JPH0820321B2 - 薄膜ロードセル - Google Patents
薄膜ロードセルInfo
- Publication number
- JPH0820321B2 JPH0820321B2 JP61283459A JP28345986A JPH0820321B2 JP H0820321 B2 JPH0820321 B2 JP H0820321B2 JP 61283459 A JP61283459 A JP 61283459A JP 28345986 A JP28345986 A JP 28345986A JP H0820321 B2 JPH0820321 B2 JP H0820321B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistance
- correction
- resistor
- gauge
- resistors
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- Measurement Of Force In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、重量センサや圧力センサに利用される薄膜
ロードセルに関するものである。
ロードセルに関するものである。
従来の技術 従来、アルミニユウム合金やステンレススチール等に
より形成された起歪体１の表面に絶縁被膜を形成し、そ
の上に薄膜技術により薄膜抵抗を形成し、パターニング
してブリツジ回路を形成している。そして、起歪体１と
しては、ベース等の固定部材に固定される固定部２と荷
重受部３との間に二つの孔４を形成し、これらの孔４に
より４個の薄肉変形部５が形成されている。
より形成された起歪体１の表面に絶縁被膜を形成し、そ
の上に薄膜技術により薄膜抵抗を形成し、パターニング
してブリツジ回路を形成している。そして、起歪体１と
しては、ベース等の固定部材に固定される固定部２と荷
重受部３との間に二つの孔４を形成し、これらの孔４に
より４個の薄肉変形部５が形成されている。
しかして、前記起歪体１の表面には入力端子としての
端子6,7と、出力端子としての端子8,9とが形成され、こ
れらの端子6,7,8,9の間に４個のゲージ抵抗10,11,12,13
と２個の第一の零バランス補正抵抗14,15と２個の第二
の零バランス補正抵抗16,17と２個の温度特性補正抵抗1
8,19とを組み合せたブリツジ回路20が薄膜技術によりパ
ターニングされて形成されている。
端子6,7と、出力端子としての端子8,9とが形成され、こ
れらの端子6,7,8,9の間に４個のゲージ抵抗10,11,12,13
と２個の第一の零バランス補正抵抗14,15と２個の第二
の零バランス補正抵抗16,17と２個の温度特性補正抵抗1
8,19とを組み合せたブリツジ回路20が薄膜技術によりパ
ターニングされて形成されている。
すなわち、各端子6,7,8,9の間に接続されている抵抗
は次の通りである。
は次の通りである。
［端子６と端子８との間］ ゲージ抵抗13 零バランス補正抵抗15 零バランス補正抵抗17 ［端子７と端子８との間］ ゲージ抵抗10 零バランス補正抵抗14 ［端子６と端子９との間］ ゲージ抵抗11 零バランス補正抵抗16 温度特性補正抵抗18 ［端子７と端子９との間］ ゲージ抵抗12 温度特性補正抵抗19 しかして、前述の各種の補正抵抗、すなわち、零バラ
ンス補正抵抗14,15,16,17と温度特性補正抵抗18,19との
構造は第７図と第８図とに示す抵抗値の異なる二種の抵
抗による二列並列のもの、第９図と第10図とに示す抵抗
値の異なる四種の抵抗による二列並列のもの、第11図と
第12図とに示す抵抗値の異なる六種の抵抗による二列並
列のものが採用されている。
ンス補正抵抗14,15,16,17と温度特性補正抵抗18,19との
構造は第７図と第８図とに示す抵抗値の異なる二種の抵
抗による二列並列のもの、第９図と第10図とに示す抵抗
値の異なる四種の抵抗による二列並列のもの、第11図と
第12図とに示す抵抗値の異なる六種の抵抗による二列並
列のものが採用されている。
発明が解決しようとする問題点 ブリツジ回路20の４辺の合成抵抗値がそれぞれ異なる
ため、環境試験等による抵抗変化が各辺まちまちであ
り、ブリツジのバランスが崩れやすいと云う問題があ
る。
ため、環境試験等による抵抗変化が各辺まちまちであ
り、ブリツジのバランスが崩れやすいと云う問題があ
る。
また、補正抵抗の並列数も二列であり、抵抗トリミン
グによるロードセル出力の調整範囲が狭く、微調整を行
うことが難しいという問題がある。
グによるロードセル出力の調整範囲が狭く、微調整を行
うことが難しいという問題がある。
問題点を解決するための手段 薄肉変形部を有する起歪体を設け、この起歪体の一面
に形成された絶縁膜上に各辺が薄膜抵抗よりなるゲージ
抵抗と補正抵抗とからなり前記ゲージ抵抗を前記薄肉変
形部に位置させたブリツジ回路を形成した薄膜ロードセ
ルにおいて、異なる抵抗値の複数の抵抗を並列に配置し
て前記補正抵抗を形成し、前記ゲージ抵抗と前記補正抵
抗とを組み合わせた抵抗値を各辺で一致させると共にす
べての辺の前記ゲージ抵抗と前記補正抵抗との形状を一
致させた。
に形成された絶縁膜上に各辺が薄膜抵抗よりなるゲージ
抵抗と補正抵抗とからなり前記ゲージ抵抗を前記薄肉変
形部に位置させたブリツジ回路を形成した薄膜ロードセ
ルにおいて、異なる抵抗値の複数の抵抗を並列に配置し
て前記補正抵抗を形成し、前記ゲージ抵抗と前記補正抵
抗とを組み合わせた抵抗値を各辺で一致させると共にす
べての辺の前記ゲージ抵抗と前記補正抵抗との形状を一
致させた。
作用 複数の抵抗を並列に配置して補正抵抗を形成している
ため、ブリツジ回路の各辺の抵抗値を一致させるための
微妙な調整が可能であり、ブリツジ回路の各辺のゲージ
抵抗と補正抵抗との合成抵抗値を等しくすることが簡単
にでき、ロードセル無負荷時のロードセル出力を零ボル
トに近付けることができ、また、ブリツジ回路のすべて
の辺のゲージ抵抗と補正抵抗との形状が一致しているこ
とから、環境試験等による抵抗変化量を各辺で等しくす
ることができ、ロードセル出力の変化を小さくすること
ができるものである。
ため、ブリツジ回路の各辺の抵抗値を一致させるための
微妙な調整が可能であり、ブリツジ回路の各辺のゲージ
抵抗と補正抵抗との合成抵抗値を等しくすることが簡単
にでき、ロードセル無負荷時のロードセル出力を零ボル
トに近付けることができ、また、ブリツジ回路のすべて
の辺のゲージ抵抗と補正抵抗との形状が一致しているこ
とから、環境試験等による抵抗変化量を各辺で等しくす
ることができ、ロードセル出力の変化を小さくすること
ができるものである。
実施例 本発明の一実施例を第１図乃至第４図に基づいて説明
する。まず、起歪体21の表面には絶縁被膜が形成され、
この絶縁被膜の上に薄膜抵抗をパターニングしたブリツ
ジ回路22が形成されている。このブリツジ回路22は前記
起歪体21の図示しない薄肉変形部に位置させた４個のゲ
ージ抵抗23,24,25,26と同一形状に形成された４個の零
バランス補正抵抗27と同一形状に形成された４個の温度
特性補正抵抗28とよりなる。そして、入力端子としての
端子29,30と出力端子としての端子31,32とが設けられ、
これらの端子間に前記ブリツジ回路22が形成されてい
る。
する。まず、起歪体21の表面には絶縁被膜が形成され、
この絶縁被膜の上に薄膜抵抗をパターニングしたブリツ
ジ回路22が形成されている。このブリツジ回路22は前記
起歪体21の図示しない薄肉変形部に位置させた４個のゲ
ージ抵抗23,24,25,26と同一形状に形成された４個の零
バランス補正抵抗27と同一形状に形成された４個の温度
特性補正抵抗28とよりなる。そして、入力端子としての
端子29,30と出力端子としての端子31,32とが設けられ、
これらの端子間に前記ブリツジ回路22が形成されてい
る。
しかして、各端子31,32間に接続されている薄膜抵抗
は次の通りである。
は次の通りである。
［端子29と端子31との間］ ゲージ抵抗26 零バランス補正抵抗27 温度特性補正抵抗28 ［端子30と端子31との間］ ゲージ抵抗23 零バランス補正抵抗27 温度特性補正抵抗28 ［端子29と端子32との間］ ゲージ抵抗24 零バランス補正抵抗27 温度特性補正抵抗28 ［端子30と端子32との間］ ゲージ抵抗25 零バランス補正抵抗27 温度特性補正抵抗28 ついで、前記零バランス補正抵抗27と前記温度特性補
正抵抗28とは互いに連続して形成されているものである
が、前記零バランス補正抵抗27は抵抗値の異なる三種の
抵抗R4，R5，R6が三列並列されて三段設けられ、前記温
度特性補正抵抗28は抵抗値の異なる三種の抵抗R1，R2，
R3が五列並列されて三段設けられているものである。こ
れらの補正抵抗の実体図は第３図に示すものであり、そ
の回路図は第４図に示すものである。
正抵抗28とは互いに連続して形成されているものである
が、前記零バランス補正抵抗27は抵抗値の異なる三種の
抵抗R4，R5，R6が三列並列されて三段設けられ、前記温
度特性補正抵抗28は抵抗値の異なる三種の抵抗R1，R2，
R3が五列並列されて三段設けられているものである。こ
れらの補正抵抗の実体図は第３図に示すものであり、そ
の回路図は第４図に示すものである。
このようにして形成される前記ブリツジ回路22の各辺
の形状はすべて合同または対称形の同一形状に形成され
ているものである。
の形状はすべて合同または対称形の同一形状に形成され
ているものである。
このような構成において、ゲージ抵抗23,24,25,26の
値は同一抵抗値を示すようにパターニングされるが、そ
れでも各辺の合成抵抗値に変動がある場合、または、零
バランスをとつたり、温度特性を調整したりする場合に
は、零バランス補正抵抗27と温度特性補正抵抗28との導
体部をトリミングして抵抗値の調整を行う。これらの零
バランス補正抵抗27と温度特性補正抵抗28との構造が三
列以上並列に設けられており、かつ、多段に設けられて
いることから、微妙な調整が可能である。
値は同一抵抗値を示すようにパターニングされるが、そ
れでも各辺の合成抵抗値に変動がある場合、または、零
バランスをとつたり、温度特性を調整したりする場合に
は、零バランス補正抵抗27と温度特性補正抵抗28との導
体部をトリミングして抵抗値の調整を行う。これらの零
バランス補正抵抗27と温度特性補正抵抗28との構造が三
列以上並列に設けられており、かつ、多段に設けられて
いることから、微妙な調整が可能である。
しかも、ブリツジ回路22の各辺の形状が同一であるの
で、環境試験等による抵抗変化が各辺で同じであり、ブ
リツジのバランスが崩れることがない。
で、環境試験等による抵抗変化が各辺で同じであり、ブ
リツジのバランスが崩れることがない。
なお、実施に当つてはブリツジ回路22の表面は保護膜
により覆われるように構成する。
により覆われるように構成する。
発明の効果 本発明は上述のように、薄肉変形部を有する起歪体を
設け、この起歪体の一面に形成された絶縁膜上に各辺が
薄膜抵抗よりなるゲージ抵抗と補正抵抗とからなり前記
ゲージ抵抗を前記薄肉変形部に位置させたブリツジ回路
を形成した薄膜ロードセルにおいて、異なる抵抗値の複
数の抵抗を並列に配置して前記補正抵抗を形成し、前記
ゲージ抵抗と前記補正抵抗とを組み合わせた抵抗値を各
辺で一致させると共にすべての辺の前記ゲージ抵抗と前
記補正抵抗との形状を一致させたので、複数の抵抗を並
列に配置して補正抵抗を形成しているため、ブリツジ回
路の各辺の抵抗値を一致させるための微妙な調整が可能
であり、ブリツジ回路の各辺のゲージ抵抗と補正抵抗と
の合成抵抗値を等しくすることが簡単にでき、ロードセ
ル無負荷時のロードセル出力を零ボルトに近付けること
ができ、また、ブリツジ回路のすべての辺のゲージ抵抗
と補正抵抗との形状が一致していることから、環境試験
等による抵抗変化量を各辺で等しくすることができ、ロ
ードセル出力の変化を小さくすることができる等の効果
を有する。
設け、この起歪体の一面に形成された絶縁膜上に各辺が
薄膜抵抗よりなるゲージ抵抗と補正抵抗とからなり前記
ゲージ抵抗を前記薄肉変形部に位置させたブリツジ回路
を形成した薄膜ロードセルにおいて、異なる抵抗値の複
数の抵抗を並列に配置して前記補正抵抗を形成し、前記
ゲージ抵抗と前記補正抵抗とを組み合わせた抵抗値を各
辺で一致させると共にすべての辺の前記ゲージ抵抗と前
記補正抵抗との形状を一致させたので、複数の抵抗を並
列に配置して補正抵抗を形成しているため、ブリツジ回
路の各辺の抵抗値を一致させるための微妙な調整が可能
であり、ブリツジ回路の各辺のゲージ抵抗と補正抵抗と
の合成抵抗値を等しくすることが簡単にでき、ロードセ
ル無負荷時のロードセル出力を零ボルトに近付けること
ができ、また、ブリツジ回路のすべての辺のゲージ抵抗
と補正抵抗との形状が一致していることから、環境試験
等による抵抗変化量を各辺で等しくすることができ、ロ
ードセル出力の変化を小さくすることができる等の効果
を有する。
第１図は本発明の一実施例を示すものでパターニングさ
れたブリツジ回路の平面図、第２図はその回路図、第３
図は補正抵抗のパターンを示す平面図、第４図はその回
路図、第５図は従来の一例を示すパターニングされたブ
リツジ回路の平面図、第６図はその回路図、第７図は補
正抵抗のパターンを示す平面図、第８図はその回路図、
第９図は補正抵抗の他のパターンを示す平面図、第10図
はその回路図、第11図は補正抵抗のさらに他のパターン
を示す平面図、第12図はその回路図、第13図は起歪体の
斜視図である。 22……ブリツジ回路、23,24,25,26……ゲージ抵抗、27
……零バランス補正抵抗、28……温度特性補正抵抗、2
9,30,31,32……端子
れたブリツジ回路の平面図、第２図はその回路図、第３
図は補正抵抗のパターンを示す平面図、第４図はその回
路図、第５図は従来の一例を示すパターニングされたブ
リツジ回路の平面図、第６図はその回路図、第７図は補
正抵抗のパターンを示す平面図、第８図はその回路図、
第９図は補正抵抗の他のパターンを示す平面図、第10図
はその回路図、第11図は補正抵抗のさらに他のパターン
を示す平面図、第12図はその回路図、第13図は起歪体の
斜視図である。 22……ブリツジ回路、23,24,25,26……ゲージ抵抗、27
……零バランス補正抵抗、28……温度特性補正抵抗、2
9,30,31,32……端子
Claims (1)
- 【請求項１】薄肉変形部を有する起歪体を設け、この起
歪体の一面に形成された絶縁膜上に各辺が薄膜抵抗より
なるゲージ抵抗と補正抵抗とからなり前記ゲージ抵抗を
前記薄肉変形部に位置させたブリツジ回路を形成した薄
膜ロードセルにおいて、異なる抵抗値の複数の抵抗を並
列に配置して前記補正抵抗を形成し、前記ゲージ抵抗と
前記補正抵抗とを組み合わせた抵抗値を各辺で一致させ
ると共にすべての辺の前記ゲージ抵抗と前記補正抵抗と
の形状を一致させたことを特徴とする薄膜ロードセル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61283459A JPH0820321B2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 薄膜ロードセル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61283459A JPH0820321B2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 薄膜ロードセル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63135832A JPS63135832A (ja) | 1988-06-08 |
| JPH0820321B2 true JPH0820321B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=17665820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61283459A Expired - Fee Related JPH0820321B2 (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 薄膜ロードセル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820321B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101503642B1 (ko) * | 2014-03-27 | 2015-03-17 | 이연석 | 출력 특성을 보상할 수 있는 하중 측정 장치 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2507432B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1996-06-12 | 日本電気株式会社 | ロ−ドセルのゼロ点補正方法 |
| JP2008151596A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Tanita Corp | ロードセルおよび質量計 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5979103A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-08 | Tokyo Electric Co Ltd | 歪センサ |
| JPS6038630A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ロ−ドセルブリッジ回路の配線方法 |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP61283459A patent/JPH0820321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101503642B1 (ko) * | 2014-03-27 | 2015-03-17 | 이연석 | 출력 특성을 보상할 수 있는 하중 측정 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63135832A (ja) | 1988-06-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |