JP2000223360A - 積層セラミックチップ部品の製造方法及び装置 - Google Patents
積層セラミックチップ部品の製造方法及び装置Info
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Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 部品複数個取り用のセラミック積層グリーン
シートを部品単位に切断した後、セラミックグリーンチ
ップ素体のブロックをベルトコンベアで搬送すると共
に、そのベルトコンベアの下方に回る終端付近に配置す
る圧接ローラでセラミックグリーンチップ素体のブロッ
クを押さえて部品単位に分離するという簡易な手段によ
りセラミックグリーンチップ素体のブロックを確実に分
離する。 【解決手段】 セラミックグリーンチップ素体のブロッ
クＢを加熱炉３で予熱させてベルトコンベア１で搬送
し、そのベルトコンベア１の下方に回る終端付近でガラ
ス転移温度の帯熱状態にあるセラミックグリーンチップ
素体のブロックＢを圧接ローラ２により押さえて部品単
位に分離する。
シートを部品単位に切断した後、セラミックグリーンチ
ップ素体のブロックをベルトコンベアで搬送すると共
に、そのベルトコンベアの下方に回る終端付近に配置す
る圧接ローラでセラミックグリーンチップ素体のブロッ
クを押さえて部品単位に分離するという簡易な手段によ
りセラミックグリーンチップ素体のブロックを確実に分
離する。 【解決手段】 セラミックグリーンチップ素体のブロッ
クＢを加熱炉３で予熱させてベルトコンベア１で搬送
し、そのベルトコンベア１の下方に回る終端付近でガラ
ス転移温度の帯熱状態にあるセラミックグリーンチップ
素体のブロックＢを圧接ローラ２により押さえて部品単
位に分離する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は積層セラミック電子
部品の製造方法及び装置に係り、詳しくは部品複数個取
り用のセラミック積層グリーンシートを部品単位のセラ
ミックグリーンチップ素体に切断して積層セラミックチ
ップ部品を製造するのにあたり、その切断によっても部
品単位に分離されていないセラミックグリーンチップ素
体のブロックを部品単位に分離するのに適用される積層
セラミック電子部品の製造方法及び装置に関するもので
ある。
部品の製造方法及び装置に係り、詳しくは部品複数個取
り用のセラミック積層グリーンシートを部品単位のセラ
ミックグリーンチップ素体に切断して積層セラミックチ
ップ部品を製造するのにあたり、その切断によっても部
品単位に分離されていないセラミックグリーンチップ素
体のブロックを部品単位に分離するのに適用される積層
セラミック電子部品の製造方法及び装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】一般に、内部電極を片面に複数並べて印
刷形成したセラミックグリーンシートを得、そのセラミ
ックグリーンシートを内部電極と交互に複数積層し、最
外層には内部電極を設けないセラミックグリーンシート
を積層し、この積層セラミックグリーンシートを加圧圧
着する各工程により部品複数個取り用のセラミック積層
グリーンシートを得、その部品複数個取り用のセラミッ
ク積層グリーンシートをＸ，Ｙ方向に切断して部品単位
のセラミックグリーンチップ素体とすることにより積層
セラミック電子部品を製造することが行われている。
刷形成したセラミックグリーンシートを得、そのセラミ
ックグリーンシートを内部電極と交互に複数積層し、最
外層には内部電極を設けないセラミックグリーンシート
を積層し、この積層セラミックグリーンシートを加圧圧
着する各工程により部品複数個取り用のセラミック積層
グリーンシートを得、その部品複数個取り用のセラミッ
ク積層グリーンシートをＸ，Ｙ方向に切断して部品単位
のセラミックグリーンチップ素体とすることにより積層
セラミック電子部品を製造することが行われている。
【０００３】その部品複数個取り用のセラミック積層グ
リーンシートは部品単位に切断しても、セラミックグリ
ーンチップ素体のブロックとして部品単位に分離されて
いない状態が生ずる。このため、従来、部品複数個取り
用のセラミック積層グリーンシートを部品単位に切断し
た後、セラミックグリーンチップ素体のブロックをベル
トコンベアに送り込むと共に、そのベルトコンベアの下
方に回る終端付近に配置する圧接ローラによりセラミッ
クグリーンチップ素体のブロックを押さえて部品単位に
分離することが行われている。
リーンシートは部品単位に切断しても、セラミックグリ
ーンチップ素体のブロックとして部品単位に分離されて
いない状態が生ずる。このため、従来、部品複数個取り
用のセラミック積層グリーンシートを部品単位に切断し
た後、セラミックグリーンチップ素体のブロックをベル
トコンベアに送り込むと共に、そのベルトコンベアの下
方に回る終端付近に配置する圧接ローラによりセラミッ
クグリーンチップ素体のブロックを押さえて部品単位に
分離することが行われている。
【０００４】然し、そのセラミックグリーンチップ素体
のブロックをベルトコンベアの下方に回る終端付近に配
置する圧接ローラにより唯単に押さえるだけではセラミ
ック積層グリーンシートに含まれる樹脂の影響により１
００％分離することができない。このセラミックグリー
ンチップ素体のブロックの分離率を向上するため、圧接
ローラの圧力を強くすることが考えられるが、それでは
セラミックグリーンチップ素体の割れや欠けを生ずる原
因となるところから好ましくない。
のブロックをベルトコンベアの下方に回る終端付近に配
置する圧接ローラにより唯単に押さえるだけではセラミ
ック積層グリーンシートに含まれる樹脂の影響により１
００％分離することができない。このセラミックグリー
ンチップ素体のブロックの分離率を向上するため、圧接
ローラの圧力を強くすることが考えられるが、それでは
セラミックグリーンチップ素体の割れや欠けを生ずる原
因となるところから好ましくない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、部品複数個
取り用のセラミック積層グリーンシートを部品単位に切
断した後、セラミックグリーンチップ素体のブロックを
ベルトコンベアで搬送すると共に、そのベルトコンベア
の下方に回る終端付近に配置する圧接ローラでセラミッ
クグリーンチップ素体のブロックを押さえて部品単位に
分離するという簡易な手段によりセラミックグリーンチ
ップ素体のブロックを確実に分離可能な積層セラミック
チップ部品の製造方法及び装置を提供することを目的と
する。
取り用のセラミック積層グリーンシートを部品単位に切
断した後、セラミックグリーンチップ素体のブロックを
ベルトコンベアで搬送すると共に、そのベルトコンベア
の下方に回る終端付近に配置する圧接ローラでセラミッ
クグリーンチップ素体のブロックを押さえて部品単位に
分離するという簡易な手段によりセラミックグリーンチ
ップ素体のブロックを確実に分離可能な積層セラミック
チップ部品の製造方法及び装置を提供することを目的と
する。
【０００６】それに加えて、本発明はベルトコンベアで
搬送するセラミックグリーンチップ素体のブロックを圧
接ローラで押さえて部品単位に分離するという手段を適
用しても、セラミックグリーンチップ素体の割れや欠け
を生ずる確実に防げる積層セラミックチップ部品の製造
方法及び装置を提供することを目的とする。
搬送するセラミックグリーンチップ素体のブロックを圧
接ローラで押さえて部品単位に分離するという手段を適
用しても、セラミックグリーンチップ素体の割れや欠け
を生ずる確実に防げる積層セラミックチップ部品の製造
方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
積層セラミックチップ部品の製造方法においては、部品
複数個取り用のセラミック積層グリーンシートを部品単
位のセラミックグリーンチップ素体に切断し、その切断
によっても部品単位に分離されていないセラミックグリ
ーンチップ素体のブロックを部品単位に分離し、このセ
ラミックグリーンチップ素体から積層セラミックチップ
部品を製造する方法として、セラミックグリーンチップ
素体のブロックを予熱させてベルトコンベアで搬送し、
そのベルトコンベアの下方に回る終端付近でガラス転移
温度の帯熱状態にあるセラミックグリーンチップ素体の
ブロックを圧接ローラにより押さえて部品単位に分離す
るようにされている。
積層セラミックチップ部品の製造方法においては、部品
複数個取り用のセラミック積層グリーンシートを部品単
位のセラミックグリーンチップ素体に切断し、その切断
によっても部品単位に分離されていないセラミックグリ
ーンチップ素体のブロックを部品単位に分離し、このセ
ラミックグリーンチップ素体から積層セラミックチップ
部品を製造する方法として、セラミックグリーンチップ
素体のブロックを予熱させてベルトコンベアで搬送し、
そのベルトコンベアの下方に回る終端付近でガラス転移
温度の帯熱状態にあるセラミックグリーンチップ素体の
ブロックを圧接ローラにより押さえて部品単位に分離す
るようにされている。
【０００８】本発明の請求項２に係る積層セラミックチ
ップ部品の製造方法においては、ガラス転移温度の帯熱
状態にあるセラミックグリーンチップ素体のブロックを
弾性部材の圧接ローラにより押さえて部品単位に分離す
るようにされている。
ップ部品の製造方法においては、ガラス転移温度の帯熱
状態にあるセラミックグリーンチップ素体のブロックを
弾性部材の圧接ローラにより押さえて部品単位に分離す
るようにされている。
【０００９】本発明の請求項３に係る積層セラミックチ
ップ部品の製造装置においては、部品複数個取り用のセ
ラミック積層グリーンシートを部品単位のセラミックグ
リーンチップ素体に切断し、その切断によっても部品単
位に分離されていないセラミックグリーンチップ素体の
ブロックを部品単位に分離し、このセラミックグリーン
チップ素体から積層セラミックチップ部品を製造する装
置として、セラミックグリーンチップ素体のブロックを
少なくともガラス転移温度以上の温度に予熱する加熱炉
と、その加熱炉からセラミックグリーンチップ素体のブ
ロックをガラス転移温度の帯熱状態に保って終端付近ま
で搬送するベルトコンベアと、このベルトコンベアの下
方に回る終端付近に配置されてガラス転移温度の帯熱状
態にあるセラミックグリーンチップ素体のブロックを押
さえて部品単位に分離する圧接ローラとを備えることに
より構成されている。
ップ部品の製造装置においては、部品複数個取り用のセ
ラミック積層グリーンシートを部品単位のセラミックグ
リーンチップ素体に切断し、その切断によっても部品単
位に分離されていないセラミックグリーンチップ素体の
ブロックを部品単位に分離し、このセラミックグリーン
チップ素体から積層セラミックチップ部品を製造する装
置として、セラミックグリーンチップ素体のブロックを
少なくともガラス転移温度以上の温度に予熱する加熱炉
と、その加熱炉からセラミックグリーンチップ素体のブ
ロックをガラス転移温度の帯熱状態に保って終端付近ま
で搬送するベルトコンベアと、このベルトコンベアの下
方に回る終端付近に配置されてガラス転移温度の帯熱状
態にあるセラミックグリーンチップ素体のブロックを押
さえて部品単位に分離する圧接ローラとを備えることに
より構成されている。
【００１０】本発明の請求項４に係る積層セラミックチ
ップ部品の製造装置においては、ガラス転移温度の帯熱
状態にあるセラミックグリーンチップ素体のブロックを
押さえて部品単位に分離する弾性部材の圧接ローラを備
えることにより構成されている。
ップ部品の製造装置においては、ガラス転移温度の帯熱
状態にあるセラミックグリーンチップ素体のブロックを
押さえて部品単位に分離する弾性部材の圧接ローラを備
えることにより構成されている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して説明す
ると、図１の装置は部品複数個取り用のセラミック積層
グリーンシートを部品単位に切断した後、セラミックグ
リーンチップ素体のブロックＢをベルトコンベア１で搬
送すると共に、そのベルトコンベア１の下方に回る終端
付近に配置する圧接ローラ２によりセラミックグリーン
チップ素体のブロックＢを押さえて部品単位に分離する
ものとして適用される。この適用対象には、積層セラミ
ックコンデンサやチップ抵抗等の積層セラミックチップ
部品を製造するものが挙げられる。
ると、図１の装置は部品複数個取り用のセラミック積層
グリーンシートを部品単位に切断した後、セラミックグ
リーンチップ素体のブロックＢをベルトコンベア１で搬
送すると共に、そのベルトコンベア１の下方に回る終端
付近に配置する圧接ローラ２によりセラミックグリーン
チップ素体のブロックＢを押さえて部品単位に分離する
ものとして適用される。この適用対象には、積層セラミ
ックコンデンサやチップ抵抗等の積層セラミックチップ
部品を製造するものが挙げられる。
【００１２】その製造工程を積層セラミックチップコン
デンサで説明すると、ＢａＴｉＯ３の誘電体磁器粉体を
主材とし、ＭｇＯ，Ｃｒ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｖ２Ｏ５，
ＢａＯ，ＳｉＯ２，ＣａＯの金属酸化物乃至は磁器添加
物を含むセラミック粉末原料、アクリル系等の樹脂バイ
ンダー、可塑剤、樹脂バインダー用並びに可塑剤用の有
機溶剤を組成材料として混練することによりセラミック
グリーンペーストを作製する。
デンサで説明すると、ＢａＴｉＯ３の誘電体磁器粉体を
主材とし、ＭｇＯ，Ｃｒ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｖ２Ｏ５，
ＢａＯ，ＳｉＯ２，ＣａＯの金属酸化物乃至は磁器添加
物を含むセラミック粉末原料、アクリル系等の樹脂バイ
ンダー、可塑剤、樹脂バインダー用並びに可塑剤用の有
機溶剤を組成材料として混練することによりセラミック
グリーンペーストを作製する。
【００１３】そのセラミックグリーンペーストによって
は、ポリエチレンテレフタレートフイルム等のキャリア
シートのシート面にドクターブレード法で転写すること
によりセラミックグリーンシートを形成する。このセラ
ミックグリーンシートは乾燥処理を施し、ニッケル等の
導電性ペーストにより所定パターンの内部電極を碁盤目
状に複数個並べて片面にスクリーン印刷し、部品複数個
取り用の面積を有するセラミックグリーンシートとして
裁断する。その内部電極を設けたセラミックグリーンシ
ートの他に、内部電極を設けないセラミックグリーンシ
ートを最外層用として用意する。
は、ポリエチレンテレフタレートフイルム等のキャリア
シートのシート面にドクターブレード法で転写すること
によりセラミックグリーンシートを形成する。このセラ
ミックグリーンシートは乾燥処理を施し、ニッケル等の
導電性ペーストにより所定パターンの内部電極を碁盤目
状に複数個並べて片面にスクリーン印刷し、部品複数個
取り用の面積を有するセラミックグリーンシートとして
裁断する。その内部電極を設けたセラミックグリーンシ
ートの他に、内部電極を設けないセラミックグリーンシ
ートを最外層用として用意する。
【００１４】内部電極を印刷形成したセラミックグリー
ンシートは、内部電極とセラミックグリーンシートが交
互になるよう複数積層する。最外層には内部電極が設け
られていないセラミックグリーンシートを積層した後、
全体を加圧圧着することにより部品複数個取り用のセラ
ミック積層グリーンシートとして得る。この部品複数個
取り用のセラミック積層グリーンシートを刃角度１０°
程度のカッターでＸ，Ｙ方向に切断することから、部品
単位に分離されないセラミックグリーンチップ素体のブ
ロックとして得られる。
ンシートは、内部電極とセラミックグリーンシートが交
互になるよう複数積層する。最外層には内部電極が設け
られていないセラミックグリーンシートを積層した後、
全体を加圧圧着することにより部品複数個取り用のセラ
ミック積層グリーンシートとして得る。この部品複数個
取り用のセラミック積層グリーンシートを刃角度１０°
程度のカッターでＸ，Ｙ方向に切断することから、部品
単位に分離されないセラミックグリーンチップ素体のブ
ロックとして得られる。
【００１５】そのセラミックグリーンチップ素体のブロ
ックＢは、図２で示すようにセラミックグリーンチップ
素体のＸ，Ｙ方向に切断された隅に位置するものが先頭
になるよう全体を斜め状態に搭載させてベルトコンベア
１で搬送し、圧接ローラ２のローラ面が各セラミックグ
リーンチップ素体の対角線上に接するようセラミックグ
リーンチップ素体のブロックＢを押さえることにより部
品単位に分離することができる。
ックＢは、図２で示すようにセラミックグリーンチップ
素体のＸ，Ｙ方向に切断された隅に位置するものが先頭
になるよう全体を斜め状態に搭載させてベルトコンベア
１で搬送し、圧接ローラ２のローラ面が各セラミックグ
リーンチップ素体の対角線上に接するようセラミックグ
リーンチップ素体のブロックＢを押さえることにより部
品単位に分離することができる。
【００１６】茲で適用する装置には、セラミックグリー
ンチップ素体のブロックＢを少なくともガラス転移温度
以上の温度に予熱する加熱炉３がベルトコンベア１によ
る搬送途上に備えられている。また、ベルトコンベア１
としては搬送速度乃至は距離により加熱炉３からセラミ
ックグリーンチップ素体のブロックＢをガラス転移温度
の帯熱状態に保って終端付近まで搬送するものが備えら
れている。これにより、加圧ローラ２ではベルトコンベ
アの下方に回る終端付近でガラス転移温度の帯熱状態に
あるセラミックグリーンチップ素体のブロックＢを押さ
えて部品単位に分離可能に構成されている。
ンチップ素体のブロックＢを少なくともガラス転移温度
以上の温度に予熱する加熱炉３がベルトコンベア１によ
る搬送途上に備えられている。また、ベルトコンベア１
としては搬送速度乃至は距離により加熱炉３からセラミ
ックグリーンチップ素体のブロックＢをガラス転移温度
の帯熱状態に保って終端付近まで搬送するものが備えら
れている。これにより、加圧ローラ２ではベルトコンベ
アの下方に回る終端付近でガラス転移温度の帯熱状態に
あるセラミックグリーンチップ素体のブロックＢを押さ
えて部品単位に分離可能に構成されている。
【００１７】その装置を適用することから、上述した積
層セラミックチップコンデンサ用のセラミックグリーン
チップ素体を分離する場合を例示すると、加熱炉３では
セラミックグリーンチップ素体のブロックＢを９０〜１
００℃程度に加熱し、ベルトコンベア１の終端付近では
６０℃程度のガラス転移温度の帯熱状態に保たれればよ
い。このセラミックグリーンチップ素体のブロックＢを
ガラス転移温度の帯熱状態に保つことから、樹脂バイン
ダーによる素体相互の付着力を下げられて部品単位に確
実に分離することができる。
層セラミックチップコンデンサ用のセラミックグリーン
チップ素体を分離する場合を例示すると、加熱炉３では
セラミックグリーンチップ素体のブロックＢを９０〜１
００℃程度に加熱し、ベルトコンベア１の終端付近では
６０℃程度のガラス転移温度の帯熱状態に保たれればよ
い。このセラミックグリーンチップ素体のブロックＢを
ガラス転移温度の帯熱状態に保つことから、樹脂バイン
ダーによる素体相互の付着力を下げられて部品単位に確
実に分離することができる。
【００１８】ベルトコンベア１は、圧接ローラ２との進
出角を３０°程度に保つよう終端側を下り勾配に進行回
動することから圧接ローラ２により部品単位に分離した
セラミックグリーンチップ素体を個々に搬出することが
できる。その圧接ローラ２では、３Ｋｇ／ｃｍ２程度の
圧力で押圧することによりセラミックグリーンチップ素
体を個々に分離できる。
出角を３０°程度に保つよう終端側を下り勾配に進行回
動することから圧接ローラ２により部品単位に分離した
セラミックグリーンチップ素体を個々に搬出することが
できる。その圧接ローラ２では、３Ｋｇ／ｃｍ２程度の
圧力で押圧することによりセラミックグリーンチップ素
体を個々に分離できる。
【００１９】その個々に分離したセラミックグリーンチ
ップ素体の搬出側には、エアー圧を作用するエアー吐出
装置が装備されている。従来、そのエアー圧としては
４．０Ｋｇ／ｃｍ２程度を作用させているが、上述した
工程によれば、１．５３Ｋｇ／ｃｍ２程度のエアー圧を
作用すればよい。このエアー圧の作用により、セラミッ
クグリーンチップ素体の分離を助長できると共に、セラ
ミックグリーンチップ素体を４０℃程度に冷却できると
ころから、個々に分離されたものが再付着するのも防げ
る。
ップ素体の搬出側には、エアー圧を作用するエアー吐出
装置が装備されている。従来、そのエアー圧としては
４．０Ｋｇ／ｃｍ２程度を作用させているが、上述した
工程によれば、１．５３Ｋｇ／ｃｍ２程度のエアー圧を
作用すればよい。このエアー圧の作用により、セラミッ
クグリーンチップ素体の分離を助長できると共に、セラ
ミックグリーンチップ素体を４０℃程度に冷却できると
ころから、個々に分離されたものが再付着するのも防げ
る。
【００２０】加圧ローラ２としては、弾性ゴムやスポン
ジ等をローラ面に被覆した弾性部材のものを装備すると
よい。その弾性ゴムやスポンジ等の被覆ローラに代え
て、図３で示すように加圧ローラ２と同調回転する弾性
ゴムやスポンジ等の弾性ベルト４を介して加圧ローラ２
による押圧力をセラミックグリーンチップ素体のブロッ
クＢに作用してもよい。これにより、割れや欠けが個々
に分離するセラミックグリーンチップ素体に生ずるのを
防ぐことができる。
ジ等をローラ面に被覆した弾性部材のものを装備すると
よい。その弾性ゴムやスポンジ等の被覆ローラに代え
て、図３で示すように加圧ローラ２と同調回転する弾性
ゴムやスポンジ等の弾性ベルト４を介して加圧ローラ２
による押圧力をセラミックグリーンチップ素体のブロッ
クＢに作用してもよい。これにより、割れや欠けが個々
に分離するセラミックグリーンチップ素体に生ずるのを
防ぐことができる。
【００２１】その他に、ベルトコンベア１にはコンベア
ベルトの終端側を水平状態から所定の曲率で回向走行さ
せるようスライドガイドするガイドプレート５を装備す
ることができる。このガイドプレート５では、加圧ロー
ラ２により押さえるセラミックグリーンチップ素体のブ
ロックＢをコンベアベルトの水平面から湾曲面に安定よ
く移行させられるため、セラミックグリーンチップ素体
のブロックＢをより確実に分離するよう加圧ローラ２に
よる押圧力を作用できる。
ベルトの終端側を水平状態から所定の曲率で回向走行さ
せるようスライドガイドするガイドプレート５を装備す
ることができる。このガイドプレート５では、加圧ロー
ラ２により押さえるセラミックグリーンチップ素体のブ
ロックＢをコンベアベルトの水平面から湾曲面に安定よ
く移行させられるため、セラミックグリーンチップ素体
のブロックＢをより確実に分離するよう加圧ローラ２に
よる押圧力を作用できる。
【００２２】本発明の有効性を確認するべく、部品複数
個取り用のセラミック積層グリーンシートを部品単位に
切断した各々７０のブロックに対し、本発明と従来方法
を適用することにより分離処理を行った。その結果か
ら、付着不良率，外観不良を検査したところ、次の表１
で示す通りであった。このうち、付着不良率は各ブロッ
クの平均値を示し、外観不良は潰れやクラックの入った
ものも不良とした。
個取り用のセラミック積層グリーンシートを部品単位に
切断した各々７０のブロックに対し、本発明と従来方法
を適用することにより分離処理を行った。その結果か
ら、付着不良率，外観不良を検査したところ、次の表１
で示す通りであった。このうち、付着不良率は各ブロッ
クの平均値を示し、外観不良は潰れやクラックの入った
ものも不良とした。
【００２３】
【表１】
【００２４】この表１で示すように、従来方法に比べ
て、本発明では付着不良率を１／３弱に減少でき、外観
不良発生率も１／５弱に減少できることが確認できた。
て、本発明では付着不良率を１／３弱に減少でき、外観
不良発生率も１／５弱に減少できることが確認できた。
【００２５】このように、各部品単位に分離したセラミ
ックグリーンチップ素体は脱脂処理した後、内部電極が
酸化しないよう酸素濃度を制御したＮ２+Ｈ２(水素５
％)の雰囲気炉の内部で１３００℃程度の温度で焼成処
理し、外部電極としてＣｕペーストを両端部に塗布焼付
けし、更に、メッキ処理をＮｉメッキ，Ｓｎメッキの順
でＣｕ被膜に施すことにより積層セラミックチップコン
デンサとして製造することができる。
ックグリーンチップ素体は脱脂処理した後、内部電極が
酸化しないよう酸素濃度を制御したＮ２+Ｈ２(水素５
％)の雰囲気炉の内部で１３００℃程度の温度で焼成処
理し、外部電極としてＣｕペーストを両端部に塗布焼付
けし、更に、メッキ処理をＮｉメッキ，Ｓｎメッキの順
でＣｕ被膜に施すことにより積層セラミックチップコン
デンサとして製造することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上の如く、本発明の請求項１並びに３
に係る積層セラミックチップ部品の製造方法及び装置に
依れば、セラミックグリーンチップ素体のブロックを少
なくともガラス転移温度以上の温度に予熱する加熱炉
と、その加熱炉からセラミックグリーンチップ素体のブ
ロックをガラス転移温度の帯熱状態に保って終端付近ま
で搬送するベルトコンベアと、ベルトコンベアの下方に
回る終端付近に配置されてガラス転移温度の帯熱状態に
あるセラミックグリーンチップ素体のブロックを押さえ
て部品単位に分離する圧接ローラとを備え、セラミック
グリーンチップ素体のブロックを予熱させてベルトコン
ベアで搬送し、そのベルトコンベアの下方に回る終端付
近でガラス転移温度の帯熱状態にあるセラミックグリー
ンチップ素体のブロックを圧接ローラにより押さえて部
品単位に分離するという簡易な手段によりセラミックグ
リーンチップ素体のブロックを部品単位に確実に分離す
ることができる。
に係る積層セラミックチップ部品の製造方法及び装置に
依れば、セラミックグリーンチップ素体のブロックを少
なくともガラス転移温度以上の温度に予熱する加熱炉
と、その加熱炉からセラミックグリーンチップ素体のブ
ロックをガラス転移温度の帯熱状態に保って終端付近ま
で搬送するベルトコンベアと、ベルトコンベアの下方に
回る終端付近に配置されてガラス転移温度の帯熱状態に
あるセラミックグリーンチップ素体のブロックを押さえ
て部品単位に分離する圧接ローラとを備え、セラミック
グリーンチップ素体のブロックを予熱させてベルトコン
ベアで搬送し、そのベルトコンベアの下方に回る終端付
近でガラス転移温度の帯熱状態にあるセラミックグリー
ンチップ素体のブロックを圧接ローラにより押さえて部
品単位に分離するという簡易な手段によりセラミックグ
リーンチップ素体のブロックを部品単位に確実に分離す
ることができる。
【００２７】本発明の請求項２並びに４に係る積層セラ
ミックチップ部品の製造方法及び装置に依れば、弾性部
材の圧接ローラを備え、ガラス転移温度の帯熱状態にあ
るセラミックグリーンチップ素体のブロックを押さえて
部品単位に分離することから、セラミックグリーンチッ
プ素体の割れや欠けを生ずる確実に防ぐことができる。
ミックチップ部品の製造方法及び装置に依れば、弾性部
材の圧接ローラを備え、ガラス転移温度の帯熱状態にあ
るセラミックグリーンチップ素体のブロックを押さえて
部品単位に分離することから、セラミックグリーンチッ
プ素体の割れや欠けを生ずる確実に防ぐことができる。
【図１】本発明に係る積層セラミックチップ部品の製造
装置としてセラミックグリーンチップ素体ブロックの分
離装置を側面で示す説明図である。
装置としてセラミックグリーンチップ素体ブロックの分
離装置を側面で示す説明図である。
【図２】本発明に係る積層セラミックチップ部品の製造
装置としてセラミックグリーンチップ素体ブロックの分
離装置を平面で示す説明図である。
装置としてセラミックグリーンチップ素体ブロックの分
離装置を平面で示す説明図である。
【図３】本発明に係る積層セラミックチップ部品の製造
装置として別の形態に係るセラミックグリーンチップ素
体ブロックの分離装置を部分側面で示す説明図である。
装置として別の形態に係るセラミックグリーンチップ素
体ブロックの分離装置を部分側面で示す説明図である。
Ｂ セラミックグリーンチップ素体ブロック １ ベルトコンベア ２ 加圧ローラ ３ 加熱炉
Claims (4)
- 【請求項１】 部品複数個取り用のセラミック積層グリ
ーンシートを部品単位のセラミックグリーンチップ素体
に切断し、その切断によっても部品単位に分離されてい
ないセラミックグリーンチップ素体のブロックを部品単
位に分離し、このセラミックグリーンチップ素体から積
層セラミックチップ部品を製造する方法として、 上記セラミックグリーンチップ素体のブロックを予熱さ
せてベルトコンベアで搬送し、そのベルトコンベアの下
方に回る終端付近でガラス転移温度の帯熱状態にあるセ
ラミックグリーンチップ素体のブロックを圧接ローラに
より押さえて部品単位に分離するようにしたことを特徴
とする積層セラミックチップ部品の製造方法。 - 【請求項２】 ガラス転移温度の帯熱状態にあるセラミ
ックグリーンチップ素体のブロックを弾性部材の圧接ロ
ーラにより押さえて部品単位に分離するようにしたこと
を特徴とする請求項１に記載の積層セラミックチップ部
品の製造方法。 - 【請求項３】 部品複数個取り用のセラミック積層グリ
ーンシートを部品単位のセラミックグリーンチップ素体
に切断し、その切断によっても部品単位に分離されてい
ないセラミックグリーンチップ素体のブロックを部品単
位に分離し、このセラミックグリーンチップ素体から積
層セラミックチップ部品を製造する装置として、 上記セラミックグリーンチップ素体のブロックを少なく
ともガラス転移温度以上の温度に予熱する加熱炉と、そ
の加熱炉からセラミックグリーンチップ素体のブロック
をガラス転移温度の帯熱状態に保って終端付近まで搬送
するベルトコンベアと、このベルトコンベアの下方に回
る終端付近に配置されてガラス転移温度の帯熱状態にあ
るセラミックグリーンチップ素体のブロックを押さえて
部品単位に分離する圧接ローラとを備えたことを特徴と
する積層セラミックチップ部品の製造装置。 - 【請求項４】 ガラス転移温度の帯熱状態にあるセラミ
ックグリーンチップ素体のブロックを押さえて部品単位
に分離する弾性部材の圧接ローラを備えたことを特徴と
する請求項３に記載の積層セラミックチップ部品の製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01964799A JP4021087B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 積層セラミックチップ部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01964799A JP4021087B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 積層セラミックチップ部品の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005035278A Division JP4069324B2 (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | 積層セラミックチップ部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000223360A true JP2000223360A (ja) | 2000-08-11 |
| JP4021087B2 JP4021087B2 (ja) | 2007-12-12 |
Family
ID=12005043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01964799A Expired - Lifetime JP4021087B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 積層セラミックチップ部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4021087B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005353946A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Murata Mfg Co Ltd | チップ分離方法及びチップ分離装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101171964B1 (ko) | 2012-05-14 | 2012-08-07 | 장기환 | 폐비닐 압축 성형장치 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6023014A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-05 | ロ−ム株式会社 | 電子部品の基板ブレ−ク装置 |
| JPS62284707A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | ウエハ−ブレ−キング装置 |
| JPH042600U (ja) * | 1990-04-21 | 1992-01-10 | ||
| JPH08172027A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-07-02 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
| JPH08206999A (ja) * | 1995-02-01 | 1996-08-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 板状硬脆材料の分割方法 |
-
1999
- 1999-01-28 JP JP01964799A patent/JP4021087B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6023014A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-05 | ロ−ム株式会社 | 電子部品の基板ブレ−ク装置 |
| JPS62284707A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | ウエハ−ブレ−キング装置 |
| JPH042600U (ja) * | 1990-04-21 | 1992-01-10 | ||
| JPH08172027A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-07-02 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
| JPH08206999A (ja) * | 1995-02-01 | 1996-08-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 板状硬脆材料の分割方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005353946A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Murata Mfg Co Ltd | チップ分離方法及びチップ分離装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4021087B2 (ja) | 2007-12-12 |
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