JP2000221108A

JP2000221108A - 光ファイバ健全性検査装置

Info

Publication number: JP2000221108A
Application number: JP11023219A
Authority: JP
Inventors: Takashi Sakurai; 隆桜井; Hidetaka Okado; 秀毅尾角
Original assignee: Kawasaki Heavy Industries Ltd
Current assignee: Kawasaki Heavy Industries Ltd
Priority date: 1999-01-29
Filing date: 1999-01-29
Publication date: 2000-08-11

Abstract

(57)【要約】【課題】高出力レーザを光ファイバに導入する前に光
ファイバの健全性を検査することができ、またレーザ加
工中にも光ファイバの状態を検査できるようにした、よ
り簡便な光ファイバ健全性検査装置を提供する。【解決手段】加工用レーザ発振器１と光ファイバ３と
レーザ加工ヘッド４を備えたレーザ加工装置に適用する
もので、加工用レーザ光とは波長が異なる検査用レーザ
光を発生する検査用レーザ発振器２を備え、検査用レー
ザ光を光ファイバ３に導入してレーザ加工ヘッド４から
戻ってくる検査用レーザ光を加工用レーザの放出端近傍
において検出することにより、光ファイバ３やレーザ加
工ヘッド４の異常を検知する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高出力レーザを輸
送する光ファイバの健全性を検査する装置に関し、特に
加工ヘッドにおけ等の光学系に接続される導光用ファイ
バの健全性を検査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】対象物に高出力レーザを照射して加工す
るレーザ加工装置では、光ファイバを用いて導光した場
合、被加工物で反射したレーザ光が照射光路と同じ光路
を戻ってきて光ファイバの端部に当たり加熱して損傷を
与えることがある。高強度のレーザ光が光ファイバに直
接戻ってくるのを防ぐためレーザ光の光軸を対象物面の
法線方向から若干ずらして使用することもあるが、レー
ザ光のうち加工部分で乱反射した成分や加工部分からの
熱輻射成分があり、これらはレーザ光照射におけると逆
の経路をたどって光ファイバの射出端位置に収束する。

【０００３】このとき、照準が光ファイバのコア部分か
ら外れて周辺部分に照射すると、耐熱性能の低い樹脂製
被覆等が強いレーザ光で溶融したり燃焼したりして光フ
ァイバの機能を失うことになる。さらに損傷を受けた光
ファイバからレーザ光が漏れて火災になる場合もある。
また、光ファイバケーブルの内部で光ファイバが破損し
た場合には、対象物まで加工用レーザが到達しないばか
りか破損部分から漏洩するレーザ光により被覆部分や周
囲の機器が損焼したり火災になる危険がある。

【０００４】このような危険を早期に発見するため、従
来から、導光用ファイバの健全性を検査するモニタ装置
を備えたレーザ加工装置が用いられてきた。このような
モニタ装置として、たとえば導光用ファイバのレーザ射
出側端面に検査用の照明光を射入して導光用ファイバ内
を伝搬してくる照明光を射入側端面で測定して異常を検
知するものがあった。モニタ装置を用いて光ファイバに
異常がないことを確認してから加工用レーザを射入する
ようにすれば、安全が確保できる。しかし、この方法で
は、加工側端面に照明装置など特殊な部品を設備する必
要があり使い勝手が悪く、また高出力レーザが供給され
ている間は光強度に差がありすぎるため検査用照明光を
検出することができないのでレーザ加工等の実行中には
検査を行うことができないという不便があった。

【０００５】これに対して、特開昭６０−２１０３８７
号公報には、導光ファイバのレーザ入射端の周囲に軸対
称に光センサを設けておき、被加工物で反射してレーザ
出射端に戻り光ファイバ内を伝搬してきて入射端から放
出されるレーザ光の放出角度分布に偏りが生じたところ
を検出することにより光ファイバの異常を検知し、レー
ザ光を遮断して光ファイバの破損を防止する装置が開示
されている。この開示方法によれば、加工ヘッド部分に
大きな装置を設ける必要がないため加工ヘッドの取り扱
いが容易になり、また加工中に光ファイバの欠陥を検出
することができる。しかし、加工用レーザを光ファイバ
に射入して初めて光ファイバの欠陥を検出するものであ
るため、使用前に欠陥を知って事故を防止することがで
きない。

【０００６】さらに、特開平５−２７７７７５号公報に
は、加工用レーザ光とは異なる波長を有する参照光を用
いて光ファイバの健全性を検査する方法が開示されてい
る。この方法は、加工ヘッドに形成されるコリメータ中
の平行光線化する位置に検知用レーザ光を選択的に反射
するミラーを備え、検知用レーザ光を加工用レーザ光と
共に光ファイバに射入し、この反射ミラーで反射して再
度光ファイバを透過し入射側に戻ってくる検知用レーザ
光を検知するものである。レーザ加工中に検知器により
検知用レーザ光の強度あるいはレーザ光の有無を測定
し、その結果に基づいて加工用レーザ発振器の出力を停
止させることにより、レーザ加工装置と周囲の機器の安
全を保持することができる。

【０００７】上記公報に開示された装置は、加工光学系
のコリメータ中にミラーを配設して検知用レーザ光を平
行光線のまま反射させ逆の経路をたどって光ファイバの
射出端に戻す必要がある。加工光学系は主として加工用
レーザに適合するように設計製作されるが、波長の異な
る検査用レーザ光も正確に射出端で焦点を結ぶようにし
なければならない。したがって、加工光学系の厳格な設
計と精密な製作が必要で装置が高価になる傾向がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明が解決
しようとする課題は、高出力レーザを光ファイバに導入
する前に光ファイバの健全性を検査することができるよ
うにしたより簡単な検査装置を提供することであり、ま
た、光ファイバの状態をレーザ加工中にも検査できるよ
うにしたより簡便な光ファイバ健全性検査装置を提供す
ることである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の光ファイバ健全性検査装置は、加工用レー
ザ光を発生する加工用レーザ発振器と、加工用レーザ光
を搬送する光ファイバと、光ファイバから放射される加
工用レーザ光を収束して対象物に照射するレーザ加工ヘ
ッドを備えたレーザ加工装置に適用するもので、加工用
レーザ光とは波長が異なる検査用レーザ光を発生する検
査用レーザ発振器を備え、検査用レーザ光を光ファイバ
に導入してレーザ加工ヘッドから戻ってくる検査用レー
ザ光を加工用レーザの放出端近傍において検出すること
により、光ファイバの異常を検知することを特徴とす
る。

【００１０】本発明の光ファイバ健全性検査装置は、光
ファイバを透過してきた検査用レーザ光がレーザ加工ヘ
ッドの光学系に当たって反射（乱反射を含む）する成分
を検出するもので、検査用レーザ光が加工用レーザ光放
出端に焦点を結ぶ必要はないので、特開平５−２７７７
７５号公報に開示されたもののような複雑で精密な光学
系を用いずに光ファイバの健全性を確認することができ
る。なお、本発明の光ファイバ健全性検査装置は、加工
用レーザ光とは別の検査用レーザ光を用いて検査するの
で、高出力の加工用レーザ光を通す前に光ファイバの健
全性を確認することができ、安全性が高い。

【００１１】また、レーザ加工中においてもレーザ加工
ヘッドから反射してくる検査用レーザ光を捕捉して光フ
ァイバの異常を監視し続けることができる。さらに、金
属ヒュームの付着などによるレンズ表面の汚れやこのよ
うな汚れにレーザ光が吸収されて過熱しレンズが破損し
たときなど、レーザ加工ヘッドの光学系に異常があった
場合も、検知用レーザ光の強度を測定することにより異
常を検出することが可能である。

【００１２】なお、光検出器は、光センサを光ファイバ
のレーザ光放出端近傍に設けることによって構成しても
よいが、光ファイバのレーザ光放出端に隣接して受光端
を設置した第２の光ファイバにより遠隔の光検出センサ
に導くようにしてもよい。このように第２光ファイバを
用いる場合は、加工用レーザ光が伝送される光ファイバ
を収納するシースの中に第２光ファイバを一緒に収納
し、受光端を加工用レーザ光放出端の極く近傍に並ぶよ
うに配設すれば、光ファイバ終端部分の構造も簡単で小
型になり、取り扱いも簡便である。

【００１３】また、レーザ加工ヘッドの光学素子の表面
に検査用レーザ光を反射するコーティングを施しておく
ことが好ましい。検査用レーザ光に対して反射率が高
く、加工用レーザ光に対しては反射を防止するようなコ
ーティングを施すことにより、加工効率を低下させない
で光ファイバ異常検出能力を増大させることができる。
あるいは、レーザ加工ヘッドの光学系のうち被加工物に
最も近いところに保護ガラスを備え、この保護ガラスに
検査用レーザ光を反射するコーティングを施してもよ
い。保護ガラスは、アシストガスのパージと共に、加工
部分で発生する金属ヒュームが光学系を汚染することを
防ぐものである。

【００１４】保護ガラスは平板であるので、表面に波長
選択性のあるコーティングを施すのは比較的容易であ
る。また保護ガラスの位置ではレーザ光は収束傾向の光
線になっているので、保護ガラスで反射した検査用レー
ザは加工用光ファイバの放出端に焦点を結ぶことなく、
光ファイバのレーザ光放出面で大きく広がって放出端に
隣接して設置された光センサあるいは第２光ファイバの
受光端に入射するようになる。なお、加工用レーザ発振
器としてヨウ素レーザ発生装置を用いることができる。
ヨウ素レーザは赤外線レーザであって比較的容易に高出
力化でき、溶接、溶断など熱作用を利用したレーザ加工
に使用することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明について実施例に基
づき図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の光
ファイバ健全性検査装置の第１の実施例を用いたレーザ
加工装置を示す全体構成図、図２はその光検出器の電気
回路ブロック図、図３は本発明の第２の実施例に用いる
レーザ加工ヘッド部分の断面図、図４はその検査用レー
ザ光の光路を説明する図面、図５は本発明の第３の実施
例に用いる光検出器を説明する構成図である。

【００１６】

【実施例１】本実施例は、加工用レーザと波長の異なる
参照用レーザを光ファイバに射入して、光ファイバを透
過・伝播してレーザ加工ヘッドの光学系で反射して戻る
参照用レーザを観測することにより、光ファイバの異常
を検知する光ファイバ健全性検査装置である。本実施例
の光ファイバ健全性検査装置は、加工用レーザを発生す
る第１のレーザ発振器１と、参照用レーザを発生する第
２のレーザ発振器２と、レーザ光を伝送する光ファイバ
ケーブル３と、レーザ加工ヘッド４と、レーザ加工ヘッ
ド４から反射してくる参照用レーザを受光する光検知器
５とを備えている。

【００１７】第１レーザ発振器１はヨウ素レーザ発生装
置、第２レーザ発振器２はＨe-Ｎeレーザ発生器であ
る。光ファイバケーブル３は第１の光ファイバ３１と第
２の光ファイバ５１を収容している。第１光ファイバ３
１は加工用レーザおよび検査用レーザ（参照光）を伝送
するためのもので、第２光ファイバ５１は反射した参照
光およびヨウ素レーザを伝送するための光ファイバであ
る。光ファイバケーブル３の中間に配設された分岐金具
３２で、第１光ファイバ３１をレーザ発振器１，２から
レーザ光を導く入射光学系に、また第２光ファイバ５１
を光検出端５３に連結するように分岐している。

【００１８】第１光ファイバにレーザ光を入射するため
の入射光学系は反射鏡１１と収束レンズ１３を備える。
反射鏡１１は、ヨウ素レーザを全反射しＨe-Ｎeレーザ
を透過するように表面処理されている。第１レーザ発振
器１から放射されたヨウ素レーザは、反射鏡１１で反射
して集束レンズ１３により第１光ファイバ３１に注入さ
れる。また、第２レーザ発振器２から放射される参照用
レーザは、反射鏡１１を透過してヨウ素レーザと光軸を
同じくして集束レンズ１３を介し第１光ファイバ３１に
注入される。第１光ファイバ３１の先端はレーザ加工ヘ
ッド４の根元に挿入されていて、先端から放出されたレ
ーザ光は加工レンズ系により収束され被加工対象物８の
加工位置に照射して、溶接溶断その他のレーザ加工を行
う。

【００１９】また、第１光ファイバ３１中を伝送される
参照用レーザ光はコリメータ部分で反射して第２光ファ
イバ５１に入射する。第２光ファイバ５１の受光端５２
は第１光ファイバ３１の光軸に近接して設けられてい
る。受光端５２が受け入れる参照用レーザ光はコリメー
タの光学系で乱反射したものであればよいから、従来方
法のように光学的に精密な構造を備える必要がない。な
お、コリメータ部分の光学レンズに加工用レーザを透過
しこれと波長が異なる参照光を反射する表面処理を施す
ことにより、加工効率を維持しながら参照光の捕捉率を
高めることができる。

【００２０】受光端５２から第２光ファイバ５１に入射
した参照用レーザは光検出器５の光検出端５３に伝送さ
れ、光強度や光の有無を測定検出して光ファイバ３１の
良否を判定し、ヨウ素レーザ装置１を制御して装置の安
全を確保する。光検出器５の構成は図２に示す通りであ
る。第２光ファイバ５１は光コネクタ５４に接続され、
受光端５２で捉えた参照用レーザを光センサ５６に伝送
する。光センサ５６は可視光に感度を有するフォトダイ
オードである。フォトダイオードの他にフォトセルなど
を使用することもできる。

【００２１】光コネクタ５４には、参照用レーザの波長
帯を選択的に透過するフィルタ５５が設けられていて参
照光以外の光を遮蔽し、光センサ５６には参照用レーザ
光のみが到達するようになっている。光センサ５６の出
力は増幅器５７で増幅して比較器５８に送られ、比較器
５８で閾値と比較し所定の範囲に属しないときおよび出
力が小さいときには、異常と判断して警報ランプ６０を
点灯し出力回路６１に信号を送る。出力回路６１は、こ
の信号に基づいて有接点リレーあるいは無接点リレーを
作動させレーザ発生装置等に駆動信号６２を供給する。
レーザ発生装置は駆動信号を受けてシャッターを閉じた
りレーザ光発振を停止したりして装置の安全を確保す
る。なお、比較器５８で用いる閾値は外部設定信号５９
により設定することができる。

【００２２】光ファイバレーザ加工にはヨウ素レーザや
ＹＡＧレーザなど高出力化が可能な赤外線レーザが用い
られる。本実施例では高出力のヨウ素レーザを用いた
が、レーザ加工用レーザが何であれ本発明の技術的思想
に差異がない。また、参照用レーザは、レーザ加工に用
いるヨウ素レーザと異なる波長を持ち光学的に区別しや
すいものであればよいが、本実施例では扱いが簡単な可
視光レーザであるＨe-Ｎeレーザを選択した。

【００２３】本実施例の光ファイバ健全性検査装置を組
み込んだレーザ加工装置は、レーザ加工ヘッド４の部分
に第２光ファイバの受光端５２を露出させるだけで余分
な付加物を設ける必要がない。また、高い可撓性を有す
る第２光ファイバ５１を光ファイバケーブル３内に添設
するだけでありケーブルの可撓性を損なわないので、レ
ーザ加工ヘッド４を自由に操作することができ、レーザ
加工における操作性を妨げない。また、加工ヘッド４も
従来のものをそのまま使用することができ、この光ファ
イバ健全性検査装置を使用するために改造する必要はな
い。

【００２４】本実施例を適用したレーザ加工装置では、
加工用レーザを第１光ファイバ３１に注入する前に参照
光を注入して、第１光ファイバ３１を透過した後レーザ
加工ヘッド４から反射してきた参照光を観測する。この
とき、第１光ファイバ３１中に異常があれば参照光が十
分終端まで伝送されず受光量が小さくなるので、第１光
ファイバ３１の健全性を確認することができる。また、
レーザ加工ヘッド４のレンズが無い場合には受光量が小
さくなり、レンズ等が金属ヒュームなどで汚れている場
合は受光量が大きくなる。

【００２５】このため、参照光の強度を検出することに
より、不健全な光ファイバに高出力な加工用レーザを注
入して火災などの事故を生起させたり異常のあるレーザ
加工ヘッドを使用したりすることを確実に予防できる。
また、レーザ加工中においても、加工用レーザと一緒に
検査用レーザを第１光ファイバ３１に注入して、検査用
レーザの受光量を観測することにより、光ファイバや加
工ヘッドなど光学系における異常を検出することができ
る。

【００２６】

【実施例２】本発明の第２実施例は、第１実施例と比較
して、レーザ加工ヘッドに保護ガラスを備え、この保護
ガラスに加工用レーザを透過し検査用レーザを反射する
ような表面処理を施した点のみが異なる光ファイバ健全
性検査装置である。以下、第１実施例と異なる部分につ
いて詳しく説明する。以下の説明においては、第１実施
例におけると同じ機能を有する構成要素について同じ参
照番号を用いて説明を簡約にする。

【００２７】図３は、レーザ加工ヘッド４の部分を表す
部分断面図である。レーザ加工ヘッド４の端部には第１
光ファイバ３１と第２光ファイバ５１を収納した光ファ
イバケーブル３が挿入され光学的に接続されている。第
１光ファイバ３１の軸はレーザ加工ヘッド４の中心軸に
合わされていて、第２光ファイバ５１の先端は中心軸か
ら僅かに偏心した位置に露出している。レーザ加工ヘッ
ド４は円筒状になっていて内部の空洞に２組の凸レンズ
系４１，４２と保護ガラス４８が組み込まれている。保
護ガラス４８には、加工用レーザを透過し検査用レーザ
を反射するような表面処理が施されている。保護ガラス
４８は平板なので表面処理はレンズに施すのと比べて格
段に容易になる。

【００２８】保護ガラス４８の下流には側面に設けられ
たガスノズル４４からアシストガスが導入され、レーザ
加工ヘッド４の先端の加工ノズル４５の開口部に向けて
パージ用の気流を発生させて、レーザ加工ヘッド４内の
光学系が加工部で発生する金属ヒュームなどで汚されな
いようにしている。第１光ファイバ３１からは加工用レ
ーザと検査用レーザが放射される。加工用レーザは、図
４の実線で示すように、第１の凸レンズ系４１で平行光
線化し、さらに第２の凸レンズ系４２で収束して、加工
ノズル４５の先端開口を通って被加工物８に照射してレ
ーザ加工を行う。加工用レーザは加工部で反射する場合
があるが、この反射成分は照射時とは逆の光路をたどっ
て第１光ファイバ３１の先端位置に焦点を結び第１光フ
ァイバ３１を逆進して入射端から放出される。

【００２９】一方、検査用レーザは、集束する光線にな
る位置に設けられた保護ガラス４８で反射して２組のレ
ンズ系４２，４１を透過し光ファイバケーブル３の先端
位置まで戻る。この戻り経路は、図４の破線に示すよう
に、照射方向の経路と異なり光ファイバケーブル３先端
位置において拡散しているので、反射してきた検査用レ
ーザは第２光ファイバ５１の受光端５２に入射する。第
２光ファイバ５１に入射する検査用レーザは、第１光フ
ァイバ３１に損傷などの異常があるときやレンズ系に汚
染があるときには光強度が変化し、レンズ系が付いてい
ないときや保護ガラスが破損したときにはレーザ光が戻
ってこなくなる。

【００３０】なお、光学系に誤差があると第１光ファイ
バ３１のコアから外れて熱的に弱い被覆部等に当たり、
光ファイバケーブル３を焼損する懼れがある。このよう
な場合は、燃焼に伴い発生する光が混入して第２光ファ
イバ５１を介して光検出センサに伝送されてくる光強度
が不安定になるので、故障を推定することができる。

【００３１】

【実施例３】図５は本発明の第３の実施例に用いられる
光検出器の部分を表すブロック図である。本実施例は、
検査用レーザに加えて第２光ファイバ５１の受光端に入
射する加工用レーザを測定し情報を複合することによ
り、より確実に故障を発見しようとするものである。以
下、上記の実施例と異なる部分について詳しく説明する
ものとし、上記実施例におけると同じ機能を有する構成
要素について同じ参照番号を用いて説明を簡約にする。

【００３２】光検出器５は、受光端５２をレーザ加工ヘ
ッド４内に露出させた第２光ファイバ５１と、光コネク
タ５４を介して第２光ファイバ５１を結合した光検出端
５３とからなる。光検出端５３は、第２光ファイバ５１
で伝送されてくるレーザ光を光学的に分岐して加工用レ
ーザ光と検査用レーザ光をそれぞれ測定する。光検出端
５３の内部には、集束レンズ６３、ダイクロイックミラ
ー６４、帯域通過フィルタ６５，６７、光センサ６６，
６８、信号処理装置６９が収納されている。ダイクロイ
ックミラー６４は検査用レーザ光を透過し加工用レーザ
光を反射するような表面処理が施されている。また、ダ
イクロイックミラー６４を透過した位置に設けられた帯
域通過フィルタ６５は、検査用レーザ光を透過させるコ
ーティングが施されており、ダイクロイックミラー６４
で反射した光が入射する帯域通過フィルタ６７は加工用
レーザ光を透過させるコーティングが施されている。

【００３３】第２光ファイバ５１から放出されるレーザ
光は、集束レンズ６３で平行光に変化しダイクロイック
ミラー６４に射入する。ダイクロイックミラー６４を透
過して直進するレーザ光は、帯域通過フィルタ６５で検
査用レーザ光成分のみが抽出されて光センサ６６に入射
し光強度が測定される。一方、ダイクロイックミラー６
４で反射するレーザ光は、帯域通過フィルタ６７で加工
用レーザ光成分のみが抽出されて光センサ６８で測定さ
れる。光センサ６６，６８の測定出力は信号処理装置６
９に送られて、それぞれ閾値と比較され光ファイバやレ
ーザ加工ヘッドに異常があるか否かの判定が行われる。
異常が発生した懼れがあるときは、ランプや音声により
警報を発すると共に、必要に応じてレーザ発振器を直接
停止し事故を予防する。

【００３４】加工用レーザを搬送する第１光ファイバ３
１に異常がある場合は、第２光ファイバ５１の受光端５
２で受入する検査用レーザが弱くなることから、また光
ファイバケーブル３の被覆が燃えて炎を出しているとき
は光センサ６８の測定出力が不安定になることから、加
工用レーザ搬送系の異常を検知することができることは
第１実施例あるいは第２実施例で説明したとおりであ
る。被加工物で反射した加工用レーザが照射時の光路を
逆にたどって正確に第１光ファイバ３１のコア部分に戻
ってくる間は問題がないが、コアから外れると周囲の被
覆が過熱により燃焼したりして危険である。本実施例の
光ファイバ健全性検査装置は、このような危険をより直
接的に検出することができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の光ファイバ
健全性検査装置を適用すれば、高出力レーザを光ファイ
バに導入する前に光ファイバを検査することができ、ま
た、レーザ加工中にも光ファイバの状態を検査できて、
しかも従来技術によるよりも簡単で操作性の優れたレー
ザ加工ヘッドを備えたレーザ加工装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光ファイバ健全性検査装置の第１実施
例を用いたレーザ加工装置を示す全体構成図である。

【図２】第１実施例における光検出器の電気回路ブロッ
ク図である。

【図３】本発明の光ファイバ健全性検査装置の第２実施
例に用いるレーザ加工ヘッド部分の断面図である。

【図４】第２実施例における検査用レーザ光の光路を説
明する図面である。

【図５】本発明の光ファイバ健全性検査装置の第３実施
例に用いる光検出器を説明する構成図である。

【符号の説明】

１第１レーザ発振器１１反射鏡１３集束レンズ２第２レーザ発振器３光ファイバケーブル３１第１光ファイバ４レーザ加工ヘッド４１，４２凸レンズ系４４ガスノズル４５加工ノズル４８保護ガラス５光検知器５１第２光ファイバ５２受光端５３光検出端５４光コネクタ５５フィルタ５６光センサ５７増幅器５８比較器５９外部設定信号６０警報ランプ６１出力回路６２駆動信号６３集束レンズ６４ダイクロイックミラー６５，６７帯域通過フィルタ６６，６８光センサ６９信号処理装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G086 CC05 CC06 CC07 2H038 AA01 AA58 5F072 AA01 AA07 JJ05 KK05 KK30 MM09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】加工用レーザ光を発生する加工用レーザ
発振器と該加工用レーザ光を搬送する光ファイバと該光
ファイバから放射される該加工用レーザ光を収束して対
象物に照射するレーザ加工ヘッドを備えたレーザ加工装
置において、前記加工用レーザ光と波長が異なる検査用
レーザ光を発生する検査用レーザ発振器と該検査用レー
ザ光を検出する光検出器を備え、前記検査用レーザ光を
前記光ファイバに導入して前記レーザ加工ヘッドから戻
ってくる前記検査用レーザ光を前記光ファイバのレーザ
光放出端に隣接した位置で前記光検出器により測定し
て、前記光ファイバの異常を検出する光ファイバ健全性
検査装置。
【請求項２】前記光検出器が第２の光ファイバと光検
出センサを備え、前記光ファイバのレーザ光放出端に隣
接して受光端を設置した前記第２光ファイバにより前記
反射してくる検査用レーザ光を前記光検出センサに導く
ものであることを特徴とする請求項１記載の光ファイバ
健全性検査装置。
【請求項３】前記レーザ加工ヘッドの光学素子が表面
に前記検査用レーザ光を反射するコーティングを施した
ものであることを特徴とする請求項１または２記載の光
ファイバ健全性検査装置。
【請求項４】前記レーザ加工ヘッドの光学系が前記検
査用レーザ光を反射するコーティングを施した保護ガラ
スを被加工物に最も近い位置に備えることを特徴とする
請求項１から３のいずれかに記載の光ファイバ健全性検
査装置。
【請求項５】前記加工用レーザ発振器がヨウ素レーザ
発生装置であることを特徴とする請求項１から４のいず
れかに記載の光ファイバ健全性検査装置。