JPH11312831A - レーザビーム漏れ検知システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ装置各部の動作状況を自己診断して、
所望の場合にのみ確実に、レーザ光がレーザ装置外に漏
れるのを防止し、レーザ加工・レーザ溶接等の作業の安
全を確保するレーザビーム漏れ検知システムを提供す
る。 【解決手段】 レーザ光源１０を内蔵するレーザ装置か
らのレーザビーム漏れを検知するレーザビーム漏れ検知
システムであって、前記レーザ光源１０と前記レーザビ
ームを前記レーザ装置の外部に導く結合光学系３０との
間において前記レーザビームを遮断するシャッタ２０
と、前記シャッタ２０の開閉状態を検知するシャッタセ
ンサ１００と、前記結合光学系３０で散乱された前記レ
ーザビームの一部を検出する散乱センサ１１０と、前記
レーザビーム漏れを警告する警告信号発生手段１４１と
を備え、シャッタ駆動信号ｃとシャッタセンサ信号ｂと
散乱センサ信号ａとに基づいて、前記警告信号発生手段
１４１を駆動するようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビームによ
り加工・溶接等を行うレーザ装置に関し、特に、レーザ
加工・溶接等に用いる高エネルギーのレーザビームが、
不要時にレーザ装置外へ漏れているときは、作業者等の
安全を確保するために、これを検出して警報を出す等の
処理を行うレーザビーム漏れ検知システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、部品等の加工・溶接等のために高
出力のレーザビームを照射するレーザ加工機、レーザ溶
接機等がある。

【０００３】図４は、一例として、ＹＡＧレーザを光フ
ァイバで溶接部位に導くレーザ加工機を示したものであ
る。図４によれば、発振波長１．０６４１μｍで数百ワ
ットから数キロワット程度のレーザ光を、コア径０．４
ｍｍから０．８ｍｍの光ファイバでエネルギー伝送し、
光ファイバの出射端で加工用集光レンズを用いてレーザ
光を微細なスポットとし、部品等の表面を溶解させ、あ
るいは穴を開けることにより、レーザ加工を行うもので
ある。なお、レーザ加工機とレーザ溶接機とを比較する
と、レーザ光源、エネルギー伝送光学系は共通点が多
く、相違点は、レーザ光の走査、部品等の載置方法等の
点に見出されるに過ぎない。

【０００４】上述のようなレーザ加工機等により、加工
等を終了した時は、シャッタを用いて、レーザ加工機等
からレーザ光が出射しないようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、シャッタが誤
動作して、レーザ光がレーザ加工機やレーザ溶接機等の
レーザ装置の外部に漏れたままになっていると、加工完
成品が損傷を受け、更には、火災等を発生させかねな
い。又、上述のレーザ装置に使用される高出力レーザ光
の波長の多くは赤外領域にあり、目に見えないため、操
作者にとって危険である。

【０００６】このような場合、アラーム等を作動させて
警告することも考えられるが、アラームの警告に依拠し
て作業を行う結果、アラームが誤動作により鳴動しなか
った場合には、むしろ上述した危険はより大きなものと
なる。

【０００７】又、アラーム動作に伴って、シャッタを作
動させれば安全は確保される。しかし、シャッタが誤動
作してレーザ光がレーザ装置外に漏れたままとなった場
合には、レーザ発振を停止せざるを得なくなる。ところ
が、この逆に、レーザ光が漏れていないにもかかわら
ず、レーザ発振を停止したのでは、加工作業等に支障を
きたす。又、一旦レーザ発振が停止されれば電源を再投
入しても、レーザ発振が安定するまでは時間がかかる。

【０００８】そこで、本発明は、レーザ装置各部の動作
状況を自己診断して、所望の場合にのみ確実に、レーザ
光がレーザ装置外に漏れるのを防止し、レーザ加工・レ
ーザ溶接等の作業の安全を確保するレーザビーム漏れ検
知システムを提供することを課題としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの本発明のレーザビーム漏れ検知システムは、レーザ
光源を内蔵するレーザ装置からのレーザビーム漏れを検
知するレーザビーム漏れ検知システムであって、前記レ
ーザ光源と前記レーザビームを前記レーザ装置の外部に
導く結合光学系との間において前記レーザビームを遮断
するシャッタと、前記シャッタの開閉状態を検知するシ
ャッタセンサと、前記結合光学系で散乱された前記レー
ザビームの一部を検出する散乱センサと、前記レーザビ
ーム漏れを警告する警告信号発生手段とを備え、前記シ
ャッタ駆動信号と前記シャッタセンサ信号と前記散乱セ
ンサ信号とに基づいて、前記警告信号発生手段を駆動す
るようにしている。

【００１０】すなわち、本発明システムにおいては、レ
ーザ光をレーザ装置外に導くためのエネルギー伝送光学
系で散乱された微弱な散乱光を検出することにより、直
接レーザビーム漏れを確認し、なお且つ、レーザ装置の
作動状況を自己診断した上で、所望の場合のみ、アラー
ムを駆動する。

【００１１】又、上記の課題を解決するための本発明の
レーザビーム検出装置は、レーザビームを遮断するシャ
ッタと、前記シャッタの開閉状態を検知するシャッタセ
ンサと、前記レーザビームの一部を検出する散乱センサ
とを備え、前記散乱センサは、中空部材と、前記中空部
材に接続された光ファイバと、前記光ファイバに接続さ
れた光電変換素子とを備えている。

【００１２】すなわち、本発明装置においては、散乱さ
れたレーザビームを検出する光学系を一体のものとして
独立させている。

【００１３】又、本発明のレーザビーム漏れ検知方法
は、レーザ光源を内蔵するレーザ装置からのレーザビー
ム漏れを検知するレーザビーム漏れ検知方法であって、
前記レーザ光源から出射するレーザビームを前記レーザ
装置の外部に出射させないために、シャッタを駆動する
と共に、前記シャッタの開閉状態を検出し、前記シャッ
タを閉状態とするシャッタ駆動信号が送信されているか
否かを判定するステップと、前記シャッタが閉状態にあ
るか否かを判定するステップと、前記レーザビームを前
記レーザ装置の外部に出力するための光学系から前記レ
ーザビームが散乱されているか否かを判定するステップ
とを含み、前記シャッタ駆動信号が閉状態を指示してお
り、且つ、前記シャッタが閉状態にあり、且つ、前記レ
ーザビームが散乱されている場合に、警告信号を発生さ
せるようにしている。

【００１４】すなわち、本発明方法においては、レーザ
装置各部の動作状況を示す信号等に基づいてレーザ装置
の動作状況を判定するステップを実行し、所望の場合の
み、アラームによる警告やレーザ発振の停止を行ってい
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。

【００１６】図１は、本発明システムの構成を示すブロ
ック図である。図１に示すように、レーザ光源１０から
出力されたレーザビーム１１はシャッタ２０を経てレー
ザビーム１２として結合光学系３０に入射し、レーザビ
ーム１３として結合光学系３０の出射端から出射する。
そして、このレーザビーム１３は光ファイバ４０のコア
中を伝播し、集束光学系５０により微少なスポットとな
り、加工・溶接等の目的物７０及び７１上に結像され
る。

【００１７】上記のような構成のレーザ装置において、
レーザビーム１１がレーザ装置の外部に出力されている
か否かをするため、本発明においては、結合光学系３０
で散乱されたレーザ光１４を検出することとしている。
ここで、結合光学系３０によるレーザビームの散乱と
は、光学素子の表面のわずかな凹凸により生じる散乱で
あり、光軸を外れる方向の微弱な光となって、散乱され
る。このように散乱されたレーザ光１４の一部を光ファ
イバ１１２に導入して光検出器１１１で光電変換する。

【００１８】レーザ光源１０から出力されたレーザビー
ム１１が、上記レーザ装置の外部に出力されているかど
うか、言い換えるとレーザビーム漏れがあるか否かを検
知するために、本発明では、光検出器１１１の光電変換
出力信号である散乱信号ａのみならず、シャッタ２０の
開閉状態を検出するシャッタセンサ信号ｂと、シャッタ
２０を開閉するためのシャッタ駆動信号ｃも用いる。

【００１９】すなわち、図１に示す本発明システムは、
レーザ漏れがあるか否かを判定するために、センサコン
トローラ１３０、シャッタコントローラ１４０、警告信
号コントローラ１５０、レーザコントローラ１６０、入
力手段１７０とをそれぞれ中央演算処理装置（ＣＰＵ）
１８０に接続し、又は、これらのコントローラ同士を接
続している。

【００２０】本発明システムの構成は以上のとおりであ
る。そこで、次に、本発明システムの各構成要素につい
て説明する。

【００２１】レーザ光源１０は、Ｑスイッチ、紫外線励
起等により、共振器からレーザ光を取り出すものであ
り、たとえば、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザ等が好適
である。

【００２２】シャッタ２０は、レーザビームの光路を遮
る機構部品であり、たとえば、反射鏡をソレノイドで回
動させる等すればよい。

【００２３】結合光学系３０は、一般的にはレンズ系で
ある。但し、図１に示されたように、エネルギー伝送を
光ファイバで行う場合は、単に凸レンズ１枚でよいこと
もある。

【００２４】光ファイバ４０は、高エネルギーレーザビ
ームによる損傷閾値が高く、端面を仕上げて保護皮膜を
施し、透過率が大きい光ファイバであり、たとえば、光
通信用マルチモードガラスファイバが好適である。

【００２５】集束光学系５０も一般的には、レンズ系で
ある。但し、図１に示されたように、エネルギー伝送を
光ファイバで行う場合は、単に凸レンズ１枚でよいこと
もある。なお、特に、数μｍ程度の径の微少なスポット
を用いるレーザ加工、レーザトリミング等の場合は収差
を除去した対物レンズを含む光学系が必要である。

【００２６】シャッタセンサ１００は、シャッタ２０、
すなわち、たとえば、回動等により２つの異なる位置を
占める反射鏡の位置を検出することができるセンサであ
り、たとえば、フォトインタラプタ等が好適である。

【００２７】又、散乱センサ１１０は、光検出器１１１
と光ファイバ１１２と中空体１１３とで構成される。

【００２８】ここに、光検出器１１１は、レーザ波長に
感応する光電変換素子をゲインの高い増幅器に接続した
ものである。たとえば、ＹＡＧレーザの波長１．０６μ
ｍのレーザ光に対しては、Ｇｅフォトダイオードをオペ
アンプに接続する。ここで、オペアンプのゲインは散乱
光の強度に応じて設定する。

【００２９】光ファイバ１１２は、結合光学系で散乱さ
れた微弱なレーザ光を光検出器１１１に導くための光ガ
イドであり、伝送距離も、数ｃｍ程度であるので、それ
自体高品質である必要はない。但し、そのコア径はレー
ザ装置内部の迷光と上述の散乱光の強度比を考慮して決
定する。

【００３０】中空体１１３は、散乱光１４の内特定の微
少角度部分のみを光ファイバ１１２に入射させるために
光ファイバ１１２に接続している。この中空体１１３
は、たとえば、Ａｌ等の丸棒又は角棒をその軸に沿って
中空としたものである。

【００３１】センサコントローラ１３０は、散乱信号ａ
と、シャッタセンサ信号ｂと、シャッタ駆動信号ｃとを
入力するとともに、これらの信号を中継して後述するＣ
ＰＵ１８０に送出するか、又は後述するシャッタコント
ローラ１３０と、警告信号コントローラ１４０と、レー
ザコントローラ１５０とを制御する指令信号ｄを送出す
る電子回路である。

【００３２】シャッタコントローラ１３０は、センサコ
ントローラ１２０の指示、又は後述するＣＰＵ１７０の
指示によりシャッタ駆動信号ｃを出力する電子回路であ
る。

【００３３】警告信号コントローラ１４０は、センサコ
ントローラ１２０又は後述するＣＰＵ１７０の指示によ
り警告信号発生手段１４１を駆動させる電子回路であ
る。ここに、警告信号発生手段１４１は、アラームが好
適であるが、ランプあるいはディスプレイでもよい。

【００３４】レーザコントローラ１７０は、センサコン
トローラ１４０又は後述するＣＰＵ１７０の指示により
レーザ光源１０が備える電源をＯＮ／ＯＦＦする電子回
路である。

【００３５】入力手段１６０は、加工パターンや溶接個
所及びその他の作業手順等を後述するＣＰＵ１７０に入
力する手段であり、キーボード、マウス、ライトペン等
が用いられる。

【００３６】以上、図１を参照して本発明システムの各
構成要素について説明した。

【００３７】ところで、本発明システムの特徴の一つ
は、上述の通り、結合光学系３０で散乱されたレーザ光
１４の検出を以って、レーザ装置外へのレーザビーム漏
れを直接検出するところにある。

【００３８】図２は、このような特徴を有する本発明の
実施に特に好適なレーザビーム検出装置の平面図であ
る。

【００３９】図２に示すように、このレーザビーム検出
装置は、結合光学系３０ａ、３０ｂ、光検出器１１１
ａ、１１１ｂ、光ファイバ１１２ａ、１１２ｂ、中空体
１１３ａ，１１３ｂ、シャッタ２０ａ、２０ｂ、シャッ
タセンサ１００ａ、１００ｂシャッタ、を一つの筐体に
一体化したものである。これらの各構成要素の構造・機
能は図１の説明で述べたものと同じである。なお、図２
において、結合光学系３０ａ、３０ｂ等が２組ずつ備え
られているのは、同時に２個所の加工・溶接等を行わせ
るためである。

【００４０】図２に示すレーザビーム検出装置において
は、加工・溶接等のための高エネルギーレーザビーム、
たとえばＹＡＧレーザビーム１１は反射鏡Ｂで反射さ
れ、半透鏡Ｃで２分される。そして、半透鏡Ｃを透過し
たＹＡＧレーザビーム１１は結合光学系３０ａに導かれ
る。一方、半透鏡Ｃで反射されたＹＡＧレーザビーム１
１は反射鏡Ｄで反射されて結合光学系３０ｂに導かれ
る。なお、このような光学系の光軸調整のために、可視
のレーザビーム、たとえばＨｅＮｅレーザビーム１９が
反射鏡ＡによりＹＡＧレーザビームにカップリングされ
ている。

【００４１】以上、図１及び図２を参照して本発明シス
テムの構成について説明した。

【００４２】そこで、次に、同じく図１及び図２を参照
して、本発明システムの動作について説明する。

【００４３】本発明システムにおいては、レーザ光をレ
ーザ装置外に導くためのエネルギー伝送光学系で散乱さ
れた微弱な散乱光を検出することにより、直接レーザビ
ーム漏れを確認し、レーザ装置の作動状況を自己診断し
た上で、所望の場合のみ、アラームによる警告やレーザ
発振の停止を行っている。

【００４４】すなわち、シャッタ駆動信号ｃとシャッタ
センサ信号ｂと散乱センサ信号ａとを受信したセンサコ
ントローラ１２０は、この３つの信号からレーザ装置の
作動状況を自己診断し、シャッタを駆動するシャッタコ
ントローラ１３０と、警告信号発生手段１４１を駆動す
る警告コントローラ１４０と、レーザ光源１０を駆動す
るレーザコントローラ１５０に、制御信号ｄを送出す
る。

【００４５】ここで、自己診断の内容は、あらかじめ、
センサコントローラにプログラムされているのであり、
たとえば、シャッタ駆動信号ｃがシャッタを閉状態とし
て、レーザビーム１１を遮断するように指示しているに
もかかわらず、シャッタセンサ信号ｂがシャッタが開状
態にあることを示し、散乱センサ信号ａが散乱光を検出
したことを示している場合は、制御信号ｄを警告信号コ
ントローラ１４０に送出する等である。

【００４６】上述した本発明システムの説明では、セン
サコントローラ１２０にプログラムを内蔵させシステム
制御を行わせていたが、これに替えて中央演算処理装置
（ＣＰＵ）１７０を設けて、システム制御を行わせても
よい。

【００４７】ＣＰＵ１７０を設ける場合には、このＣＰ
Ｕ１７０は、センサコントローラ１２０から散乱センサ
信号ａ、シャッタセンサ信号ｂ、シャッタ駆動信号ｃの
３つの信号の入力と、入力手段１６０から加工・溶接等
の手順等の入力とを受けて、これらの入力を上述したよ
うなプログラムで処理し、シャッタコントローラ１３
０、警告信号コントローラ１４０、レーザ入力手段１６
０に制御信号を送出する。

【００４８】したがって、ＣＰＵ１７０を用いると、レ
ーザ装置の動作状態の自己診断のために入力手段１６０
からの情報も付加されるので、より的確に警告を発する
ことができる。

【００４９】なお、特に、筐体に一体化した図２のレー
ザビーム検出装置を用いる場合には、シャッタ２０ａ、
２０ｂに独立の２系統のシャッタ駆動信号が送出され、
この２系統のシャッタ駆動信号、シャッタセンサ１００
ａ，１００ｂからの２系統のシャッタセンサ信号、及び
光検出器１１１ａ、１１１ｂからの２系統の散乱センサ
信号がセンサコントローラ１２０に入力される。

【００５０】以上、図１及び図２を参照して、本発明シ
ステムの動作について説明した。

【００５１】次に、図１及び図３を参照して、本発明方
法について、説明する。

【００５２】図３は、本発明のレーザビーム漏れ検知方
法を実行するためのフローチャートである。本発明方法
においては、レーザ装置各部の作動状況を示す信号等に
基づいてレーザ装置の作動状況を判定するステップを実
行し、所望の場合のみ、アラームによる警告やレーザ発
振の停止を行っている。

【００５３】図３に示すように、まず、ステップＳ１０
では、シャッタ２０を閉状態とするシャッタ駆動信号ｃ
が送信されているか否かを判定するステップである。こ
こで、もし、シャッタ２０を閉状態とするシャッタ駆動
信号ｃが、送信されているなら、ステップＳ２０に進む
が、送信されていないならステップＳ１１に進む。ステ
ップＳ１１では、入力条件に照らしてシャッタが開状態
でよいならば、処理を終了する。ただし、その後、直ち
に、本フローチャートに示した手順を開始して、常時、
レーザ装置の作動状況を自己診断する。一方、ステップ
Ｓ１１において、入力条件に照らしてシャッタが開状態
であってはならないならば、ステップＳ１２に進んで、
シャッタ２０を閉状態とすべく、シャッタ駆動信号ｃを
送出する。

【００５４】次に、ステップ１０からステップ２０へ進
むと、ステップＳ２０は、シャッタセンサ１００が、シ
ャッタ２０は閉状態となっていることを検出したか否か
を判定するステップである。ここで、もし、シャッタ２
０が閉状態にないことが分かったならば、処理を中止す
る。ただし、その後、直ちに、本フローチャートに示し
た手順を開始して、常時、レーザ装置の作動状況を自己
診断する。

【００５５】次に、ステップ２０からステップ３０へ進
むと、ステップ３０は、散乱センサ１１０は散乱光を検
出した否かを判定するステップである。ここで、もし、
散乱光が検出されていないならば、処理を終了する。た
だし、その後、直ちに、本フローチャートに示した手順
を開始して、常時、レーザ装置の作動状況を自己診断す
る。

【００５６】次に、ステップ３０からステップ４０へ進
むと、ステップ４０はアラーム等の警告信号発生手段１
４１を駆動するステップである。

【００５７】そして、ステップＳ４０の処理に引き続い
てステップＳ５０に進む。

【００５８】ステップＳ５０においては、アラーム等が
鳴動しつづけると危険であるため、アラーム等を駆動し
てから所定時間が経過したか否かを判定する。ここで、
もし、所定時間が経過したならば、レーザ光源１０のレ
ーザ発進を停止して安全を確保する。一方、所定時間が
経過していない場合には、ステップＳ１０に戻って、シ
ャッタ駆動信号の確認を行う。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザ装置各部の動作状況を自己診断して、所望の場合
にのみ確実に、レーザ光がレーザ装置外に漏れるのを防
止しレーザ加工・レーザ溶接等の作業の安全を確保する
事ができる。

【００６０】具体的には、第1に、シャッタの故障等に
惑わされることなく、所望の場合のみ確実に、レーザビ
ーム漏れを警告し、レーザ発振を停止することができ
る。

【００６１】又、第2には、レーザ加工・溶接等の手順
も参照してレーザ宗著の作動状況を自己診断するので、
より適切にレーザ装置を安全に運転することができる。

【００６２】又、第3には、レーザビーム漏れを直接検
出することができる小型の装置を提供することができ
る。そして、この装置は小型である杖に、既存のレーザ
加工機・レーザ溶接機等のレーザ装置の内部にも外部に
も、所望の位置に取り付けることができる。

【００６３】又、第4には、レーザ装置の動作状況をセ
ンサ信号等から総合的に自己診断することができるの
で、レーザ装置を安全に運転することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のレーザビーム漏れ検出装置の平面図で
ある。

【図２】本発明のレーザビーム漏れ検知システムのブロ
ック図である。

【図３】本発明のレーザビーム漏れ検知方法のフローチ
ャートである。

【図４】従来のレーザ加工機の概念図である。加算器の
入出力を示す回路。

【符号の説明】

１０ レーザ光源 ２０ シャッタ ３０ 結合光学系 ４０ 光ファイバ １００ シャッタセンサ １１０ 散乱センサシャッタセンサ １２０ センサコントローラ １３０ シャッタコントローラ １４０ 警告信号コントローラ １５０ レーザコントローラ １６０ 入力手段 １７０ ＣＰＵ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｇ０１Ｍ 11/00 Ｇ０１Ｍ 11/00 Ｕ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光源を内蔵するレーザ装置からの
   レーザビーム漏れを検知するレーザビーム漏れ検知シス
   テムであって、 前記レーザ光源と前記レーザビームを前記レーザ装置の
   外部に導く結合光学系との間において前記レーザビーム
   を遮断するシャッタと、 前記シャッタの開閉状態を検知するシャッタセンサと、 前記結合光学系で散乱された前記レーザビームの一部を
   検出する散乱センサと、 前記レーザビーム漏れを警告する警告信号発生手段とを
   備え、 シャッタ駆動信号とシャッタセンサ信号と散乱センサ信
   号とに基づいて、警告信号発生手段を駆動することを特
   徴とするレーザビーム漏れ検知システム。
2. 【請求項２】 前記散乱センサは、 中空部材と、 前記中空部材に接続された光ファイバと、 前記光ファイバに接続された光電変換素子とを備えたこ
   とを特徴とする請求項１記載のレーザビーム漏れ検知シ
   ステム。
3. 【請求項３】 前記シャッタ駆動信号と前記シャッタセ
   ンサ信号と前記散乱センサ信号とを受信するセンサコン
   トローラと、 前記シャッタを駆動するシャッタコントローラと、 前記警告信号発生手段を駆動する警告コントローラと、 前記レーザ光源を駆動するレーザコントローラとを備
   え、 前記センサコントローラが、前記シャッタコントロー
   ラ、前記警告コントローラ、前記レーザコントローラの
   うち少なくとも一つを駆動することを特徴とする請求項
   １記載のレーザビーム漏れ検知システム。
4. 【請求項４】 前記シャッタ駆動信号と前記シャッタセ
   ンサ信号と前記散乱センサ信号とを受信するセンサコン
   トローラと、 前記シャッタを駆動するシャッタコントローラと、 前記警告信号発生手段を駆動する警告コントローラと、 前記レーザ光源を駆動するレーザコントローラと、 中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、 前記レーザ装置の動作手順を前記ＣＰＵに入力する入力
   手段とを備え、 前記ＣＰＵが、前記シャッタコントローラ、前記警告コ
   ントローラ、前記レーザコントローラのうち少なくとも
   一つを駆動することを特徴とする請求項１記載のレーザ
   ビーム漏れ検知システム。
5. 【請求項５】 レーザビームを遮断するシャッタと、 前記シャッタの開閉状態を検知するシャッタセンサと、 前記レーザビームの一部を検出する散乱センサとを備
   え、 前記散乱センサは、 中空部材と、 前記中空部材に接続された光ファイバと、 前記光ファイバに接続された光電変換素子とを備えたこ
   とを特徴とレーザビーム検出装置。
6. 【請求項６】 レーザ光源を内蔵するレーザ装置からの
   レーザビーム漏れを検知するレーザビーム漏れ検知方法
   であって、 前記レーザ光源から出射するレーザビームを前記レーザ
   装置の外部に出射させないために、シャッタを駆動する
   と共に、前記シャッタの開閉状態を検出し、 前記シャッタを閉状態とするシャッタ駆動信号が送信さ
   れているか否かを判定するステップと、 前記シャッタが閉状態にあるか否かを判定するステップ
   と、 前記レーザビームを前記レーザ装置の外部に出力するた
   めの光学系から前記レーザビームが散乱されているか否
   かを判定するステップとを含み、 前記シャッタ駆動信号が閉状態を指示しており、且つ、
   前記シャッタが閉状態にあり、且つ、前記レーザビーム
   が散乱されている場合に、警告信号を発生させることを
   特徴とするレーザビーム漏れ検知方法。
7. 【請求項７】 所定時間経過後も前記レーザビームが散
   乱されているときには、前記レーザ光源のレーザ発振を
   停止させることを特徴とする請求項６記載のレーザビー
   ム漏れ検知方法。