JP2000218523A - ラップ治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被加工物のラップ加工する面をラップ定盤に
安定して接触させることができ、ラップ加工するための
荷重を安定して加えることができるラップ治具の提供。 【解決手段】 基体１２の一面上に、被加工物１４が取
り付けられたキャリア１５を着脱自在に支持するキャリ
ア支持部２０と、ダミー材２９を着脱自在に支持すると
ともに該ダミー材２９の高さを変更可能な高さ調整機能
付きダミー材支持部３０が設けられ、キャリア支持部２
０は上記キャリア１５を受けるためのキャリア受部２１
と、キャリア１５を該キャリア受部２１に固定する固定
用手段２２ａ，２２ｂとからなることを特徴とするラッ
プ治具１０。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ラップ定盤上に載
せられたラップ治具を首振り揺動運動させて、該ラップ
治具に支持された被加工物をラップ定盤に接触状態で首
振り揺動かせることによりラップ加工するラップ装置等
に備えられるラップ治具に係わり、詳しくは、ラップ定
盤上に載せられたとき、被加工物のラップ加工する面を
ラップ定盤に安定して接触させることができ、ラップ加
工するための荷重を安定して加えることができるラップ
治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】被加工物をラップ加工する装置の一種と
して、ラップ定盤上に載せられたラップ治具を回転させ
て、ラップ治具に支持された被加工物をラップ加工する
ラップ装置が知られている。この種のラップ装置に備え
られる従来のラップ治具としては図７に示すような円板
状のラップ治具１が用いられている。このような従来の
ラップ治具１が備えられたラップ装置を用いて被加工物
をラップ加工するには、図７に示すようにワックス等の
接着剤を用いて複数の被加工物２をラップ治具１に貼り
付けたのち、図８に示すようにラップ治具１をこれに貼
り付けられた被加工物２のラップ加工する面がラップ定
盤３の上面３ａに接触、押しつけるようにラップ定盤３
上に載せる。ついで、ラップ定盤３の上面３ａと被加工
物２のラップ加工する面との間に砥粒を入れ、ラップ定
盤３を一方向に所定の速度で回転させるとともにラップ
治具１に貼り付けた被加工物２のラップ加工する面がラ
ップ定盤３の上面３ａに接触状態ですり動くようにラッ
プ治具１を一方向に所定の速度で回転させると、被加工
物２のラップ加工する面が上記砥粒により研磨されてラ
ップ加工面が形成される。なお、図中符号４は、ラップ
治具１を支持するとともにラップ治具１を回転させるモ
ータに接続されたロッドである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら図７に示
したような従来のラップ治具１においては、これに貼り
付ける被加工物２に形状や寸法等にバラツキがあると、
ラップ定盤３上に載せたとき、被加工物２のラップ加工
する面とラップ定盤３の上面との接触状態が各被加工物
２において異なり、このままラップ加工を行うと、研磨
不足のものや研磨過剰のものができ易く、あるいは、偏
った研磨がなされたり、被加工物の角部を直角にしたい
場合、直角度が出ないことがあり、歩留まりが悪いとい
う問題があった。本発明は、上記事情に鑑みてなされた
もので、被加工物のラップ加工する面をラップ定盤に安
定して接触させることができ、ラップ加工するための荷
重を安定して加えることができるラップ治具を提供する
ことにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、基体の一面上
に、被加工物が取り付けられたキャリアを着脱自在に支
持するキャリア支持部と、ダミー材を着脱自在に支持す
るとともに該ダミー材の高さを変更可能な高さ調整機能
付きダミー材支持部が設けられ、上記キャリア支持部は
上記キャリアを受けるためのキャリア受部と、上記キャ
リアを該キャリア受部に固定する固定用手段とからなる
ことを特徴とするラップ治具を上記課題の解決手段とし
た。本発明に係わるラップ治具においては、上記高さ調
整機能付きダミー材支持部は、ダミー材取り付け部を有
し、弾性変形することによりダミー材の高さを微調整す
る高さ微調整部と、ダミー材の高さを粗調整する高さ粗
調整部と、該高さ粗調整部を受けるための高さ調整部受
部と、該高さ調整部受け部に上記高さ粗調整部を固定す
る固定用金具からなることが好ましい。

【０００５】上記高さ微調整部は、支柱と、これの先端
に取り付けられた弾性変形可能な材料からなる輪状体
と、該輪状体に嵌められてこれを弾性変形させる微調整
用ネジから構成されるものであってもよい。上記高さ粗
調整部は、上記高さ微調整部の支柱が差し込められる支
柱差込孔を有し、該支柱差込孔から突出する支柱の高さ
を調整する粗調整用止めネジが取り付けられてなるもの
であってもよい。上記キャリアは、被加工物の取り付け
面を有する板状のものであり、高さ方向に弾性変形して
これに取り付けられた被加工物の真直度を調整する真直
度調整手段が設けられたものであることが好ましい。上
記キャリア支持部と上記高さ調整機能付きダミー材支持
部は、これらに取り付けられた被加工物の両端部とダミ
ー材が三角形の頂点位置に位置するように上記基体に設
けられ、該基体はラップ定盤上に載せられたとき上記三
角形の中心付近に位置する部分に裏面側から圧力が印加
されるものであることが好ましい。上記キャリア支持部
の基体は、円盤状のものであってもよい。上記被加工物
は磁気ヘッド素子が複数整列形成された磁気ヘッド作製
用切出バーであってもよく、その場合、該磁気ヘッド作
製用切出バーは、その素子形成面が該ラップ治具が載せ
られるラップ定盤の回転方向の下流側を向くように上記
キャリア支持部のキャリアに取り付けられるのが好まし
い。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明のラップ治具の実施
の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明のラ
ップ治具の一実施形態を示す斜視図であり、図中符号１
０は実施形態のラップ治具である。実施形態のラップ治
具１０は、円盤状の基体１２の一面上に、被加工物１４
が取り付けられたキャリア１５を着脱自在に支持するキ
ャリア支持部２０と、ダミー材２９を着脱自在に支持す
るとともに該ダミー材２９の高さを変更可能な高さ調整
機能付きダミー材支持部３０が設けられた概略構成のも
のである。

【０００７】キャリア支持部２０は、キャリア受部２１
と、キャリア１５をキャリア受部２１に固定する固定用
手段からなるものである。キャリア受部２１は、基体１
２と一体に形成された一対の長尺の凸状体２１ａ，２１
ａを有している。また、これら凸状体２１ａ、２１ａの
間に溝２３が形成されている。この溝２３に被加工物１
４が取り付けられたキャリア１５が配置されるようにな
っている。

【０００８】上記固定用手段は、キャリア固定用ネジ２
２ａと、一方の凸状体２１ａに形成されたキャリア固定
用ネジ孔２２ｂから構成されている。

【０００９】このようなキャリア支持部２０では、一方
の凸状体２１ａのネジ孔２２ｂへのキャリア固定用ネジ
２２ａの嵌め込み量を調整することにより、上記溝２３
内で、かつ他方の凸状体２１ａの内壁にキャリア１５を
押しつけて固定したり、キャリア１５の固定を解除でき
るようになっている。

【００１０】高さ調整機能付きダミー材支持部３０は、
図２に示すようにダミー材取り付け部３１を有し、弾性
変形することによりダミー材２９の高さを微調整する高
さ微調整部３３と、ダミー材２９の高さを粗調整する高
さ粗調整部４０と、該高さ粗調整部４０を受けるための
高さ調整部受部５０と、該高さ調整部受部５０に上記高
さ粗調整部４０を固定する固定用金具（図示略）からな
るものである。

【００１１】高さ微調整部３３は、支柱３４と、これの
先端に取り付けられた弾性変形可能な材料からなる輪状
体３５と、該輪状体３５に形成された微調整用ネジ孔３
６ｂに螺合されて輪状体３５を弾性変形させる微調整用
ネジ３６ａから構成されている。この高さ微調整部３３
では、輪状体３５の上面がダミー材取り付け部３１とさ
れている。ダミー材取り付け部３１に取り付けられるダ
ミー材２９としては、キャリア１５に貼り付けられる被
加工物１４と同じ材料のものか、あるいは被加工物１４
とほぼ同じ硬さを有するものが用いられるのが好まし
い。

【００１２】高さ粗調整部４０は、高さ微調整部３３の
支柱３４が差し込まれる支柱差込孔４１を有する円筒状
のもので、また、側面から支柱差込孔４１に貫通する粗
調整用孔４３ｂが形成されている。このような粗調整用
孔４３ｂは、高さ粗調整部４０の側面の周囲の３方向に
それぞれ形成されており、各調整用孔４３ｂに粗調整用
止めネジ４３ａが螺合されて、高さ微調整部３３の支柱
３４を粗調整部４０に固定できるようになっている。

【００１３】高さ調整部受部５０は、基体１２に形成さ
れた凹状のものであり、この高さ調整部受け部５０に上
記高さ粗調整部４０を配置して、固定用金具（図示略）
により粗調整部４０を基体１２に固定できるようになっ
ている。高さ調整機能付きダミー材支持部３０へのダミ
ー材２９の取り付け方法は、高さ微調整部３３のダミー
材取り付け部３１にワックス等の接着剤を用いてダミー
材２９を接着することにより取り付けることができる。

【００１４】上述のような構成の高さ調整機能付きダミ
ー材支持部３０では、高さ粗調整部４０の支柱差込孔４
１への高さ微調整部３３の支柱３４の差込長さを調整す
ることにより、支柱差込孔４１から突出する支柱３４の
長さを調整でき、これにより高さ微調整部３３に取り付
けられたダミー材２９の高さを粗調整することができ
る。また、高さ微調整部３３の微調整用ネジ孔３６ｂへ
の微調整用ネジ３６ａの嵌め込み量を調整することによ
り、輪状体３５の弾性変形量を変更し、輪状体３５の上
面に接着されたダミー材２９の高さを微調整でき、例え
ば、図２のＡに示したように微調整用ネジ孔３６ｂへの
微調整用ネジ３６ａの嵌め込み量が深い状態から、図２
のＢに示したように微調整用ネジ３６ａの嵌め込み量を
浅い状態にすると、輪状体３５が変形して、輪状体３５
の内面間の距離がΔＨ広がり、ダミー材２９の高さをΔ
ｈ₁高くすることができる。上述のような構成のキャリ
ア支持部２０と高さ調整機能付きダミー材支持部３０が
基体１２に設けられる位置は、これらに取り付けられた
被加工物１４の両端部とダミー材２９が三角形の頂点位
置に位置するような位置であることが好ましい。

【００１５】キャリア１５は、図３に示すように被加工
物１４の取り付け面１６ａを有する板状のものであり、
高さ方向に弾性変形してこれに取り付けられた被加工物
１４の真直度を微調整する真直度調整手段６０が設けら
れたものである。真直度調整手段６０は、キャリア１５
の一方の側端面１６ｂの上部から他方の側端面１６ｃの
下部近傍にかけて形成された切り込み６１と、キャリア
１５の下面１６ｄから切り込み６１に貫通して形成され
た真直度調整用ネジ孔６１ｂと、該ネジ孔６１ｂに螺合
される真直度調整用ネジ６１ａから構成されている。真
直度調整用ネジ６１ａの先端部には、曲面が形成されて
いる。

【００１６】また、キャリア１５には、下面１６ｄから
切り込み６１に貫通する真直度粗調整用孔（図示略）が
形成されており、この真直度粗調整用孔の形成位置は真
直度調整用ネジ孔６１ｂが形成された位置と側端面１６
ｂとの間である。上記真直度粗調整用ネジ孔は、固定用
金具（図示略）が嵌められる。

【００１７】上述のような真直度調整手段６０が設けら
れたキャリア１５は、真直度調整用ネジ孔６１ｂへの真
直度調整用ネジ６１ａの嵌め込み量を調整することによ
り、キャリア１５が撓んで切り込み６１の対向面間の距
離を変更でき、取り付け面１６ａに取り付けられた被加
工物１４の真直度を微調整することができる。キャリア
１５の取り付け面１６ａへの被加工物１４の取り付け方
法は、取り付け面１６ａにワックス等の接着剤を用いて
被加工物１４を接着することにより取り付けることがで
きる。

【００１８】つぎに、実施形態のラップ治具が備えられ
たラップ装置を用いて被加工物をラップ加工する例につ
いて説明する。まず、図３に示すようにキャリア１５の
取り付け面１６ａにワックス等の接着剤を用いて被加工
物１４を接着する。ここで用いられる被加工物１４とし
ては、ウエハ上に多数の薄膜磁気ヘッド素子を整列形成
し、このウエハをスライスして得られた図４に示すよう
な磁気ヘッド（ＭＲヘッド）作製用切出バーである。こ
の磁気ヘッド作製用切出バー１４は、フォトリソグラフ
ィ技術を用いて形成した磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）
を有する薄膜磁気ヘッド素子が複数整列形成されてい
る。

【００１９】この薄膜磁気ヘッド素子は、この例ではコ
イル部１８を有し、その側方に電極パッドが４つ整列形
成されるとともに、各電極パッドにコイル部１８からの
リード線や薄膜磁気ヘッド素子内部回路からのリード線
がそれぞれ接続された形状とされている。薄膜磁気ヘッ
ドの構成において、コイル部１８の先端部側に形成され
ている磁気ギャップ部ｇのギャップ深さ加工は極めて重
要な加工であるので、切出バー１４の空気ベアリング面
を有する側の面１４ａにラップ加工を施して、空気ベア
リング面からの奥行き寸法（ＭＲ−ｈ値）が所定の範囲
内になるように調整している。磁気ヘッド作製用切出バ
ー１４をキャリア１５に取り付ける際には、空気ベアリ
ング面を有する側の面（ラップ加工される面）１４ａと
反対側の面が取り付け面１６ａに接着される。また、磁
気ヘッド作製用切出バー１４をキャリア支持部２０のキ
ャリア１５に取り付ける際には、ラップ治具１が載せら
れるラップ定盤３の回転方向の下流側を素子形成面１４
ｂが向くように取り付けるのが、素子形成面１４ｂに研
磨液等が付着することなどを回避でき、薄膜磁気ヘッド
素子が加工ダメージを受けるのを防止できる点で好まし
い。図６中、符号１４ｃは、切出バー１４の素子形成面
１４ｂの反対側の面である。なお、空気ベアリング面か
らの奥行き調整後の磁気ヘッド作製用切出バー１４は個
々の磁気ヘッドスライダーに分離されるものである。

【００２０】ついで、キャリア１５に形成された真直度
調整用ネジ孔６１ｂへの真直度調整用ネジ６１ａの嵌め
込み量を調整することにより、磁気ヘッド作製用切出バ
ー１４の真直度を微調整しておく。ついで、図１に示す
ように磁気ヘッド作製用切出バー１４が取り付けられた
キャリア１５をキャリア受部２１の溝２３に配置した
後、一方の凸状体２１ａのネジ孔２２ｂにキャリア固定
用ネジ２２ａを螺合して、キャリア１５を他方の凸状体
２１ａの内壁に押圧してキャリア受部２１に固定する。

【００２１】ついで、図２に示すように高さ微調整部３
３のダミー材取り付け部３１にワックス等の接着剤を用
いてダミー材２９を接着する。ここでのダミー材２９と
しては、磁気ヘッド作製用切出バー１４と略同じ硬さの
材料からなるものが用いられ、例えば、アルミナ、ジル
コニア、Ａｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣ（アルチック）などが用いら
れる。このようにダミー材２９を高さ微調整部３３に取
り付けた後、高さ調整部受部５０に予め固定用金具によ
り固定された高さ粗調整部４０の支柱差込孔４１に微調
整部３３の支柱３４を差し込み、高さ微調整部３３に取
り付けられたダミー材２９の高さがキャリア支持部２０
に支持された磁気ヘッド作製用切出バー１４と略同じ高
さになるように支柱３４の差し込み長さを調整した後、
各粗調整用孔４３ｂに粗調整用止めネジ４３ａを螺合す
ることにより、支柱３４を高さ粗調整部４０に固定す
る。ついで、高さ微調整部３３の微調整用ネジ孔３６ｂ
への微調整用ネジ３６ａの嵌め込み量を調整することに
より、キャリア支持部２０に支持された磁気ヘッド作製
用切出バー１４と同じ高さになるようにダミー材２９の
高さを微調整する。

【００２２】そして、図６に示すようにラップ治具１０
を磁気ヘッド作製用切出バー１４のラップ加工する面１
４ａをラップ定盤６３の上面６３ａに接触するようにラ
ップ定盤６３上に載置する。

【００２３】ついで、加圧機構（図示略）によりラップ
治具１０の基体１２の裏面１２ａに荷重かけるとともに
ラップ治具１０を首振り揺動させる首振り揺動機構（図
示略）を作動させておく。ここで基体１２の裏面１２ａ
に荷重をかけるとき、キャリア支持部２０と高さ調整機
能付きダミー材支持部３０に取り付けられた被加工物１
４の両端部とダミー材２９とにより作られる上記三角形
の中心付近に位置する部分に圧力が印加されるようにす
ることが、ラップ定盤６３の上面６３ａにダミー材２９
及び被加工物１４のラップ加工する面１４ａをより安定
して接触させることができる点で好ましい。また、ラッ
プ定盤６３は予め回転駆動させておく。また、ラップ定
盤６３の上面６３ａには、予め研磨液を供給しておく。
これらの操作により、切出バー１４が取り付けられたラ
ップ治具１０が左右に水平移動すると同時に往復首振り
運動するので、切出バー１４の空気ベアリング面１４ａ
は上記研磨液により研磨されてラップ加工面が形成され
る。

【００２４】なお、上述のラップ加工する例において
は、ラップ定盤６３を回転させ、さらに加圧機構により
ラップ治具１０の裏面１２ａに荷重をかけるとともに首
振り揺動機構によりラップ治具１０を首振り揺動させな
から切出バー１４の空気ベアリング面１４ａをラップ加
工する場合について説明したが、ラップ定盤６３上にラ
ップ治具１０を側面から支持する複数のコロ（図示略）
を設け、ラップ治具１０をこれに取り付けた切出バー１
４の空気エアベアリング面１４ａがラップ定盤６３の上
面６３ａに接触、自重にて押しつけるようにラップ定盤
６３上に載せた後、ラップ定盤６３を回転させることに
より、空気エアベアリング面１４ａがラップ定盤６３の
上面６３ａに接触状態ですり動くようにラップ治具１０
を回転さながら切出バー１４の空気ベアリング面１４ａ
をラップ加工するようにしてもよい。このときラップ定
盤６３の上面６３ａと切出バー１４の空気ベアリング面
１４ａとの間に砥粒が入れられる。また、上述のラップ
加工する例においては、磁気ヘッド作製用切出バー１４
の空気ベアリング面を有する側の面をラップ加工により
空気ベアリング面からの奥行き寸法を調整する場合につ
いて説明したが、ラップ加工により浮上角３０度（６０
度）を付ける場合にも適用できる。

【００２５】実施形態のラップ治具１０によれば、基体
１２の一面上に、被加工物１４が取り付けられたキャリ
ア１５を着脱自在に支持するキャリア支持部２０と、ダ
ミー材２９を着脱自在に支持するとともに該ダミー材２
９の高さを変更可能な高さ調整機能付きダミー材支持部
３０が設けられたことにより、高さ調整機能付きダミー
材支持部３０によりダミー材２９の高さをキャリア支持
部２０に支持された被加工物１４の高さと同じ高さとす
ることができるので、ラップ治具１０をラップ定盤６３
上に載せたとき、これの上面６３ａにダミー材２９の上
面及び被加工物１４のラップ加工する面１４ａを安定し
て接触させることができ、ラップ加工するための荷重を
安定して加えることができ、従って、被加工物１４を高
精度でラップ加工することができ、特に、被加工物１４
が磁気ヘッド作製用切出バー１４である場合は、空気ベ
アリング面からの奥行き寸法を高精度で調整することが
でき、ＭＲ−ｈ精度を向上させることができる。さら
に、実施形態のラップ治具１０によれば、被加工物１４
に形状や寸法等のバラツキがあっても、支持された被加
工物１４の高さに応じてダミー材２９の高さを変更する
ことができるので、被加工物１４のラップ加工する面１
４ａと、ラップ定盤６３の上面６３ａとの接触状態が良
好で、研磨不足や研磨過剰のものや、偏った研磨がなさ
れたものや、直角度が不十分なものが生じにくく、歩留
まりを向上させることができる。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明のラップ治具
によれば、基体の一面上に、被加工物が取り付けられた
キャリアを着脱自在に支持するキャリア支持部と、ダミ
ー材を着脱自在に支持するとともに該ダミー材の高さを
変更可能な高さ調整機能付きダミー材支持部が設けら
れ、上記キャリア支持部は上記キャリアを受けるための
キャリア受部が設けられたことにより、高さ調整機能付
きダミー材支持部によりダミー材の高さをキャリア支持
部に支持された被加工物の高さと同じ高さとすることが
できるので、ラップ治具をラップ定盤上に載せたとき、
これの上面にダミー材及び被加工物のラップ加工する面
を安定して接触させることができ、ラップ加工するため
の荷重を安定して加えることができ、従って、被加工物
を高精度でラップ加工することができる。さらに、本発
明のラップ治具によれば、被加工物に形状や寸法等のバ
ラツキがあっても、キャリア支持部に支持された被加工
物の高さに応じてダミー材の高さを変更することができ
るので、被加工物のラップ加工する面と、ラップ定盤の
上面との接触状態が良好で、研磨不足や研磨過剰のもの
や、偏った研磨がなされたものや、直角度が不十分なも
のが生じにくく、歩留まりを向上させることができる。
また、本発明のラップ治具において、上記キャリア支持
部と上記高さ調整機能付きダミー材支持部は、これらに
取り付けられた被加工物の両端部とダミー材が三角形の
頂点位置に位置するように上記基体に設けられ、該基体
はラップ定盤上に載せられたとき上記三角形の中心付近
に位置する部分に裏面側から圧力が印加されるようにし
たものにあっては、ラップ加工する際に、ダミー材及び
被加工物のラップ加工する面をラップ定盤の上面により
安定して接触させることができる。

【００２７】また、本発明のラップ治具において、上記
キャリア支持部の基体の形状を円盤状としたものにあっ
ては、磁気ヘッド素子が複数整列形成された磁気ヘッド
作製用切出バーの空気ベアリング面を有する側の面にラ
ップ加工を施して、空気ベアリング面からの奥行き寸法
（ＭＲ−ｈ値）が所定の範囲内になるように調整する工
程（定寸ラップ工程）だけでなく、該定寸ラップ工程の
前に上記切出バーに施す粗削り工程（ＧＤ研削工程）か
ら連続して使用することができる。また、本発明のラッ
プ治具において、上記被加工物は磁気ヘッド素子が複数
整列形成された磁気ヘッド作製用切出バーであり、該磁
気ヘッド作製用切出バーは、その素子形成面が該ラップ
治具が載せられるラップ定盤の回転方向の下流側を向く
ように上記キャリア支持部のキャリアに取り付けられる
ようにしたものにあっては、上記切出バーの素子形成面
に研磨液等が付着することなどを回避でき、磁気ヘッド
素子が加工ダメージを受けるのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のラップ治具の一実施形態を示す斜視
図である。

【図２】 図１のラップ治具の高さ調整機能付きダミー
材支持部を説明するための図であり、Ａは微調整用ネジ
孔への微調整用ネジの嵌め込み量が深い状態を示す断面
図であり、Ｂは微調整用ネジ孔への微調整用ネジの嵌め
込み量が浅い状態を示す断面図である。

【図３】 図１のラップ治具に支持されるキャリアを示
す図である。

【図４】 実施形態のラップ治具のキャリアに取り付け
られる被加工物としての磁気ヘッド作製用切出バーを示
す図である。

【図５】 図４の磁気ヘッド作製用切出バーの部分拡大
図である。

【図６】 実施形態のラップ治具が備えられたラップ装
置を用いて被加工物をラップ加工する方法の例を説明す
るための図である。

【図７】 従来のラップ治具を示す斜視図である。

【図８】 従来のラップ治具が備えられたラップ装置を
用いて被加工物をラップ加工する方法を説明するための
図である。

【符号の説明】

１２・・・基体、１４・・・被加工物（磁気ヘッド作製用切出
バー）、１４ｂ・・・素子形成面、１５・・・キャリア、１６
ａ・・・取り付け面、２０・・・キャリア支持部、２１・・・キ
ャリア受部、２２ａ・・・キャリア固定用ネジ（固定用手
段）、２２ｂ・・・ネジ孔（固定用手段）、２９・・・ダミー
材、３０・・・高さ調整機能付きダミー材支持部、３１・・・
ダミー材取付部、３３・・・高さ微調整部、３４・・・支柱、
３５・・・輪状体、３６ａ・・・微調整用ネジ、３６ｂ・・・微
調整用ネジ孔、４０・・・高さ粗調整部、４１・・・支柱差込
孔、４３ａ・・・粗調整用止めネジ、４３ｂ・・・粗調 整用
孔、５０・・・高さ調整部受部。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基体の一面上に、被加工物が取り付けら
   れたキャリアを着脱自在に支持するキャリア支持部と、
   ダミー材を着脱自在に支持するとともに該ダミー材の高
   さを変更可能な高さ調整機能付きダミー材支持部が設け
   られ、前記キャリア支持部は上記キャリアを受けるため
   のキャリア受部と、上記キャリアを該キャリア受部に固
   定する固定用手段とからなることを特徴とするラップ治
   具。
2. 【請求項２】 前記高さ調整機能付きダミー材支持部
   は、ダミー材取り付け部を有し、弾性変形することによ
   りダミー材の高さを微調整する高さ微調整部と、ダミー
   材の高さを粗調整する高さ粗調整部と、該高さ粗調整部
   を受けるための高さ調整部受部と、該高さ調整部受け部
   に前記高さ粗調整部を固定する固定用金具からなること
   を特徴とする請求項１記載のラップ治具。
3. 【請求項３】 前記高さ微調整部は、支柱と、これの先
   端に取り付けられた弾性変形可能な材料からなる輪状体
   と、該輪状体に嵌められてこれを弾性変形させる微調整
   用ネジからなり、前記高さ粗調整部は、前記高さ微調整
   部の支柱が差し込まれる支柱差込孔を有し、該支柱差込
   孔から突出する支柱の高さを調整する粗調整用止めネジ
   が取り付けられてなるものであることを特徴とする請求
   項２記載のラップ治具。
4. 【請求項４】 前記キャリアは、被加工物の取り付け面
   を有する板状のものであり、高さ方向に弾性変形してこ
   れに取り付けられた被加工物の真直度を調整する真直度
   調整手段が設けられたものであることを特徴とする請求
   項１、２又は３記載のラップ治具。
5. 【請求項５】 前記キャリア支持部と前記高さ調整機能
   付きダミー材支持部は、これらに取り付けられた被加工
   物の両端部とダミー材が三角形の頂点位置に位置するよ
   うに前記基体に設けられ、該基体はラップ定盤上に載せ
   られたとき前記三角形の中心付近に位置する部分に裏面
   側から圧力が印加されるものであることを特徴とする請
   求項１〜４のいずれかに記載のラップ治具。
6. 【請求項６】 前記キャリア支持部の基体が円盤状のも
   のであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記
   載のラップ治具。
7. 【請求項７】 前記被加工物は磁気ヘッド素子が複数整
   列形成された磁気ヘッド作製用切出バーであり、該磁気
   ヘッド作製用切出バーは、その素子形成面が該ラップ治
   具が載せられるラップ定盤の回転方向の下流側を向くよ
   うに前記キャリア支持部のキャリアに取り付けられるこ
   とを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のラップ
   治具。