JP2000221084A - 歪検出装置 - Google Patents

歪検出装置

Info

Publication number
JP2000221084A
JP2000221084A JP11025842A JP2584299A JP2000221084A JP 2000221084 A JP2000221084 A JP 2000221084A JP 11025842 A JP11025842 A JP 11025842A JP 2584299 A JP2584299 A JP 2584299A JP 2000221084 A JP2000221084 A JP 2000221084A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistance
temperature
strain
insulating substrate
temperature characteristic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11025842A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Kawai
孝士 川井
Yukio Mizukami
行雄 水上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP11025842A priority Critical patent/JP2000221084A/ja
Publication of JP2000221084A publication Critical patent/JP2000221084A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Force In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 周囲の温度変化により出力が変動するという
ことがなく、特性の安定した歪検出装置を提供すること
を目的とする。 【解決手段】 絶縁基板22の表面に、第1の歪抵抗素
子25とこの第1の歪抵抗素子25と直列に接続され抵
抗温度係数が第1の歪抵抗素子25の抵抗温度係数と異
なる温度特性調整抵抗26とからなる少なくとも2つの
第1の素子部24を設けるとともに、前記第1の素子部
24における温度特性調整抵抗26の抵抗値を調整する
ことによりブリッジ回路における2つの出力の温度特性
が略等しくなるように構成したものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車や各種産業
機械に使用される重量、力、加速度、微少変位によって
発生する歪を検出する歪検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の歪検出装置としては、特
開平8−29273号公報に開示されたものが知られて
いる。
【0003】以下、従来の歪検出装置について、図面を
参照しながら説明する。
【0004】図7は従来の歪検出装置の斜視図、図8は
同歪検出装置の回路図である。
【0005】図7,図8において、1は固定台である。
2は絶縁基板で、この絶縁基板2は前記固定台1に一端
が固着されている。3は重り部材で、この重り部材3は
前記絶縁基板2の他端に固着されている。4は歪抵抗素
子で、この歪抵抗素子4は前記絶縁基板2の表面に設け
られるとともに、一端を電源端子5に電気的に接続して
いる。6は第1のバイアス抵抗で、この第1のバイアス
抵抗6は前記絶縁基板2の表面に設けられるとともに、
一端を前記歪抵抗素子4の他端および第1の出力端子7
に電気的に接続し、かつ他端をGND端子8に電気的に
接続している。9は第2のバイアス抵抗で、この第2の
バイアス抵抗9は前記電源端子5に一端を電気的に接続
するとともに、他端を第2の出力端子10に電気的に接
続している。11は第3のバイアス抵抗で、この第3の
バイアス抵抗11は一端を前記第2の出力端子10に電
気的に接続するとともに、他端を前記GND端子8に電
気的に接続している。そして、前記歪抵抗素子4、第1
のバイアス抵抗6、第2のバイアス抵抗9および第3の
バイアス抵抗11によりブリッジ回路を構成している。
【0006】以上のように構成された従来の歪検出装置
について、次にその動作を説明する。
【0007】重り部材3に例えば加速度等により外力が
作用すると、この外力により、絶縁基板2が変形する。
この場合、絶縁基板2の表面には歪抵抗素子4が設けら
れており、前記絶縁基板2の変形量に比例して歪抵抗素
子4の抵抗値が変化する。そして、前記歪抵抗素子4、
第1のバイアス抵抗6、第2のバイアス抵抗9および第
3のバイアス抵抗11によりブリッジ回路が構成されて
いるため、第1の出力端子7および第2の出力端子10
の電圧差により、前記重り部材3に加わる外力を検出す
るものである。
【0008】ここで、従来の歪検出装置の周囲の温度が
変化する場合について考えて見ると、従来の歪検出装置
における第1の出力端子7の温度変化による出力変化率
Aは次式
【0009】
【数1】
【0010】で表せられる。また、第2の出力端子10
の温度変化による出力変化率Bは次式
【0011】
【数2】
【0012】で表せられる。
【0013】そして、従来の歪検出装置の出力が周囲の
温度変化により変動しないようにするためには、第1の
出力端子7の温度変化による出力変化率Aを第2の出力
端子10の温度変化による出力変化率Bに略等しくする
ことが必要となるものであった。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成においては、周囲の温度変化により出力が変動
しないようにするためには、第1の出力端子7の温度変
化による出力変化率Aを第2の出力端子10の温度変化
による出力変化率Bに略等しくすることが必要であり、
この場合、歪抵抗素子4、第1のバイアス抵抗6、第2
のバイアス抵抗9および第3のバイアス抵抗11の抵抗
値および温度係数の値を精度良く製造しなければならな
いが、歪抵抗素子4、第1のバイアス抵抗6、第2のバ
イアス抵抗9および第3のバイアス抵抗11の抵抗値お
よび温度係数の値を精度良く製造することは困難である
ため、周囲の温度変化により出力の変動しない歪検出装
置を提供することが困難であるという課題を有してい
た。
【0015】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、周囲の温度変化により出力が変動するということが
なく、特性の安定した歪検出装置を提供することを目的
とするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の歪検出装置は、弾性材料からなる絶縁基板
と、この絶縁基板の表面に設けられ、かつ第1の歪抵抗
素子とこの第1の歪抵抗素子に直列に接続され抵抗温度
係数が前記第1の歪抵抗素子の抵抗温度係数と異なる温
度特性調整抵抗とからなる少なくとも2つの第1の素子
部と、前記絶縁基板の表面に設けられ、かつ前記第1の
素子部に直列に接続された第2の歪抵抗素子からなる多
くとも2つの第2の素子部とを備え、前記少なくとも2
つの第1の素子部および多くとも2つの第2の素子部に
より4つの素子部からなるブリッジ回路を構成するとと
もに、前記第1の素子部における温度特性調整抵抗の抵
抗値を調整することにより前記ブリッジ回路における2
つの出力の温度特性が略等しくなるようにしたもので、
この構成によれば、周囲の温度変化により出力が変動す
るということがなく、特性の安定した歪検出装置を提供
することができるものである。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、弾性材料からなる絶縁基板と、この絶縁基板の表面
に設けられ、かつ第1の歪抵抗素子とこの第1の歪抵抗
素子に直列に接続され抵抗温度係数が前記第1の歪抵抗
素子の抵抗温度係数と異なる温度特性調整抵抗とからな
る少なくとも2つの第1の素子部と、前記絶縁基板の表
面に設けられ、かつ前記第1の素子部に直列に接続され
た第2の歪抵抗素子からなる多くとも2つの第2の素子
部とを備え、前記少なくとも2つの第1の素子部および
多くとも2つの第2の素子部により4つの素子部からな
るブリッジ回路を構成するとともに、前記第1の素子部
における温度特性調整抵抗の抵抗値を調整することによ
り前記ブリッジ回路における2つの出力の温度特性が略
等しくなるようにしたもので、この構成によれば、絶縁
基板の表面に、第1の歪抵抗素子とこの第1の歪抵抗素
子と直列に接続され抵抗温度係数が前記第1の歪抵抗素
子の抵抗温度係数と異なる温度特性抵抗とからなる少な
くとも2つの第1の素子部を設けるとともに、前記第1
の素子部における温度特性調整抵抗の抵抗値を調整する
ことによりブリッジ回路における2つの出力の温度特性
が略等しくなるようにしているため、周囲の温度変化が
あっても、前記ブリッジ回路における2つの出力端子の
温度変化による出力変化率が互いに略等しくなるように
することが容易にできるという作用を有するものであ
る。
【0018】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の第1の素子部における第1の歪抵抗素子の抵抗値を温
度特性調整抵抗における抵抗値の10倍以上に設定する
とともに、前記第1の歪抵抗素子における抵抗温度係数
の絶対値を前記温度特性調整抵抗における抵抗温度係数
の絶対値の0.1倍以下に設定したもので、この構成に
よれば、第1の素子部における第1の歪抵抗素子の抵抗
値を温度特性調整抵抗における抵抗値の10倍以上に設
定するとともに、前記第1の歪抵抗素子における抵抗温
度係数の絶対値を前記温度特性調整抵抗における抵抗温
度係数の絶対値の0.1倍以下に設定しているため、温
度特性調整抵抗の抵抗値を調整しても第1の素子部の合
成抵抗が変化しにくくなり、これにより、ブリッジ回路
における2つの出力端子の温度変化による出力変化率が
互いに略等しくなるようにしても、第1の素子部の合成
抵抗がほとんど変化しないため、周囲の温度変化により
出力が変動するということはないとともに、測定する外
力が零でかつ初期温度における2つの出力端子の出力電
圧を互いに略等しくできるという作用を有するものであ
る。
【0019】請求項3に記載の発明は、弾性材料からな
る絶縁基板と、この絶縁基板の表面に設けられ、かつ第
1の歪抵抗素子とこの第1の歪抵抗素子に並列に接続さ
れ抵抗温度係数が前記第1の歪抵抗素子の抵抗温度係数
と異なる温度特性調整抵抗とからなる少なくとも2つの
第1の素子部と、前記絶縁基板の表面に設けられ、かつ
前記第1の素子部に直列に接続された第2の歪抵抗素子
からなる多くとも2つの第2の素子部とを備え、前記少
なくとも2つの第1の素子部および多くとも2つの第2
の素子部により4つの素子部からなるブリッジ回路を構
成するとともに、前記第1の素子部における温度特性調
整抵抗の抵抗値を調整することにより前記ブリッジ回路
における2つの出力の温度特性が略等しくなるようにし
たもので、この構成によれば、絶縁基板の表面に、第1
の歪抵抗素子とこの第1の歪抵抗素子と並列に接続され
抵抗温度係数が前記第1の歪抵抗素子の抵抗温度係数と
異なる温度特性調整抵抗とからなる少なくとも2つの第
1の素子部を設けるとともに、前記第1の素子部におけ
る温度特性調整抵抗の抵抗値を調整することによりブリ
ッジ回路における2つの出力の温度特性が略等しくなる
ようにしているため、周囲の温度変化があっても、前記
ブリッジ回路における2つの出力端子の温度変化による
出力変化率が互いに略等しくなるようにすることが容易
にできるという作用を有するものである。
【0020】以下、本発明の一実施の形態における歪検
出装置について、図面を参照しながら説明する。
【0021】図1は本発明の一実施の形態における歪検
出装置の斜視図、図2は同歪検出装置の回路図である。
【0022】図1,図2において、21は樹脂製あるい
は金属製の一対の固定台である。22は弾性材料からな
る絶縁基板で、この絶縁基板22は前記一対の固定台2
1を裏面の両端部に固着している。またこの絶縁基板2
2は例えばステンレス等のベース基材(図示せず)の上
面に絶縁ガラス層(図示せず)を設けることにより構成
されているものである。23は重り部材で、この重り部
材23は前記絶縁基板22の裏面の略中央から外方へ突
出するように設けられている。24は一対の第1の素子
部で、この一対の第1の素子部24はそれぞれ前記絶縁
基板22の表面に設けられ、かつ第1の歪抵抗素子25
と、この第1の歪抵抗素子25に回路パターン22aに
より直列に接続され抵抗温度係数が第1の歪抵抗素子2
5と異なる温度特性調整抵抗26とにより構成されてい
る。そして、前記第1の素子部24における温度特性調
整抵抗26の一端は電源端子27に電気的に接続してい
る。そしてまた、前記第1の素子部24における第1の
歪抵抗素子25は、一端を前記温度特性調整抵抗26の
他端に電気的に接続するとともに、他端を一対の出力端
子28に電気的に接続している。さらに、前記第1の素
子部24における第1の歪抵抗素子25の抵抗値を温度
特性調整抵抗26における抵抗値の10倍以上に設定す
るとともに、第1の歪抵抗素子25における抵抗温度係
数の絶対値を前記温度特性調整抵抗26における抵抗温
度係数の絶対値の0.1倍以下に設定している。29は
一対の第2の素子部で、この一対の第2の素子部29は
それぞれ前記絶縁基板22の表面に設けられ、かつ前記
第1の素子部24における第1の歪抵抗素子25の他端
に直列に接続された第2の歪抵抗素子30により構成さ
れており、この第2の歪抵抗素子30は一端を前記一対
の出力端子28に電気的に接続するとともに他端をGN
D端子31に電気的に接続している。そして、前記第1
の素子部24および第2の素子部29により4つの素子
部からなるブリッジ回路を構成している。
【0023】以上のように構成された本発明の一実施の
形態における歪検出装置について、次にその組立方法を
説明する。
【0024】まず、予め準備された金属ベース基材(図
示せず)にガラスペースト(図示せず)を印刷した後、
約850℃で約45分間焼成し、絶縁基板22を形成す
る。
【0025】次に、前記絶縁基板22の表面に位置して
メタルグレーズ系のカーボンのペーストを印刷し、約8
50℃で約45分間焼成し、前記絶縁基板22に第1の
歪抵抗素子25と温度特性調整抵抗26とからなる第1
の素子部24と、第2の歪抵抗素子30からなる第2の
素子部29を形成する。
【0026】次に、前記絶縁基板22の表面に位置して
銀のペーストを印刷し、約850℃で約45分間焼成
し、前記絶縁基板22における第1の素子部24の第1
の歪抵抗素子25および温度特性調整抵抗26と、第2
の素子部29における第2の歪抵抗素子30とが電気的
に接続されるように、前記絶縁基板22に電源端子2
7、一対の出力端子28、GND端子31および回路パ
ターン22aを形成する。
【0027】次に、前記絶縁基板22の裏面の両端部に
一対の固定台21を固着した後、絶縁基板22における
裏面の略中央から外方へ突出するように重り部材23を
固着する。
【0028】最後に、前記電源端子27を電源(図示せ
ず)に接続し電圧を印加するとともに、GND端子31
を接地した状態において、絶縁基板22の周囲温度を変
動させて、前記一対の出力端子28の温度変化による出
力変化率が互いに略等しくなるように、前記温度特性調
整抵抗26をトリミングする。
【0029】以上のように構成された本発明の一実施の
形態における歪検出装置について、次にその動作を説明
する。
【0030】重り部材23に例えば加速度等により外力
が作用すると、この外力により、絶縁基板22が変形す
る。この場合、絶縁基板22の表面には一対の第1の歪
抵抗素子25および一対の第2の歪抵抗素子30が設け
られているため、前記絶縁基板22の変形量に比例して
一対の第1の歪抵抗素子25および一対の第2の歪抵抗
素子30の抵抗値が変化する。そして、一対の第1の歪
抵抗素子25および一対の第2の歪抵抗素子30により
ブリッジ回路が構成されているため、前記一対の出力端
子28の電圧差により、前記重り部材23に加わる外力
を検出するものである。
【0031】ここで、本発明の一実施の形態における歪
検出装置の周囲の温度が劣化する場合について考えて見
ると、歪検出装置における一対の出力端子28のうちの
一方の出力端子28の温度変化による出力電圧の出力変
化率Aは次式
【0032】
【数3】
【0033】で表せられる。また、歪検出装置における
一対の出力端子28のうちの他方の出力端子28の温度
変化による出力電圧の出力変化率Bは次式
【0034】
【数4】
【0035】で表せられる。
【0036】そして、本発明の一実施の形態における歪
検出装置の出力が周囲の温度変化により変動しないよう
にするためには、歪検出装置における一対の出力端子2
8のうちの一方の出力端子28の温度変化による出力電
圧の出力変化率Aを、歪検出装置における一対の出力端
子28のうちの他方の出力端子28の温度変化による出
力電圧の出力変化率Bに略等しくすることが必要であ
る。ここで、歪検出装置における一対の出力端子28の
うちの一方の出力端子28の温度変化による出力電圧の
出力変化率Aを一対の温度特性調整抵抗26における一
方の温度特性調整抵抗26の抵抗値Reで微分すると、
次式
【0037】
【数5】
【0038】で表せられる。
【0039】また、歪検出装置における一対の出力端子
28のうちの他方の出力端子28の温度変化による出力
電圧の出力変化率Bを一対の温度特性調整抵抗26にお
ける他方の温度特性調整抵抗26の抵抗値Rfで微分す
ると、次式
【0040】
【数6】
【0041】で表せられる。すなわち、(数5)および
(数6)より、一対の温度特性調整抵抗26における一
方および他方の温度特性調整抵抗26の抵抗値Reおよ
びRfを変化させることにより、出力変化率Aおよび出
力変化率Bを容易に変化させることができるものであ
る。このように本発明の一実施の形態においては、絶縁
基板22の表面に、第1の歪抵抗素子25とこの第1の
歪抵抗素子25と直列に接続され抵抗温度係数が前記歪
抵抗素子25の抵抗温度係数と異なる温度特性調整抵抗
26とからなる少なくとも2つの第1の素子部24を設
けるとともに、前記第1の素子部24における温度特性
調整抵抗26の抵抗値を調整することによりブリッジ回
路における2つの出力の温度特性が略等しくなるように
しているため、周囲の温度変化があっても、前記ブリッ
ジ回路における一対の出力端子28の温度変化による出
力変化率が互いに略等しくなるようにすることが容易に
できるものである。
【0042】ここで、第1の素子部24における温度特
性調整抵抗26の抵抗値を50%変化させるとともに、
第1の歪抵抗素子25の抵抗値を変化させる場合を考え
て見ると、本発明の一実施の形態における歪検出装置に
おける第1の歪抵抗素子25および温度特性調整抵抗2
6の抵抗値を変化させたときの出力端子28の出力の変
化量は図3に示すように、第1の歪抵抗素子25の抵抗
値Rb,Rdを温度特性調整抵抗26の抵抗値Re,R
fの10倍以上に設定することにより、出力端子28に
おける出力電圧の変化率を1%以下にすることができる
ものである。さらに、通常、ブリッジ回路における各第
1の歪抵抗素子25および第2の歪抵抗素子30の抵抗
温度係数のバラツキによる変化量は最大10%であり、
裏を返せば、出力端子28における温度特性を最低でも
10%調整する必要があるため、図4に示すように、第
1の歪抵抗素子25における抵抗温度係数の絶対値β、
ζを温度特性調整抵抗26における抵抗温度係数絶対値
ε、δの0.1倍以下に設定しているものである。すな
わち、第1の素子部24における第1の歪抵抗素子25
の抵抗値を温度特性調整抵抗26における抵抗値の10
倍以上に設定するとともに、前記第1の歪抵抗素子25
における抵抗温度係数の絶対値を前記温度特性調整抵抗
26における抵抗温度係数の絶対値の0.1倍以下に設
定することにより、温度特性調整抵抗26の抵抗値を調
整しても第1の素子部24の合成抵抗が変化しにくくな
り、これにより、ブリッジ回路における一対の出力端子
28の温度変化による出力変化率が互いに略等しくなる
ようにしても、第1の素子部24の合成抵抗がほとんど
変化しないため、周囲の温度変化により出力が変動する
ということはないとともに、測定する外力が零でかつ初
期温度における一対の出力端子28の出力電圧を互いに
略等しくできるという効果を有するものである。
【0043】なお、上記本発明の一実施の形態における
歪検出装置においては、温度特性調整抵抗26を第1の
歪抵抗素子25に直列に接続する構成としたが、図5お
よび図6に示すように、温度特性調整抵抗26aを第1
の歪抵抗素子25aに並列に接続しても、本発明の一実
施の形態と同様の作用効果を有するものである。
【0044】
【発明の効果】以上のように本発明の歪検出装置は、弾
性材料からなる絶縁基板と、この絶縁基板の表面に設け
られ、かつ第1の歪抵抗素子とこの第1の歪抵抗素子に
直列に接続され抵抗温度係数が前記第1の歪抵抗素子の
抵抗温度係数と異なる温度特性調整抵抗とからなる少な
くとも2つの第1の素子部と、前記絶縁基板の表面に設
けられ、かつ前記第1の素子部に直列に接続された第2
の歪抵抗素子からなる多くとも2つの第2の素子部とを
備え、前記少なくとも2つの第1の素子部および多くと
も2つの第2の素子部により4つの素子部からなるブリ
ッジ回路を構成するとともに、前記第1の素子部におけ
る温度特性調整抵抗の抵抗値を調整することにより前記
ブリッジ回路における2つの出力の温度特性が略等しく
なるようにしたもので、この構成によれば、絶縁基板の
表面に、第1の歪抵抗素子とこの第1の歪抵抗素子と直
列に接続され抵抗温度係数が前記第1の歪抵抗素子の抵
抗温度係数と異なる温度特性調整抵抗とからなる少なく
とも2つの第1の素子部を設けるとともに、前記第1の
素子部における温度特性調整抵抗の抵抗値を調整するこ
とによりブリッジ回路における2つの出力の温度特性が
略等しくなるようにしているため、周囲の温度変化があ
っても、前記ブリッジ回路における2つの出力端子の温
度変化による出力変化率が互いに略等しくなるようにす
ることが容易にでき、その結果、特性の安定した歪検出
装置を提供することができるというすぐれた効果を有す
るものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態における歪検出装置の斜
視図
【図2】同歪検出装置の回路図
【図3】同歪検出装置の出力電圧の変化率を示す図
【図4】同歪検出装置の抵抗温度係数調整量を示す図
【図5】本発明の他の実施の形態における歪検出装置の
斜視図
【図6】同歪検出装置の回路図
【図7】従来の歪検出装置の斜視図
【図8】同歪検出装置の回路図
【符号の説明】
22 絶縁基板 24 第1の素子部 25,25a 第1の歪抵抗素子 26,26a 温度特性調整抵抗 29 第2の素子部 30 第2の歪抵抗素子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 弾性材料からなる絶縁基板と、この絶縁
    基板の表面に設けられ、かつ第1の歪抵抗素子とこの第
    1の歪抵抗素子に直列に接続され抵抗温度係数が前記第
    1の歪抵抗素子の抵抗温度係数と異なる温度特性調整抵
    抗とからなる少なくとも2つの第1の素子部と、前記絶
    縁基板の表面に設けられ、かつ前記第1の素子部に直列
    に接続された第2の歪抵抗素子からなる多くとも2つの
    第2の素子部とを備え、前記少なくとも2つの第1の素
    子部および多くとも2つの第2の素子部により4つの素
    子部からなるブリッジ回路を構成するとともに、前記第
    1の素子部における温度特性調整抵抗の抵抗値を調整す
    ることにより前記ブリッジ回路における2つの出力の温
    度特性が略等しくなるようにした歪検出装置。
  2. 【請求項2】 第1の素子部における第1の歪抵抗素子
    の抵抗値を温度特性調整抵抗における抵抗値の10倍以
    上に設定するとともに、前記第1の歪抵抗素子における
    抵抗温度係数の絶対値を前記温度特性調整抵抗における
    抵抗温度係数の絶対値の0.1倍以下に設定した請求項
    1記載の歪検出装置。
  3. 【請求項3】 弾性材料からなる絶縁基板と、この絶縁
    基板の表面に設けられ、かつ第1の歪抵抗素子とこの第
    1の歪抵抗素子に並列に接続され抵抗温度係数が前記第
    1の歪抵抗素子の抵抗温度係数と異なる温度特性調整抵
    抗とからなる少なくとも2つの第1の素子部と、前記絶
    縁基板の表面に設けられ、かつ前記第1の素子部に直列
    に接続された第2の歪抵抗素子からなる多くとも2つの
    第2の素子部とを備え、前記少なくとも2つの第1の素
    子部および多くとも2つの第2の素子部により4つの素
    子部からなるブリッジ回路を構成するとともに、前記第
    1の素子部における温度特性調整抵抗の抵抗値を調整す
    ることにより前記ブリッジ回路における2つの出力の温
    度特性が略等しくなるようにした歪検出装置。
JP11025842A 1999-02-03 1999-02-03 歪検出装置 Pending JP2000221084A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11025842A JP2000221084A (ja) 1999-02-03 1999-02-03 歪検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11025842A JP2000221084A (ja) 1999-02-03 1999-02-03 歪検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000221084A true JP2000221084A (ja) 2000-08-11

Family

ID=12177116

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11025842A Pending JP2000221084A (ja) 1999-02-03 1999-02-03 歪検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000221084A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003083820A (ja) * 2001-09-13 2003-03-19 Nippon Soken Inc 面圧センサ
JP2008180671A (ja) * 2007-01-26 2008-08-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 力学量センサ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003083820A (ja) * 2001-09-13 2003-03-19 Nippon Soken Inc 面圧センサ
JP2008180671A (ja) * 2007-01-26 2008-08-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 力学量センサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0239094B1 (en) Semiconductor strain gauge bridge circuit
US5719333A (en) Acceleration sensor
EP0053337A2 (en) Load cell and method of manufacturing the same
JP2639481B2 (ja) 荷重検出装置の温度補償方法
US6870236B2 (en) Integrated resistor network for multi-functional use in constant current or constant voltage operation of a pressure sensor
JPH03233975A (ja) 半導体センサ
EP1677089B1 (en) Integrated pressure sensor and method of manufacture
JP2000221084A (ja) 歪検出装置
JP2002139373A (ja) 重量センサ
JP2612100B2 (ja) 半導体圧力センサ
JP2934538B2 (ja) トランスジューサ回路とその製造方法
JPH11160170A (ja) 応力センサの製造方法
JPH1168118A (ja) 半導体センサの製造方法
JPH06207866A (ja) 荷重検出装置
JPH04131721A (ja) 応力センサ
JPH0820321B2 (ja) 薄膜ロードセル
JP2002039888A (ja) 半導体圧力センサのゲージ抵抗の位置設定方法
JPS6122766B2 (ja)
EP0269759A1 (en) Semiconductor strain gauge
JP2554881B2 (ja) ロ−ドセル
JPH06207865A (ja) 荷重検出装置
JP2536822B2 (ja) 計量装置用温度補償回路
JPS5940103A (ja) 歪センサ
JPS60242333A (ja) ロ−ドセル
JPH0634309A (ja) グラファイト組織歪率測定用センサ