JP2000214093A - 誘導結合プラズマ分析装置 - Google Patents
誘導結合プラズマ分析装置Info
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Abstract
よってもトーチと入射光学系やサンプリングコーンとの
位置関係を一定に保つことができ、同一条件下での同じ
試料の測定で再現性の良い測定結果を得ることができる
誘導結合プラズマ分析装置を得ることを目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために本発明が採用
した誘導結合プラズマ分析装置は、トーチ枝管クリップ
9を有し、トーチ12の中心軸を中心にトーチを回転さ
せることによって、トーチの枝管をトーチ枝管クリップ
9にはめ込むことのできるようにした。
Description
分析装置のトーチの保持法に関する。 【0002】 【従来の技術】従来の誘導結合プラズマ分析装置は、図
4 に示すようにプラズマ2 発生用のトーチ12に試料を導
入し、プラズマ2 によって試料を発光、あるいはイオン
化させる。そして、発した光を各波長のスペクトル光に
分光して光検出器(図示せず)で検出したり、あるいは
イオン化された試料を質量分析計(図示せず)で検出す
ることによって、試料に含まれる元素の定性・定量分析
を行う。 【0003】通常トーチ12は同軸の三重の円筒管より構
成され、トーチ12に接続した試料供給部(図示せず)か
ら導入された試料は、三重の円筒管の最内管6 を経由し
たうえでプラズマ2 に導入される。トーチ12の最内管6
の径方向外側に中間管5 が配置され、中間管5 の内部に
通じるように中間管5 の径方向内側に向けて設けられた
補助ガス供給枝管11を介して、補助ガスが中間管5 に通
される。また、中間管5 の径方向外側に最外管4 が配置
され、最外管4 の内部に通じるように最外管4の径方向
内側に向けて設けられたプラズマガス供給枝管10を介し
て、プラズマガスが最外管4 に通される。 【0004】また、XYZ ステージ14の上には高周波電力
の伝達を調節するマッチングボックス13が固定されてお
り、マッチングボックス13には高周波電力をトーチ12先
端部の周囲に流すための誘導コイル3 が設けられてい
る。XYZ ステージ14にはさらにトーチ固定具7 が取り付
けられており、トーチ12は円筒状の最外管4 の径方向外
側からトーチ固定具7 を締め付けネジ8 で締め付けるこ
とによって保持されている。 【0005】誘導結合プラズマ分析装置のうち発光分光
分析装置の場合、トーチ12先端部分に発生するプラズマ
2 によって試料から発した光は、集光レンズや入射スリ
ット等の入射光学系(図示せず)を介して分光器(図示
せず)内に入る。そしてこの分光器によって光は各波長
のスペクトル光に分光され、光検出器によって分析され
る。一方、誘導結合プラズマ分析装置のうち質量分析装
置の場合、トーチ12の中心軸の先端方向には、プラズマ
2 によってイオン化された試料が通過するサンプリング
コーン1 が設けられ、試料はサンプリングコーン1 の穴
を通過した後、質量分析計(図示せず)によって分析さ
れる。 【0006】ここでプラズマ2 中の試料の発光強度やイ
オン化率はプラズマ2 中の部位によって異なるため、プ
ラズマ2 と入射光学系やサンプリングコーン1 との位置
関係が変化すると、光検出器に導かれる光の強度や、質
量分析計に導かれるイオン化試料の量が変化し、同じ試
料を測定しても感度が大きく異なってくる。よってトー
チ12をトーチ固定具7 に取り付ける際には、トーチ12が
トーチ固定具7 から動かないように固定し、トーチ固定
具7 が固定されているXYZ ステージ14の位置をパソコン
から制御することによって、トーチ12と入射光学系やサ
ンプリングコーン1 との位置関係を調整する。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、トーチ12の円筒状の最外管4 の径方向外側からトー
チ固定具7 を締め付けることによってトーチ12を保持し
ていた。図5 に示すように、トーチ固定具はV 字溝が彫
ってある2 枚の板をトーチ12の両側から挟むようになっ
ており、このV 字溝のために円筒状のトーチ12の中心軸
の位置がずれないように保持される。 【0008】しかし、前記保持方法ではトーチ12の中心
軸方向に関する保持力や脱着位置再現性が不十分であっ
た。そのため、トーチ12に接続されている試料供給部
(図示せず)の重量などの負荷がトーチ12に加わったと
きや、トーチ固定具7 からトーチ12を脱着した前後で
は、トーチ12の位置が変わることがあった。故にトーチ
固定具7 を介してXYZ ステージ14に保持されているトー
チ12と、入射光学系やサンプリングコーン1 との位置関
係は、XYZ ステージ14の位置が変化していないにも関わ
らず一定にならなかった。そのような時は同じ試料を同
じ測定条件で測定しても、同じ感度を得られず、トーチ
12脱着前後の測定結果を比較することが不可能であっ
た。 【0009】本発明は、上記問題を解決し、トーチ12に
力が加わった場合やトーチ12の脱着によってもトーチ12
と入射光学系やサンプリングコーン1 との位置関係を一
定に保つことができ、同一条件下での同じ試料の測定で
再現性の良い測定結果を得ることができる誘導結合プラ
ズマ分析装置を得ることを目的とする。 【0010】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明が採用した誘導結合プラズマ分析装置は、トー
チ枝管クリップを有し、トーチの中心軸を中心にトーチ
を回転させることによって、トーチの枝管をトーチ枝管
クリップにはめ込むことのできることを特徴とする。 【0011】本発明の誘導結合プラズマ分析装置のトー
チ枝管クリップはXYZ ステージに固定されており、トー
チ枝管クリップの隙間は、枝管の外径と同じ寸法であ
り、枝管をはめ込んだトーチはトーチ中心軸方向に前後
移動することはない。さらに、トーチをトーチ中心軸回
りに回転させても、V 字溝形状のトーチ固定具によりト
ーチ中心軸の位置は固定されているので、常に同じ位置
に保たれている。 【0012】XYZ ステージに固定されたトーチ固定具を
基準にして、トーチ中心軸の位置とトーチ中心軸方向の
トーチ位置が常に同じ位置になるので、XYZ ステージの
位置が変化しない限り、トーチの位置と入射光学系やサ
ンプリングコーンとの位置関係が常に一定に保たれる。
したがってトーチに力が加わった場合やトーチの脱着に
よってもトーチと入射光学系やサンプリングコーンとの
位置関係を一定に保つことができ、同一条件下での同じ
試料の測定で再現性の良い測定結果を得ることができ
る。 【0013】 【発明の実施の形態】本願発明を図1 〜図3 に基づいて
詳細に説明する。なお、図1 〜図3 において、図4 、図
5 に書かれている部品で、ほぼ同一の機能を有するもの
は、ここでは説明を省略することもある。トーチ12は三
重構造の石英円筒管からなっており、プラズマガス供給
枝管10からガス (例えばアルゴンガス)が最外管4 を
介してトーチ12先端に供給され、誘導コイル3 に高周波
電力(例えば、周波数27.12MHz、電力1.6kW )を印加す
ることにより、プラズマ2 が形成される。11は補助ガス
供給枝管であり中間管5 を介して補助ガスがトーチ12先
端に供給される。 【0014】試料供給部(図示せず)を経てトーチ12に
達した試料はトーチ12の三重管のうち、最内管6 を通
り、トーチ12先端に供給され、プラズマ2 によってイオ
ン化される。イオン化された試料はサンプリングコーン
1 の穴を通り、質量分析計(図示せず)によって分析さ
れる。ここで試料のイオン化率はプラズマ2 中の部位に
よって異なるため、プラズマ2 とサンプリングコーン1
との位置関係が変化すると、サンプリングコーン1 の穴
を通過するイオン化試料の量が変化し、同じ試料を測定
しても感度が大きく異なってくる。 【0015】そこで最適な感度が得られるように、トー
チ12先端に形成されるプラズマ2 とサンプリングコーン
1 との位置を調整する必要がある。このときサンプリン
グコーン1 の位置は固定されているため、トーチ固定具
7 を介してトーチ12が固定されているXYZ ステージ14を
パソコン制御により移動させてトーチ12の最適位置を調
整する。調整されたXYZ ステージ14の位置はパソコンに
記憶されて、いつでも記憶位置にXYZ ステージ14を戻す
ことができるが、XYZ ステージ14に取り付けたトーチ12
の位置が調整後にずれてしまうと、トーチ12先端に形成
されているプラズマ2 とサンプリングコーン1 との位置
がずれることになり、XYZ ステージ14が調整した最適位
置にあるにも関わらず調整前の感度が得られないことに
なる。 【0016】ここでXYZ ステージ14に固定されているト
ーチ固定具7 は、図5 に示すようにV 字溝が彫ってある
2 枚の板をトーチ12の両側から挟むような構造になって
いるため、トーチ固定具7 に保持したトーチ12をトーチ
中心軸回りに回転させても、トーチ中心軸の位置とトー
チ固定具7 との位置関係が変わることはなく、XYZ ステ
ージ14とトーチ中心軸の位置関係はいつも一定に保たれ
る。 【0017】また、トーチ12をトーチ固定具7 に取り付
けた後、図2 に示すようにトーチ中心軸回りに回転させ
ることによって、トーチ12のプラズマガス供給枝管10を
はめ込むことができるようになっているトーチ枝管クリ
ップ9 の隙間は、図3 に示すようにプラズマガス供給枝
管10の外径と同じ寸法なので、固定されたトーチ12がト
ーチ中心軸方向に前後移動することはなく、XYZ ステー
ジ14とトーチ12のトーチ中心軸方向の位置関係はいつも
一定に保たれる。 【0018】XYZ ステージ14を基準にして、トーチ中心
軸の位置とトーチ中心軸方向のトーチ12位置が常に同じ
位置になるので、XYZ ステージ14の位置が変化しない限
り、トーチ12先端に形成されるプラズマ2 とサンプリン
グコーン1 との位置関係は常に一定に保たれる。したが
ってトーチ12に力が加わった場合やトーチ12の脱着によ
ってプラズマ2 の位置とサンプリングコーン1 の位置関
係が変わることがなく、同一条件下での同じ試料の測定
で再現性の良い測定結果を得ることができる。 【0019】上記ではプラズマガス供給枝管10にはめ込
むトーチ枝管クリップ9 として説明したが、補助ガス供
給枝管11にはめ込むトーチ枝管クリップ9 においても本
発明の効果を有することは明らかである。さらに上記で
は、サンプリングコーン1 と質量分析計(図示せず)か
ら構成されている誘導結合プラズマ質量分析装置として
説明したが、入射光学系と分光器(図示せず)から構成
されている誘導結合プラズマ発光分光分析装置において
も本発明の効果を有することは明らかである。 【0020】つまり本願発明は、同軸の多重の円筒管で
あって、前記多重の円筒管を構成している各円筒管の内
部にそれぞれ通じる枝管を前記各円筒管の径方向内側に
向けてそれぞれ配置してなるトーチと、前記トーチを保
持するトーチ固定具を備えた誘導結合プラズマ分析装置
において、前記多重の円筒管の軸を中心に前記トーチを
回転させることによって前記枝管(実施例では、プラズ
マガス供給枝管10あるいは補助ガス供給枝管11に相当)
をはめ込むことのできるトーチ枝管クリップを有するこ
とを特徴とする誘導結合プラズマ分析装置である。 【0021】 【発明の効果】本発明は、誘導結合プラズマ分析装置に
おいて、トーチ枝管クリップを有し、トーチをトーチ固
定具に取り付けた後、トーチ中心軸回りに回転させるこ
とによって、トーチの枝管をトーチ枝管クリップにはめ
込むことができるような構造としたので、下記の効果を
有する。 (1 )固定されたトーチがトーチ中心軸方向に前後移動
することはなく、XYZ ステージと、トーチのトーチ中心
軸方向の位置関係はいつも一定に保たれる。 (2 )トーチに力が加わった場合やトーチの脱着によっ
てXYZ ステージとトーチの位置関係がずれることがな
い。 (3 )XYZ ステージとトーチの位置関係が常に一定であ
るため、XYZ ステージの位置が同じである限り、トーチ
先端に形成されるプラズマと、入射光学系やサンプリン
グコーンとの位置関係は常に一定に保たれる。 (4 )プラズマと、入射光学系やサンプリングコーンと
の位置関係が常に一定であるため、同一条件の下では同
じ試料の感度は常に一定に保たれ、再現性の良い測定が
できる。
析装置の概略断面である。 【図2 】本発明を実施した実施例の誘導結合プラズマ分
析装置の正面図である。 【図3 】本発明を実施した実施例の誘導結合プラズマ分
析装置の上面図である。 【図4 】従来例の誘導結合プラズマ分析装置の概略断面
である。 【図5 】従来例の誘導結合プラズマ分析装置の正面図で
ある。 【符号の説明】 1 サンプリングコーン 2 誘導結合プラズマ 3 誘導コイル 4 最外管 5 中間管 6 最内管 7 トーチ固定具 8 締め付けネジ 9 トーチ枝管クリップ 10 プラズマガス供給枝管 11 補助ガス供給枝管 12 トーチ 13 マッチングボックス 14 XYZ ステージ 15 XYZ ステージ移動方向
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1 】 同軸の多重の円筒管であって、前記多重
の円筒管を構成している各円筒管の内部にそれぞれ通じ
る枝管を前記各円筒管の径方向内側に向けてそれぞれ配
置してなるトーチと、前記トーチを保持するトーチ固定
具を備えた誘導結合プラズマ分析装置において、前記多
重の円筒管の軸を中心に前記トーチを回転させることに
よって前記枝管をはめ込むことのできるトーチ枝管クリ
ップを有することを特徴とする誘導結合プラズマ分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01620399A JP3805916B2 (ja) | 1999-01-25 | 1999-01-25 | 誘導結合プラズマ分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01620399A JP3805916B2 (ja) | 1999-01-25 | 1999-01-25 | 誘導結合プラズマ分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000214093A true JP2000214093A (ja) | 2000-08-04 |
| JP3805916B2 JP3805916B2 (ja) | 2006-08-09 |
Family
ID=11909964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01620399A Expired - Lifetime JP3805916B2 (ja) | 1999-01-25 | 1999-01-25 | 誘導結合プラズマ分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3805916B2 (ja) |
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1999
- 1999-01-25 JP JP01620399A patent/JP3805916B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3805916B2 (ja) | 2006-08-09 |
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