JP2000241271A - 圧力検出装置 - Google Patents
圧力検出装置Info
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各種特性の調整が容易な圧力検出装置を提供
する。 【解決手段】 圧力センサ１０と、この圧力センサ１０
へ一定の電流を供給する定電流回路２０と、圧力センサ
１０の出力電圧を増幅する増幅回路３０とから成る。圧
力センサ１０に接続された圧力センサ１０のオフセット
電圧調整抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’と定電流回路２０側とを
電気的独立に構成している。
する。 【解決手段】 圧力センサ１０と、この圧力センサ１０
へ一定の電流を供給する定電流回路２０と、圧力センサ
１０の出力電圧を増幅する増幅回路３０とから成る。圧
力センサ１０に接続された圧力センサ１０のオフセット
電圧調整抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’と定電流回路２０側とを
電気的独立に構成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体式圧力セン
サを用いた圧力検出装置に関し、各種調整が容易な圧力
検出装置に関する。
サを用いた圧力検出装置に関し、各種調整が容易な圧力
検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイヤフラム一面上に形成された半導体
抵抗素子からなる複数個のゲージで構成されるホイート
ストンブリッジ回路を有する圧力センサと、圧力に応じ
た圧力センサからの電気信号を増幅する増幅回路と、を
備えた圧力検出装置は、例えば特開平８−３５８９８号
公報で知られている。
抵抗素子からなる複数個のゲージで構成されるホイート
ストンブリッジ回路を有する圧力センサと、圧力に応じ
た圧力センサからの電気信号を増幅する増幅回路と、を
備えた圧力検出装置は、例えば特開平８−３５８９８号
公報で知られている。
【０００３】また、充填剤でゲージを埋没させて保護す
る構造の圧力センサが、例えば特開平７−３１１１１１
号公報で知られている。
る構造の圧力センサが、例えば特開平７−３１１１１１
号公報で知られている。
【０００４】一般的には、ダイヤフラムの一面に複数個
のゲージで構成したホイートストンブリッジ回路からな
る歪ゲージ部にて圧力センサを構成し、これに電流を供
給する定電流回路と、前記圧力センサからの出力を増幅
する増幅回路とからなる。
のゲージで構成したホイートストンブリッジ回路からな
る歪ゲージ部にて圧力センサを構成し、これに電流を供
給する定電流回路と、前記圧力センサからの出力を増幅
する増幅回路とからなる。
【０００５】具体的には、図４で一般的な半導体式の圧
力センサ１０の構造を示しており、増幅回路等の後述す
る回路部（混成集積回路）を形成した基板１上に半導体
式の歪ゲージ部２を固定し、基板１に形成した電極と歪
ゲージ部２に形成した電極とを金線等のワイヤ３でボン
ディングし、歪ゲージ部２の周囲に枠体４を組み付けた
後、シリコンオイル等の充填剤５を注入して、更にその
上部を覆う蓋体６を枠体４に固定している。
力センサ１０の構造を示しており、増幅回路等の後述す
る回路部（混成集積回路）を形成した基板１上に半導体
式の歪ゲージ部２を固定し、基板１に形成した電極と歪
ゲージ部２に形成した電極とを金線等のワイヤ３でボン
ディングし、歪ゲージ部２の周囲に枠体４を組み付けた
後、シリコンオイル等の充填剤５を注入して、更にその
上部を覆う蓋体６を枠体４に固定している。
【０００６】歪ゲージ部２は、ダイヤフラム２ａの起歪
部２ｂの上面に４個の歪ゲージＲ１〜Ｒ４を半導体成膜
技術により形成してあり、この歪ゲージＲ１〜Ｒ４は、
後述するように起歪部２ｂが受ける圧力に応じた電気信
号を圧力センサ１０が出力するようにホイートストンブ
リッジ回路を構成している。
部２ｂの上面に４個の歪ゲージＲ１〜Ｒ４を半導体成膜
技術により形成してあり、この歪ゲージＲ１〜Ｒ４は、
後述するように起歪部２ｂが受ける圧力に応じた電気信
号を圧力センサ１０が出力するようにホイートストンブ
リッジ回路を構成している。
【０００７】図５は、圧力センサ１０を含む圧力検出装
置の回路図であり、２０は定電流回路、３０は増幅回路
である。
置の回路図であり、２０は定電流回路、３０は増幅回路
である。
【０００８】定電流回路２０は、電源電圧Ｅを抵抗Ｒ２
１，Ｒ２２で分圧した後、オペアンプＯＰ２１を介して
分圧して圧力センサ１０で電流Ｉを供給し、圧力センサ
１０とこれに直列に接続した抵抗Ｒ２３との中点から電
流をオペアンプＯＰ２１へ帰還させることにより、圧力
センサ１０へ供給する電流Ｉを一定値として定電流駆動
を行っている。抵抗Ｒ２２は、可変可能なオペアンプＯ
Ｐ２１の入力電圧調整抵抗である。抵抗Ｒ２３，Ｒ２
３’は、圧力センサ１０のブリッジ回路の１つの頂点を
開放して開放端の両方に直列に接続された可変可能な圧
力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗である。また、
オペアンプＯＰ２１の出力と抵抗Ｒ２３のアース側との
間には、ｆｓｏ（所定の定電流値Ｉ０における圧力セン
サ１０の出力：full schale output）調整抵抗Ｒ２４が
接続されており、抵抗Ｒ２５は、抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’
とアース間に接続される抵抗である。ここで、Ｒ２２は
定電流調整用抵抗である。
１，Ｒ２２で分圧した後、オペアンプＯＰ２１を介して
分圧して圧力センサ１０で電流Ｉを供給し、圧力センサ
１０とこれに直列に接続した抵抗Ｒ２３との中点から電
流をオペアンプＯＰ２１へ帰還させることにより、圧力
センサ１０へ供給する電流Ｉを一定値として定電流駆動
を行っている。抵抗Ｒ２２は、可変可能なオペアンプＯ
Ｐ２１の入力電圧調整抵抗である。抵抗Ｒ２３，Ｒ２
３’は、圧力センサ１０のブリッジ回路の１つの頂点を
開放して開放端の両方に直列に接続された可変可能な圧
力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗である。また、
オペアンプＯＰ２１の出力と抵抗Ｒ２３のアース側との
間には、ｆｓｏ（所定の定電流値Ｉ０における圧力セン
サ１０の出力：full schale output）調整抵抗Ｒ２４が
接続されており、抵抗Ｒ２５は、抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’
とアース間に接続される抵抗である。ここで、Ｒ２２は
定電流調整用抵抗である。
【０００９】また、圧力センサ１０の少なくとも一つの
歪ゲージＲ２には、並列に抵抗Ｒ２６が接続されてお
り、この抵抗Ｒ２６は、可変可能な圧力センサ１０のオ
フセット温度特性調整抵抗である。なお、抵抗Ｒ２６
は、図５においては圧力センサ１０に内蔵されている
が、実際は、定電流回路２０に設けられているものもあ
る。
歪ゲージＲ２には、並列に抵抗Ｒ２６が接続されてお
り、この抵抗Ｒ２６は、可変可能な圧力センサ１０のオ
フセット温度特性調整抵抗である。なお、抵抗Ｒ２６
は、図５においては圧力センサ１０に内蔵されている
が、実際は、定電流回路２０に設けられているものもあ
る。
【００１０】増幅回路３０は、圧力センサ１０の出力側
に接続され、差動増幅器ＯＰ３１とこのマイナス端子に
接続される帰還抵抗Ｒ３１とを少なくとも有している。
抵抗Ｒ３２，Ｒ３３とで分圧された電源電圧は、抵抗Ｒ
３４を介してオペアンプＯＰ３１のプラス端子に接続さ
れている。一般的には、圧力センサ１０の温度変化によ
る影響を抑えるために、差動増幅器ＯＰ３１の入力側
に、２個のオペアンプＯＰ３２，ＯＰ３３と抵抗Ｒ３
５，Ｒ３６とが接続されて、オペアンプＯＰ３２，３３
の各プラス端子は圧力センサ１０の出力に接続され、各
マイナス端子は抵抗Ｒ３７で接続されている。そして、
増幅回路３０の増幅率調整抵抗Ｒ３８がオペアンプＯＰ
３２のマイナス端子に帰還抵抗として接続されている。
ここで、Ｒ３３はオフセット電圧調整抵抗、Ｒ３７は増
幅率調整抵抗である。
に接続され、差動増幅器ＯＰ３１とこのマイナス端子に
接続される帰還抵抗Ｒ３１とを少なくとも有している。
抵抗Ｒ３２，Ｒ３３とで分圧された電源電圧は、抵抗Ｒ
３４を介してオペアンプＯＰ３１のプラス端子に接続さ
れている。一般的には、圧力センサ１０の温度変化によ
る影響を抑えるために、差動増幅器ＯＰ３１の入力側
に、２個のオペアンプＯＰ３２，ＯＰ３３と抵抗Ｒ３
５，Ｒ３６とが接続されて、オペアンプＯＰ３２，３３
の各プラス端子は圧力センサ１０の出力に接続され、各
マイナス端子は抵抗Ｒ３７で接続されている。そして、
増幅回路３０の増幅率調整抵抗Ｒ３８がオペアンプＯＰ
３２のマイナス端子に帰還抵抗として接続されている。
ここで、Ｒ３３はオフセット電圧調整抵抗、Ｒ３７は増
幅率調整抵抗である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】斯かる装置において
は、圧力センサ１０と定電流回路２０と増幅回路３０と
を電気的には独立に構成し、夫々個別の調節を行った
後、電気的接続を行い、一つの圧力検出装置としている
が、圧力検出装置としての調節が困難であり、特に圧力
センサ１０と増幅回路３０との総合的な特性が重要であ
るにもかかわらず、この調整が困難であった。
は、圧力センサ１０と定電流回路２０と増幅回路３０と
を電気的には独立に構成し、夫々個別の調節を行った
後、電気的接続を行い、一つの圧力検出装置としている
が、圧力検出装置としての調節が困難であり、特に圧力
センサ１０と増幅回路３０との総合的な特性が重要であ
るにもかかわらず、この調整が困難であった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明は、請求項１に記載のように、ダイヤフラムの
一面に複数個のゲージで構成したホイートストンブリッ
ジ回路にて圧力センサを構成し、これに電流を供給する
定電流回路と、前記圧力センサからの出力を増幅する増
幅回路とからなる圧力検出装置であって、前記ブリッジ
回路の１つの頂点を開放して前記圧力センサのオフセッ
ト電圧調整抵抗を直列に接続し、前記ブリッジ回路及び
前記オフセット電圧調整抵抗の直列回路と並列に前記圧
力センサのｆｓｏ調整抵抗を接続し、前記オフセット電
圧調整抵抗と前記定電流回路との間には当初は電気的に
断線状態でありながら製造工程における各種調整完了後
は電気的に接続されるジャンパ端子を形成し、このジャ
ンパ端子を挟み製造工程において前記ブリッジ回路を流
れる電流値を測定可能とするターミナルを有するもので
ある。特に、前記オフセット電圧調整抵抗の抵抗値が前
記ブリッジ回路を構成する前記ゲージの各抵抗値よりも
小さくてレーザトリミングにより抵抗値を調整可能な可
変抵抗であり（請求項６）、前記増幅回路が作動増幅回
路にて構成されてその負帰還入力部には接地との間にノ
イズ防止用コンデンサが接続されている（請求項７）。
の本発明は、請求項１に記載のように、ダイヤフラムの
一面に複数個のゲージで構成したホイートストンブリッ
ジ回路にて圧力センサを構成し、これに電流を供給する
定電流回路と、前記圧力センサからの出力を増幅する増
幅回路とからなる圧力検出装置であって、前記ブリッジ
回路の１つの頂点を開放して前記圧力センサのオフセッ
ト電圧調整抵抗を直列に接続し、前記ブリッジ回路及び
前記オフセット電圧調整抵抗の直列回路と並列に前記圧
力センサのｆｓｏ調整抵抗を接続し、前記オフセット電
圧調整抵抗と前記定電流回路との間には当初は電気的に
断線状態でありながら製造工程における各種調整完了後
は電気的に接続されるジャンパ端子を形成し、このジャ
ンパ端子を挟み製造工程において前記ブリッジ回路を流
れる電流値を測定可能とするターミナルを有するもので
ある。特に、前記オフセット電圧調整抵抗の抵抗値が前
記ブリッジ回路を構成する前記ゲージの各抵抗値よりも
小さくてレーザトリミングにより抵抗値を調整可能な可
変抵抗であり（請求項６）、前記増幅回路が作動増幅回
路にて構成されてその負帰還入力部には接地との間にノ
イズ防止用コンデンサが接続されている（請求項７）。
【００１３】また本発明は、請求項２に記載のように、
ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで構成したホイー
トストンブリッジ回路にて圧力センサを構成し、これに
電流を供給する定電流回路と、前記圧力センサからの出
力を増幅する増幅回路とからなる圧力検出装置であっ
て、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の
一方に前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列
に接続し、前記ブリッジ回路及び前記オフセット電圧調
整抵抗の直列回路と並列に前記圧力センサのｆｓｏ調整
抵抗を接続するものである。特に、前記オフセット電圧
調整抵抗の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成する前記ゲ
ージの各抵抗値よりも小さくてレーザトリミングにより
抵抗値を調整可能な可変抵抗であり（請求項６）、前記
増幅回路が作動増幅回路にて構成されてその負帰還入力
部には接地との間にノイズ防止用コンデンサが接続され
ている（請求項７）。
ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで構成したホイー
トストンブリッジ回路にて圧力センサを構成し、これに
電流を供給する定電流回路と、前記圧力センサからの出
力を増幅する増幅回路とからなる圧力検出装置であっ
て、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の
一方に前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列
に接続し、前記ブリッジ回路及び前記オフセット電圧調
整抵抗の直列回路と並列に前記圧力センサのｆｓｏ調整
抵抗を接続するものである。特に、前記オフセット電圧
調整抵抗の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成する前記ゲ
ージの各抵抗値よりも小さくてレーザトリミングにより
抵抗値を調整可能な可変抵抗であり（請求項６）、前記
増幅回路が作動増幅回路にて構成されてその負帰還入力
部には接地との間にノイズ防止用コンデンサが接続され
ている（請求項７）。
【００１４】また本発明は、請求項３に記載のように、
ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで構成したホイー
トストンブリッジ回路にて圧力センサを構成し、これに
電流を供給する定電流回路と、前記圧力センサからの出
力を増幅する増幅回路とからなる圧力検出装置であっ
て、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の
一方に前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列
に接続するものである。特に、前記オフセット電圧調整
抵抗の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成する前記ゲージ
の各抵抗値よりも小さくてレーザトリミングにより抵抗
値を調整可能な可変抵抗であり（請求項６）、前記増幅
回路が作動増幅回路にて構成されてその負帰還入力部に
は接地との間にノイズ防止用コンデンサが接続されてい
る（請求項７）。
ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで構成したホイー
トストンブリッジ回路にて圧力センサを構成し、これに
電流を供給する定電流回路と、前記圧力センサからの出
力を増幅する増幅回路とからなる圧力検出装置であっ
て、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の
一方に前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列
に接続するものである。特に、前記オフセット電圧調整
抵抗の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成する前記ゲージ
の各抵抗値よりも小さくてレーザトリミングにより抵抗
値を調整可能な可変抵抗であり（請求項６）、前記増幅
回路が作動増幅回路にて構成されてその負帰還入力部に
は接地との間にノイズ防止用コンデンサが接続されてい
る（請求項７）。
【００１５】また本発明は、請求項４に記載のように、
ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで構成したホイー
トストンブリッジ回路にて圧力センサを構成し、これに
電流を供給する定電流回路と、前記圧力センサからの出
力を増幅する増幅回路とからなる圧力検出装置であっ
て、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の
一方に前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列
に接続し、前記ブリッジ回路及び前記オフセット電圧調
整抵抗の直列回路と並列に前記圧力センサのｆｓｏ調整
抵抗を接続し、前記オフセット電圧調整抵抗と前記定電
流回路との間には当初は電気的に断線状態でありながら
製造工程における各種調整完了後は電気的に接続される
ジャンパ端子を形成し、このジャンパ端子を挟み製造工
程において前記ブリッジ回路を流れる電流値を測定可能
とするターミナルを有するものである。特に、前記オフ
セット電圧調整抵抗の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成
する前記ゲージの各抵抗値よりも小さくてレーザトリミ
ングにより抵抗値を調整可能な可変抵抗であり（請求項
６）、前記増幅回路が作動増幅回路にて構成されてその
負帰還入力部には接地との間にノイズ防止用コンデンサ
が接続されている（請求項７）。
ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで構成したホイー
トストンブリッジ回路にて圧力センサを構成し、これに
電流を供給する定電流回路と、前記圧力センサからの出
力を増幅する増幅回路とからなる圧力検出装置であっ
て、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の
一方に前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列
に接続し、前記ブリッジ回路及び前記オフセット電圧調
整抵抗の直列回路と並列に前記圧力センサのｆｓｏ調整
抵抗を接続し、前記オフセット電圧調整抵抗と前記定電
流回路との間には当初は電気的に断線状態でありながら
製造工程における各種調整完了後は電気的に接続される
ジャンパ端子を形成し、このジャンパ端子を挟み製造工
程において前記ブリッジ回路を流れる電流値を測定可能
とするターミナルを有するものである。特に、前記オフ
セット電圧調整抵抗の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成
する前記ゲージの各抵抗値よりも小さくてレーザトリミ
ングにより抵抗値を調整可能な可変抵抗であり（請求項
６）、前記増幅回路が作動増幅回路にて構成されてその
負帰還入力部には接地との間にノイズ防止用コンデンサ
が接続されている（請求項７）。
【００１６】また本発明は、請求項５に記載のように、
ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで構成したホイー
トストンブリッジ回路にて圧力センサを構成し、これに
電流を供給する定電流回路と、前記圧力センサからの出
力を増幅する増幅回路とからなる圧力検出装置であっ
て、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の
一方に前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列
に接続し、前記オフセット電圧調整抵抗と前記定電流回
路との間には当初は電気的に断線状態でありながら製造
工程における各種調整完了後は電気的に接続されるジャ
ンパ端子を形成し、このジャンパ端子を挟み製造工程に
おいて前記ブリッジ回路を流れる電流値を測定可能とす
るターミナルを有するものである。特に、前記オフセッ
ト電圧調整抵抗の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成する
前記ゲージの各抵抗値よりも小さくてレーザトリミング
により抵抗値を調整可能な可変抵抗であり（請求項
６）、前記増幅回路が作動増幅回路にて構成されてその
負帰還入力部には接地との間にノイズ防止用コンデンサ
が接続されている（請求項７）。
ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで構成したホイー
トストンブリッジ回路にて圧力センサを構成し、これに
電流を供給する定電流回路と、前記圧力センサからの出
力を増幅する増幅回路とからなる圧力検出装置であっ
て、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の
一方に前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列
に接続し、前記オフセット電圧調整抵抗と前記定電流回
路との間には当初は電気的に断線状態でありながら製造
工程における各種調整完了後は電気的に接続されるジャ
ンパ端子を形成し、このジャンパ端子を挟み製造工程に
おいて前記ブリッジ回路を流れる電流値を測定可能とす
るターミナルを有するものである。特に、前記オフセッ
ト電圧調整抵抗の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成する
前記ゲージの各抵抗値よりも小さくてレーザトリミング
により抵抗値を調整可能な可変抵抗であり（請求項
６）、前記増幅回路が作動増幅回路にて構成されてその
負帰還入力部には接地との間にノイズ防止用コンデンサ
が接続されている（請求項７）。
【００１７】
【発明の実施の形態】ダイヤフラム２ａの一面に複数個
のゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ
回路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給
する定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増
幅する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、
前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して圧力センサ１
０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’を直列に
接続し、前記ブリッジ回路及びオフセット電圧調整抵抗
Ｒ２３，Ｒ２３’の直列回路と並列に圧力センサ１０の
ｆｓｏ調整抵抗Ｒ２４を接続し、オフセット電圧調整抵
抗Ｒ２３，Ｒ２３’と定電流回路２０との間には当初は
電気的に断線状態でありながら製造工程における各種調
整完了後は電気的に接続されるジャンパ端子Ｊ１を形成
し、このジャンパ端子Ｊ１を挟み製造工程において前記
ブリッジ回路を流れる電流値Ｉ１を測定可能とするター
ミナルをＴ１，Ｔ２有する。
のゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ
回路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給
する定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増
幅する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、
前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して圧力センサ１
０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’を直列に
接続し、前記ブリッジ回路及びオフセット電圧調整抵抗
Ｒ２３，Ｒ２３’の直列回路と並列に圧力センサ１０の
ｆｓｏ調整抵抗Ｒ２４を接続し、オフセット電圧調整抵
抗Ｒ２３，Ｒ２３’と定電流回路２０との間には当初は
電気的に断線状態でありながら製造工程における各種調
整完了後は電気的に接続されるジャンパ端子Ｊ１を形成
し、このジャンパ端子Ｊ１を挟み製造工程において前記
ブリッジ回路を流れる電流値Ｉ１を測定可能とするター
ミナルをＴ１，Ｔ２有する。
【００１８】これにより、圧力センサ１０に流れる電流
Ｉ１は、ターミナルＴ１，Ｔ２に電流計を接続すること
により直接測定することができ、１回の測定で実際の値
を知ることができるので、簡単かつ精度良く求められ
る。
Ｉ１は、ターミナルＴ１，Ｔ２に電流計を接続すること
により直接測定することができ、１回の測定で実際の値
を知ることができるので、簡単かつ精度良く求められ
る。
【００１９】また、ダイヤフラム２ａの一面に複数個の
ゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ回
路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給す
る定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増幅
する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、前
記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方に
圧力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２
３’）を直列に接続し、前記ブリッジ回路及びオフセッ
ト電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２３’）の直列回路と並列に
圧力センサ１０のｆｓｏ調整抵抗Ｒ２４を接続する。
ゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ回
路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給す
る定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増幅
する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、前
記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方に
圧力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２
３’）を直列に接続し、前記ブリッジ回路及びオフセッ
ト電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２３’）の直列回路と並列に
圧力センサ１０のｆｓｏ調整抵抗Ｒ２４を接続する。
【００２０】これにより、圧力センサ１０のオフセット
電圧の調整は、常に一方向の調節で済むようになり、容
易に行うことができる。
電圧の調整は、常に一方向の調節で済むようになり、容
易に行うことができる。
【００２１】また、ダイヤフラム２ａの一面に複数個の
ゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ回
路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給す
る定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増幅
する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、前
記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方に
圧力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２
３’）を直列に接続する。
ゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ回
路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給す
る定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増幅
する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、前
記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方に
圧力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２
３’）を直列に接続する。
【００２２】これにより、圧力センサ１０のオフセット
電圧の調整は、常に一方向の調節で済むようになり、容
易に行うことができる。
電圧の調整は、常に一方向の調節で済むようになり、容
易に行うことができる。
【００２３】また、ダイヤフラム２ａの一面に複数個の
ゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ回
路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給す
る定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増幅
する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、前
記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方に
圧力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２
３’）を直列に接続し、前記ブリッジ回路及びオフセッ
ト電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２３’）の直列回路と並列に
圧力センサ１０のｆｓｏ調整抵抗Ｒ２４を接続し、オフ
セット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２３’）と定電流回路２
０との間には当初は電気的に断線状態でありながら製造
工程における各種調整完了後は電気的に接続されるジャ
ンパ端子Ｊ１を形成し、このジャンパ端子Ｊ１を挟み製
造工程において前記ブリッジ回路を流れる電流値Ｉ１を
測定可能とするターミナルＴ１，Ｔ２を有する。
ゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ回
路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給す
る定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増幅
する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、前
記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方に
圧力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２
３’）を直列に接続し、前記ブリッジ回路及びオフセッ
ト電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２３’）の直列回路と並列に
圧力センサ１０のｆｓｏ調整抵抗Ｒ２４を接続し、オフ
セット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２３’）と定電流回路２
０との間には当初は電気的に断線状態でありながら製造
工程における各種調整完了後は電気的に接続されるジャ
ンパ端子Ｊ１を形成し、このジャンパ端子Ｊ１を挟み製
造工程において前記ブリッジ回路を流れる電流値Ｉ１を
測定可能とするターミナルＴ１，Ｔ２を有する。
【００２４】これにより、圧力センサ１０に流れる電流
Ｉ１は、ターミナルＴ１，Ｔ２に電流計を接続すること
により直接測定することができ、１回の測定で実際の値
を知ることができるので、簡単かつ精度良く求められ
る。また、圧力センサ１０のオフセット電圧の調整は、
常に一方向の調節で済むようになり、容易に行うことが
できる。
Ｉ１は、ターミナルＴ１，Ｔ２に電流計を接続すること
により直接測定することができ、１回の測定で実際の値
を知ることができるので、簡単かつ精度良く求められ
る。また、圧力センサ１０のオフセット電圧の調整は、
常に一方向の調節で済むようになり、容易に行うことが
できる。
【００２５】また、ダイヤフラム２ａの一面に複数個の
ゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ回
路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給す
る定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増幅
する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、前
記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方に
圧力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２
３’）を直列に接続し、オフセット電圧調整抵抗Ｒ２３
（Ｒ２３’）と定電流回路２０との間には当初は電気的
に断線状態でありながら製造工程における各種調整完了
後は電気的に接続されるジャンパ端子Ｊ１を形成し、こ
のジャンパ端子Ｊ１を挟み製造工程において前記ブリッ
ジ回路を流れる電流値Ｉ１を測定可能とするターミナル
Ｔ１，Ｔ２を有する。
ゲージＲ１〜Ｒ４で構成したホイートストンブリッジ回
路にて圧力センサ１０を構成し、これに電流Ｉを供給す
る定電流回路２０と、圧力センサ１０からの出力を増幅
する増幅回路３０とからなる圧力検出装置であって、前
記ブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方に
圧力センサ１０のオフセット電圧調整抵抗Ｒ２３（Ｒ２
３’）を直列に接続し、オフセット電圧調整抵抗Ｒ２３
（Ｒ２３’）と定電流回路２０との間には当初は電気的
に断線状態でありながら製造工程における各種調整完了
後は電気的に接続されるジャンパ端子Ｊ１を形成し、こ
のジャンパ端子Ｊ１を挟み製造工程において前記ブリッ
ジ回路を流れる電流値Ｉ１を測定可能とするターミナル
Ｔ１，Ｔ２を有する。
【００２６】これにより、圧力センサ１０に流れる電流
Ｉ１は、ターミナルＴ１，Ｔ２に電流計を接続すること
により直接測定することができ、１回の測定で実際の値
を知ることができるので、簡単かつ精度良く求められ
る。また、圧力センサ１０のオフセット電圧の調整は、
常に一方向の調節で済むようになり、容易に行うことが
できる。
Ｉ１は、ターミナルＴ１，Ｔ２に電流計を接続すること
により直接測定することができ、１回の測定で実際の値
を知ることができるので、簡単かつ精度良く求められ
る。また、圧力センサ１０のオフセット電圧の調整は、
常に一方向の調節で済むようになり、容易に行うことが
できる。
【００２７】特に、オフセット電圧調整抵抗Ｒ２３，Ｒ
２３’の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成するゲージＲ
１〜Ｒ４の各抵抗値よりも小さくてレーザトリミングに
より抵抗値を調整可能な可変抵抗である。
２３’の抵抗値が前記ブリッジ回路を構成するゲージＲ
１〜Ｒ４の各抵抗値よりも小さくてレーザトリミングに
より抵抗値を調整可能な可変抵抗である。
【００２８】これにより、オフセット電圧調整抵抗Ｒ２
３，Ｒ２３’を小型化することができる。
３，Ｒ２３’を小型化することができる。
【００２９】増幅回路３０が作動増幅回路にて構成され
てその負帰還入力部には接地との間にノイズ防止用コン
デンサＣ３１が接続されている。
てその負帰還入力部には接地との間にノイズ防止用コン
デンサＣ３１が接続されている。
【００３０】これにより、出力偏差の少ない増幅回路３
０を得ることができ、増幅回路３０の調整が簡素化でき
る。
０を得ることができ、増幅回路３０の調整が簡素化でき
る。
【００３１】
【実施例】以下、本発明を図１〜図３に記載した各実施
例に基づき説明するが、従来技術と同一もしくは相当個
所には従来技術の説明に用いた図４，図５における符号
と同一符号を付して、それらの詳細な説明は省く。
例に基づき説明するが、従来技術と同一もしくは相当個
所には従来技術の説明に用いた図４，図５における符号
と同一符号を付して、それらの詳細な説明は省く。
【００３２】増幅回路３０の感度（増幅率）を調整する
ための増幅回路３０の疑似入力を求める場合、圧力セン
サ１０に流れる電流Ｉ１を知る必要がある。
ための増幅回路３０の疑似入力を求める場合、圧力セン
サ１０に流れる電流Ｉ１を知る必要がある。
【００３３】従来は、圧力センサ１０と定電流回路２０
とを電気的独立に構成し、まず圧力センサ１０の入力電
圧Ｖｉｎが所定値となるように抵抗Ｒ２２を用いて調整
する。この時は圧力センサ１０と定電流回路２０とを電
気的クローズ状態にしておく。この後に圧力センサ１０
と定電流回路２０とを電気的オープン状態にして定電流
回路２０からの電流Ｉの値を測定する。
とを電気的独立に構成し、まず圧力センサ１０の入力電
圧Ｖｉｎが所定値となるように抵抗Ｒ２２を用いて調整
する。この時は圧力センサ１０と定電流回路２０とを電
気的クローズ状態にしておく。この後に圧力センサ１０
と定電流回路２０とを電気的オープン状態にして定電流
回路２０からの電流Ｉの値を測定する。
【００３４】一方、圧力センサ１０のブリッジ抵抗値
と、これに並列接続した圧力センサ１０のｆｓｏ調整抵
抗Ｒ２４との値の比から、圧力センサ１０を流れる電流
Ｉ１を比例計算で求めていた。
と、これに並列接続した圧力センサ１０のｆｓｏ調整抵
抗Ｒ２４との値の比から、圧力センサ１０を流れる電流
Ｉ１を比例計算で求めていた。
【００３５】しかし、このような測定方法を使用する
と、圧力センサ１０のブリッジ抵抗値を求めなければな
らず、また、電流Ｉの測定後に計算で電流Ｉ１を求めな
ければならず、作業が煩雑であるばかりか精度の点にお
いても問題があった。
と、圧力センサ１０のブリッジ抵抗値を求めなければな
らず、また、電流Ｉの測定後に計算で電流Ｉ１を求めな
ければならず、作業が煩雑であるばかりか精度の点にお
いても問題があった。
【００３６】本発明は、この点に着目したもので、圧力
センサ１０に接続された圧力センサ１０のオフセット電
圧調整抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’と定電流回路２０側とを電
気的独立に構成している。
センサ１０に接続された圧力センサ１０のオフセット電
圧調整抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’と定電流回路２０側とを電
気的独立に構成している。
【００３７】すなわち、図１で示すように、抵抗Ｒ２
３，Ｒ２３’の接続点と抵抗Ｒ２４とはジャンパ端子Ｊ
１にて分離され、このジャンパ端子Ｊ１の両端にはター
ミナルＴ１，Ｔ２が用意されている。
３，Ｒ２３’の接続点と抵抗Ｒ２４とはジャンパ端子Ｊ
１にて分離され、このジャンパ端子Ｊ１の両端にはター
ミナルＴ１，Ｔ２が用意されている。
【００３８】そして、圧力センサ１０に流れる電流Ｉ１
は、ターミナルＴ１，Ｔ２に電流計を接続することによ
り直接測定することができ、１回の測定で実際の値を知
ることができるので、簡単かつ精度良く求められる。こ
の測定後は、図示しないジャンパ線やハンダ付け等の手
段によりジャンパ端子Ｊ１を電気的に閉鎖して回路を完
成させる。
は、ターミナルＴ１，Ｔ２に電流計を接続することによ
り直接測定することができ、１回の測定で実際の値を知
ることができるので、簡単かつ精度良く求められる。こ
の測定後は、図示しないジャンパ線やハンダ付け等の手
段によりジャンパ端子Ｊ１を電気的に閉鎖して回路を完
成させる。
【００３９】ところで、圧力センサ１０のオフセット電
圧（特性）は、例えばプラス２５mV〜マイナス２５mVの
範囲（すなわち、全体で５０mVの幅）であることが規格
として要求され、できるだけ０mVに近づくように抵抗Ｒ
２３，Ｒ２３’を調節するもので、例えばオフセット電
圧がプラス側の場合には抵抗Ｒ２３の調整により０mVへ
近づけ、反対にマイナス側の場合には抵抗Ｒ２３’の調
整により０mVへ近づけるものである。
圧（特性）は、例えばプラス２５mV〜マイナス２５mVの
範囲（すなわち、全体で５０mVの幅）であることが規格
として要求され、できるだけ０mVに近づくように抵抗Ｒ
２３，Ｒ２３’を調節するもので、例えばオフセット電
圧がプラス側の場合には抵抗Ｒ２３の調整により０mVへ
近づけ、反対にマイナス側の場合には抵抗Ｒ２３’の調
整により０mVへ近づけるものである。
【００４０】従って、圧力センサ１０の特性がプラス側
かマイナス側かに応じて、抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’の何れ
かを選択して調節しなければならず、作業が煩雑である
ばかりか調整抵抗が複数となってコスト的に問題があっ
た。
かマイナス側かに応じて、抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’の何れ
かを選択して調節しなければならず、作業が煩雑である
ばかりか調整抵抗が複数となってコスト的に問題があっ
た。
【００４１】本発明は、この点に着目したもので、圧力
センサ１０のオフセット電圧が、必ずプラス側又はマイ
ナス側のみになるように設定して、オフセット電圧調整
抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’を、圧力センサ１０の特性に合わ
せてブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方
にのみ接続する構成としている。
センサ１０のオフセット電圧が、必ずプラス側又はマイ
ナス側のみになるように設定して、オフセット電圧調整
抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’を、圧力センサ１０の特性に合わ
せてブリッジ回路の１つの頂点を開放して開放端の一方
にのみ接続する構成としている。
【００４２】すなわち、図２で示すように、圧力センサ
１０のオフセット電圧が全てプラス側となるように圧力
センサ１０の歪ゲージＲ１〜Ｒ４及び抵抗Ｒ２６を所定
の値とするべく設計及び製造すれば、オフセット電圧調
整抵抗Ｒ２３だけで良くなり、オフセット電圧調整抵抗
Ｒ２３’は必要なくなる。反対に、圧力センサ１０のオ
フセット電圧が全てマイナス側となるように圧力センサ
１０の歪ゲージＲ１〜Ｒ４及び抵抗Ｒ２６を所定の値と
するべく設計及び製造すれば、オフセット電圧調整抵抗
Ｒ２３’だけで良くなり、オフセット電圧調整抵抗Ｒ２
３は必要なくなる（図２は、前者の場合を示してい
る）。
１０のオフセット電圧が全てプラス側となるように圧力
センサ１０の歪ゲージＲ１〜Ｒ４及び抵抗Ｒ２６を所定
の値とするべく設計及び製造すれば、オフセット電圧調
整抵抗Ｒ２３だけで良くなり、オフセット電圧調整抵抗
Ｒ２３’は必要なくなる。反対に、圧力センサ１０のオ
フセット電圧が全てマイナス側となるように圧力センサ
１０の歪ゲージＲ１〜Ｒ４及び抵抗Ｒ２６を所定の値と
するべく設計及び製造すれば、オフセット電圧調整抵抗
Ｒ２３’だけで良くなり、オフセット電圧調整抵抗Ｒ２
３は必要なくなる（図２は、前者の場合を示してい
る）。
【００４３】あるいは、特開昭６２−１９７５９号公
報、特開平１０−７０２８６号公報で開示されているよ
うに、圧力センサ１０の歪ゲージＲ１〜Ｒ４及び抵抗Ｒ
２６で構成されるブリッジ回路と直列に、歪ゲージＲ１
〜Ｒ４に比べて小さい値の抵抗である少なくとも１つ以
上の変位抵抗を接続することにより、圧力センサ１０の
オフセット電圧をプラス側（例えば、０〜５０mV）又は
マイナス側（例えば、マイナス５０〜０mV）のみとする
圧力センサ１０を製造することができ、この圧力センサ
１０の特性に合わせて抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’の何れか一
方のみを用いる構成とすることができる。
報、特開平１０−７０２８６号公報で開示されているよ
うに、圧力センサ１０の歪ゲージＲ１〜Ｒ４及び抵抗Ｒ
２６で構成されるブリッジ回路と直列に、歪ゲージＲ１
〜Ｒ４に比べて小さい値の抵抗である少なくとも１つ以
上の変位抵抗を接続することにより、圧力センサ１０の
オフセット電圧をプラス側（例えば、０〜５０mV）又は
マイナス側（例えば、マイナス５０〜０mV）のみとする
圧力センサ１０を製造することができ、この圧力センサ
１０の特性に合わせて抵抗Ｒ２３，Ｒ２３’の何れか一
方のみを用いる構成とすることができる。
【００４４】この場合、オフセット電圧がプラス側とな
るようにするには、抵抗Ｒ２３’の代りに前記変位抵抗
を接続すれば良く、反対に、オフセット電圧がマイナス
側となるようにするには、抵抗Ｒ２３の代りに前記変位
抵抗を接続すれば良い。
るようにするには、抵抗Ｒ２３’の代りに前記変位抵抗
を接続すれば良く、反対に、オフセット電圧がマイナス
側となるようにするには、抵抗Ｒ２３の代りに前記変位
抵抗を接続すれば良い。
【００４５】斯かる構成により、圧力センサ１０のオフ
セット電圧の調整は、そのオフセット電圧のバラツキ幅
が０mVを基準としたプラス側、又は、マイナス側の片側
に集中することとなるため、常に一方向（プラス側から
０mVへ、又は、マイナス側から０mVへ）の調節で済むよ
うになり、容易に行うことができる。
セット電圧の調整は、そのオフセット電圧のバラツキ幅
が０mVを基準としたプラス側、又は、マイナス側の片側
に集中することとなるため、常に一方向（プラス側から
０mVへ、又は、マイナス側から０mVへ）の調節で済むよ
うになり、容易に行うことができる。
【００４６】なお、抵抗Ｒ２３（Ｒ２３’）の調整は、
レーザートリミングにて行われるもので、それらの抵抗
値は前記ブリッジ回路を構成するゲージＲ１〜Ｒ４の各
抵抗値よりも小さめに作られている。もちろん、トリマ
ー抵抗であっても良いが、小型化するにはレーザートリ
ミングにより抵抗値を設定する方が望ましい。
レーザートリミングにて行われるもので、それらの抵抗
値は前記ブリッジ回路を構成するゲージＲ１〜Ｒ４の各
抵抗値よりも小さめに作られている。もちろん、トリマ
ー抵抗であっても良いが、小型化するにはレーザートリ
ミングにより抵抗値を設定する方が望ましい。
【００４７】また、抵抗Ｒ２３（Ｒ２３’）だけとした
場合であっても、取り除いた抵抗Ｒ２３’（Ｒ２３）の
代りに一定の値を有する固定補助抵抗を接続して前記ブ
リッジ回路の調整をすることは構わない。
場合であっても、取り除いた抵抗Ｒ２３’（Ｒ２３）の
代りに一定の値を有する固定補助抵抗を接続して前記ブ
リッジ回路の調整をすることは構わない。
【００４８】なお、図１で示した実施例と図２で示した
実施例とは、単独使用、又は、併用することができる。
実施例とは、単独使用、又は、併用することができる。
【００４９】更に、図３で示すように、増幅回路３０が
本実施例の如く作動増幅回路にて構成されている場合、
その負帰還入力部から入る外部ノイズによる悪影響を防
ぐため、抵抗３７，３８の接続中点と接地間にノイズ防
止用コンデンサＣ３１を介在させることは有効であり、
出力偏差の少ない増幅回路３０を得られ、よって、増幅
回路３０の調整を簡素化することができる。
本実施例の如く作動増幅回路にて構成されている場合、
その負帰還入力部から入る外部ノイズによる悪影響を防
ぐため、抵抗３７，３８の接続中点と接地間にノイズ防
止用コンデンサＣ３１を介在させることは有効であり、
出力偏差の少ない増幅回路３０を得られ、よって、増幅
回路３０の調整を簡素化することができる。
【００５０】
【発明の効果】本発明によれば、半導体式圧力センサを
用いた圧力検出装置における各種特性の調整が容易な圧
力検出装置を提供することができるものである。
用いた圧力検出装置における各種特性の調整が容易な圧
力検出装置を提供することができるものである。
【図１】 本発明の実施例の要部の回路図。
【図２】 本発明の他の実施例の要部の回路図。
【図３】 本発明の各実施例における増幅回路の回路
図。
図。
【図４】 従来技術の圧力センサの要部断面図。
【図５】 同上圧力センサを用いた圧力検出装置の回路
図。
図。
１０ 圧力センサ ２０ 定電流回路 ３０ 増幅回路 Ｒ２３，Ｒ２３’ オフセット電圧調整抵抗 Ｒ２４ ｆｓｏ調整抵抗 Ｊ１ ジャンパ端子 Ｔ１，Ｔ２ ターミナル Ｃ３１ ノイズ防止用コンデンサ
Claims (7)
- 【請求項１】 ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで
構成したホイートストンブリッジ回路にて圧力センサを
構成し、これに電流を供給する定電流回路と、前記圧力
センサからの出力を増幅する増幅回路とからなる圧力検
出装置であって、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放
して前記圧力センサのオフセット電圧調整抵抗を直列に
接続し、前記ブリッジ回路及び前記オフセット電圧調整
抵抗の直列回路と並列に前記圧力センサのｆｓｏ調整抵
抗を接続し、前記オフセット電圧調整抵抗と前記定電流
回路との間には当初は電気的に断線状態でありながら製
造工程における各種調整完了後は電気的に接続されるジ
ャンパ端子を形成し、このジャンパ端子を挟み製造工程
において前記ブリッジ回路を流れる電流値を測定可能と
するターミナルを有することを特徴とする圧力検出装
置。 - 【請求項２】 ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで
構成したホイートストンブリッジ回路にて圧力センサを
構成し、これに電流を供給する定電流回路と、前記圧力
センサからの出力を増幅する増幅回路とからなる圧力検
出装置であって、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放
して開放端の一方に前記圧力センサのオフセット電圧調
整抵抗を直列に接続し、前記ブリッジ回路及び前記オフ
セット電圧調整抵抗の直列回路と並列に前記圧力センサ
のｆｓｏ調整抵抗を接続することを特徴とする圧力検出
装置。 - 【請求項３】 ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで
構成したホイートストンブリッジ回路にて圧力センサを
構成し、これに電流を供給する定電流回路と、前記圧力
センサからの出力を増幅する増幅回路とからなる圧力検
出装置であって、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放
して開放端の一方に前記圧力センサのオフセット電圧調
整抵抗を直列に接続することを特徴とする圧力検出装
置。 - 【請求項４】 ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで
構成したホイートストンブリッジ回路にて圧力センサを
構成し、これに電流を供給する定電流回路と、前記圧力
センサからの出力を増幅する増幅回路とからなる圧力検
出装置であって、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放
して開放端の一方に前記圧力センサのオフセット電圧調
整抵抗を直列に接続し、前記ブリッジ回路及び前記オフ
セット電圧調整抵抗の直列回路と並列に前記圧力センサ
のｆｓｏ調整抵抗を接続し、前記オフセット電圧調整抵
抗と前記定電流回路との間には当初は電気的に断線状態
でありながら製造工程における各種調整完了後は電気的
に接続されるジャンパ端子を形成し、このジャンパ端子
を挟み製造工程において前記ブリッジ回路を流れる電流
値を測定可能とするターミナルを有することを特徴とす
る圧力検出装置。 - 【請求項５】 ダイヤフラムの一面に複数個のゲージで
構成したホイートストンブリッジ回路にて圧力センサを
構成し、これに電流を供給する定電流回路と、前記圧力
センサからの出力を増幅する増幅回路とからなる圧力検
出装置であって、前記ブリッジ回路の１つの頂点を開放
して開放端の一方に前記圧力センサのオフセット電圧調
整抵抗を直列に接続し、前記オフセット電圧調整抵抗と
前記定電流回路との間には当初は電気的に断線状態であ
りながら製造工程における各種調整完了後は電気的に接
続されるジャンパ端子を形成し、このジャンパ端子を挟
み製造工程において前記ブリッジ回路を流れる電流値を
測定可能とするターミナルを有することを特徴とする圧
力検出装置。 - 【請求項６】 前記オフセット電圧調整抵抗の抵抗値が
前記ブリッジ回路を構成する前記ゲージの各抵抗値より
も小さくてレーザトリミングにより抵抗値を調整可能な
可変抵抗であることを特徴とする請求項１から請求項５
の何れかに記載の圧力検出装置。 - 【請求項７】 前記増幅回路が作動増幅回路にて構成さ
れてその負帰還入力部には接地との間にノイズ防止用コ
ンデンサが接続されていることを特徴とする請求項１か
ら請求項５の何れかに記載の圧力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11046071A JP2000241271A (ja) | 1999-02-24 | 1999-02-24 | 圧力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11046071A JP2000241271A (ja) | 1999-02-24 | 1999-02-24 | 圧力検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000241271A true JP2000241271A (ja) | 2000-09-08 |
Family
ID=12736775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11046071A Pending JP2000241271A (ja) | 1999-02-24 | 1999-02-24 | 圧力検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000241271A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002116105A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Denso Corp | 物理量検出装置 |
| WO2012152172A1 (zh) * | 2011-05-06 | 2012-11-15 | 湖南三一智能控制设备有限公司 | 一种压力变送器 |
| CN114563127A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-05-31 | 重庆湃芯创智微电子有限公司 | 一种有创血压传感芯片零位和灵敏度的校准方法 |
| KR20220089613A (ko) * | 2020-12-21 | 2022-06-28 | 재단법인대구경북과학기술원 | 휘스톤 브릿지 기반의 자기센서 및 그 제조방법 |
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1999
- 1999-02-24 JP JP11046071A patent/JP2000241271A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002116105A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Denso Corp | 物理量検出装置 |
| WO2012152172A1 (zh) * | 2011-05-06 | 2012-11-15 | 湖南三一智能控制设备有限公司 | 一种压力变送器 |
| KR20220089613A (ko) * | 2020-12-21 | 2022-06-28 | 재단법인대구경북과학기술원 | 휘스톤 브릿지 기반의 자기센서 및 그 제조방법 |
| KR102597256B1 (ko) * | 2020-12-21 | 2023-11-03 | 재단법인대구경북과학기술원 | 휘스톤 브릿지 기반의 자기센서 및 그 제조방법 |
| CN114563127A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-05-31 | 重庆湃芯创智微电子有限公司 | 一种有创血压传感芯片零位和灵敏度的校准方法 |
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