JP2000232148A - 平板状ワークの位置決め装置 - Google Patents
平板状ワークの位置決め装置Info
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- JP2000232148A JP2000232148A JP3234399A JP3234399A JP2000232148A JP 2000232148 A JP2000232148 A JP 2000232148A JP 3234399 A JP3234399 A JP 3234399A JP 3234399 A JP3234399 A JP 3234399A JP 2000232148 A JP2000232148 A JP 2000232148A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 平板状ワークを非接触で発塵なく位置決めす
る。 【解決手段】 位置決め装置は、主要構成部分として、
空気穴１１ａを持つ上板１１、下板１２、両側板１３、
空気室１４等を備えた浮上用プレート１、エアシリンダ
２１、ロッド２２、支持板２３、ワーク支持ピン２４等
を備えたピンアップ機構２、リニアガイド部３２、支柱
部３３、ピン３４で回転可能に支持されたアーム３５、
空気吹き出し口３６ａを持つ位置決め爪３６、空気管系
３７等を備えた位置決め装置３を有する。 【効果】 ピンアップしたワークＷを浮上用プレート１
上に下ろしてδｈ1 だけ浮上支持すると共に、位置決め
爪３６から下に空気を吹き出してこれをワーク浮上量よ
り小さいδｈ2 だけ浮上させて位置決めし、再度ピンア
ップすることにより、非接触状態で発塵なくワークの位
置決めができる。
る。 【解決手段】 位置決め装置は、主要構成部分として、
空気穴１１ａを持つ上板１１、下板１２、両側板１３、
空気室１４等を備えた浮上用プレート１、エアシリンダ
２１、ロッド２２、支持板２３、ワーク支持ピン２４等
を備えたピンアップ機構２、リニアガイド部３２、支柱
部３３、ピン３４で回転可能に支持されたアーム３５、
空気吹き出し口３６ａを持つ位置決め爪３６、空気管系
３７等を備えた位置決め装置３を有する。 【効果】 ピンアップしたワークＷを浮上用プレート１
上に下ろしてδｈ1 だけ浮上支持すると共に、位置決め
爪３６から下に空気を吹き出してこれをワーク浮上量よ
り小さいδｈ2 だけ浮上させて位置決めし、再度ピンア
ップすることにより、非接触状態で発塵なくワークの位
置決めができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平板状ワークを位置決
めする位置決め装置に関し、特にＬＣＤ用ガラス基板や
シリコンウェハーの製造工程のように高度なクリーン環
境を必要とする分野に好都合に利用される。
めする位置決め装置に関し、特にＬＣＤ用ガラス基板や
シリコンウェハーの製造工程のように高度なクリーン環
境を必要とする分野に好都合に利用される。
【０００２】
【従来の技術】例えばＬＣＤ用ガラス基板の製造工程に
おける従来のアライメント装置は、基板を支持ピンで持
ち上げて支持し、その状態でＸ−Ｙ方向から爪を押し付
けることによって位置決めしていた。基板サイズが小さ
いときにはこの位置決め方法で不具合はなかったが、近
年の基板の大型化に伴い、基板とピンとの間の摩擦が増
大し、基板と支持ピンとの摺動摩擦に伴う発塵が多くな
ってクリーン状態での基板位置決めが難しくなってき
た。
おける従来のアライメント装置は、基板を支持ピンで持
ち上げて支持し、その状態でＸ−Ｙ方向から爪を押し付
けることによって位置決めしていた。基板サイズが小さ
いときにはこの位置決め方法で不具合はなかったが、近
年の基板の大型化に伴い、基板とピンとの間の摩擦が増
大し、基板と支持ピンとの摺動摩擦に伴う発塵が多くな
ってクリーン状態での基板位置決めが難しくなってき
た。
【０００３】なお、３本の支持ピンで直径８インチの基
板を支持すると共に、支持ピンから空気を吹き出して支
持ピン頂部と基板裏面との間から空気を放出し、基板の
浮上及び吸着作用を発生させ、この状態でガイド部材に
よって基板を位置決めするようにした基板受け渡し装置
が提案されている（特開平８−３３０３８３号公報参
照）。しかしながら、この装置では、本数の少ない支持
ピンから浮上空気を吹き出しているので、動圧による基
板支持力が小さいと共に、静圧による基板支持力が生じ
ないため、基板を浮上させるのが容易でなく、特に大型
基板では浮上支持が困難になる。
板を支持すると共に、支持ピンから空気を吹き出して支
持ピン頂部と基板裏面との間から空気を放出し、基板の
浮上及び吸着作用を発生させ、この状態でガイド部材に
よって基板を位置決めするようにした基板受け渡し装置
が提案されている（特開平８−３３０３８３号公報参
照）。しかしながら、この装置では、本数の少ない支持
ピンから浮上空気を吹き出しているので、動圧による基
板支持力が小さいと共に、静圧による基板支持力が生じ
ないため、基板を浮上させるのが容易でなく、特に大型
基板では浮上支持が困難になる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、大型の平板状ワークであっても
確実に浮上支持して位置決めできる平板状ワークの位置
決め装置を提供することを課題とする。
ける上記問題を解決し、大型の平板状ワークであっても
確実に浮上支持して位置決めできる平板状ワークの位置
決め装置を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、平板状ワークを位置決めする位置決め装置
において、空気が吹き出される多数の穴を備えた面板
と、該面板上から突出した位置と退避した位置とに切り
換え可能に形成されていて突出時に前記平板状ワークを
支持可能な複数の支持ピンと、前記平板状ワークの端面
に近接して前記平板状ワークを位置決めする第１位置と
これから離れた第２位置との間で移動可能に形成された
位置決め部材であって前記面板に対向し該面板の方向に
空気が吹き出される空気吹き出し口を備えていて前記面
板に対して接離可能に形成された複数の位置決め部材
と、を有することを特徴とする。
するために、平板状ワークを位置決めする位置決め装置
において、空気が吹き出される多数の穴を備えた面板
と、該面板上から突出した位置と退避した位置とに切り
換え可能に形成されていて突出時に前記平板状ワークを
支持可能な複数の支持ピンと、前記平板状ワークの端面
に近接して前記平板状ワークを位置決めする第１位置と
これから離れた第２位置との間で移動可能に形成された
位置決め部材であって前記面板に対向し該面板の方向に
空気が吹き出される空気吹き出し口を備えていて前記面
板に対して接離可能に形成された複数の位置決め部材
と、を有することを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明を適用した
位置決め装置の概略の全体構成及びその一部分を拡大し
た状態を示す。
位置決め装置の概略の全体構成及びその一部分を拡大し
た状態を示す。
【０００７】本装置は、平板状ワークであるＬＣＤ用ガ
ラス基板から成るワークＷを位置決めする装置であり、
主要構成部分として、浮上用プレート１、ピンアップ機
構２及び位置決め機構３を有する。
ラス基板から成るワークＷを位置決めする装置であり、
主要構成部分として、浮上用プレート１、ピンアップ機
構２及び位置決め機構３を有する。
【０００８】浮上用プレート１は、薄板板金構造になっ
ていて、厚みの薄い上下板１１、１２と両側板１３とか
ら成る外板及びこれらを内部で補強する図示しないリブ
板で構成されている。内部の空気室１４は、図示しない
送風機によって空気が供給されることにより、例えば２
０ｍｍＡｑ程度の圧力を持つ。この例では、上板１１が
空気の吹き出される多数の穴１１ａを備えた面板に相当
する。図１では多数の穴１１ａの一部分だけ示してい
る。なお、浮上用プレート１を、このような薄板板金構
造のものに代えて、ソリッド板で厚みと強度を持つもの
にしてもよい。
ていて、厚みの薄い上下板１１、１２と両側板１３とか
ら成る外板及びこれらを内部で補強する図示しないリブ
板で構成されている。内部の空気室１４は、図示しない
送風機によって空気が供給されることにより、例えば２
０ｍｍＡｑ程度の圧力を持つ。この例では、上板１１が
空気の吹き出される多数の穴１１ａを備えた面板に相当
する。図１では多数の穴１１ａの一部分だけ示してい
る。なお、浮上用プレート１を、このような薄板板金構
造のものに代えて、ソリッド板で厚みと強度を持つもの
にしてもよい。
【０００９】ピンアップ機構２は、エアシリンダ２１、
そのロッド２２、これに結合された支持板２３、これに
支持されたワーク支持ピン２４等によって構成されてい
る。ワーク支持ピン２４は、エアシリンダ２１の作動に
より、浮上用プレート１の上板１１上から突出した実線
の上位置Ｈ1 と二点鎖線のように退避した下位置Ｈ2と
の間で切り換え可能になっている。ワーク支持ピン２４
は複数本設けられていて、突出時にワークＷを上板１１
の上部で支持することができる。
そのロッド２２、これに結合された支持板２３、これに
支持されたワーク支持ピン２４等によって構成されてい
る。ワーク支持ピン２４は、エアシリンダ２１の作動に
より、浮上用プレート１の上板１１上から突出した実線
の上位置Ｈ1 と二点鎖線のように退避した下位置Ｈ2と
の間で切り換え可能になっている。ワーク支持ピン２４
は複数本設けられていて、突出時にワークＷを上板１１
の上部で支持することができる。
【００１０】位置決め機構３は、架台３１、リニアガイ
ド部３２、支柱部３３、これにピン３４を介して回転可
能に支持されたアーム３５、位置決め爪３６、空気管系
３７、等によって構成されている。位置決め爪３６は、
本例では図２（ｂ）に示す如く、ワークＷを位置決めで
きるようにその周辺に８本設けられている。位置決め機
構３の可動部分は、ボールネジ機構等の図示しない直線
往復機構により、爪の装着位置によってＸ又はＹ方向に
駆動される。その結果、それぞれの位置決め爪３６はＸ
方向又はＹ方向に移動可能になっている。
ド部３２、支柱部３３、これにピン３４を介して回転可
能に支持されたアーム３５、位置決め爪３６、空気管系
３７、等によって構成されている。位置決め爪３６は、
本例では図２（ｂ）に示す如く、ワークＷを位置決めで
きるようにその周辺に８本設けられている。位置決め機
構３の可動部分は、ボールネジ機構等の図示しない直線
往復機構により、爪の装着位置によってＸ又はＹ方向に
駆動される。その結果、それぞれの位置決め爪３６はＸ
方向又はＹ方向に移動可能になっている。
【００１１】このような構成により、位置決め爪３６
は、ワークＷの端面Ｗｓに近接してこれを位置決めする
二点鎖線で示す第１位置としての内側位置Ｌ1 とこれか
ら離れた実線で示す第２位置としての外側位置Ｌ2 との
間で移動可能になっている。又、上板１１に対向しその
方向に空気が吹き出される空気吹き出し口３６ａを備え
ている。空気吹き出し口３６ａには、空気管系３７から
例えば１kgf/cm2G程度の低圧の圧縮空気が供給される。
更に、揺動アーム３５をピン３４で支持して回転可能に
することにより、位置決め爪３６は上下のＺ方向に動い
て上板１１に対して接離可能なように形成されている。
以上のような位置決め装置によれば、ワークＷの目的位
置へのアライメントは次のように行われる。
は、ワークＷの端面Ｗｓに近接してこれを位置決めする
二点鎖線で示す第１位置としての内側位置Ｌ1 とこれか
ら離れた実線で示す第２位置としての外側位置Ｌ2 との
間で移動可能になっている。又、上板１１に対向しその
方向に空気が吹き出される空気吹き出し口３６ａを備え
ている。空気吹き出し口３６ａには、空気管系３７から
例えば１kgf/cm2G程度の低圧の圧縮空気が供給される。
更に、揺動アーム３５をピン３４で支持して回転可能に
することにより、位置決め爪３６は上下のＺ方向に動い
て上板１１に対して接離可能なように形成されている。
以上のような位置決め装置によれば、ワークＷの目的位
置へのアライメントは次のように行われる。
【００１２】１）ワーク支持ピン２４が突出した上位置
Ｈ1 になり、この上にワークＷが載せられる。このとき
には、位置決め爪３６はワークＷから離れて退避した外
側位置Ｌ2 に待機している。
Ｈ1 になり、この上にワークＷが載せられる。このとき
には、位置決め爪３６はワークＷから離れて退避した外
側位置Ｌ2 に待機している。
【００１３】２）浮上用プレート１の上板１１の穴１１
ａから浮上用空気を吹き出させ、その後エアシリンダ２
１を作動させてワーク支持ピン２４を退避した下位置Ｈ
2 まで下降させ、ワークＷを上板１１上で浮上支持す
る。
ａから浮上用空気を吹き出させ、その後エアシリンダ２
１を作動させてワーク支持ピン２４を退避した下位置Ｈ
2 まで下降させ、ワークＷを上板１１上で浮上支持す
る。
【００１４】３）空気管系３７から位置決め爪３６へ空
気を供給し、その空気吹き出し口３６ａから空気を吹き
出させ、位置決め爪３６を浮上させる。次に支柱部３３
等と共に位置決め爪３６をリニアガイド部３１に沿って
Ｘ又はＹ方向に動かし、ワークＷを位置決めするための
内側位置Ｌ1 まで移動させ、ワークＷのアライメントを
行う。 ４）ワーク浮上用空気の供給を停止し、浮上力を落とし
てアライメントされた状態でワークＷを上板１１上にあ
ずける。
気を供給し、その空気吹き出し口３６ａから空気を吹き
出させ、位置決め爪３６を浮上させる。次に支柱部３３
等と共に位置決め爪３６をリニアガイド部３１に沿って
Ｘ又はＹ方向に動かし、ワークＷを位置決めするための
内側位置Ｌ1 まで移動させ、ワークＷのアライメントを
行う。 ４）ワーク浮上用空気の供給を停止し、浮上力を落とし
てアライメントされた状態でワークＷを上板１１上にあ
ずける。
【００１５】５）位置決め爪３６を浮上した状態でＬ1
位置からＬ2 位置に退避させ、その後浮上用空気の供給
を停止し、上面１１上に下ろして安定させる。
位置からＬ2 位置に退避させ、その後浮上用空気の供給
を停止し、上面１１上に下ろして安定させる。
【００１６】６）再びエアシリンダ２１を作動させてワ
ーク支持ピン２４を上昇させ、アライメントされた状態
でワークＷを支持してこれを上位置Ｈ1 まで持ち上げ、
位置決めを終了する。この状態で、精度良く位置決めさ
れたワークＷはロボットハンド等によって取り上げら
れ、次の工程の載置場所に精度良く受け渡されることに
なる。
ーク支持ピン２４を上昇させ、アライメントされた状態
でワークＷを支持してこれを上位置Ｈ1 まで持ち上げ、
位置決めを終了する。この状態で、精度良く位置決めさ
れたワークＷはロボットハンド等によって取り上げら
れ、次の工程の載置場所に精度良く受け渡されることに
なる。
【００１７】以上のようなワークアライメントにおい
て、ワークを浮上させて位置決めするときには、その浮
上状態を安定させることが望ましい。そのためには、ワ
ークＷをある程度多くの点で等分布的に支持すると共
に、吹き出し空気の流速、従って空気室１４内の圧力Ｐ
1 を余り大きくせず、浮上量δｈ1 を余り高くしないこ
とが望ましい。本発明では、多数の穴１１ａから空気を
吹き出すので、ワークＷを均一に安定して支持できる。
又、ワークＷと上板１１との間には圧力を持った空気層
Ａができるため、ワークＷには静圧による支持力も発生
し、低圧送風機程度の圧力であっても大型ワークを支持
するための十分な支持力が発生する。発明者等の実験に
よれば、圧力Ｐ1 を１０〜２０ｍｍＡｑ程度にすると、
５００ｍｍ角より大きいガラス基板からなるワークＷの
浮上量が、０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度になるという結果が
得られた。
て、ワークを浮上させて位置決めするときには、その浮
上状態を安定させることが望ましい。そのためには、ワ
ークＷをある程度多くの点で等分布的に支持すると共
に、吹き出し空気の流速、従って空気室１４内の圧力Ｐ
1 を余り大きくせず、浮上量δｈ1 を余り高くしないこ
とが望ましい。本発明では、多数の穴１１ａから空気を
吹き出すので、ワークＷを均一に安定して支持できる。
又、ワークＷと上板１１との間には圧力を持った空気層
Ａができるため、ワークＷには静圧による支持力も発生
し、低圧送風機程度の圧力であっても大型ワークを支持
するための十分な支持力が発生する。発明者等の実験に
よれば、圧力Ｐ1 を１０〜２０ｍｍＡｑ程度にすると、
５００ｍｍ角より大きいガラス基板からなるワークＷの
浮上量が、０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度になるという結果が
得られた。
【００１８】位置決め爪３６は、内外位置Ｌ1 、Ｌ2 間
を移動するときには上板１１から浮上しているため、こ
れと非接触状態で移動する。その結果、爪移動に伴う発
塵が防止される。又、位置決め爪３６とワークＷの端面
Ｗｓとの間には、アライメント上許容される誤差以内の
クリアランスが設けられる。但し、位置決め爪３６の外
面を弾性体にしてワーク端面に軽く接触させるようにし
てもよい。その場合にも、爪とワーク間が殆ど摺動しな
いので、発塵することはない。
を移動するときには上板１１から浮上しているため、こ
れと非接触状態で移動する。その結果、爪移動に伴う発
塵が防止される。又、位置決め爪３６とワークＷの端面
Ｗｓとの間には、アライメント上許容される誤差以内の
クリアランスが設けられる。但し、位置決め爪３６の外
面を弾性体にしてワーク端面に軽く接触させるようにし
てもよい。その場合にも、爪とワーク間が殆ど摺動しな
いので、発塵することはない。
【００１９】位置決め爪３６の浮上量δｈ2 は、ワーク
Ｗの浮上量との関係で０．１〜０．３ｍｍ程度の小さい
値にされる必要がある。この場合、位置決め爪３６の空
気吹き出し口３６ａに圧力Ｐ2 の空気を供給すると、位
置決め爪３６の直径をｄとすれば、爪には最も大きい力
としてＦ＝πｄ2 Ｐ2 ／４が上向きに作用する。例えば
圧力Ｐ2 を１kgf/cm2G、空気吹き出し口３６ａの面積を
１cm2 とすれば、Ｆは１kgf/cm2fになる。この力は、ア
ーム３５及び位置決め爪３６の重量からすれば過大な力
になる。しかし、位置決め爪３６が浮上して上板１１と
の間に空気が吹き出すと、Ｆは直ちに小さい値になり、
Ｆとδｈ2 との関係が定まって適当な浮上量δｈ2 が確
保される。
Ｗの浮上量との関係で０．１〜０．３ｍｍ程度の小さい
値にされる必要がある。この場合、位置決め爪３６の空
気吹き出し口３６ａに圧力Ｐ2 の空気を供給すると、位
置決め爪３６の直径をｄとすれば、爪には最も大きい力
としてＦ＝πｄ2 Ｐ2 ／４が上向きに作用する。例えば
圧力Ｐ2 を１kgf/cm2G、空気吹き出し口３６ａの面積を
１cm2 とすれば、Ｆは１kgf/cm2fになる。この力は、ア
ーム３５及び位置決め爪３６の重量からすれば過大な力
になる。しかし、位置決め爪３６が浮上して上板１１と
の間に空気が吹き出すと、Ｆは直ちに小さい値になり、
Ｆとδｈ2 との関係が定まって適当な浮上量δｈ2 が確
保される。
【００２０】その結果、このような浮上方式によれば、
δｈ2 を上記のように僅かな値に維持することが容易で
ある。そして、位置決め爪３６が上板１１から僅かでも
浮上すれば、両者間の接触を確実に防止することができ
る。なお、図示の如く引っ張り又は圧縮バネ３８を装着
し、位置決め爪３６の浮上力を調整するようにしてもよ
い。又、必要に応じてピン３４に対して爪３６の反対側
にカウンターウエートを設け、位置決め爪３６をより低
い圧力で浮上させるようにしてもよい。
δｈ2 を上記のように僅かな値に維持することが容易で
ある。そして、位置決め爪３６が上板１１から僅かでも
浮上すれば、両者間の接触を確実に防止することができ
る。なお、図示の如く引っ張り又は圧縮バネ３８を装着
し、位置決め爪３６の浮上力を調整するようにしてもよ
い。又、必要に応じてピン３４に対して爪３６の反対側
にカウンターウエートを設け、位置決め爪３６をより低
い圧力で浮上させるようにしてもよい。
【００２１】ところで、位置決め爪３６を浮上させるこ
となく、上記δｈ2 程度の微小間隙を機械的に付与しよ
うとすれば、爪移動機構が介在しているために、δｈ2
を維持するだけの機械的精度を得ることが難しい。又、
浮上用プレート１の面精度の点からも、δｈ2 を確保す
ることは困難である。その結果、ワークＷが位置決め時
に発塵のない浮上状態になっているにもかかわらず、位
置決め爪３６が浮上用プレート１と摺動して発塵し、結
局クリーンなワーク処理環境が得られないことになる。
となく、上記δｈ2 程度の微小間隙を機械的に付与しよ
うとすれば、爪移動機構が介在しているために、δｈ2
を維持するだけの機械的精度を得ることが難しい。又、
浮上用プレート１の面精度の点からも、δｈ2 を確保す
ることは困難である。その結果、ワークＷが位置決め時
に発塵のない浮上状態になっているにもかかわらず、位
置決め爪３６が浮上用プレート１と摺動して発塵し、結
局クリーンなワーク処理環境が得られないことになる。
【００２２】なお、本例では位置決め爪３６を浮上可能
にするためにアーム３５を回転させる機構を用いている
が、スライドベアリング等を介在させてアーム３５を上
下移動可能にし、それによって位置決め爪３６を浮上可
能にするような機構であってもよい。又、浮上用プレー
ト１、ピンアップ機構２及び位置決め機構３を多段に配
設し、浮上用空気を加熱された高温空気にすると共に浮
上用プレート１部分を高温環境に配置することにより、
位置決め装置を熱風循環式熱処理装置として使用するこ
とも可能である。
にするためにアーム３５を回転させる機構を用いている
が、スライドベアリング等を介在させてアーム３５を上
下移動可能にし、それによって位置決め爪３６を浮上可
能にするような機構であってもよい。又、浮上用プレー
ト１、ピンアップ機構２及び位置決め機構３を多段に配
設し、浮上用空気を加熱された高温空気にすると共に浮
上用プレート１部分を高温環境に配置することにより、
位置決め装置を熱風循環式熱処理装置として使用するこ
とも可能である。
【００２３】
【発明の効果】空気が吹き出される多数の穴を備えた面
板を設けているので、その上に平板状ワーク（以下単に
「ワーク」という）を浮上支持することが可能になる。
面板上から突出する位置と退避する位置とに切り換え可
能に形成されていて突出時にワークを支持可能な複数の
支持ピンを設けているので、ワークを支持して突出状態
にある支持ピンを面板から退避させることにより、ワー
クを面板上で非接触浮上支持することができる。ワーク
の端面に近接してこれ位置決めする第１位置とこれから
離れた第２位置との間で移動可能に形成された位置決め
部材を設けているので、上記の如くワークが面板上に浮
上支持されるまで位置決め部材を第２位置に待機させて
おき、浮上支持されると第１位置に移動させてワークを
位置決めすることができる。このとき、ワークが浮上し
ているためワークは支持ピンや面板と接触せず、発塵の
ないクリーンな位置決めをすることができる。
板を設けているので、その上に平板状ワーク（以下単に
「ワーク」という）を浮上支持することが可能になる。
面板上から突出する位置と退避する位置とに切り換え可
能に形成されていて突出時にワークを支持可能な複数の
支持ピンを設けているので、ワークを支持して突出状態
にある支持ピンを面板から退避させることにより、ワー
クを面板上で非接触浮上支持することができる。ワーク
の端面に近接してこれ位置決めする第１位置とこれから
離れた第２位置との間で移動可能に形成された位置決め
部材を設けているので、上記の如くワークが面板上に浮
上支持されるまで位置決め部材を第２位置に待機させて
おき、浮上支持されると第１位置に移動させてワークを
位置決めすることができる。このとき、ワークが浮上し
ているためワークは支持ピンや面板と接触せず、発塵の
ないクリーンな位置決めをすることができる。
【００２４】又、位置決め部材は面板に対向しその方向
に空気が吹き出される空気吹き出し口を備えていると共
に、面板に対して接離可能に形成されているので、空気
吹き出し口から空気を吹き出すことによって位置決め部
材を面板から浮上させて離間させることができる。その
結果、位置決め部材が第２位置から第１位置に移動する
前に浮上させることにより、位置決め部材を面板と非接
触の状態で第２位置から第１位置に移動させ、位置決め
後元の位置に復帰させ、移動中における接触摺動による
発塵も防止することができる。
に空気が吹き出される空気吹き出し口を備えていると共
に、面板に対して接離可能に形成されているので、空気
吹き出し口から空気を吹き出すことによって位置決め部
材を面板から浮上させて離間させることができる。その
結果、位置決め部材が第２位置から第１位置に移動する
前に浮上させることにより、位置決め部材を面板と非接
触の状態で第２位置から第１位置に移動させ、位置決め
後元の位置に復帰させ、移動中における接触摺動による
発塵も防止することができる。
【００２５】このようにして全く発塵のない状態でワー
クを位置決めした後、支持ピンを突出位置にすることに
より、位置決めされたワークを面板上から離して支持ピ
ン上に支持させ、次の工程への移行可能な状態にするこ
とができる。このときには、もはやワークを位置決めの
ために動かす必要がないので、支持ピンはワークを持ち
上げるだけでワークと摺動しない。その結果、完全に発
塵のないワーク位置決めをすることができる。
クを位置決めした後、支持ピンを突出位置にすることに
より、位置決めされたワークを面板上から離して支持ピ
ン上に支持させ、次の工程への移行可能な状態にするこ
とができる。このときには、もはやワークを位置決めの
ために動かす必要がないので、支持ピンはワークを持ち
上げるだけでワークと摺動しない。その結果、完全に発
塵のないワーク位置決めをすることができる。
【図１】本発明を適用したワークの位置決め装置の概略
全体構成の一例を示す正面図である。
全体構成の一例を示す正面図である。
【図２】（ａ）は上記装置の一部分を拡大した状態を示
す部分断面を含む正面図であり、（ｂ）はワークに対す
る位置決め爪の配置例を示す平面図である。
す部分断面を含む正面図であり、（ｂ）はワークに対す
る位置決め爪の配置例を示す平面図である。
１１ 上板（面板） １１ａ 穴 ２４ ワーク支持ピン（支持ピン） ３６ 位置決め爪（位置決め部材） ３６ａ 空気吹き出し口 Ｈ1 上位置（突出した位置） Ｈ2 下位置（退避した位置） Ｌ1 内側位置（第１位置） Ｌ2 外側位置（第２位置） Ｗ ワーク（平板状ワーク） Ｗｓ 端面
Claims (1)
- 【請求項１】 平板状ワークを位置決めする位置決め装
置において、 空気が吹き出される多数の穴を備えた面板と、該面板上
から突出した位置と退避した位置とに切り換え可能に形
成されていて突出時に前記平板状ワークを支持可能な複
数の支持ピンと、前記平板状ワークの端面に近接して前
記平板状ワークを位置決めする第１位置とこれから離れ
た第２位置との間で移動可能に形成された位置決め部材
であって前記面板に対向し該面板の方向に空気が吹き出
される空気吹き出し口を備えていて前記面板に対して接
離可能に形成された複数の位置決め部材と、を有するこ
とを特徴とする位置決め装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP3234399A JP3602359B2 (ja) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | 平板状ワークの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP3234399A JP3602359B2 (ja) | 1999-02-10 | 1999-02-10 | 平板状ワークの位置決め装置 |
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| JP2000232148A true JP2000232148A (ja) | 2000-08-22 |
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ID=12356326
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005075643A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-03-24 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 基板収納装置 |
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| JP2018032747A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 株式会社ディスコ | 板状物搬送装置及び加工装置 |
-
1999
- 1999-02-10 JP JP3234399A patent/JP3602359B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| TWI721191B (zh) * | 2016-08-24 | 2021-03-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 板狀物搬送裝置及加工裝置 |
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