の電位になるように電圧を印加すると、透明電極2か
らはホールが、金属ストリップ11からは電子がそれぞ
れ有機発光層12に注入される。これらのホールと電子
とは有機発光層12の内部において再結合し、有機発光
層12を構成する分子を励起する。このようにして励起
された分子が基底状態に戻る時に発光が起こる。
【0069】従って、金属陰極を順番に走査する信号を
与え、順番に負極とし、さらに、透明電極2側に陰極の
走査のタイミングに合わせて、表示データに対応した信
号を与えることにより、その表示データに対応した画像
を表示することができる。
【0070】陰極を走査する周期を60ヘルツ以上にす
れば、人間の目の残像効果により、連続した動画像と認
識させることができる。
【0071】さらに、発光素子16R、16G、16B
は三原色を構成しているため、それぞれの輝度を調整す
ることにより、フルカラー表示を行うことも可能であ
る。輝度を調整するためには、各発光素子16R、16
G、16Bに流れる電流値を制御する方法、表示データ
の時間幅を変化させるパルス幅変調方式などを応用する
ことができる。
【0072】上記の有機EL素子の製造方法において
は、最初に、陽極基板1上に透明電極2及び正孔輸送層
3を形成し、次いで、絶縁基板10上に各発光素子16
を形成したが、これらの順序は任意である。すなわち、
最初に、絶縁基板10上に各発光素子16を形成し、次
いで、陽極基板1上に透明電極2及び正孔輸送層3を形
成してもよい。
【0073】以上のように、上記の有機EL素子の製造
方法によれば、有機発光層12のパターニングをフォト
リソグラフィやメタルマスクを使わずに行えるため、カ
ラー有機EL表示装置を容易に製作することが可能であ
る。
【0074】また、細長い金属ストリップ11上に金属
陰極と有機発光層12とを積層させて形成される発光素
子16は各発光色毎に真空蒸着して製作されるので、メ
タルマスクやフォトリソグラフィの方法と比較して、無
駄になる材料が少なくなり、生産コストを抑制すること
ができる。
【0075】さらに、各発光色の有機発光層12毎に別
々に蒸着することができるので、各発光色の材料が蒸着
中に混じり合うことが無く、混色が起きない。
【0076】また、不良の発光素子16は製造工程の途
中において一つ一つ交換可能であるので、ロスコストが
少なく、ひいては、製品歩留まりを高くすることができ
るため、生産コストを低減することができる。
【0077】また、陰極として金属ストリップ11を用
いることができるので、陰極の配線抵抗を極めて小さく
することができる。
【0078】図7及び図8は本発明の第二の実施形態に
係る有機EL表示装置を示す。図7は、本実施形態に係
る有機EL表示装置における発光素子16の断面図であ
り、図8は本実施形態に係る有機EL表示装置の断面図
である。
【0079】図7に示すように、本実施形態に係る有機
EL表示装置においては、金属ストリップ11の陽極基
板1の方向を向く面が平滑ではなく、凹凸11aが形成
されている。図8に示すように、外光19がこの凹凸1
1aに当たると、反射光20は乱反射する。
【0080】金属ストリップ11の表面上の凹凸11a
は、金属ストリップ11を圧延ローラーで圧延する時、
片方のローラーの表面に凸凹を設けておくことにより、
形成することができる。
【0081】金属ストリップ11の表面上に凹凸11a
が形成されている点を除けば、本実施形態に係る有機E
L表示装置は前述の第一の実施形態に係る有機EL表示
装置と同様の構造を有しており、かつ、同様の方法によ
り製造することができる。
【0082】本実施形態によれば、金属ストリップ11
の有機発光層12の側の面が光散乱性を有しているの
で、透明電極2側から照射される外光19が金属ストリ
ップ11の表面で鏡面反射せず、散乱する。従って、外
光19を発する照明器具や太陽の映り込みがなくなり、
良好なコントラストの画像を得ることができる。
【0083】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、発光素
子を構成する有機媒体のパターニングをフォトリソグラ
フィやメタルマスクを使わずに行うことができるため、
カラー有機EL表示装置を容易に製作することができ
る。
【0084】また、メタルマスクなどのシャドウマスク
を用いることなく、発光層をパターニングすることがで
きるため、高精細なパターニングや大面積のパターニン
グを行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施形態に係る有機EL表示装
置の断面図である。
【図2】図1に示した有機EL表示装置の製造方法のフ
ローチャートである。
【図3】第一の実施形態に係る有機EL表示装置におけ
る陽極基板の断面図である。
【図4】メタルマスクの平面図である。
【図5】発光素子の形成過程を示す、一部断面図を含む
正面図である。
【図6】第一の実施形態に係る有機EL表示装置におけ
る絶縁基板の断面図である。
【図7】本発明の第二の実施形態に係る有機EL表示装
置における発光素子の断面図である。
【図8】本発明の第二の実施形態に係る有機EL表示装
置の断面図である。
【符号の説明】
1 陽極基板 2 透明電極 3 正孔輸送層 10 絶縁基板 11 金属ストリップ 11a 凹凸 12 有機発光層 13 接着剤層 14 メタルマスク 15 スリット 16 発光素子 17 蒸着源 18 蒸着材料 19 外光 20 反射光
【手続補正書】
【提出日】平成11年11月15日(1999.11.
15)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【請求項】 前記金属片の表面には、光を乱反射させ
るための凹凸が形成されることを特徴とする請求項
記載の有機エレクトロルミネセント表示装置の製造方
法。
【請求項第一の方向に延びる複数本のライン状の
透明電極と、前記透明電極上に形成された正孔輸送層と
を有する陽極基板と、前記陽極基板に対向して配置されている 絶縁基板と、前記陽極基板と前記絶縁基板との間に並べて配置され
た、異なる発光色を有する有機発光層を有する三種類の
積層素子と、 からなる有機エレクトロルミネセント表示装置におい
て、 前記三種類の積層素子が、ストリップ状の金属片と、前
記金属片の一表面上に形成された金属陰極と、前記金属
陰極上に形成され、赤、緑及び青色の何れかの光を発す
る有機発光層と、からなり、前記有機発光層を前記陽極
基板側に配置し、かつ、その長手方向を前記第一の方向
と交差する第二の方向に配置したことを特徴とする 有機
エレクトロルミネセント表示装置。
【請求項】 前記金属片の表面には、光を乱反射させ
るための凹凸が形成されていることを特徴とする請求項
に記載の有機エレクトロルミネセント表示装置。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0020
【補正方法】変更
【補正内容】
【0020】この目的を達成するため、本発明のうち、
請求項1は、陽極基板上にパターニングされた透明電極
を形成する第一の過程と、透明電極上に正孔輸送層を形
成する第二の過程と、ストリップ状の金属片の一表面
に、金属陰極と、赤、緑又は青色の光を発する有機発光
層とを順次積層し、三種類の積層素子を形成する第三の
過程と、絶縁基板上に、三種類の積層素子を有機発光層
を上にして交互に並べて配置する第四の過程と、透明電
極と積層素子とが相互に交差し、かつ、正孔輸送層と有
機発光層とが相互に対向するように、陽極基板と絶縁基
板とを相互に重ね合わせる第五の過程と、相互に重ね合
わされた陽極基板及び絶縁基板の周囲を封止する第六の
過程と、からなる有機エレクトロルミネセント表示装置
の製造方法を提供する。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】変更
【補正内容】
【0021】本請求項に係る方法によれば、積層素子を
構成する有機媒体のパターニングをフォトリソグラフィ
やメタルマスクを使わずに行うことができるため、カラ
ー有機EL表示素子を容易に製作することができる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0023
【補正方法】削除
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】また、積層素子をこのように形成すること
により、各発光色ごとに別々に積層素子を形成すること
ができるので、メタルマスクやフォトリソグラフィの方
法と比較して、無駄になる材料を少なくすることがで
き、生産コストを抑制することができる。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0025
【補正方法】変更
【補正内容】
【0025】また、各発光色毎に積層素子を形成するこ
とができるので、各発光色の材料が混ざり合うことがな
く、混色が起きない。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0026
【補正方法】変更
【補正内容】
【0026】さらに、不良の積層素子は工程途中に一つ
一つ交換することができるので、ロスコストを少なく、
ひいては、製品歩留まりを高くすることができる。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0028
【補正方法】削除
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0029
【補正方法】削除
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0030
【補正方法】削除
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0031
【補正方法】変更
【補正内容】
【0031】請求項3は、第一の方向に延びる複数本の
ライン状の透明電極と、透明電極上に形成された正孔輸
送層とを有する陽極基板と、陽極基板に対向して配置さ
れている絶縁基板と、陽極基板と絶縁基板との間に並べ
て配置された、異なる発光色を有する有機発光層を有す
る三種類の積層素子と、からなる有機エレクトロルミネ
セント表示装置において、三種類の積層素子が、ストリ
ップ状の金属片と、金属片の一表面上に形成された金属
陰極と、金属陰極上に形成され、赤、緑及び青色の何れ
かの光を発する有機発光層と、からなり、有機発光層を
陽極基板側に配置し、かつ、その長手方向を第一の方向
と交差する第二の方向に配置したことを特徴とする有機
エレクトロルミネセント表示装置を提供する。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0032
【補正方法】削除
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0033
【補正方法】削除
【手続補正14】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0034
【補正方法】削除
【手続補正15】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0038
【補正方法】変更
【補正内容】
【0038】本実施形態に係る有機EL表示装置は、さ
らに、絶縁基板10を備えており、この絶縁基板10上
には、三原色の光を発光する積層素子16が並べて配置
されている。
【手続補正16】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0039
【補正方法】変更
【補正内容】
【0039】各積層素子16は、図1の紙面と垂直の方
向に延びている金属ストリップ11と、金属ストリップ
11の周囲に形成された金属陰極(図示せず)と、金属
陰極上に形成された、発光性有機化合物からなる有機発
光層12と、からなっている。金属陰極及び有機発光層
12は、金属ストリップ11の一側面が露出するように
金属ストリップ11を覆っており、各積層素子16は、
露出した金属ストリップ11の一側面が絶縁基板10に
接するようにして、それぞれ絶縁基板10に取り付けら
れている。
【手続補正17】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0040
【補正方法】変更
【補正内容】
【0040】さらに、各積層素子16は、赤、緑及び青
の光を発する積層素子がこの順番になるように、交互に
絶縁基板10上に取り付けられている。
【手続補正18】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0042
【補正方法】変更
【補正内容】
【0042】本実施形態に係る有機EL素子によれば、
積層素子16を構成する有機発光層12のパターニング
をフォトリソグラフィやメタルマスクを使わずに行うこ
とができるため、カラー有機EL表示素子を容易に製作
することができる。
【手続補正19】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0043
【補正方法】変更
【補正内容】
【0043】また、図7に示すように、積層素子16を
形成する金属ストリップ11の表面には、光を乱反射さ
せる光散乱層としての凹凸11aを形成することができ
る。光散乱層としての凹凸11aを設けることにより、
透明電極2側から照射される外光が金属ストリップ11
の表面において鏡面反射せず、乱反射する。この結果、
外光を発する照明器具や太陽の映り込みを防止すること
ができ、画像のコントラストを向上させることができ
る。
【手続補正20】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0051
【補正方法】変更
【補正内容】
【0051】この後、図4に示すようなメタルマスク1
4を陽極基板1と蒸着源との間において、陽極基板1に
対して固定されるように配置する。メタルマスク14に
は、図4に示すように、陽極基板1の透明電極2の上層
に正孔輸送層3を蒸着させる範囲を四角形にくり抜い
て、複数のスリット15が形成されている。本実施形態
においては、各スリット15は、メタルマスク14を陽
極基板1と重ね合わせたときに、各透明電極2とそれぞ
れ重なり合うように設けられている。
【手続補正21】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0053
【補正方法】変更
【補正内容】
【0053】このようにして、透明電極2上にα−NP
Dを蒸着させ、正孔輸送層3が形成される(図2のステ
ップ120)。
【手続補正22】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0055
【補正方法】変更
【補正内容】
【0055】この金属ストリップ11を、図5に示すよ
うに、真空蒸着装置内に入れ、蒸着源17内の蒸着材料
18を加熱することにより、金属陰極(図示せず)と有
機発光層12とを金属ストリップ11に蒸着させ、積層
素子16を製作する(図2のステップ210)。
【手続補正23】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0060
【補正方法】変更
【補正内容】
【0060】以上のようにして金属ストリップ11上
に、アルミニウムの蒸着とアルミニウム及びリチウムの
混合物の共蒸着とにより形成した金属陰極、緑色を発光
する有機発光層12を順次積層させた緑色発光用積層素
子16Gが形成される。
【手続補正24】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0061
【補正方法】変更
【補正内容】
【0061】次いで、有機発光層12を形成する有機化
合物として、Alq3と4−ジシアノメチレン−2−メ
チル−6−(p−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピ
ラン(以下、「DCM」と呼ぶ)とを用い、DCMがA
lq3の5wt%になるように別々の蒸着源からそれら
を別個の金属ストリップ11の金属陰極上に共蒸着す
る。有機発光層12は膜厚が約50nmになるまで成膜
する。このようにして、赤色発光用積層素子16Rが形
成される。
【手続補正25】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0062
【補正方法】変更
【補正内容】
【0062】同様にして、有機発光層12を形成する有
機化合物としてペリレンを用い、ペリレンを秤量し、抵
抗加熱ボートまたは坩堝に入れ、ヒーターにより加熱す
る。膜厚が約50nmとなるまで別個の金属ストリップ
11の金属陰極上に蒸着し、青色発光用積層素子16B
を作製する。
【手続補正26】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0063
【補正方法】変更
【補正内容】
【0063】次いで、図6に示すように、絶縁基板10
の上に、発光層12が上になるようにして、すなわち、
各積層素子16の金属ストリップ11の露出面が絶縁基
板10に接するようにして、赤、緑、青、赤、緑、青、
…と一定の順序に各積層素子16R、16G、16Bを
並べる(図2のステップ220)。
【手続補正27】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0064
【補正方法】変更
【補正内容】
【0064】絶縁基板10には予め接着剤が塗布されて
おり、各積層素子16はこの接着剤を介して絶縁基板1
0に固着される。
【手続補正28】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0065
【補正方法】変更
【補正内容】
【0065】次いで、各発光素子16R、16G、16
Bの各有機発光層12上に正孔輸送層3を対向させるよ
うにして、陽極基板1を絶縁基板10上に載せる。この
時、透明電極2と金属ストリップ11とは互いに交差す
る配置にする。すなわち、本実施形態においては、透明
電極2は図3の左右方向に延びているのに対して、金属
ストリップ11は図6の紙面と垂直な方向に延びている
ので、透明電極2と金属ストリップ11とが相互に直交
するように、陽極基板1は絶縁基板10上に載せられる
(図2のステップ300)。すなわち、透明電極2と金
属ストリップ11とは互いに交差してマトリクス状に配
置される。
【手続補正29】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0071
【補正方法】変更
【補正内容】
【0071】さらに、積層素子16R、16G、16B
は三原色を構成しているため、それぞれの輝度を調整す
ることにより、フルカラー表示を行うことも可能であ
る。輝度を調整するためには、各積層素子16R、16
G、16Bに流れる電流値を制御する方法、表示データ
の時間幅を変化させるパルス幅変調方式などを応用する
ことができる。
【手続補正30】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0072
【補正方法】変更
【補正内容】
【0072】上記の有機EL素子の製造方法において
は、最初に、陽極基板1上に透明電極2及び正孔輸送層
3を形成し、次いで、絶縁基板10上に各積層素子16
を形成したが、これらの順序は任意である。すなわち、
最初に、絶縁基板10上に各積層素子16を形成し、次
いで、陽極基板1上に透明電極2及び正孔輸送層3を形
成してもよい。
【手続補正31】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0074
【補正方法】変更
【補正内容】
【0074】また、細長い金属ストリップ11上に金属
陰極と有機発光層12とを積層させて形成される積層素
子16は各発光色毎に真空蒸着して製作されるので、メ
タルマスクやフォトリソグラフィの方法と比較して、無
駄になる材料が少なくなり、生産コストを抑制すること
ができる。
【手続補正32】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0076
【補正方法】変更
【補正内容】
【0076】また、不良の積層素子16は製造工程の途
中において一つ一つ交換可能であるので、ロスコストが
少なく、ひいては、製品歩留まりを高くすることができ
るため、生産コストを低減することができる。
【手続補正33】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0078
【補正方法】変更
【補正内容】
【0078】図7及び図8は本発明の第二の実施形態に
係る有機EL表示装置を示す。図7は、本実施形態に係
る有機EL表示装置における積層素子16の断面図であ
り、図8は本実施形態に係る有機EL表示装置の断面図
である。
【手続補正34】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0083
【補正方法】変更
【補正内容】
【0083】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、積層素
子を構成する有機媒体のパターニングをフォトリソグラ
フィやメタルマスクを使わずに行うことができるため、
カラー有機EL表示装置を容易に製作することができ
る。
【手続補正35】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施形態に係る有機EL表示装
置の断面図である。
【図2】図1に示した有機EL表示装置の製造方法のフ
ローチャートである。
【図3】第一の実施形態に係る有機EL表示装置におけ
る陽極基板の断面図である。
【図4】メタルマスクの平面図である。
【図5】積層素子の形成過程を示す、一部断面図を含む
正面図である。
【図6】第一の実施形態に係る有機EL表示装置におけ
る絶縁基板の断面図である。
【図7】本発明の第二の実施形態に係る有機EL表示装
置における積層素子の断面図である。
【図8】本発明の第二の実施形態に係る有機EL表示装
置の断面図である。
【符号の説明】 1 陽極基板 2 透明電極 3 正孔輸送層 10 絶縁基板 11 金属ストリップ 11a 凹凸 12 有機発光層 13 接着剤層 14 メタルマスク 15 スリット16 積層素子 17 蒸着源 18 蒸着材料 19 外光 20 反射光
【手続補正37】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【手続補正38】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】
【手続補正39】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図5
【補正方法】変更
【補正内容】
【図5】
【手続補正40】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】変更
【補正内容】
【図6】
【手続補正41】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図8
【補正方法】変更
【補正内容】
【図8】

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 陽極基板上にパターニングされた透明電
    極を形成する第一の過程と、 前記透明電極上に正孔輸送層を形成する第二の過程と、 赤、緑及び青色の光を発する発光層をそれぞれ有する三
    種類の発光素子を形成する第三の過程と、 絶縁基板上に、前記発光層が上方を向くように前記三種
    類の発光素子を配置する第四の過程と、 前記透明電極と前記発光素子とが相互に交差し、かつ、
    前記正孔輸送層と前記発光層とが相互に対向するよう
    に、前記陽極基板と前記絶縁基板とを相互に重ね合わせ
    る第五の過程と、 相互に重ね合わされた前記陽極基板及び前記絶縁基板の
    周囲を封止する第六の過程と、 からなる有機エレクトロルミネセント表示装置の製造方
    法。
  2. 【請求項2】 前記第三の過程において、前記発光素子
    は、ストリップ状の金属片の表面に、金属陰極と、赤、
    緑又は青色の光を発する有機発光層とを順次積層させる
    ことにより、形成されるものであることを特徴とする請
    求項1に記載の有機エレクトロルミネセント表示装置の
    製造方法。
  3. 【請求項3】 前記第三の過程において、前記発光層の
    表面には、光を散乱させる光散乱層が形成されることを
    特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネセン
    ト表示装置の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記金属片の表面には、光を乱反射させ
    るための凹凸が形成されることを特徴とする請求項2に
    記載の有機エレクトロルミネセント表示装置の製造方
    法。
  5. 【請求項5】 陽極基板と、 絶縁基板と、 前記陽極基板上に形成され、第一の方向に延びる複数本
    のライン状の透明電極と、 前記透明電極上に形成された正孔輸送層と、 前記正孔輸送層と前記絶縁基板の間に配置され、前記第
    一の方向と交差する第二の方向に延び、かつ、赤、緑及
    び青色の光を発する発光層をそれぞれ有し、前記発光層
    が前記正孔輸送層と接している三種類の発光素子と、 からなる有機エレクトロルミネセント表示装置。
  6. 【請求項6】 前記発光素子は、ストリップ状の金属片
    と、前記金属片の表面上に形成された金属陰極と、前記
    金属陰極上に形成され、赤、緑及び青色の光を発する有
    機発光層と、からなるものであることを特徴とする請求
    項5に記載の有機エレクトロルミネセント表示装置。
  7. 【請求項7】 前記発光層の表面には、光を散乱させる
    光散乱層が形成されていることを特徴とする請求項5に
    記載の有機エレクトロルミネセント表示装置。
  8. 【請求項8】 前記金属片の表面には、光を乱反射させ
    るための凹凸が形成されていることを特徴とする請求項
    6に記載の有機エレクトロルミネセント表示装置。
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