JP2000232147A - プロセスチャンバでの基板位置決め装置、および搬送機構のアーム位置の監視装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】搬送用チャンバに設けられた基板搬送機構によ
って基板をプロセスャンバに搬入する場合にプロセスチ
ャンバでの基板位置決めを簡単かつ正確に行うプロセス
チャンバでの基板位置決め装置およびアーム位置監視装
置を提供する。 【解決手段】プロセスチャンバ１３ａと、基板搬送機構
２１が設けられたセパレーションチャンバ１２を備え、
基板搬送機構はアーム２２とフォーク２３を有し、フォ
ークで基板を支持し、アームで基板をプロセスチャンバ
内に搬送する。さらに基板搬送機構に基板位置検出に使
用されるマーク２６を設け、セパレーションチャンバの
外側にアームが伸び停止位置にあるときマークを測定す
るＣＣＤカメラ１５ａを設ける。マークの測定位置デー
タと基準位置データを比較し、その差が補正可能範囲内
であれば当該差が実質的に０になるように基板搬送機構
の動作を補正する制御手段（１６，１７，１８）を備え
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プロセスチャンバ
での基板位置決め装置、および搬送機構のアーム位置監
視装置に関し、特に、各種半導体デバイスを製造する半
導体製造装置に使用される基板搬送機構の動作位置を中
央に位置するセパレーションチャンバでＣＣＤカメラを
用いて監視しながら、プロセスチャンバでの基板の配置
位置が予めティーチングされた位置に正しくセットされ
るように基板搬送機構の動作状態を自動的に補正する装
置、および汎用性の高い搬送機構のアーム位置の監視装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＬＳＩ等の半導体デバイスは、基
板に対する多くの表面処理を経て製作される。基板に対
して表面処理を行う装置は一般的に半導体製造装置と総
称され、この中にはスパッタリングや化学蒸着（ＣＶ
Ｄ）等の薄膜作製を行う装置や、エッチングや不純物注
入等の表面加工を行う装置が含まれる。

【０００３】上記の半導体製造装置では、未処理の基板
をプロセスチャンバ内に搬入したり処理後の基板をプロ
セスチャンバから搬出することが必要である。このため
多くの半導体製造装置では基板搬送機構（搬送ロボッ
ト）を備えている。従来の基板搬送機構の一例は特願平
６−２２４２８４号公報に開示される。この文献に開示
される基板搬送機構は、マルチチャンバ型スパッタリン
グ装置に適用された例を示している。

【０００４】上記文献に記述される基板搬送機構は、ロ
ボットによるハンドリングに適用され、位置制御機構を
有し、プロセスチャンバ内の所定位置に基板を搬送し配
置するための機構である。この装置では、搬送ロボット
を備えた移送チャンバが中央に設けられ、この移送チャ
ンバの周囲に複数のプロセスチャンバが設けられてい
る。移送チャンバの搬送ロボットで基板を各プロセスチ
ャンバへ移送するとき、基板そのものの移動状態を監視
し、得られた監視データを用いて基板の中心点を決定
し、基板を支持する支持ブレードの移送ための動作状態
を較正する。基板の移動状態を監視する手段は、移送チ
ャンバに設けられたセンサアレイである。さらに詳しく
は、上記文献による基板搬送機構では、複数のプロセス
チャンバの各々へ基板を移送するとき各プロセスチャン
バごとで予め決められた目的位置に対して基板を正確に
位置決めするため、基板および支持ブレードの運動によ
る円弧軌道に対してほぼ横方向に配置されたセンサアレ
イを移送チャンバに設け、このセンサアレイによって基
板の移動状態を監視し、基板および支持ブレードの目的
位置に対する相対的な位置を検出するように構成されて
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】基板搬送機構は、真空
中で基板を搬送する場合、回転や上下方向の動作だけで
なく、伸び縮みの動作を行うため、特にアームが伸びた
状態での停止精度が問題になる。また真空中における基
板搬送機構の停止精度は、基板の破損またはパーティク
ル発生などの製品の歩留まり低下の原因になる。さらに
基板搬送機構の停止精度は３次元での精度向上が要求さ
れ、特に２次元の精度が悪いと、基板の破損、パーティ
クル発生などの歩留まり低下の原因にもなっている。

【０００６】さらに、マルチチャンバ型の半導体製造装
置においてプロセスチャンバごとの基板搬送機構をその
製造工程に多く用いる半導体製造においては、そのデザ
インルームの微小化に伴って、近年、基板搬送装置の停
止精度の向上が必要とされている。

【０００７】前述の従来の基板搬送機構によれば、検出
手段として少なくとも三対の発光器と受光器からなるユ
ニットのセンサアレイを利用しているが、この基板搬送
機構において検出手段として例えばＣＣＤカメラを利用
して構成した場合、基板の中心位置を決定するためのセ
ンサアレイとして少なくとも３つのＣＣＤカメラを必要
とし、複数のＣＣＤカメラを利用しなければならないこ
とから、装置構成が全体として複雑となる。また実際
上、３つのＣＣＤカメラを用いて基板の中心位置を正確
に求めることは非常に難しいデータ処理を行わなければ
ならない。さらに上記の３つのＣＣＤカメラは移送チャ
ンバの外側の箇所に配置されることになるので、真空処
理装置を組み立てる際に、ＣＣＤカメラの配置場所の絶
対位置がずれやすいという問題も生じる。

【０００８】本発明の目的は、上記問題を解決すること
にあり、搬送用チャンバに設けられた基板搬送機構によ
って基板をプロセスャンバに搬入する場合にプロセスチ
ャンバでの基板位置決めを簡単かつ正確に行うプロセス
チャンバでの基板位置決めを行う装置を提供することに
ある。さらに本発明の目的は、例えば上記基板位置決め
装置に最適な搬送機構のアーム位置の監視装置を提供す
ることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段および作用】本発明に係る
プロセスチャンバでの基板位置決めを行う装置は、上記
目的を達成するため、次のように構成される。

【００１０】本発明による基板位置決め装置は、基板処
理を行う少なくとも１つのプロセスチャンバと、基板搬
送機構が設けられた搬送用チャンバ（セパレーションチ
ャンバ）を備え、基板搬送機構は回転・伸縮自在なアー
ムとこのアームの先部に設けられた基板支持部（フォー
ク）とからなり、基板支持部で基板を支持し、アームの
回転・伸縮動作で基板をプロセスチャンバの内部の所定
位置に搬送し配置するように構成された装置に適用され
る。本装置は、さらに基板搬送機構に基板位置検出に使
用される対象部（マーク）を設け、搬送用チャンバの外
側に、アームが伸び停止位置にあるとき、搬送用チャン
バにて対象部を測定する撮像装置（ＣＣＤカメラ）を設
け、さらに、撮像装置の測定で得られた対象部の位置デ
ータと予め教示された基準位置データとを比較し、位置
データと基準位置データの差が補正可能範囲内であれば
当該差が実質的に０になるように基板搬送機構の動作を
補正する処理制御手段を備えている。

【００１１】本発明による装置では、搬送用チャンバの
内部に装備された基板搬送機構の適切な部分にアーム位
置（実質的に基板の配置位置）を認識できる対象部を設
け、この対象部を、搬送用チャンバの天井部に設けられ
たビューイングポートを介して、搬送用チャンバの上方
外側に配備した撮像装置すなわちＣＣＤカメラによって
監視・撮像し、アームの伸び停止位置を測定する。撮像
装置には撮像制御用のコントローラが接続されている。
このコントローラで処理された撮像データを管理用パソ
コンに送り、当該パソコンで撮像データと予めティーチ
ングされた基準位置データが比較され、そのズレが補正
可能範囲であれば、ズレ量をアーム位置補正のための量
に変換し、装置全体の動作を制御するコントローラに補
正用データを送り、基板搬送機構のアームの停止位置が
適切な位置になるように制御を行う。

【００１２】上記の構成において、上記対象部は、好ま
しくは、基板支持部の後端から後方に延設された部材に
設けられる。

【００１３】上記の構成において、好ましくは、上記基
板支持部は、アームの先部を中心として、搬送用チャン
バの径方向に向かってかつ対称的に配置された第１支持
部と第２支持部からなり、これらの第１支持部と第２支
持部の各々に対象部が設けられ、第１支持部で基板をプ
ロセスチャンバに搬送して配置するときには第２支持部
の対象部が基板位置検出のために使用される。

【００１４】上記の構成において、撮像装置の設置位置
についての位置ズレを検出する位置ズレ検出部を、撮像
装置の設置に関連させて搬送用チャンバに設けたことを
特徴とする。

【００１５】本発明による他の基板位置決め装置は、基
板搬送機構が設けられた中央チャンバと、この中央チャ
ンバの周囲に設けられかつ各々で基板が処理される複数
のプロセスチャンバとを備え、基板搬送機構によって基
板を複数のプロセスチャンバの各々に搬送して配置し、
基板を順次処理するマルチチャンバシステムに適用され
る装置である。本装置は、基板搬送機構に基板位置検出
に使用される対象部を設け、対象部を検出する撮像装置
をプロセスチャンバごとに中央チャンバの外側に設け、
さらに、撮像装置の検出で得られた対象部の位置データ
と予め教示された基準位置データとを比較し、位置デー
タと基準位置データの差が補正可能範囲内であれば当該
差が実質的に０になるように基板搬送機構の動作を補正
する制御手段を備えている。

【００１６】本発明では、基板搬送機構の付加された検
出対象部と撮像装置とを含んでなる基板位置決め装置
が、マルチチャンバシステムにおける中央チャンバを利
用して設けられる。

【００１７】上記の構成において、基板搬送機構は、中
央チャンバの中心部の周りで回転しかつ中央チャンバの
径方向に伸縮するなアームと、このアームの先部に設け
られ径方向に延設された基板支持部とからなり、基板支
持部で基板を支持し、アームの回転・伸縮動作で基板を
プロセスチャンバの内部の所定位置に搬送し配置するよ
うに構成され、さらに対象部は基板支持部に関連する部
分に設けられることを特徴とする。

【００１８】上記の構成において、対象部は、好ましく
は、基板支持部の後端から後方に延設された部材に設け
られることを特徴とする。

【００１９】上記の構成において、好ましくは、基板支
持部は、アームの先部を中心として、中央用チャンバの
径方向に向かってかつ対称的に配置された第１支持部と
第２支持部からなり、これらの第１支持部と第２支持部
の各々に対象部が設けられ、第１支持部で基板をプロセ
スチャンバに搬送して配置するときには第２支持部の対
象部が基板位置検出のために使用されることを特徴とす
る。

【００２０】上記の構成において、好ましくは、上記撮
像装置は複数のプロセスチャンバの各々に対応して複数
設けられることを特徴とする。撮像装置は複数のプロセ
スチャンバの各プロセスチャンバごとに１台ずつ設けら
れ、かつプロセスチャンバごとに１台の撮像装置を設け
るだけで基板位置決めの監視・撮像、自動補正が行われ
る。

【００２１】上記の構成において、好ましくは、上記対
象部は、中央チャンバに対して径方向の位置が異なるプ
ロセスチャンバごとに対応して複数設けられることを特
徴とする。

【００２２】上記の構成において、上記撮像装置は、基
板搬送機構のアームが伸び停止位置にあるとき、対象部
を検出するように配置されることを特徴とする。

【００２３】上記の構成において、好ましくは、上記差
が補正可能範囲外であれば基板搬送機構の動作を停止さ
せることを特徴とする。

【００２４】上記の構成において、撮像装置の設置位置
についての位置ズレを検出する位置ズレ検出部を、撮像
装置の設置位置に関連させて中央チャンバに設けたこと
を特徴とする。

【００２５】本発明に係る搬送機構のアーム位置の監視
装置は次のように構成される。当該監視装置は、搬送機
構が設けられた搬送用チャンバを備え、搬送機構は回転
・伸縮自在なアームとこのアームの先部に設けられた支
持部とからなり、支持部で支持対象物を支持し、アーム
の回転・伸縮動作で支持対象物を搬送する装置に適用さ
れる。監視装置は、さらに、搬送機構に位置検出に使用
される対象部を設け、搬送用チャンバの外側に、アーム
が停止位置にあるとき、搬送用チャンバにて対象部を測
定する撮像装置を設け、撮像装置の測定で得られた対象
部の位置データに基づいて、アームの位置を監視するこ
とにより、支持対象物の位置を監視する監視手段を備え
ている。また上記対象部は、アームを含む移動部の一部
に設けられることが好ましい。さらに撮像装置の設置位
置についての位置ズレを検出する位置ズレ検出部を、撮
像装置に関連させて搬送用チャンバに設けるようにする
ことも好ましい。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて説明する。

【００２７】図１に従って全体の構成を説明する。図１
に示した構成は代表的な例であり、本発明はこれに限定
されない。１１は、本発明によるプロセスチャンバでの
基板位置決め装置、および基板搬送機構のアーム位置の
監視装置が適用されるマルチチャンバシステムである。
マルチチャンバシステム１１は、中央に設けられたセパ
レーションチャンバ１２と、このセパレーションチャン
バ１２の周囲に設けられた複数のプロセスチャンバ（中
央チャンバ）１３ａ〜１３ｅおよびロードロックチャン
バ１４とを備えている。セパレーションチャンバ１２
は、搬送用チャンバであり、その内部に、基板を各プロ
セスチャンバ内へ搬入しかつそこから搬出するための基
板搬送機構（図１中図示せず）を内蔵する。プロセスチ
ャンバ１３ａ〜１３ｅは、それぞれ、予め定められた位
置に配置された基板に対して成膜やエッチング等の各処
理が行われる。セパレーションチャンバ１２の基準位置
となる例えば中心位置に対して、プロセスチャンバ１３
ａ〜１３ｅの各々の設置位置は異なっている。

【００２８】本発明に係るプロセスチャンバでの基板位
置決め装置、およびこれの基になる搬送機構のアーム位
置の監視装置は、上記マルチチャンバシステム１１のセ
パレーションチャンバ１２に付設される。この基板位置
決め装置は、基板搬送機構によってセパレーションチャ
ンバ１２からプロセスチャンバ１３ａ〜１３ｅの各々に
基板を搬入するとき、各プロセスチャンバ内の所定の位
置に正確に基板を配置する。この場合において、各プロ
セスチャンバに関して基板設置位置はそれぞれ異なるの
で、セパレーションチャンバ１２に設けられた基板位置
決め装置によれば、セパレーションチャンバ１２におい
て、プロセスチャンバごとに基板に関する位置監視を監
視装置によって行い、各プロセスチャンバで正しい位置
に基板を配置する。そのため基板位置決め装置は、セパ
レーションチャンバ１２の天井壁の外側にプロセスチャ
ンバ１３ａ〜１３ｅの各々に対応してＣＣＤカメラ１５
ａ〜１５ｅが設けられている。セパレーションチャンバ
１２での基板に関する位置監視は、対応する１台のＣＣ
Ｄカメラによって基板を搬送する基板搬送機構を監視
し、その動作が適切か否かを判断することによって行わ
れる。より具体的には、好ましくは、プロセスチャンバ
ごとに後述するごとく基板搬送機構における基板を支持
する支持部材（以下「フォーク」という）に設けられた
マーク（監視対象部）を１台のＣＣＤカメラによって監
視することにより行われる。従って基板に関する位置監
視はフォーク位置の監視を意味する。

【００２９】上記マルチチャンバシステム１１に対し
て、制御系として、少なくとも２種類のコントローラ
（シーケンス制御部）１６，１７と、フォーク位置監視
用コンピュータ１８とが設けられている。コントローラ
１６はマルチチャンバシステム１１の全体動作を制御す
る制御手段であり、コントローラ１７は基板位置決め装
置に含まれる上記ＣＣＤカメラ１５ａ〜１５ｅの動作を
制御する制御手段である。コントローラ１６，１７の各
々は所定作業を実行するためのプログラムが用意されて
いる。フォーク位置監視用コンピュータ１８は、基板搬
送機構２１のアーム２２で基板を搬送するとき、アーム
２２に設けられたフォークの位置監視に使用される制御
手段であり、必要な条件の設定、情報の入力・提示を行
うための手段である。

【００３０】図２はセパレーションチャンバ１２と１つ
のプロセスチャンバ１３ａの内部および外部の構造とフ
ォーク位置監視を行う装置構成と制御系を示し、図３と
図４は上述した基板搬送機構２１のアーム２２の伸び停
止と縮み停止の状態を示している。

【００３１】セパレーションチャンバ１２の内部に設け
られた基板搬送機構２１はアーム２２とフォーク２３を
備えている。アーム２２は、４つの比較的に長い片２２
ａを回転自在な結合部で結合し、その形が変形するほぼ
平行四辺形を形成するようにして構成されている。アー
ム２２の基端２２ｂは、セパレーションチャンバ１２の
下壁１２ａのほぼ中心部の下側に設けられたモータ２４
の回転軸２４ａに結合されている。アーム２２はモータ
２４によって基端２２ｂを中心に自在に回転するように
構成されている。またアーム２２は、セパレーションチ
ャンバ１２の径方向２５において伸縮する機構として構
成されている。図３はアーム２２が伸び停止位置にある
状態を示し、図４はアーム２２が縮み停止位置にある状
態を示している。アーム２２の回転は、図４に示される
ようにアーム２２が縮み停止状態にあるときに行われ
る。アーム２２の先端２２ｃにはフォーク２３が固定さ
れている。フォーク２３は長形の形状を有し、その中央
部でアーム２２の先端２２ｃに取り付けられている。フ
ォーク２３はその長手方向が常にセパレーションチャン
バ１２の径方向を向くように保持される。またフォーク
２３は、その中央部を中心にして、図３または図４で好
ましくは線対称の位置関係にある右側の第１フォーク２
３ａと左側の第２フォーク２３ｂから構成される。第１
フォーク２３ａは少なくとも１枚の基板をほぼ水平状態
で載置させ、支持する部分として機能する。第１フォー
ク２３ａによって基板は１枚づつ各プロセスチャンバに
搬入される。さらに第２フォーク２３ｂの上面には、基
板搬送機構２１のアーム２２の位置を監視する対象部と
してのマーク２６が複数の位置（Ａ，Ｂ，Ｃ）設けられ
ている。この例では、第２フォーク２３ｂの上面には３
つのマーク２６が示される。一方、第１フォーク２３ａ
の上面にはマーク２７が２箇所の位置（Ｄ，Ｅ）に示さ
れている。これらのマークはプロセスチャンバ１３ａ〜
１３ｅあるいはロードロックチャンバ１４の各々での基
板の位置決めに用いられる。

【００３２】上記フォーク２３において、基板を支持す
るための第１フォーク２３ａに対して、第２フォーク２
３ｂは、例えば第１フォーク２３ａの後端から後方へ延
設されたマーク表示用部材として認識することも可能で
ある。このマーク表示用部材は、第１フォーク２３ａと
一定の位置関係にある延設部として認識される。このよ
うな観点の場合、第１フォークおよび第２フォークは必
ずしも対称に設けられる必要はない。また第１フォーク
と第２フォークが対称である場合には、第１フォークと
第２フォークに基板支持とマーク表示の同じ機能を同等
に持たせることも可能である。

【００３３】図３において、矢印２８の方向から基板搬
送機構２１を見ると、図５に示すごとくなる。基端側の
一対のアーム片と先端側の一対のアーム片は高さ位置を
異ならせて連結されており、これにより前述の伸縮動作
を可能にしている。また基板搬送機構２１は全体の位置
を高さ方向に移動させることが可能である。

【００３４】図６を参照してさらにフォーク２３の一例
を詳述する。図６は、第２フォーク２３ｂ上のマーク２
６の位置がＡ，Ｂ，Ｃの例えば３通りの場合、および第
１フォーク２３ａにおける基板保持中心部の位置がＤ
（プロセスチャンバの電極中心部に一致する場合），Ｅ
（ロードロックチャンバの中心部の場合）の例えば２通
りの場合を示したものである。前述の通り、マーク２６
を複数の位置に用意することにより、セパレーションチ
ャンバ１２の中心部から各プロセスチャンバ１３ａ〜１
３ｅのまでの位置が一定ではなく各プロセスチャンバご
とに異なる構成に対応させている。基板搬送機構２１の
アーム２２が回転運動を行う際、第２フォーク２３ｂで
利用されるマーク２６の位置、および第１フォーク２３
ａで利用される基板保持中心部の位置に応じて、円周方
向の移動の長さ（弧の長さ）が異なる。そこで、第２フ
ォーク２３ｂのマーク２６の位置と第１フォーク２３ａ
の基板保持中心部の位置によって、アーム２２が回転し
た際の弧の長さをパルス数に変換することにより、セパ
レーションチャンバ１２の中心部から各プロセスチャン
バ１３ａ〜１３ｅまでの位置が一定でない場合でも、そ
れぞれの基板２９の配置位置に関するティーチング（教
示）が可能になった。

【００３５】次に、図２を参照して基板（図２中、図示
を省略している）をプロセスチャンバ１３ａに搬入する
動作を説明する。図２では、セパレーションチャンバ１
２およびプロセスチャンバ１３ａで、基板搬送機構２１
が図３に示す伸び停止状態にあり、基板はプロセスチャ
ンバ１３ａ内に搬入されている。このときプロセスチャ
ンバ１３ａにおける基板のセット位置が予め定められた
正しい位置にあるか否かが、セパレーションチャンバ１
２に付設された前述の監視装置によって監視される。当
該監視装置は、プロセスチャンバ１３ａに対応するＣＣ
Ｄカメラ１５ａを含んで成る。ＣＣＤカメラ１５ａは、
セパレーションチャンバ１２の天井壁１２ｂの外側に固
定状態で設けられ、天井壁１２ｂに設けられたビューイ
ングポート３１を通してセパレーションチャンバ１２の
内部を上側から撮影するようになっている。

【００３６】上記の位置監視用ＣＣＤカメラはプロセス
チャンバ１３ａ〜１３ｅの各々に対応して設けられる。
その理由は、プロセスチャンバごとの配置位置が異な
り、かつ各プロセスチャンバごとに基板のセット位置が
異なるからである。

【００３７】ＣＣＤカメラ１５ａはＣＣＤカメラ用コン
トローラ１７に接続され、ＣＣＤカメラ用コントローラ
１７はフォーク位置監視用パソコン１８に接続されてい
る。ＣＣＤカメラ用コントローラ１７は、ＣＣＤカメラ
１５ａの撮像制御を行い、処理した撮像データを監視用
パソコン１８に送る。ＣＣＤカメラ用コントローラ１７
と監視用パソコン１８は装置本体のためのコントローラ
１６に接続されている。コントローラ１６はさらに基板
搬送機構２１の駆動を制御する駆動用コントローラ３２
に接続されている。コントローラ３２は基板搬送機構２
１を駆動するモータ２４の動作を制御する。

【００３８】上記ビューイングポート３１の外側であっ
てＣＣＤカメラ１５ａの周囲には例えば複数の照明器３
３が配設される。照明器３３には例えばランプが使用さ
れる。これらの照明器３３は光源ユニット３４に接続さ
れている。照明器３３はビューイングポート３１を通し
てセパレーションチャンバ１２の内部を明るくし、ＣＣ
Ｄカメラ１５ａによる撮像・観察を容易化している。図
２に示された状態では、第１フォーク２３ａに基板（不
図示）を保持し、アーム２３が伸び、その伸び停止位置
で基板をプロセスチャンバ１３ａの所定位置にセットし
ている。このとき上側のＣＣＤカメラ１５ａは、ビュー
イングポート３１を通して、基板搬送機構２１のアーム
２２の第２フォーク２３ｂにおけるマーク２６の位置を
監視し、撮像する。監視対象となるマーク２６は、前述
の３つのマーク（Ａ〜Ｃ）のうちのプロセスチャンバ１
３ａに関連するマークである。ここでは、当該マークを
マーク２６であるとする。ＣＣＤカメラ１５ａは固定さ
れた位置で上方より第２フォーク２３ｂの上記マーク２
６の位置を監視し、撮像し、その位置を測定する。本実
施形態による基板位置決め装置では、基板搬送機構２１
におけるプロセスチャンバ１３ａに対する基板搬入のた
めのアーム２２の伸び停止位置において、マーク２６の
位置を検出し、当該位置を、ティーチングされた予め決
められた位置と比較することにより、プロセスチャンバ
１３ａにおいて基板が決められた位置に正しく配置され
たか否かを判断する。基板の配置が決められた位置より
許容範囲内でずれているときには、後述される所定条件
の下で補正が自動的に行われ、正しい位置に位置決めが
行われる。

【００３９】またセパレーションチャンバ１２の下壁１
２ａの内面において、セパレーションチャンバ１２ａの
外部に固定して配置されたＣＣＤカメラ１５ａの固定位
置に対応して、ＣＣＤカメラ１５ａ自体のズレ検出用の
マーク３５が設けられている。ＣＣＤカメラ１５ａは、
常にマーク３５を撮像できるように取り付けられてい
る。マーク３５は例えば下壁１２ａに形成されたマーク
であり、その位置は不変である。従って、ＣＣＤカメラ
１５ａで撮像されたマーク３５の像が予め決められた位
置から変化することは、ＣＣＤカメラ１５ａの取付け位
置自体がずれ、変化していることを意味する。マーク３
５を利用することによってＣＣＤカメラ１５ａ自体の位
置ズレを検出することが可能となる。セパレーションチ
ャンバ１２におけるプロセスチャンバ１２に関するＣＣ
Ｄカメラ１５ａとマーク３５等の構成は他のプロセスチ
ャンバに関しても同じである。従って、各プロセスチャ
ンバのＣＣＤカメラに対応してビューイングポートが設
けられ、各チャンバの下壁の内面における対応する位置
にマークが形成されている。

【００４０】なお図１において、セパレーションチャン
バ１２の天井壁１２ａの外側には、プロセスチャンバ１
３ａ〜１３ｅの各々に対応して５つのＣＣＤカメラ１５
ａ〜１５ｅが設けられている。

【００４１】次に図１〜図６に示されたハードとしての
構成、さらに図７〜図１６を参照して、各プロセスチャ
ンバ等における基板の搬入・搬出を行う基板搬送機構２
１のアーム動作、ＣＣＤカメラ１５ａ〜１５ｅによる基
板位置に関する測定・監視および自動補正の動作、ＣＣ
Ｄカメラ自体のズレ検出などの動作を説明する。セパレ
ーションチャンバ１２における基板搬送機構２１は、セ
パレーションチャンバ１２の周囲のプロセスチャンバ１
３ａ〜１３ｅの各々において基板の搬入・搬出を行う。
ここでは一例としてプロセスチャンバ１３ａでの基板の
搬送について説明する。

【００４２】基板搬送機構２１において、アーム２２
は、その基端２２ｂ（セパレーションチャンバ１２の中
心部に位置する）を中心として回転自在であり、かつセ
パレーションチャンバ１２の径方向２５に伸縮自在であ
る。アーム２２の伸縮動作において、伸び停止位置（図
３に示される状態）と縮み停止位置（図４に示される状
態）の２つの停止状態が存在する。アーム２２の回転動
作における停止位置で、基板の搬入・搬出を行うプロセ
スチャンバが選択される。アーム２２の伸び動作におけ
る伸び停止位置で、第１フォーク２３ａに支持された基
板２９のプロセスチャンバにおける配置位置が決定され
る。さらに基板搬送機構２１におけるアーム２２の上下
動作は、各プロセスチャンバに対する停止位置の高さ方
向の調整を行うときに使われる。基板搬送機構２１の上
記アーム２２の各停止位置は、位置決め装置の主要部を
実現する全体動作用コントローラ１６に対し予めのティ
ーチングによって与えられている。

【００４３】次に基板位置決め装置の動作を詳述する。
最初はフォーク位置監視用パソコン１８側の動作から説
明する。図７のフローチャートは、監視用パソコン１８
の表示装置１８ａの画面における表示内容（操作メニュ
ー）と、表示内容に対する操作の処理フローを示してい
る。表示内容である操作メニューの初期段階では、初期
メニュー画面が表示される（ステップＳ１０１）。

【００４４】初期メニュー画面４１の一例を図８に示
す。初期メニュー画面４１には、操作メニューとして
「ＣＣＤカメラ位置監視および自動補正」の操作ボタン
４２と、「ＣＣＤカメラ位置監視」の操作ボタン４３
と、その他の機能のための操作ボタン４４，４５とが設
けられている。「ＣＣＤカメラ位置監視および自動補
正」の操作ボタン４２を押すと、基板位置決め装置のシ
ステム全体は「補正モード」に設定される。ここで「補
正モード」とは、基板搬送機構２１のアーム２２によっ
て基板を例えばプロセスチャンバ１３ａに受け渡す際、
アーム２２の伸び停止位置をＣＣＤカメラ１５ａで監視
・撮像し、撮像で得られた位置データをティーチングさ
れた基準位置と比較し、それらの差に基づき位置の補正
の要・不要を判定し、必要に応じて補正を自動的に行
い、アーム２２を本来の正しい伸び停止位置に位置決め
し、もって基板をプロセスチャンバ１５ａ内の正しい位
置にセットするための制御を行う動作状態をいう。基板
搬送機構２１のアーム２２によってプロセスチャンバ１
５ａから基板を受け取る際にも同様な補正モードによる
動作が行われる。また「ＣＣＤカメラ位置監視」の操作
ボタン４３を押すと、基板位置決め装置のシステム全体
は「監視モード」に設定される。ここで「監視モード」
とは、単に基板搬送機構２１のアーム２２の停止位置を
監視する動作状態をいう。下記において補正モードまた
は監視モードであるときには「補正／監視モード」と記
載される。以上の初期メニュー画面４１において操作ボ
タン４２，４３により補正モード、監視モードの各々を
選択するか否かの操作が行える。

【００４５】再び図７のフローチャートに戻る。次の判
定ステップＳ１０２では「補正モード」が選択された否
かが判断される。補正モードが選択された場合、例えば
基板２９がプロセスチャンバ１５ａ（他のプロセスチャ
ンバの場合でも同じ）に搬入されるまで待機し、基板２
９がプロセスチャンバ１５ａに搬入する動作が開始され
た時点で（ステップＳ１０３）、補正モード処理（ステ
ップＳ１０４）が実行される。スタンバイ中か否かを判
定するステップＳ１０３は、基板搬送機構２１の動作状
態に基づいて決まる。補正モード処理のステップＳ１０
４では、ＣＣＤカメラ１５ａによる位置監視と自動補正
が行われる。補正モードが選択されない場合には「監視
モード」の選択に関する判定ステップＳ１０５に移行す
る。監視モードが選択された場合には、ステップＳ１０
６で監視モード処理が実行される。監視モード処理のス
テップＳ１０６では、ＣＣＤカメラ１５ａによる位置監
視が行われる。監視モードが選択されない場合には、そ
の他の機能の選択に関する判定ステップＳ１０７に移行
する。その他の機能が選択された場合には当該機能につ
いての処理が実行される（ステップＳ１０８）。判定ス
テップＳ１０７でＮＯと判断された場合には、初期メニ
ュー画面４１から出るか否か(EXIT)が判定される（ステ
ップＳ１０９）。判定ステップＳ１０９でＹＥＳのとき
には他のメニュー画面に移行し、ＮＯのときのはステッ
プＳ１０１に移行する。上述のステップＳ１０３，Ｓ１
０４，Ｓ１０６，Ｓ１０８，Ｓ１０９の各々が終了した
段階では、再度ステップＳ１０１に移行する。

【００４６】図９に、プロセスチャンバでの基板位置決
め動作の全体を概略的に示す。基板位置決め動作は、基
板搬送機構２１のアーム２２の伸び動作等と、プロセス
チャンバに基板を搬入するときの基板の配置位置に関す
る測定動作と、基板の配置位置に関する位置監視および
自動補正の動作とから成る。基板の配置位置に関する測
定動作、位置監視および自動補正の動作は、基板搬送機
構２１のアーム２２の位置の測定、位置監視および自動
補正によって行われる。すなわち、基板の配置位置の測
定、位置監視および自動補正は、アーム２２の先部に設
けた第２フォーク２３ｂに付されたマーク２６を利用し
て行われる。なおこの動作では、後述するステップＳ１
１５が実行できるように、初期メニュー画面４１の操作
ボタン４２が押され、補正モードにセットされている。

【００４７】ステップＳ１１１では、コントローラ１６
による制御に基づき、基板搬送機構２１のアーム２２の
伸び動作の開始によって基板２９の搬送が開始され、ア
ーム２２の伸び動作終了で基板２９の搬入が完了する。
基板２９は、アーム２２の先端の第１フォーク２３ａに
支持されている。プロセスチャンバン１３ａへの基板の
搬入であるので、基板は所定位置のマーク２６を基準に
して取り付けられている。基板搬送機構２１のアーム２
２はその回転動作によりプロセスチャンバ１３ａに向か
う方向に位置決めされる。その後、アーム２２は伸び動
作を行い、基板２９をプロセスチャンバ１３ａの中に差
し入れるべく、伸び停止位置に向かって移動する（ステ
ップＳ１１１）。このとき、図２に示すごとく、第１フ
ォーク２３ａおよび基板がプロセスチャンバ１３ａ内に
進入できるように、セパレーションチャンバ１１とプロ
セスチャンバ１３ａの間に設けられたゲートバルブは開
いた状態にある。プロセスチャンバ１３ａ内での基板の
配置位置は予めアーム２２の伸び停止位置としてティー
チングされている。従ってアーム２２の停止位置が正し
い伸び停止位置であれば、基板はプロセスチャンバ１３
ａ内で正しい位置に配置される。

【００４８】ステップＳ１１２では、アーム２２が伸び
停止位置に停止したとき、この停止位置がティーチング
された位置に一致するか否かを判断するため、アーム停
止位置がＣＣＤカメラ用コントローラ１７に基づきビュ
ーイングポート３１を介しＣＣＤカメラ１５ａによる撮
像によって測定され、これによりアーム位置が測定され
る。ＣＣＤカメラ１５ａによる撮像で得られたマーク２
６の位置データは、ＣＣＤカメラ用コントローラ１７を
介して監視用パソコン１８に与えられる。パソコン１８
では、アーム２２の伸び停止位置が適切であるか否かを
判定する（ステップＳ１１３）。アーム２２の伸び停止
位置が適切である場合には、基板搬送機構２１による基
板搬送動作が継続される（ステップＳ１１４）。アーム
２２の伸び停止位置が適切でない位置にある場合には、
ステップＳ１１５でアーム２２の位置監視および自動補
正が行われる。ステップＳ１１５でアーム２２の位置監
視および自動補正が行えるように、前述の通り、システ
ムは補正モードに設定されている。ステップＳ１１５
は、図７に示したステップＳ１０４の補正モード処理に
対応している。

【００４９】なおステップＳ１１５で自動補正の処理を
行う場合には、アーム２２の伸び停止位置に関する補正
が可能であるか否かが判定される。アーム２２の伸び停
止位置に関する補正は、実質的に、プロセスチャンバ１
５ａにおける基板の配置位置を補正することを意味す
る。アーム２２の伸び停止位置に関する補正は、Ｘ軸位
置、Ｙ軸位置等の各々が順次に独立に判断される。アー
ム２２の伸び停止位置に関する補正では、検出されたア
ーム２２の実際の伸び停止位置とティーチングされたア
ーム２２の伸び停止位置のズレの量が、予めパソコン１
８で設定されている許容範囲内にあり、かつ補正可能範
囲にあるとき、補正を行えると判断され、補正が行われ
る。ズレの量が許容範囲を越えるとき、あるいは補正可
能範囲を越えるときには、補正を行わず、停止処理が行
われる。以上の点に関しては、さらに後で詳しく説明さ
れる。

【００５０】次に前述のステップＳ１０４すなわちステ
ップＳ１１５の内容（補正モード処理）を図１０〜図１
５のフローチャートを参照してさらに詳しく説明する。

【００５１】図１０と図１１が補正モード処理の主要フ
ローを示している。図１０と図１１のフローチャートは
一続きの処理フローを分割して示している。図１０で、
最初の判定ステップＳ２０１では、図８に示した初期メ
ニュー画面４１で他の操作ボタンが押された否かが判定
される。操作ボタンが押された場合には、補正モード処
理のフローから離脱し、元に戻る（ステップＳ２０
２）。操作ボタンが押されない場合には、ステップＳ２
０３に移行し、ここでＣＣＤカメラ処理が実行される。
このＣＣＤカメラ処理は、ＣＣＤカメラ用コントローラ
１７（カメラ側プログラム）で実行される。このとき監
視用パソコン１８の側では、コントローラ１７からの信
号を待つ状態となる。ＣＣＤカメラ処理の内容は図１２
に示されている。

【００５２】図１２のフローチャートを参照して「補正
モード」でのＣＣＤカメラ処理を説明する。最初に、全
体動作用コントローラ１６からケーブル５１（図１に示
す）を経由してコントローラ１７へ与えられる測定タイ
ミングデータ（出力Ｉ／Ｏ）が読み込まれる（ステップ
Ｓ３０１）。読み込まれた測定タイミングデータによっ
て、プロセスチャンバ１３ａ〜１３ｅのうちのどのプロ
セスチャンバのＣＣＤカメラで基板搬送機構２１のアー
ム２２（第２フォーク２３ａ上のマーク２６）を測定す
るか、あるいはＣＣＤカメラ自体のズレ検出を行うか、
を決定する。測定タイミングデータに基づいて、この場
合にはＣＣＤカメラ１５ａが対象となる。ＣＣＤカメラ
１５ａについてＣＣＤカメラ処理が行われる。測定タイ
ミングデータを受けた後、プロセスチャンバ１３ａのＣ
ＣＤカメラ１５ａでは、測定トリガのオン・オフ状態が
判断される（ステップＳ３０２）。測定トリガがオフで
あれば、ＥＸＩＴへ移り、ＣＣＤカメラ１５ａによる監
視処理は終了し、この処理ルートから出る。測定トリガ
がオンであるときには、コントローラ１６から送られて
くる上記測定タイミングデータ（出力Ｉ／Ｏ）の内容を
識別することにより、ＣＣＤカメラ１５ａでアーム２２
を測定する補正／監視モードの処理を行うか、あるいは
ＣＣＤカメラ１５ａ自体のズレ検出の処理か、を判断す
る（ステップＳ３０３）。補正／監視モードの処理のと
きにはＣＣＤ測定アーム側についての処理ステップＳ３
０４に移り、ズレ検出の処理のときにはＣＣＤ測定下壁
側についての処理ステップＳ３０５に移る。

【００５３】なお本発明では、前述の通りセパレーショ
ンチャンバ１２の下壁１２ａのマーク３５を利用してＣ
ＣＤカメラ１５ａ自体の位置に関するズレ検出が行われ
る。ここで「ズレ検出」とは、ＣＣＤカメラ自体の位置
が本来の設置されているべき正しい位置からずれている
かどうかを判断する処理をいう。このズレ検出も「補正
モード処理」の際にのみ行われるようになっている。従
って、ＣＣＤカメラの処理では、ＣＣＤカメラ１５ａ
は、補正／監視モードの場合にはアーム２２側の第２フ
ォーク２３ｂ上のマーク２６の監視・撮像にセットさ
れ、マーク２６の測定データを取得し（ステップＳ３０
４）、ズレ検出の場合には下壁１２ａのマーク３５の監
視・撮像にセットされ、マーク３５の測定データを取得
する（ステップＳ３０５）ように工程が構成される。

【００５４】なおＣＣＤカメラ１５ａ自体のズレ検出
は、通常、そのロットの最初のカセットレシピ（プロセ
スチャンバ１３ａでどのような真空処理を行うかを決め
ること）が変更になった際にのみカセット毎に行われ
る。ズレ検出は、フローチャート上で、後述のステップ
Ｓ２０９で実行される。ズレ検出の処理の実行タイミン
グを具体的に述べる。マルチチャンバシステムの動作を
開始し、ロードロックチャンバ１４に基板を搬入し（例
えば１カセットに２５枚の基板が収納可能な場合に処理
時間約８分）、次にロードロックチャンバ１４内を真空
ポンプにより真空排気する（処理時間約４分）。ロード
ロックチャンバ１４を真空排気した後、プロセスチャン
バ１３ａ〜１３ｅの各々で所定の処理を行う前に、各プ
ロセスチャンバに対応するＣＣＤカメラ１５ａ〜１５ｅ
の各々のズレ検出が行われる。ＣＣＤカメラのズレ検出
の処理時間は、１つのプロセスチャンバで約１秒なの
で、プロセスチャンバ１３ａ〜１３ｅのすべてに設置さ
れているＣＣＤカメラ自体のズレ検出をすべて行っても
約５秒（１秒×５チャンネル分）であり、スループット
に影響を与えることはない。

【００５５】またカセットレシピが変更にならない場合
には、原則として、本来の補正／監視モードの処理が行
われる。

【００５６】図１２のフローチャートにおいて、さらに
ステップＳ３０６では、ステップＳ３０４で得られた測
定データまたはステップＳ３０５で得られた測定データ
を、それぞれ、コントローラ１７から監視用パソコン１
８側にケーブル５２（図１に示す）を経由して送信する
ために、送信形式（ＲＳ−２３２Ｃ）に適したデータに
加工処理する。ステップＳ３０６での加工処理で得られ
た測定データによれば、アーム２２側の測定データか、
あるいは下壁１２ａ側の測定データかを識別することが
可能である。次のステップＳ３０７では、加工処理され
た測定データを測定結果としてパソコン１８側へ送信す
る。以上により、ＣＣＤカメラ処理は終了し、その後、
図１０に示した元の主要フローに戻る。

【００５７】図１０において、判定ステップＳ２０４で
は、ＣＣＤカメラ側のコントローラ１７から測定結果が
送られてきたか否かを判断する。測定結果が送られてき
ていないとき（ＮＯのとき）にはステップＳ２０１に戻
る。測定結果が送られてきたとき（ＹＥＳのとき）には
ステップＳ２０５に移る。ステップＳ２０５ではＣＣＤ
カメラ１５ａを照らす照明器３３が切れているか否かが
確認される。照明器３３が切れている場合には、アボー
ト（中止処理）が行われ、さらに表示装置１８ａで「Ｃ
ＣＤカメラランプ切れ異常」の表示が行われる（ステッ
プＳ２０６）。この場合に、初期メニュー画面で「Ｏ
Ｋ」のボタンが押されたときには、その後、監視処理
（ステップＳ２０７）に移行し、当該監視処理が実行さ
れる。監視処理については後で図１５を参照して説明さ
れる。また照明器３３が切れていない場合には、次の判
定ステップＳ２０８に移り、ステップＳ２０８でＣＣＤ
カメラ１５ａのズレ検出を行うか否かを判断する。この
判定ステップＳ２０８の判断では、上記のＣＣＤカメラ
処理（ステップＳ２０３）でＣＣＤカメラ用コントロー
ラ１７側から送信されてきたデータがセパレーションチ
ャンバ１２の下壁１２ａのマーク３５の撮像に関する測
定データである場合に、ＣＣＤカメラのズレ検出である
と判断される。判定ステップＳ２０８でＹＥＳの場合に
は、カメラズレ検出のステップＳ２０９が実行される。
ＣＣＤカメラ処理（上記ステップＳ２０３）でＣＣＤカ
メラ用コントローラ１７側から送信されてきたデータが
基板搬送機構２１のアーム２２側のマーク２６の撮像に
よる測定データである場合には、補正モードであるの
で、判定ステップＳ２０８でＮＯと判定される。判定ス
テップＳ２０８でＮＯである場合には、補正モードであ
るとして、ステップＳ２１０に移行する。

【００５８】ステップＳ２０９で実施されるカメラズレ
検出の処理を、図１３を参照して詳述する。カメラズレ
検出は、ステップＳ２０８で、コントローラ１７側から
送られた測定データに基づき、ＣＣＤカメラ１５ａ自体
のズレ検出と判断された場合に行われる。

【００５９】最初に、カメラズレ検出の処理を行う意義
を説明する。「ＣＣＤカメラ自体がずれている場合」と
は、ＣＣＤカメラ１５ａが本来設置されていなければな
らない正しい位置からずれていることをいう。ＣＣＤカ
メラ１５ａ自体がずれるのは主に次の理由による。ＣＣ
Ｄカメラ１５ａは、セパレーションチャンバ１２の外
側、すなわちセパレーションチャンバ１２の上蓋（上記
天井部１２ｂ）のビューイングポート３１の上側に設け
られる。ところが、この箇所は、セパレーションチャン
バ１２の上蓋を開く際や、メンテナンスの際などに振動
等が生じる。この振動等により、ＣＣＤカメラ１５ａ自
体がずれやすいと考えられる。ＣＣＤカメラ１５ａの取
付け位置に関してズレが生じると、ＣＣＤカメラ１５ａ
のアーム２２の第２フォーク２３ｂのマーク２６の位置
を撮像しても、アーム２２の伸び停止位置を正確に監視
することができず、そのため正確な補正制御を行うこと
ができなくなる。すなわち、ＣＣＤカメラ１５ａ自体が
ずれている場合には、基板搬送機構２１のアーム２２が
本来の伸び停止位置にある場合にも、本来の停止位置に
ないと判断されるおそれが生じる。そのためＣＣＤカメ
ラ１５ａ自体のズレ検出を行う必要が生じる。そこで本
実施形態では、ステップＳ２０９で、ＣＣＤカメラ自体
がずれているか否かを判断することとした。

【００６０】さらに本実施形態において「ＣＣＤカメラ
自体のズレ検出」を真空中で行うのは、次の理由によ
る。セパレーションチャンバ１２は、その内部が真空中
である場合には、セパレーションチャンバ１２の上蓋
（ビューイングポート３１が設置されている天井部１２
ｂの部分）が内側に歪む。従ってセパレーションチャン
バ１２の内部が大気中である場合にＣＣＤカメラ１５ａ
自体のズレを測定したとしても、セパレーションチャン
バ１２の内部が真空中である場合には、上蓋が内側に歪
むため、ＣＣＤカメラ自体のズレ検出を行う意義がなく
なる。そこで、セパレーションチャンバ１２の内部が真
空であるときに、カメラズレ検出を行う。

【００６１】ＣＣＤカメラ１５ａ自体のズレ検出は、上
記のごとく、セパレーションチャンバ１２の下壁１２ａ
のマーク３５の位置をＣＣＤカメラ１５ａで撮像し（ス
テップＳ３０５）、この撮像で得た測定データをティー
チングされた設定値と比較することにより行われる。Ｃ
ＣＤカメラ１５ａのズレ検出の詳細は図１３に示され
る。ステップＳ４０１〜Ｓ４０４はＣＣＤカメラのズレ
検出の処理フローを示す。ＣＣＤカメラ自体のズレ検出
の処理では、最初に、前述のステップＳ３０５で測定さ
れたＣＣＤカメラ１５ａのズレ量（ＣＣＤズレ量）がズ
レ検出許容範囲に含まれるか否かが判断される（ステッ
プＳ４０１）。ＣＣＤカメラ１５ａのズレ量がズレ検出
許容範囲外にあるとき（ＮＯのとき）には、アボート
（中止処理）が行われ、表示装置１８ａに「ＣＣＤカメ
ラズレ検出異常」という表示（ＣＲＴ表示）の処理が行
われる（ステップＳ４０２）。これによりアボートの内
容が確認される。その後、監視処理へ移行する（ステッ
プＳ４０３）。ここで「ズレ検出許容範囲」とは、ＣＣ
Ｄカメラ自体のズレ量が基板搬送機構２１のアーム２２
の伸び停止位置の検出において支障のない範囲をいう。
他方、ＣＣＤカメラ１５ａのズレ量がズレ検出許容範囲
内にあるとき（ＹＥＳのとき）にはステップＳ４０４へ
移行し、さらにステップＳ２１０に移行する。

【００６２】次にステップＳ２１０が実行される。ステ
ップＳ２１０以降の処理は、補正モードの処理、すなわ
ち図９に示されたステップＳ１１３，Ｓ１１５の内容に
関する処理である。要約すると、基板搬送機構２１のア
ーム２２の伸び停止位置でＣＣＤカメラ１５ａの撮像で
測定された第２フォーク２３ｂ上のマーク２６の位置デ
ータの、ティーチングされた基準点位置に対するズレ量
が、許容範囲に含まれるか否かが判断され、さらに補正
可能範囲に含まれているか否かが判断され、補正の必要
があるときには自動的に補正を行う処理である。ここで
「アームの伸び停止位置に関する許容範囲」とは、基板
搬送機構２１のアーム２２の伸び停止位置が、ティーチ
ングされた基準点の位置よりはずれているが、当該ズレ
はあえて補正処理を行う必要がない程のズレであり、そ
のままでも支障が生じない範囲をいう。従って、マーク
２６の位置データに関する上記ズレ量が当該許容範囲に
含まれるときには補正処理は行われず、かつ当該許容範
囲に含まれないときには補正可能範囲に含まれているか
否かが判断される。上記の許容範囲は装置の特性に応じ
て任意に変更することができる。

【００６３】上記ステップＳ２１０の実行は補正モード
であることが条件であり、このステップでは、上記ステ
ップＳ３０４でＣＣＤカメラ１５ａの撮像によって測定
された第２フォーク２３ｂ上のマーク２６の位置データ
に関するズレ量が許容範囲内に含まれるか否かが判定さ
れる。マーク２６のズレ量は、ＣＣＤカメラ１５ａの撮
像で得られたマーク２６の位置データと、アーム２２の
伸び停止位置についての基準点の位置データとの差とし
て求められている。マーク２６のズレ量が許容範囲内に
含まれているとき（ＮＯのとき）には、補正を行わない
ものとして、マーク２６のズレ量に関する測定結果がフ
ァイルに書き込まれる（ステップＳ２１１）。ステップ
Ｓ２１１の後、最初のステップＳ２０１へ戻ってＣＣＤ
カメラ処理（ステップＳ２０３）を行う。またアーム２
２側のマーク２６のズレ量が許容範囲内に含まれないと
き（ＹＥＳのとき）には、補正を行うものとして、次の
ステップＳ２１２に移行する。

【００６４】ステップＳ２１２では、前述のマーク２６
のズレ量と図８に示された初期メニュー画面４１で設定
された補正可能範囲とが比較され、マーク２６のズレ量
が補正可能範囲内に含まれているか否かが判定される。
補正可能範囲内に含まれないとき（ＮＯのとき）には、
アボート処理がされ、さらに表示装置１８ａにおいて
「アーム自動補正不能」という表示（ＣＲＴ表示）が行
われる（ステップＳ２１３）。この場合に、初期メニュ
ー画面で「ＯＫ」のボタンが押されたときには、その
後、監視処理に移行する（ステップＳ２１４）。ステッ
プＳ２１２で補正範囲内に含まれると判断されたとき
（ＹＥＳのとき）には、変換処理ステップＳ２１５に移
行する。

【００６５】上記において「補正可能範囲」とは、ＣＣ
Ｄカメラ１５ａによる撮像で得られたマーク２６のズレ
量（アーム２２の伸び停止位置に関する位置ズレ量）
が、ティーチングによって補正することが可能な範囲を
いう。補正可能範囲は、初期メニュー画面４１において
状況に応じて任意に設定することができる。

【００６６】ＣＣＤカメラ１５ａの撮像に基づいて検出
されたマーク２６の位置に関するズレ量は、本来長さデ
ータ（ミリ(mm)の単位で表される）で与えられている
が、この長さに関してミリから当該長さに対応するパル
ス数に変換される（ステップＳ２１５）。ステップＳ２
１５で、マーク２６のズレ量をミリからパルスに変換す
るのは、アーム２２の駆動部２４はパルスモータで構成
されているためである。そしてその後、再度、判定ステ
ップＳ２１６で補正可能か否かが判断される。

【００６７】ステップＳ２１６での判定は、マーク２１
６ズレ量として検出されたアーム２２の伸び停止位置
を、アーム２２を動作させることにより、本来の正しい
伸び停止位置になるように補正するにあたって、機械的
な構成の上で可能であるか否かを判断するためのもので
ある。

【００６８】ステップＳ２１６における補正可能か否か
の判断方法について説明する。補正可能か否かの判断
は、以下の４つの因子Ｘ，Ｙ，Ｈ，Ｗによって決定され
る。

【００６９】Ｘ：ティーチングされた原点としてのポイ
ントの位置データ（メンテナンスプログラムで取得） Ｙ：最大ズレ量（パルスの数で表される。メンテナンス
プログラムで取得） Ｈ：現在のティーチングポイントの位置データ Ｗ：ＣＣＤカメラ１５ａの撮像で得られたマーク２６の
ズレ量（パルス数に変換された値）

【００７０】上記の４つの因子Ｘ，Ｙ，Ｈ，Ｗの位置的
関係の一例を、Ｘ軸とＹ軸からなる座標系において位置
補正の対象である基板２９との関係で示すと、図１６の
ようになる。この図１６に示すごとく、メンテナンスプ
ログラムでティーチングの原点となるポイントＸを決め
ておき、さらにこの原点ポイントＸから仮想的に基板が
最大にずれた量を最大ズレ量Ｙとして決めておく。そし
て、かかるＸ＋Ｙの量に対するＨ＋Ｗの量の大小関係に
基づき補正の可能・不可能が判断される。すなわち、Ｘ
＋Ｙ＞Ｈ＋Ｗのときには補正を行うことが可能であると
判断され、Ｘ＋Ｙ≦Ｈ＋Ｗのときには補正を行うことが
不可能であると判断される。以上のように、基板２９の
位置を補正する場合、その基板の位置が、補正可能な範
囲内か、それとも補正可能な範囲外かが決定される。

【００７１】Ｘ＋Ｙ≦Ｈ＋Ｗの場合には、補正不可能と
してアボート処理を行い、ＣＲＴ表示を行う（ステップ
Ｓ２１７）。この場合に、初期メニュー画面４１で「Ｏ
Ｋ」のボタンが押されたときには、その後、監視処理に
移行する（ステップＳ２１８）。ステップＳ２１６で補
正可能と判断されたときには、ステップＳ２１９に移行
する。

【００７２】ステップＳ２１９では補正用の上記パルス
（以下「補正パルス」という）の積算が行われる。補正
パルスの数を積算するのは、プロセスチャンバ１３ａ〜
１３ｅの各々に基板を搬入する場合に、どのプロセスチ
ャンバで基板の位置ズレが多く発生するかをデータ化す
るためである。その後、判定ステップＳ２２０へ移行す
る。

【００７３】判定ステップＳ２２０では、補正パルスの
積算値が累積値に対して大きいか否かが判定される。累
積値は例えば２５０パルスに設定される。一例を述べる
と、プロセスチャンバ１３ａの補正処理を行う場合に、
１回目のアーム２２の伸び停止位置の補正処理に２００
パルスを要し、２回目の補正処理を行う場合に１００パ
ルスを要した場合、補正パルスの積算値は３００パルス
となる。この場合には、補正パルスの積算値が累積値よ
り大きくなる。

【００７４】判定ステップＳ２２０で、補正パルスの積
算値が累積値よりも大きいとき（ＹＥＳのとき）には、
アボート処理を行い、「アーム自動補正累積値超過異
常」というＣＲＴ表示が行われる（ステップＳ２２
１）。この場合に、初期メニュー画面で「ＯＫ」のボタ
ンが押されたときには、その後、監視処理に移行する
（ステップＳ２２２）。

【００７５】判定ステップＳ２２０で、補正パルスの積
算値が累積値以下のとき（ＮＯのとき）には、ステップ
Ｓ２２３に移行する。ステップＳ２２３では、同一のプ
ロセスチャンバ（１３ａ〜１３ｅ）で行われた補正処理
の回数がカウントされる。この例ではプロセスチャンバ
１３ａでアーム２２の伸び停止位置について補正処理が
必要なときには１がカウントされ、補正処理が不要なと
きには０がカウントされる。その後、判定ステップＳ２
２４に移行する。

【００７６】なお全体の処理の流れとして、プロセスチ
ャンバ１３ａ〜１３ｅの各々についての補正処理が完了
すると、最初のプロセスチャンバに戻り、基板搬送機構
２１のアーム２２の伸び停止位置に関する補正処理が必
要かが判断される。例えばプロセスチャンバ１３ａのア
ーム２２の伸び停止位置に関する補正処理が、再度必要
な場合にはプロセスチャンバ１３ａの２回目の補正処理
としてカウントされる。このように順次にプロセスチャ
ンバ１３ａ〜１３ｅにおいてアーム２２の伸び停止位置
の補正処理の必要性の有無をカウントし（ステップＳ２
２３）、ステップＳ２２４で特定のプロセスチャンバ
（例えばプロセスチャンバ１３ａ）の補正処理が３回に
なったとき（ＹＥＳのとき）には、同一のプロセスチャ
ンバ１３ａ関するアーム２２の３回補正としてアボート
処理を行い、「アーム自動補正同一アーム３回連続発生
異常」というＣＲＴ表示を行う（ステップＳ２２５）。
この場合に、初期メニュー画面４１で「ＯＫ」のボタン
が押されたときには、その後、監視処理に移行する（ス
テップＳ２２６）。またステップＳ２２４で特定のプロ
セスチャンバ（例えばプロセスチャンバ１５ａ）の補正
処理が２回以下になったとき（ＮＯのとき）には、ステ
ップＳ２２７に移行する。

【００７７】以上のように、本実施形態では、ステップ
Ｓ２２０において同一プロセスチャンバにおける補正回
数に関係なく、補正パルスの積算値が累積値より多いか
少ないかによって補正処理の異常を判断することが可能
である。さらに、ステップＳ２２４において、同一プロ
セスチャンバの補正回数が３回に達した場合、補正処理
の異常と判断することが可能である。

【００７８】上記ステップＳ２２７では補正処理が実行
される。補正処理の詳細な内容は図１４に示される。図
１４において、最初のステップＳ５０１では、パソコン
１８からケーブル５３（図１に示す）を経由してコント
ローラ１６に対しアーム２２の位置に関する情報（アー
ムポジション、符号、補正パルス数）を送り、コントロ
ーラ１６に書き込む。次にコントローラ１６は上記位置
情報を用いてアーム２２の伸び停止位置について補正処
理を開始する（ステップＳ５０２）。基板搬送機構２１
のアーム２２の位置を監視するシステム側では、θ、Ｘ
軸、Ｙ軸について別々に補正処理が行われる。補正処理
が完了した後には、再度、ＣＣＤカメラ１５ａでアーム
２２の位置の測定を開始する（ステップＳ５０３）。次
の判定ステップＳ５０４でＣＣＤカメラ１５ａの再測定
データが不受信のとき（ＹＥＳのとき）には、アボート
処理を行い、「ＣＣＤ再測定データ受信異常」というＣ
ＲＴ表示が行われる（ステップＳ５０５）。その後、監
視処理のモードへ移行する（ステップＳ５０６）。

【００７９】判定ステップＳ５０４でＣＣＤ再測定デー
タが不受信でないとき（ＮＯのとき）には、プロセスチ
ャンバ１３ａにおける補正処理が完了した基板搬送機構
２１のアーム２２の位置と、受信されたＣＣＤカメラ再
測定データに基づくアーム２２の位置とが一致している
か否かが判断される（ステップＳ５０７）。ステップＳ
５０７で、不一致であると判断されるときには、アボー
ト処理が行われ、「アーム自動補正照合異常」というＣ
ＲＴ表示が行われる（ステップＳ５０８）。その後、監
視モードに移行する（ステップＳ５０９）。他方、ステ
ップＳ５０７で一致していると判断されるときには、補
正処理を終了し、図１１に示すステップＳ２２８に戻る
（ステップＳ５１０）。

【００８０】ステップＳ２２８では、ＣＣＤ再測定の結
果が正常であるか異常であるかが判断される。ＣＣＤ再
測定の結果が異常であるとき（ＮＯのとき）には、アボ
ート処理が行われ、「ＣＣＤ再測定データ許容範囲超過
異常」というＣＲＴ表示が行われる（ステップＳ２２
９）。その後、監視処理に移行する（ステップＳ２３
０）。ＣＣＤ再測定の結果が正常であるとき（ＹＥＳの
とき）には、ステップＳ２３１に移行する。ステップＳ
２３１では、ティーチングデータを、ティーチングデー
タを管理するＣＣＤ管理用パソコン１８のファイルへの
書き込む。次のステップＳ２３２では、さらにＣＣＤ再
測定による測定結果（測定値データ）をログファイルへ
書き込む。その後において、装置の再スタートが行われ
（ステップＳ２３３）、最初のステップＳ２０１が実行
される。

【００８１】次に、図１５に示された監視処理について
説明する。監視処理（図７に示したステップＳ１０６）
は、初期メニュー画面４１が表示された際に、補正モー
ドが押されず（ステップＳ１０２でＮＯ）、監視モード
が押された場合（ステップＳ１０５でＹＥＳ）に行われ
る。

【００８２】図１５において、最初のステップＳ６０１
において初期メニュー画面４１でのメニューキーが押さ
れたか否かが判断される。押されたとき（ＹＥＳのと
き）には、図７に示した最初ステップＳ１０１に移行す
る。ステップＳ１０１でＮＯであるときには、ＣＣＤカ
メラ測定が開始される（ステップＳ６０２）。ＣＣＤカ
メラ測定はコントローラ１７によって実行される。この
ＣＣＤカメラ測定は、補正モード処理におけるステップ
Ｓ２０３の内容と実質的に同じである。ただし、この場
合には、ＣＣＤカメラ１５ａによって基板搬送機構２１
のアーム２２の第２フォーク２３ｂ上のマーク２６を利
用してその位置を撮像する。ＣＣＤカメラ１５ａで測定
されたアーム２２の第２フォーク２３ｂのマーク２６の
位置は、測定結果として受信される（ステップＳ６０
３）。測定結果は、ＣＣＤ管理用パソコン１８にケーブ
ル５２（ＲＳ２３２Ｃ）を介して送信され、測定ファイ
ルとしてＣＣＤ管理用パソコン１８に書き込まれる（ス
テップＳ６０４）。以上により監視処理が終了する。

【００８３】以上の説明では、プロセスチャンバ１３ａ
における基板の配置位置に関してのＣＣＤカメラ１５ａ
を利用した基板位置決め動作を説明したが、他のプロセ
スチャンバ１３ｂ〜１３ｅに関しても各々のＣＣＤカメ
ラ１５ｂ〜１５ｅの監視・撮像動作を利用して同様に行
われる。この場合の制御動作は、前述のコントローラ１
６，１７および監視用コンピュータ１８の各制御動作の
組み合わせによって行われる。また前述の実施形態で
は、セパレーションチャンバ１２の周囲に複数のプロセ
スチャンバ１３ａ〜１３ｅが設けられてなるマルチチャ
ンバシステムの例で説明されたが、本発明に係る基板位
置決め装置が適用される装置はマルチチャンバシステム
に限定されない。さらに搬送機構のアーム位置の監視装
置についても、その利用は基板搬送機構だけに限定され
ず、各種の搬送機構のアーム位置の監視に応用すること
ができる。

【００８４】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、次の効果を奏する。

【００８５】回転自在および伸縮自在なアームを有する
基板搬送機構が装備された搬送チャンバ（またはマルチ
チャンバシステムの場合には中央のセパレーションチャ
ンバ）と、これに接続されたプロセスチャンバとを含ん
でなる基板処理装置において、基板を処理すべくプロセ
スチャンバに基板を配置するとき、搬送チャンバの外側
上方に設けたＣＣＤカメラで搬送チャンバ内の基板搬送
機構のアームの伸び停止位置を、その対象部を監視し、
さらに撮像することにより測定し、この測定データを予
めティーチングされた基準位置データと比較し、ズレが
存在するときには当該ズレがなくなるように自動的に補
正を行うようにしたため、基板をプロセスチャンバの最
適位置に常に配置でき、基板搬送装置の信頼性を向上
し、基板処理の効率を高めることができる。

【００８６】プロセスチャンバにおける基板位置決め制
御に関係する装置部分として、基板以外の基板搬送機構
のアームに関連する部分（第２フォーク上のマーク）を
利用し、さらにプロセスチャンバ以外の比較的に清浄な
環境である搬送チャンバ内のスペースを利用できるよう
に当該搬送チャンバの外側にＣＣＤカメラを設けてビュ
ーイングポートを利用して監視・撮像するように構成し
たため、プロセスチャンバごとのＣＣＤカメラの台数が
１台で足り、構成が容易であると共に、監視・撮像が容
易であり、測定データのデータ処理が容易となり、自動
補正処理も容易に行うことができ、さらにビューイング
ポートの汚染が少なく、メンテナンス管理を容易に行う
ことができるという効果も有する。

【００８７】本発明に係る基板位置決め装置を複数のプ
ロセスチャンバを備えたマルチチャンバシステムに適用
する場合において、各プロセスチャンバごとに設けられ
るＣＣＤカメラは１台で済むので、構成が簡素となる。

【００８８】さらにＣＣＤカメラの配置位置に対応させ
て搬送チャンバ内における監視可能箇所にマークを設け
るようにし、このマークを利用してＣＣＤカメラ自体の
ズレの発生も判断できるようにしたため、基板位置決め
装置の性能を常に高く維持でき、作業効率の向上を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板位置決めが適用されるマルチ
チャンバ式基板処理装置とこれに付設された制御系を概
略的に示す平面図である。

【図２】基板位置決め装置の要部の構成を示し、セパレ
ーションチャンバと１つのプロセスチャンバの内部構造
を示すと共に、チャンバに付設された監視装置と処理装
置を含んでなる制御系を示す図である。

【図３】セパレーションチャンバに設けられた基板搬送
機構のアームが伸び停止位置にある状態を示す平面図で
ある。

【図４】セパレーションチャンバに設けられた基板搬送
機構のアームが縮み停止位置にあって回転する状態を示
す平面図である。

【図５】図３で矢視（２８）方向からアームを見た側面
図である。

【図６】基板支持部のみの一例を示す平面図である。

【図７】基板位置決め動作の全体の処理の流れを示すフ
ローチャートである。

【図８】初期メニュー画面の一例を示す図である。

【図９】本発明に係る基板位置決め装置による監視・撮
像、自動補正のプロセスを示すフローチャートである。

【図１０】基板位置決めのプロセスにおける補正モード
処理の流れの前半部を示すフローチャートである。

【図１１】基板位置決めのプロセスにおける補正モード
処理の流れの後半部を示すフローチャートである。

【図１２】ＣＣＤカメラ処理の流れを示すフローチャー
トである。

【図１３】カメラズレ検出の流れを示すフローチャート
である。

【図１４】補正処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【図１５】監視処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【図１６】自動補正の可能・不可能を決めるＸ，Ｙ，
Ｈ，Ｗの位置的関係を図解する図である。

【符号の説明】

１１ マルチチャンバシステム １２ セパレーションチャンバ １３ａ〜１３ｅ プロセスチャンバ １４ ロードロックチャンバ １５ａ〜１５ｅ ＣＣＤカメラ １６ 全体動作用コントローラ １７ ＣＣＤカメラ用コントローラ １８ フォーク位置監視用コンピュー
タ ２１ 基板搬送機構 ２２ アーム ２３ フォーク ２６，２７ マーク ３１ ビューイングポート

フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 FA12 GA43 GA47 GA48 JA04 JA14 JA22 JA30 JA38 JA49 LA07 MA04 MA28 MA29 MA32 PA26

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理を行う少なくとも１つのプロセ
   スチャンバと、基板搬送機構が設けられた搬送用チャン
   バを備え、前記基板搬送機構は回転・伸縮自在なアーム
   とこのアームの先部に設けられた基板支持部とからな
   り、前記基板支持部で基板を支持し、前記アームの回転
   ・伸縮動作で前記基板を前記プロセスチャンバの内部の
   所定位置に搬送し配置するように構成された装置に適用
   され、 前記基板搬送機構に基板位置検出に使用される対象部を
   設け、 前記搬送用チャンバの外側に、前記アームが伸び停止位
   置にあるとき、前記搬送用チャンバにて前記対象部を測
   定する撮像装置を設け、 前記撮像装置の測定で得られた前記対象部の位置データ
   と予め教示された基準位置データとを比較し、前記位置
   データと前記基準位置データの差が補正可能範囲内であ
   れば当該差が実質的に０になるように前記基板搬送機構
   の動作を補正する処理制御手段を備えた、 ことを特徴とするプロセスチャンバでの基板位置決め装
   置。
2. 【請求項２】 前記対象部は、前記基板支持部の延設部
   に設けられることを特徴とする請求項１記載のプロセス
   チャンバでの基板位置決め装置。
3. 【請求項３】 前記基板支持部は、前記アームの先部を
   中心として、前記搬送用チャンバの径方向に向かってか
   つ対称的に配置された第１支持部と第２支持部からな
   り、これらの第１支持部と第２支持部の各々に前記対象
   部が設けられ、前記第１支持部で基板をプロセスチャン
   バに搬送して配置するときには前記第２支持部の前記対
   象部が基板位置検出のために使用されることを特徴とす
   る請求項１記載のプロセスチャンバでの基板位置決め装
   置。
4. 【請求項４】 前記撮像装置の設置位置についての位置
   ズレを検出する位置ズレ検出部を、前記撮像装置に関連
   させて前記搬送用チャンバに設けたことを特徴とする請
   求項１〜３のいずれか１項に記載のプロセスチャンバで
   の基板位置決め装置。
5. 【請求項５】 基板搬送機構が設けられた中央チャンバ
   と、この中央チャンバの周囲に設けられかつ各々で基板
   が処理される複数のプロセスチャンバとを備え、前記基
   板搬送機構によって前記基板を前記複数のプロセスチャ
   ンバの各々に搬送して配置し、前記基板を順次処理する
   マルチチャンバシステムに適用されるプロセスチャンバ
   での基板位置決め装置であり、 前記基板搬送機構に基板位置検出に使用される対象部を
   設け、 前記対象部を検出する撮像装置を前記中央チャンバの外
   側に設け、 前記撮像装置の検出で得られた前記対象部の位置データ
   と予め教示された基準位置データとを比較し、前記位置
   データと前記基準位置データの差が補正可能範囲内であ
   れば当該差が実質的に０になるように前記基板搬送機構
   の動作を補正する制御手段を備えた、 ことを特徴とするプロセスチャンバでの基板位置決め装
   置。
6. 【請求項６】 前記基板搬送機構は、前記中央チャンバ
   の中心部の周りで回転しかつ前記中央チャンバの径方向
   に伸縮するアームと、このアームの先部に設けられ前記
   径方向に延設された基板支持部とからなり、前記基板支
   持部で基板を支持し、前記アームの回転・伸縮動作で前
   記基板を前記プロセスチャンバの内部の所定位置に搬送
   し配置するように構成され、さらに前記対象部は前記基
   板支持部に関連する部分に設けられることを特徴とする
   請求項５記載のプロセスチャンバでの基板位置決め装
   置。
7. 【請求項７】 前記対象部は、前記基板支持部の延設部
   に設けられることを特徴とする請求項６記載のプロセス
   チャンバでの基板位置決め装置。
8. 【請求項８】 前記基板支持部は、前記アームの先部を
   中心として、前記中央用チャンバの径方向に向かってか
   つ対称的に配置された第１支持部と第２支持部からな
   り、これらの第１支持部と第２支持部の各々に前記対象
   部が設けられ、前記第１支持部で基板をプロセスチャン
   バに搬送して配置するときには前記第２支持部の前記対
   象部が基板位置検出のために使用されることを特徴とす
   る請求項６記載のプロセスチャンバでの基板位置決め装
   置。
9. 【請求項９】 前記撮像装置は前記複数のプロセスチャ
   ンバの各々に対応して複数設けられることを特徴とする
   請求項５記載のプロセスチャンバでの基板位置決め装
   置。
10. 【請求項１０】 前記対象部は、前記中央チャンバに対
    して径方向の位置が異なるプロセスチャンバごとに対応
    して複数設けられることを特徴とする請求項５記載のプ
    ロセスチャンバでの基板位置決め装置。
11. 【請求項１１】 前記撮像装置は、前記基板搬送機構の
    前記アームが伸び停止位置にあるとき、前記対象部を検
    出するように配置されることを特徴とする請求項６〜７
    のいずれか１項に記載のプロセスチャンバでの基板位置
    決め装置。
12. 【請求項１２】 前記位置データと前記基準位置データ
    の前記差が前記補正可能範囲外であれば前記基板搬送機
    構の動作を停止させることを特徴とする請求項１または
    ５記載のプロセスチャンバでの基板位置決め装置。
13. 【請求項１３】 前記撮像装置の設置位置についての位
    置ズレを検出する位置ズレ検出部を、前記撮像装置に関
    連させて前記中央チャンバに設けたことを特徴とする請
    求項５記載のプロセスチャンバでの基板位置決め装置。
14. 【請求項１４】 搬送機構が設けられた搬送用チャンバ
    を備え、前記搬送機構は回転・伸縮自在なアームとこの
    アームの先部に設けられた支持部とからなり、前記支持
    部で支持対象物を支持し、前記アームの回転・伸縮動作
    で前記支持対象物を搬送する装置に適用され、 前記搬送機構に位置検出に使用される対象部を設け、 前記搬送用チャンバの外側に、前記アームが停止位置に
    あるとき、前記搬送用チャンバにて前記対象部を測定す
    る撮像装置を設け、 前記撮像装置の測定で得られた前記対象部の位置データ
    に基づいて、前記アームの位置を監視することにより、
    前記支持対象物の位置を監視する監視手段を備えた、 ことを特徴とする搬送機構のアーム位置の監視装置。
15. 【請求項１５】 前記対象部は、前記アームを含む移動
    部の一部に設けられることを特徴とする請求項１４記載
    の搬送機構のアーム位置の監視装置。
16. 【請求項１６】 前記撮像装置の設置位置についての位
    置ズレを検出する位置ズレ検出部を、前記撮像装置に関
    連させて前記搬送用チャンバに設けたことを特徴とする
    請求項１４，１５のいずれか１項に記載の搬送機構のア
    ーム位置の監視装置。