JP2000244193A - 電気部品装着機および電気部品装着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着ノズルの不良が発生した場合に電気部品
装着作業の能率低下を極力回避し得る電気部品装着機お
よび装着方法を得る。 【解決手段】 吸着ノズル９０の複数の停止位置のうち
の１つであるノズル不良検出位置にノズル不良検出セン
サ３９６を設ける。ノズル不良検出センサ３９６は投光
部４０６，受光部４０８を含む透過型の光電センサであ
り、受光部４０８の受光量をしきい値と比較して吸着管
１３４の曲がり，折れを検出する。吸着管１３４が折
れ、あるいは曲がり量が多く、不良ノズルを次の電気部
品９２の吸着前に交換することが必要であれば、一連の
電気部品装着作業を中断し、ノズル収納装置が保持する
良品ノズルと自動で交換する。ラインセンサ，面撮像装
置により吸着管を撮像し、ノズル不良を検出してもよ
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、吸着ノズルに電気
部品を吸着して搬送し、プリント基板等の回路基材に装
着する電気部品装着機および電気部品装着方法に関する
ものであり、特に、不良ノズルの処理に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】この種の電気部品装着機は、例えば、特
開平１０−１６３６７７号公報に記載されている。この
電気部品装着機は、移動部材上に回転可能に設けられた
回転体に複数個の吸着ノズルが設けられており、移動部
材の移動により、複数個の吸着ノズルに保持された複数
個の電気部品が一斉に搬送され、回転体の回転により複
数個の吸着ノズルが順次装着位置へ移動させられて、電
気部品を回路基材に装着する。

【０００３】このように電気部品を吸着して搬送し、回
路基材に装着する電気部品装着機においては、電気部品
の吸着，装着が繰り返し行われるうちに、吸着ノズルに
不良、例えば、曲がり，汚れ，摩耗等が生じ、装着ミス
等が生ずる。そのため、従来は、不良ノズルが生ずれ
ば、作業者が不良ノズルを良品ノズルと交換していたの
であるが、面倒である上、交換に時間がかかり、装着が
中断されて装着能率が低下する問題があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効
果】本発明は、以上の事情を背景とし、吸着ノズルの不
良が発生した場合に電気部品装着作業の能率低下を極力
回避し得る電気部品装着機および電気部品装着方法を得
ることを課題としてなされたものであり、本発明によっ
て、下記各態様の電気部品装着機および電気部品装着方
法が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、
各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用す
る形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を
容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴お
よびそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定
されると解釈されるべきではない。 （１）吸着ノズルに電気部品を吸着して搬送し、回路基
材に装着する電気部品装着機において、前記吸着ノズル
が不良ノズルであることを検出するノズル不良検出装置
と、そのノズル不良検出装置により検出された不良ノズ
ルを自動で良品ノズルと交換するノズル交換装置とを設
けた電気部品装着機（請求項１）。電気部品装着機は、
吸着ノズルを１個のみ有する装着機でもよく、複数個有
する装着機でもよい。搬送は、一平面内の任意の位置へ
移動可能に設けられた移動部材による搬送でもよく、あ
るいは一軸線まわりに回転可能に設けられた回転体の回
転による搬送でもよい。ノズル不良検出装置により吸着
ノズルが不良であることが自動的に検出されれば、ノズ
ル交換装置により、不良ノズルが良品ノズルと自動的に
交換される。したがって、作業者がノズル交換を行う場
合に比較して迅速に交換が行われ、ノズル交換のために
電気部品の装着が中断されることがあっても、装着能率
の低下を可及的に小さく抑えることができる。また、ノ
ズル交換に人手を要さず、装着の完全な自動化が可能で
あり、あるいは、作業者はノズル交換を行わなくてもよ
く、別の作業を行うことができ、作業者の作業能率が向
上する。 （２）当該電気部品装着機が、前記ノズル不良検出装置
により吸着ノズルが不良ノズルであることが検出された
場合に、ノズル不良が検出されない限り連続して行うこ
とが予定されていた電気部品装着作業の途中で、前記ノ
ズル交換装置にノズル交換を行わせるノズル交換装置制
御装置を含む (1)項に記載の電気部品装着機（請求項
２）。「連続して行うことが予定されていた電気部品装
着作業」は、例えば、１枚の回路基材への複数の電気部
品の装着であり、あるいは、複数枚の回路基材にそれぞ
れ１個の電気部品を装着する作業であり、あるいは、複
数枚の回路基材への複数の電気部品の装着である。ま
た、電気部品装着機が複数の使用態様で電気部品を回路
基材に装着する装着機であれば、各使用態様に従って行
われる電気部品の回路基材への装着が「連続して行うこ
とが予定されていた電気部品装着作業」である。例え
ば、発明の実施の形態において説明するように、２つの
電気部品装着機がそれぞれ専用の電気部品供給装置から
電気部品を取り出し、１枚の回路基材に交互に電気部品
を装着し、共同して１枚の回路基材を生産する場合、こ
れら電気部品装着機を含む電気部品装着システムの一使
用態様は、２つの電気部品供給装置の各々を、１種類の
回路基材用であって、互いに同じ種類の電気部品供給フ
ィーダを有するものとし、各電気部品供給装置の全部の
電気部品供給フィーダを用いて１種類の回路基材を複数
枚生産する態様であり、別の使用態様は、２つの電気部
品供給装置の各々を、それぞれ２種類ずつの回路基材用
の電気部品供給フィーダを有するものとし、電気部品供
給フィーダの交換を行うことなく、２種類の回路基材に
対する電気部品の装着を連続して行う態様である。電気
部品装着作業は、電気部品の装着開始から終了までの間
に電気部品装着機において行われる装着に関するすべて
の作業を含み、電気部品の回路基材への装着は勿論、電
気部品の吸着，吸着ノズルの電気部品供給装置と回路基
材との間における移動を含み、更に、電気部品装着作業
に待機が含まれるのであれば、それも含む。したがっ
て、不良ノズルの交換は、電気部品の装着中，吸着中，
移動中あるいは待機中等、電気部品装着作業の途中に行
われ、装着中，吸着中，移動中であれば、それら動作が
中断され、交換後、再開されることとなり、待機中であ
れば、動作を中断しなくて済む。電気部品装着作業の途
中で不良ノズルの交換を行えば、交換後は、電気部品装
着機は不良ノズルがない状態で電気部品を回路基材に装
着することができ、装着能率の低下を小さく抑えること
ができる。例えば、電気部品装着機が複数個の吸着ノズ
ルを有していて、不良ノズルは電気部品の回路基材への
装着に使用されないのであれば、電気部品の装着に使用
される吸着ノズルの数が減り、装着能率が低下するので
あるが、不良ノズルの交換後は、予定された数の吸着ノ
ズルを用いて電気部品を回路基材に装着することがで
き、装着能率の低下を抑えることができる。電気部品装
着機が有する吸着ノズルが１個であれば、ノズル不良発
生時には、電気部品の回路基材への装着が中断される
が、不良ノズルの発生および交換に迅速に対応できるた
め、中断時間が短くて済み、装着能率の低下を抑えるこ
とができる。不良ノズルの交換は、電気部品装着作業の
途中において、電気部品の装着が行われない時期があれ
ば、その時期に行うことが望ましい。不良ノズルの交換
のために装着作業を中断しなくてよいからである。例え
ば、複数枚の回路基材に電気部品を装着する場合、装着
の済んだ回路基材を、次に電気部品が装着される回路基
材と交替させる間、電気部品の装着が行われないのであ
れば、その交替時に不良ノズルの交換を行えばよい。あ
るいは電気部品が装着される回路基材の種類が変わり、
例えば、回路基材を位置決め支持する位置決め支持部材
の回路基材位置決め支持幅を回路基材の幅に合わせて変
更する等の段取り替えが行われる場合には、その段取り
替え時に不良ノズルを交換すればよい。１枚の回路基材
に複数個の電気部品を装着する場合であっても、例え
ば、発明の実施の形態において説明するように、２つの
装着ヘッドが交互に回路基材に電気部品を装着する場
合、一方の装着ヘッドによる電気部品の回路基材への装
着時間が、他方の装着ヘッドによる電気部品の電気部品
供給装置からの取出時間よりも長ければ、その差を利用
し、一方の装着ヘッドが電気部品の装着を行っている間
に、他方の装着ヘッドに不良ノズルがあれば交換を行
い、装着能率の低下を抑制することが可能である。 （３）当該電気部品装着機が、１枚の回路基材に複数の
電気部品を装着するものであり、前記ノズル交換装置制
御装置が、１枚の回路基材に対する電気部品の装着作業
の途中で前記ノズル交換装置にノズル交換を行わせるも
のである (2)項に記載の電気部品装着機（請求項３）。
１枚の回路基材への電気部品の装着終了を待ってノズル
交換を行ってもよいが、１枚の回路基材に対する電気部
品の装着の途中でノズル交換を行えば、交換後は不良ノ
ズルがない状態で電気部品の装着を行うことができ、電
気部品の装着能率の低下を小さく抑えることができる。 （４）当該電気部品装着機が、１枚の回路基材に複数の
電気部品を装着するものであり、前記ノズル不良検出装
置とノズル交換装置との少なくとも一方が、１枚の回路
基材に対する複数の電気部品の装着作業の途中に作動す
るものである (1)項に記載の電気部品装着機。ノズル不
良検出装置およびノズル交換装置の両方が、装着作業の
途中に作動すれば、交換後は、装着作業を不良ノズルが
ない状態で行うことができ、装着能率の低下を小さく抑
えることができる。ノズル不良検出装置が装着作業の途
中に作動するのであれば、装着作業の終了後、直ちにノ
ズル交換を行うことができる。また、ノズル交換装置が
装着作業の途中に作動するのであれば、ノズル交換後
は、能率低下を生ずることなく、装着作業を行うことが
できる。 （５）前記ノズル不良検出装置により吸着ノズルが不良
ノズルであることが検出された場合に、その不良ノズル
により次の電気部品の吸着が行われる前にその不良ノズ
ルを交換する必要があるか否かを判断する緊急性判断手
段を含む (1)項ないし (4)項に記載の電気部品装着機。
例えば、不良の種類，程度によっては、不良ノズルによ
り次の電気部品の吸着が行われる前に不良ノズルを交換
する必要がある場合もあり、交換が必要ない場合もあ
る。例えば、吸着ノズルが折れていれば、次の電気部品
の吸着が行われる前に不良ノズルを交換する必要がある
が、吸着ノズルが曲がったり、摩耗したり、汚れていて
も、それらの量が少なく、電気部品の装着に支障がない
場合には、ノズル交換は必要ないのである。このように
緊急性を判断し、直ちに交換する必要がない場合にはノ
ズル交換を行わないようにすれば、例えば、無駄なノズ
ル交換動作を行わずに済み、装着能率の低下を回避する
ことができ、あるいは吸着ノズルの使用期間が長くな
り、コストを低減させることができる。 （６）当該電気部品装着機が、１個の移動部材に複数個
の吸着ノズルが取り付けられ、それら複数個の吸着ノズ
ルの各々に１個ずつの電気部品を保持し、移動部材の移
動に伴ってそれら複数の電気部品を一斉に搬送する一斉
搬送式である (1)項ないし (5)項のいずれか１つに記載
の電気部品装着機（請求項４）。移動部材には、種々の
態様がある。例えば、移動部材は、一平面内において直
交する２方向のうちの少なくとも一方に移動するものと
される。移動部材の移動は、直線移動でもよく、曲線移
動でもよく、それらの組合わせでもよい。複数個の吸着
ノズルは、移動部材に直接取り付けてもよく、あるいは
(7)項に記載されているように、回転体を介して取り付
けてもよい。電気部品装着機を一斉搬送式にすれば、移
動部材が吸着ノズルを１個有し、１個の電気部品を回路
基材に装着する度に電気部品供給装置から電気部品を取
り出す場合に比較して、移動部材の回路基材と電気部品
供給装置との間における移動回数が少なくて済み、電気
部品の装着能率を向上させることが可能である。この種
の電気部品装着機においては、１個の移動部材に取り付
けられた複数個の吸着ノズルの一部が不良ノズルになっ
たからといって、直ちにその不良ノズルの交換を行うこ
とは不可欠ではないが、交換を早期に行えば、１枚の回
路基材当たりの移動部材の移動回数が少なくて済み、不
良ノズルの発生による能率低下を小さく抑えることがで
きるのである。 （７）前記移動部材に、一軸線まわりに回転可能な回転
体が取り付けられ、移動部材の移動により複数の電気部
品を一斉に搬送した後、回転体の回転により複数の吸着
ノズルを順次装着位置へ位置決めし、各吸着ノズルが保
持している電気部品を前記回路基材に装着する (6)項に
記載の電気部品装着機。回転体の回転軸線は、搬送平面
に対して直角でもよく、平行でもよく、傾斜していても
よい。搬送平面は、移動部材の移動経路を含む面であ
る。また、回転体は、一方向に間欠回転する間欠回転体
でもよく、正逆両方向に間欠回転する間欠回転体でもよ
く、任意の方向に任意の角度回転する回転体でもよい。
装着位置は、電気部品供給装置に保持された電気部品を
吸着する吸着位置と同じでもよく、異なる位置でもよ
い。 （８）前記ノズル不良検出装置が、前記吸着ノズルを撮
像する撮像装置と、その撮像装置により取得された画像
データを処理することにより、撮像された吸着ノズルが
不良ノズルであるか否かを判定する画像処理装置とを含
む (1)項ないし (7)項のいずれか１つに記載の電気部品
装着機。撮像装置は、吸着ノズルの軸線にほぼ平行な方
向から吸着ノズル先端の吸着面を撮像するものでも、吸
着ノズルの軸線と交差する方向から吸着ノズルを撮像す
るものでもよい。撮像装置は、吸着ノズル全体を一度で
撮像することができる面撮像装置でもよく、あるいはラ
インセンサでもよい。面撮像装置は、例えば、ＣＣＤ
（電荷結合素子）を備えたものとされる。ＣＣＤは、複
数の受光素子が一平面状に配列されて撮像面を構成す
る。ラインセンサは、例えば、一線状に配列された複数
の受光素子を含むＣＣＤを有するものとされる。面撮像
装置により、例えば、吸着ノズル先端の吸着面を撮像す
れば、吸着ノズルの曲がり，折れ，汚れ，摩耗等がわか
り、ラインセンサにより、例えば、吸着ノズルの軸線と
交差する方向から吸着ノズルを撮像すれば、吸着ノズル
の曲がり，折れがわかる。 （９）前記ノズル不良検出装置が、前記撮像装置と前記
吸着ノズルとを相対移動させる検出用相対移動装置を含
む (8)項に記載の電気部品装着機。検出用相対移動装置
は、撮像装置と吸着ノズルとを検出のために相対移動さ
せ、あるいは撮像位置に位置決めするために相対移動さ
せる。例えば、撮像装置がラインセンサであれば、ライ
ンセンサと吸着ノズルとを相対移動させることにより、
吸着ノズルの二次元像を得ることができ、例えば、吸着
ノズル全体の曲がり具合がわかる。 （１０）前記ノズル不良検出装置が、前記吸着ノズルの
軸線と交差する方向にビームを放射するビーム放射装置
と、そのビーム放射装置から放射され、前記吸着ノズル
の影響を受けた後のビームを検出するビーム検出装置と
を含む (1)項ないし (9)項のいずれか１つに記載の電気
部品装着機。ビームはスペクトル幅の広い通常の光線で
もよいが、レーザビームを使用すれば、ノズル不良検出
装置の解像度を向上させることが容易となる。ビーム放
射装置がＬＥＤ（発光ダイオード）により構成されるの
であれば、ビームはスペクトル幅が広い複色光となり、
レーザビーム放射装置により構成されるのであれば、ビ
ームはスペクトル幅が狭い単色光となる。また、吸着ノ
ズルの影響を受けた後のビームは、吸着ノズルにより反
射されたビームでも、吸着ノズルの周辺を通過したビー
ムでもよい。透過型あるいは反射型の光電センサの投光
部，光源および受光部，受光素子が、ビーム放射装置お
よびビーム検出装置の一例である。光電センサが透過型
であれば、吸着ノズルの影響を受けた後のビームは、吸
着ノズルの周辺を通過したビームであり、反射型であれ
ば、吸着ノズルにより反射されたビームである。 （１１）前記ノズル不良検出装置が、前記ビーム放射装
置およびビーム検出装置と、前記吸着ノズルとを相対移
動させる検出用相対移動装置を含む(10)項に記載の電気
部品装着機。検出用相対移動装置は、ビーム放射装置お
よびビーム検出装置と、吸着ノズルとを検出のために相
対移動させ、あるいは撮像位置に位置決めするために相
対移動させる。検出のために相対移動させる場合、例え
ば、吸着ノズルの軸線と交差する方向の成分を含む方向
に相対移動させれば、吸着ノズルの直径如何によらず、
吸着ノズルの曲がりを検出することができる。吸着ノズ
ルが曲がっていれば、ビームが吸着ノズルの影響を受け
る時期が、曲がっていない場合とは異なるからである。 （１２）前記検出用相対移動装置が、前記吸着ノズル
を、その吸着ノズルの軸線と交差する方向の成分と軸線
に平行な方向の成分との少なくとも一方を含む方向に移
動させる検出用ノズル移動装置を含む (9)項または(11)
項に記載の電気部品装着機。(11)項において説明したよ
うに、吸着ノズルを、吸着ノズルの軸線と交差する方向
の成分を含む方向に移動させれば、吸着ノズルの直径如
何によらず、曲がりを検出することができ、軸線に平行
な方向の成分を含む方向に移動させても、ビームが吸着
ノズルの影響を受ける時期により、曲がりや折れを検出
することができる。吸着ノズルを、その軸線と交差する
方向の成分を含む方向に移動させる検出用ノズル移動装
置は、電気部品を搬送するために吸着ノズルを移動させ
る搬送用移動装置と少なくとも一部を共有するものとし
てもよく、あるいは専用の検出用ノズル移動装置を設け
てもよい。また、発明の実施の形態において説明するよ
うに、吸着ノズルを、電気部品を回路基材に装着するた
めに、昇降装置によって吸着ノズルの軸線に平行な方向
に移動させる場合、昇降装置により検出用ノズル移動装
置を構成することも可能である。 （１３）前記検出用相対移動装置が、前記吸着ノズル
を、その吸着ノズルの軸線のまわりに回転させるノズル
回転装置を含む (9)項，(11)項および(12)項のいずれか
１つに記載の電気部品装着機。吸着ノズルを回転させれ
ば、吸着ノズルを、その軸線と交差する平面内において
複数の方向から検出することができ、ノズル不良をより
確実に検出し得る。例えば、吸着ノズルの曲がりが、ビ
ームの放射方向と平行な方向に生じていて、曲がった吸
着ノズルがビームの放射経路上にあれば、曲がっている
か否かを判断し難いが、吸着ノズルを回転させれば、曲
がった吸着ノズルは、いずれかの位相においてビームの
放射経路から外れるため、曲がりが検出されるのであ
る。発明の実施の形態において説明するように、当該電
気部品装着機が、電気部品の方位を変更し、あるいは吸
着ノズルによる電気部品の保持方位誤差を修正するため
に、吸着ノズルをその軸線のまわりに回転させるノズル
回転装置を有するのであれば、そのノズル回転装置によ
り本態様のノズル回転装置を構成することも可能であ
る。その場合、電気部品の方位変更あるいは保持方位誤
差の修正により、吸着ノズルの位相が変わることを利用
してノズル不良を検出してもよく、あるいは、方位変更
あるいは保持方位誤差の修正とは別にノズル不良検出の
ために吸着ノズルを回転させてもよい。 （１４）前記ノズル不良検出装置が、前記吸着ノズルに
よる電気部品の吸着ミスを検出する吸着ミス検出装置
と、その吸着ミス検出装置による検出結果に基づいて吸
着ノズルが不良ノズルであるか否かを判定する判定手段
とを含む (1)項ないし(13)項のいずれか１つに記載の電
気部品装着機。吸着ノズルに不良があれば、例えば、吸
着ノズルが電気部品を吸着しているはずであるのに吸着
していない、あるいは吸着ノズルに電気部品が吸着され
ているが、その姿勢が装着不可能な姿勢である等の吸着
ミスが生ずることがあり、吸着ミスを検出することによ
り、吸着ノズルが不良ノズルであるか否かがわかる。吸
着ミスは、種々の態様によって検出することができる。
例えば、吸着ノズルが電気部品を負圧により吸着するの
であれば、電気部品を吸着すべきときに吸着していなけ
れば、電気部品を吸着している場合に比較して空気の流
入量が多くなること（吸引通路の負圧が弱くなり、ある
いは吸引通路の負圧を所定の大きさに保つためにバキュ
ームポンプの運転速度が大きくなる等の現象が生ずるこ
と）から吸着ミスがわかる。あるいは吸着ノズルによる
電気部品の保持姿勢を撮像装置によって撮像することに
より、吸着ミスがわかる。発明の実施の形態において説
明するように、電気部品装着機が撮像装置を有し、電気
部品を正規の姿勢で回路基材に装着するために吸着ノズ
ルの電気部品の保持姿勢を撮像するのであれば、その撮
像装置により吸着ミス検出装置を構成してもよく、ある
いは吸着ミス検出専用の撮像装置を設けてもよい。 （１５）前記判定手段が、前記吸着ミス検出装置の検出
結果を統計的に処理する統計処理手段を備え、その統計
処理手段の処理結果に基づいて吸着ノズルが不良ノズル
であるか否かを判定するものである(14)項に記載の電気
部品装着機。本態様によれば、吸着ミスの検出が複数回
行われ、複数の検出結果に基づいて吸着ノズルが不良ノ
ズルであるか否かが判定されるため、判定の信頼性が高
くなる効果が得られる。 （１６）前記ノズル交換装置が、複数の吸着ノズルを個
別に取り出し可能に収納するノズル収納装置と、そのノ
ズル収納装置と前記吸着ノズルとに、吸着ノズルの軸線
に平行な方向の相対移動と直角な方向の相対移動との組
み合わせから成るノズル交換運動を行わせる交換用相対
移動装置とを含む (1)項ないし(15)項のいずれか１つに
記載の電気部品装着機。交換用相対移動装置を、(12)項
に記載の検出用ノズル移動装置と、少なくとも一部を共
有するものとすることが望ましい。また、交換用相対移
動装置を、電気部品を搬送するための搬送用移動装置
と、少なくとも一部を共有するものとしてもよい。電気
部品を搬送するための搬送用移動装置と、検出用ノズル
移動装置と、交換用相対移動装置とを、少なくとも一部
を共有する構成とすることも可能であり、装置の構成を
より簡易にすることができる。 （１７）前記ノズル交換装置が、前記吸着ノズルを、そ
の吸着ノズルに、向きがその吸着ノズルの先端に向かう
向きであり、大きさが設定置値以上の大きさである引抜
力が加えられれば吸着ノズルの離脱を許容する状態で保
持するノズル保持具と、前記ノズル収納装置に設けら
れ、吸着ノズルがノズル収納装置に対して吸着ノズルの
軸線に平行な方向に収納され、取り出されることを許容
する許容状態と、阻止する阻止状態とに切換えが可能な
許容・阻止装置とを含む(16)項に記載の電気部品装着
機。許容・阻止装置が阻止状態にある状態で、吸着ノズ
ルのノズル収納装置からの取出しが阻止され、吸着ノズ
ルに設定値以上の大きさの引抜力が加えられ、吸着ノズ
ルがノズル保持具から離脱する。吸着ノズルに、その軸
線に平行な方向の力を加えることにより、容易にノズル
保持具から取り外すことができ、また、吸着ノズルをそ
の軸線に平行な方向に移動させることにより、容易にノ
ズル収納装置から取り出すことができる。 （１８）前記吸着ノズルが、前記ノズル保持具に保持さ
れる被保持部とその被保持部側に向いた肩面とを備え、
前記ノズル収納装置がノズル収容部材と離脱阻止部材と
離脱阻止部材駆動装置とを含み、ノズル収容部材が、一
平面に形成されて前記吸着ノズルの前記肩面より先端側
の部分を収容する複数個のノズル収容凹部を備え、前記
離脱阻止部材が、ノズル収容部材の前記一平面に沿って
移動可能に設けられ、前記複数個のノズル収容凹部の各
々に対応して、吸着ノズルの前記肩面より先端側の部分
の軸方向の通過を許容する貫通穴と、その貫通穴に隣接
して設けられ、前記肩面に係合することにより、吸着ノ
ズルのノズル収容凹部からの離脱を阻止する離脱阻止部
とを備え、前記離脱阻止部材駆動装置が、離脱阻止部材
を、前記貫通穴が前記ノズル収容凹部に合致する退避位
置と、前記離脱阻止部が前記肩面に係合する作用位置と
に移動させるものであって、離脱阻止部材および離脱阻
止部材駆動装置が前記許容・阻止装置を構成している(1
7)項に記載の電気部品装着機。ノズル保持具に保持され
ている吸着ノズルがノズル収容部材に戻されるとき、離
脱阻止部材は退避位置に位置させられてノズル保持具が
ノズル収容部材に吸着ノズルを保持させることを許容
し、その後、作用位置へ移動させられ、吸着ノズルのノ
ズル収容部材からの離脱を阻止する。それにより、ノズ
ル保持具がノズル収容部材から離れる向きに移動させら
れれば、吸着ノズルにノズル保持具から離脱する向きに
設定値以上の引抜力が加えられ、吸着ノズルがノズル保
持具から外れる。 （１９）予め設定された複数枚の回路基材にそれぞれ複
数の電気部品を予め定められた装着プログラムに基づい
て装着する一連の電気部品装着作業を実行する電気部品
装着機において、前記一連の電気部品装着作業の途中
で、不良ノズルと良品ノズルとの交換を実施する作業途
中ノズル交換装置を設けた電気部品装着機。一連の作業
の途中で不良ノズルと良品ノズルとが交換されれば、交
換後、作業終了までの間、不良ノズルがない状態で電気
部品の回路基板への装着が行われるため、作業終了後に
交換される場合に比較して装着能率の低下を小さく抑え
ることができる。 （２０）前記一連の作業の途中が、１枚の回路基材に対
する複数の電気部品の装着作業の途中である(19)項に記
載の電気部品装着機。本態様によれば、前記 (3)項に記
載の作用および効果が得られる。 （２１）吸着ノズルに電気部品を吸着して搬送し、回路
基材に装着する電気部品装着方法であって、前記吸着ノ
ズルが不良ノズルであることを検出するノズル不良検出
行程と、そのノズル不良検出行程において検出された不
良ノズルを自動で良品ノズルと交換するノズル交換行程
とを含む電気部品装着方法（請求項５）。本態様の方法
によれば、 (1)項に記載の作用および効果が得られる。 （２２）予め設定された複数枚の回路基材にそれぞれ複
数の電気部品を予め定められた装着プログラムに基づい
て装着する一連の電気部品装着作業を実行する方法であ
って、前記一連の作業の途中で、不良ノズルと良品ノズ
ルとの交換を実施する作業途中ノズル交換を行う電気部
品装着方法（請求項６）。本態様の方法によれば、 (2)
項に記載の作用および効果が得られる。 （２３）前記一連の作業の途中が、１枚の回路基材に対
する複数の電気部品の装着作業の途中である(22)項に記
載の電気部品装着方法。本態様の方法によれば、 (3)項
に記載の作用および効果が得られる。 （２４）前記一連の作業の途中で、吸着ノズルが不良ノ
ズルであるか否かを調べ、不良ノズルであることが判明
すれば、その不良ノズルによる次の電気部品の吸着前に
ノズル交換を行う(22)項または(23)項に記載の電気部品
装着方法。 （２５）前記一連の作業の途中で、吸着ノズルが不良ノ
ズルであるか否かを調べ、不良ノズルであることが判明
した場合にも電気部品の装着作業を継続し、予め定めら
れた条件が成立したときにノズル交換を行う(22)項また
は(23)項に記載の電気部品装着方法。「予め定められた
条件」とは、例えば、吸着ノズルの曲がり量が、吸着ノ
ズルを電気部品の装着に使用できないほど大きいこと、
あるいは１枚の回路基材に対する電気部品の装着作業が
終了したこと、一連の電気部品装着作業の全部が終了し
たこと、吸着ノズルが複数ある場合、それら複数の吸着
ノズルの全部についてノズル不良検出が終了したこと、
電気部品装着作業中に吸着ノズルが装着に備えて待機す
る時期があるのであれば、その待機時期に入ったこと等
である。本態様によれば、ノズル交換時期が不良検出時
期より遅くされることにより、吸着ノズルの使用期間が
延び、ノズルコストの増大を抑えることができ、あるい
は吸着ノズルが電気部品の回路基材への装着に備えて待
機する時期にノズル交換を行うことができ、装着能率の
低下を抑えることができる。なお、付言すれば、いちい
ち記載はしないが、方法発明についても、装置発明に関
して本明細書に記載する各特徴を採用することが可能で
ある。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本願の装置発明の一実施形
態である電気部品装着機を備えた電気部品装着システム
を図面に基づいて説明する。この電気部品装着機におけ
る電気部品装着方法が本願の方法発明の一実施形態であ
る。本電気部品装着システム１０（図１参照）は、図示
は省略するが、回路基材（本実施形態では、後述するプ
リント基板である）の搬送方向において上流側に設けら
れた上流側装置であって、塗布システムの一種であり、
回路基材にペースト状半田を印刷するスクリーン印刷シ
ステムと、下流側に設けられた下流側装置たるリフロー
システム（半田を溶融させて電気部品を回路基材に電気
的に接続するシステム）と共に電気部品組立ラインを構
成している。

【０００６】電気部品装着システム１０の基台１２上に
は、図１に示すように、基板コンベヤ１４，２個ずつの
電気部品供給装置１６，１８および電気部品搬送装着装
置２０，２２が設けられている。基板コンベヤ１４，電
気部品供給装置１６，１８および電気部品装着機２０，
２２は、後述するノズル不良検出および吸着ノズルの交
換に関する部分を除いて、特開平１０−１６３６７７号
公報に記載の基板コンベヤ，電気部品供給装置および電
気部品装着機と同様に構成されており、本発明に関連の
深い部分のみを簡単に説明する。

【０００７】基板コンベヤ１４は、２つのメインコンベ
ヤ２４，２６と、１つずつの搬入コンベヤ２８および搬
出コンベヤ３０とを備えている。メインコンベヤ２４，
２６はそれぞれ、回路基材たるプリント基板３２を位置
決め支持する基板位置決め支持装置を備えており、プリ
ント基板３２の搬送方向（以下、基板搬送方向と称す
る。基板搬送方向は図１において左右方向であり、基板
搬送方向をＸ軸方向とする）と水平面内において直角な
方向（Ｙ軸方向とする）に並んで配設されている。搬入
コンベヤ２８は、基板搬送方向において、メインコンベ
ヤ２４，２６の上流側に設けられており、図示しない搬
入コンベヤシフト装置により、メインコンベヤ２４につ
らなる第１シフト位置と、メインコンベヤ２６につらな
る第２シフト位置とにシフトさせられる。搬入コンベヤ
２８は、スクリーン印刷システムからスクリーン印刷後
のプリント基板を受け取り、メインコンベヤ２４あるい
は２６に搬入する。

【０００８】搬出コンベヤ３０は、プリント基板３２の
搬送方向において、メインコンベヤ２４，２６の下流側
に設けられており、図示しない搬出コンベヤシフト装置
により、メインコンベヤ２４につらなる第１シフト位置
と、メインコンベヤ２６につらなる第２シフト位置とに
シフトさせられる。搬出コンベヤ３０は、メインコンベ
ヤ２４あるいは２６から、電気部品の装着が済んだプリ
ント基板を受け取り、リフローシステムへ搬出する。

【０００９】電気部品供給装置１６，１８はそれぞれ、
フィーダ支持台４０上に着脱可能に固定された複数の電
気部品供給フィーダ４２（以下、フィーダ４２と略称す
る）を備えている。フィーダ４２により供給される電気
部品は、キャリヤテープにより保持されており、それら
電気部品およびキャリヤテープを含む部品保持テープ
は、フィーダ４２に設けられたテープ送り装置により送
られ、電気部品が１個ずつ部品供給部へ送られる。複数
のフィーダ４２は、各部品供給部がＸ軸方向に平行な一
直線上に並ぶ状態でフィーダ支持台４０に固定されてい
る。

【００１０】電気部品装着機２０，２２はそれぞれ、装
着ヘッド５０，５２と、それぞれＸ軸スライド５４，５
６およびＹ軸スライド５８，６０を備えて装着ヘッド５
０，５２を水平面内の任意の位置へ移動させるＸＹロボ
ット６２，６４とを有している。これら装着ヘッド５
０，５２は同様に構成され、ＸＹロボット６２，６４も
同様に構成されており、装着ヘッド５０およびＸＹロボ
ット６２を代表的に説明する。

【００１１】Ｙ軸スライド５８は基台１２上にＹ軸方向
に移動可能に設けられ、Ｘ軸スライド５４はＹ軸スライ
ド５８上にＸ軸方向に移動可能に設けられている。Ｙ軸
スライド５８は、サーボモータ６５（図１４参照）を駆
動源とし、サーボモータ６５の回転を直線運動に変換し
てＹ軸スライド５８に伝達する運動変換装置を含むＹ軸
スライド移動装置によりＹ軸方向に移動させられる。Ｘ
軸スライド５４も同様に、図２に示すように、サーボモ
ータ６６を駆動源とし、ねじ軸６３，ナット６７を含む
運動変換装置６９を備えたＸ軸スライド移動装置７１に
よりＸ軸方向に移動させられる。

【００１２】装着ヘッド５０は、Ｘ軸スライド５４に回
転可能に取り付けられた間欠回転体６８（図２参照）を
有している。間欠回転体６８は、Ｘ軸スライド５４によ
り回転可能に保持された回転軸７０と、回転軸７０に固
定の保持軸保持部材７２とを含む。保持軸保持部材７２
に形成された複数個（本実施形態においては１６個）の
保持穴７４（図３参照）は、回転軸７０の回転軸線を中
心線とする円錐面の複数本の母線の各々を中心線として
形成されており、間欠回転体６８は、Ｘ軸スライド５４
に、回転軸線が、水平な搬送平面に対する垂線に対し
て、上記円錐面の一母線が搬送平面と直交する状態とな
る角度だけ傾斜した状態で取り付けられている。

【００１３】間欠回転体６８は、サーボモータ７６を駆
動源とする回転駆動装置７８により、回転軸７０の軸線
まわりに正逆両方向に任意の角度、精度良く回転させら
れる。サーボモータ７６は、その軸線が間欠回転体６８
の回転軸線と直角となる姿勢でＸ軸スライド５４に設け
られ、回転軸７０から離れるほど上方へ向かう向きに傾
斜させられている。サーボモータ７６の回転は、互いに
噛み合わされた被駆動歯車たる被駆動かさ歯車８０と、
駆動歯車たる駆動かさ歯車８１とを含む回転伝達装置８
２により回転軸７０に伝達され、間欠回転体６８が回転
させられる。

【００１４】上記複数個の保持穴７４にはそれぞれ、図
３に示すように、回転部材たるスリーブ８３が回転可能
かつ軸方向に移動不能に嵌合されており、スリーブ８３
に保持軸８４が自身の軸線まわりに回転可能かつ軸方向
に相対移動可能に嵌合されるとともに、付勢手段の一種
である弾性部材たるばね部材としての圧縮コイルスプリ
ング８６により上方へ付勢されている。

【００１５】複数個、本実施形態においては１６個の保
持軸８４の間欠回転体６８から突出した各下部に、吸着
ノズル９０が保持されている。吸着ノズル９０は負圧に
より電気部品９２を吸着するものであり、保持軸８４内
に設けられた通路９４，間欠回転体６８に取り付けられ
た圧力切換弁９６に接続されており、圧力切換弁９６は
間欠回転体６８内に設けられた通路９８等を介して図示
しない真空装置に接続されている。圧力切換弁９６は、
圧力切換弁制御装置の制御により、吸着ノズル９０内の
圧力を大気圧以上の圧力から負圧に切り換え、吸着ノズ
ル９０に電気部品９２を吸着させる負圧供給状態と、吸
着ノズル９０内の圧力を負圧から大気圧以上の圧力に切
り換え、吸着ノズル９０に電気部品９２を解放させる負
圧解除状態とに切り換えられる。なお、間欠回転体６８
内に設けられた通路は、間欠回転体６８が回転しても、
Ｘ軸スライド５４側に設けられて真空装置に連通させら
れた通路との連通が保たれるようにされている。

【００１６】吸着ノズル９０は、図３に示すように、ア
ダプタ１００を介して保持軸８４に取り付けられてい
る。アダプタ１００は、保持軸８４の下端部に設けられ
たノズル保持部１０２に形成された嵌合穴１０４に軸方
向に相対移動可能に嵌合されている。アダプタ１００
は、ノズル保持部１０２に等角度間隔に設けられた複数
の保持部材１０６（図３には代表的に１個のみ図示され
ている）によって保持されるとともに、付勢手段の一種
である弾性部材であって、ばね部材たる圧縮コイルスプ
リング１０８により、ノズル保持部１０２から下方へ突
出する向きに付勢されている。

【００１７】ノズル保持部１０２には、保持軸８４の軸
線に平行に延びる複数の切欠１１０が等角度間隔に形成
され、前記複数の保持部材１０６の各々が回動可能に嵌
合されるとともに、ノズル保持部１０２に巻き付けられ
たリング状のばね部材１１２によってノズル保持部１０
２に保持されている。保持部材１０６の切欠１１０に嵌
合された部分の上側には、ノズル保持部１０２の中心側
に突出する突部１１４が設けられるとともに、ノズル保
持部１０２に形成された切欠１１６に嵌入させられてお
り、この突部１１４の切欠１１６の底面への当接部を中
心として、保持部材１０６がその長手方向に直角で、ノ
ズル保持部１０２の保持部材１０６が取り付けられた部
分に対する接線方向に延びる軸線まわりに回動可能であ
る。

【００１８】さらに、保持部材１０６の突部１１４の上
側には操作部１１８が突設され、ノズル保持部１０２に
形成された切欠１２０に嵌入させられている。保持部材
１０６は、切欠１１０への嵌合と、操作部１１８の切欠
１２０への嵌入とによって、保持軸８４の軸線と直交す
る軸線まわりの回動が阻止されている。

【００１９】保持部材１０６の下部は、アダプタ１００
の大径の係合部１２４に形成された切欠１２６に嵌合さ
れており、ノズル保持部１０２とアダプタ１００との相
対回転を阻止している。また、保持部材１０６の下端部
にはアダプタ１００側へ突出する係合突部１２８が突設
され、この係合突部１２８が係合部１２４に下方から係
合することにより、アダプタ１００の嵌合穴１０４から
の抜出しを防止している。この状態で前記操作部１１８
を押して保持部材１０６をばね部材１１２の付勢力に抗
して回動させ、係合突部１２８と係合部１２４との係合
を解くことにより、アダプタ１００をノズル保持部１０
２から外すことができる。

【００２０】吸着ノズル９０は、吸着管保持体１３２お
よび吸着管保持体１３２に保持された吸着管１３４を有
し、吸着管保持体１３２に設けられた嵌合部ないし被保
持部たるテーパ部１３６においてアダプタ１００に設け
られた被嵌合部の一種である嵌合穴たるテーパ穴１３８
にテーパ嵌合されるとともに、ばね部材１４０によりア
ダプタ１００に保持されている。ばね部材１４０はほぼ
コの字形を成し、コの字の一対の腕部においてアダプタ
１００に形成された一対の切欠１４２に嵌合され、それ
ら腕部間の距離は先端ほど狭くされて締まり勝手とされ
ている。また、それら腕部間の先端部は互いに接近する
向きに曲げられ、アダプタ１００からの脱落が防止され
ている。

【００２１】テーパ部１３６がテーパ穴１３８に嵌合さ
れれば、ばね部材１４０はテーパ部１３６に形成された
円環状の嵌合溝１４４に嵌入し、テーパ部１３６に係合
して吸着管保持体１３２を保持するとともに、テーパ穴
１３８内に引き込んで位置決めする。ばね部材１４０の
アダプタ１００に対する取付位置は、テーパ部１３６が
テーパ穴１３８に嵌合された状態で、ばね部材１４０の
円形状の断面の中心位置に対して、半円形断面の嵌合溝
１４４の中心位置が下方へずれた状態となる位置とされ
ており、ばね部材１４０は嵌合溝１４４の溝側面の上側
の部分に係合して吸着管保持体１３２をテーパ穴１３８
内に引き込む。吸着ノズル９０は、向きが吸着ノズル９
０の先端に向かう向きであり、大きさが設定値、すなわ
ちばね部材１４０の引込力を越える大きさである引抜力
が加えられれば、アダプタ１００から取り出すことがで
きる。アダプタ１００は保持軸８４に着脱可能に保持さ
れ、保持軸８４と共にノズル保持具１５２を構成してい
る。間欠回転体６８には、複数個、例えば１６個のノズ
ル保持具１５２が設けられ、複数個、例えば１６個の吸
着ノズル９０が取り付けられるようにされているのであ
る。保持軸８４がアダプタ１００を介して吸着ノズル９
０を保持しているとも言える。なお、符号１４６は発光
板であり、円板状を成す。発光板１４６はアルミニウム
により作られていて反射率が高く、上面が反射面１４８
として機能する。また、発光板１４６の下面１５０（吸
着管１３４が延び出させられた側の面）には、蛍光材料
の層が形成されており、紫外線を吸収し、電気部品９２
に向かって可視光線を放射する。

【００２２】複数個のノズル保持具１５２は、間欠回転
体６８の回転時に、間欠回転体６８の回転軸線を中心と
して旋回させられ、複数の停止位置に順次停止させられ
る。複数の停止位置のうち、保持軸８４の軸線が水平な
搬送平面と直交する状態となる位置が部品吸着装着位置
である。同じ停止位置において電気部品９２の吸着（フ
ィーダ４２からの取出し）と、プリント基板３２への装
着とが行われるのである。部品吸着装着位置から９０度
離れた位置が撮像位置とされており、Ｘ軸スライド５４
の撮像位置に対応する位置には、電気部品撮像装置１６
０（図１４参照）が設けられている。Ｘ軸スライド５４
にはまた、プリント基板３２に設けられた基準マークを
撮像する基準マーク撮像装置１６２（図１４参照）が設
けられている。

【００２３】本実施形態では、搬送平面（Ｘ軸スライド
５４，５６およびＹ軸スライド５８，６０の移動経路を
含む面）が水平面であるため、部品吸着装着位置に停止
させられたノズル保持具１５２は、上下方向（垂直）に
延びる状態となる。間欠回転体６８の回転軸線は、水平
な搬送平面に対する垂線に対して傾斜させられているた
め、ノズル保持具１５２の高さは部品吸着装着位置にお
いて最も低くなり、他のノズル保持具１５２はそれより
高くなる。本電気部品装着機２０においては、間欠回転
体６８の回転軸線の傾斜により、複数個のノズル保持具
１５２の高さが互いに異ならされているのである。

【００２４】Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置に対
応する位置には、図２に示すように、昇降装置１７０が
設けられており、ノズル保持具１５２を昇降させる。昇
降装置１７０は、リニアモータ１７２を駆動源とする。
リニアモータ１７２の可動子１７４は、リニアモータ１
７２のハウジングから上方へ垂直に延び出させられると
ともに、移動部材１７６が固定されている。移動部材１
７６には、昇降駆動部材１７８が設けられるとともに、
昇降駆動部材１７８に昇降駆動部１８０が設けられてい
る。

【００２５】リニアモータ１７２により移動部材１７６
が下降させられ、昇降駆動部材１７８が下降させられる
ことにより昇降駆動部１８０が下降させられ、部品吸着
装着位置へ移動させられたノズル保持具１５２の保持軸
８４に係合し、圧縮コイルスプリング８６の付勢力に抗
してノズル保持具１５２（ノズル保持具１５２に吸着ノ
ズル９０が保持されている場合には吸着ノズル９０も）
が下降させられる。移動部材１７６が上昇させられ、昇
降駆動部材１７８が上昇させられて昇降駆動部１８０が
上昇させられれば、保持軸８４は圧縮コイルスプリング
８６の付勢により昇降駆動部１８０に追従して上昇させ
られ、ノズル保持具１５２が上昇させられる。昇降駆動
部１８０が保持軸８４から離間し、ノズル保持具１５２
の圧縮コイルスプリング８６により付勢された状態にお
ける位置を上昇位置とする。ノズル保持具１５２が、上
昇位置から下降位置へ下降させられて、吸着ノズル９０
が電気部品９２を保持し、プリント基板３２に装着す
る。リニアモータ１７２の制御による移動部材１７６の
移動距離の調節により、昇降駆動部材１７８の昇降距
離、すなわちノズル保持具１５２の昇降距離を調節し得
る。なお、Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置近傍に
は、昇降駆動部材１７８の昇降と連動して、前記圧力切
換弁９６の切換えを行う切換弁制御装置の機構部１８４
が設けられているが、説明は省略する。

【００２６】吸着ノズル９０は、ノズル回転装置３７０
により、自身の軸線のまわりに回転させられ、それによ
り吸着ノズル９０により保持された電気部品９２の方位
誤差が修正され、あるいは方位が変更される。前記回転
軸７０には、回転部材たる中空軸３７２が回転可能に嵌
合されており、中空軸３７２の下端部には駆動歯車とし
ての駆動かさ歯車３７４が設けられ、上端部には被駆動
プーリ３７６が固定されている。被駆動プーリ３７６に
は、駆動源たる方位補正変更用のサーボモータ３７８の
回転が駆動プーリ３８０およびタイミングベルト３８２
により伝達され、駆動かさ歯車３７４が正逆両方向に任
意の角度回転させられる。前記複数個の保持穴７４の各
々に嵌合されたスリーブ８３にはそれぞれ、被駆動歯車
としての被駆動かさ歯車３８４が固定されるとともに、
駆動かさ歯車３７４と噛み合わされており、駆動かさ歯
車３７４が回転させられることにより被駆動かさ歯車３
８４が回転させられ、スリーブ８３が回転させられる。
スリーブ８３の回転はリング状の摩擦部材３８６により
保持軸８４に伝達され、ノズル保持具１５２に保持され
た吸着ノズル９０が自身の軸線まわりに回転させられ
る。上記中空軸３７２，方位補正変更用のサーボモータ
３７８，駆動かさ歯車３７４，被駆動かさ歯車３８４等
がノズル回転装置３７０を構成している。

【００２７】Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置に対
応する部分には、図４に概略的に示すように、ノズル交
換確認センサ３９０およびノズル有無確認センサ３９２
が設けられ、Ｘ軸スライド５４の、１６個のノズル保持
具１５２の停止位置であって、部品吸着装着位置に、間
欠回転体６８のノズル保持具１５２を部品吸着装着位置
へ移動させる際の回転方向において上流側に隣接する位
置に対応する部分には、ノズル確認センサ３９４（図１
４参照）が設けられている。この位置をノズル確認位置
と称する。また、部品吸着装着位置から上記上流側へ数
えて４個目の停止位置（間欠回転体６８の回転軸線と平
行な方向から見た場合、部品吸着装着位置から９０度離
れた位置）に対応する部分には、図５に示すように、ノ
ズル不良検出センサ３９６が設けられている。以下、ノ
ズル不良検出センサ３９６が設けられた位置をノズル不
良検出位置と称する。

【００２８】ノズル交換確認センサ３９０は、本実施形
態においては、投光部および受光部を有する反射型の光
電センサにより構成されており、Ｘ軸スライド５４にブ
ラケット３９８（図５参照）により取り付けられ、部品
吸着装着位置に位置するノズル保持具１５２が吸着ノズ
ル９０を保持しているか否かを検出する。ノズル交換確
認センサ３９０の投光部および受光部は、ノズル保持具
１５２の旋回軌跡の内側（旋回中心線側）であって、部
品吸着装着位置に停止したノズル保持具１５２が上昇位
置に位置する状態において、ノズル保持具１５２に保持
された吸着ノズル９０の発光板１４６に対応する位置に
設けられている。したがって、ノズル保持具１５２が吸
着ノズル９０を保持していれば、投光部から照射された
光は発光板１４６により反射されて受光部に入光し、ノ
ズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持していなけれ
ば発光板１４６によって光が反射されず、受光部の受光
量の多少によってノズル保持具１５２が吸着ノズル９０
を保持しているか否かがわかる。ノズル交換確認センサ
３９０は、後述するように、吸着ノズル９０が交換され
たか否かの検出に用いられる。

【００２９】ノズル有無確認センサ３９２は、本実施形
態においては、投光部４００および受光部４０２を有す
る反射型の光電センサにより構成されている。投光部４
００は、前記ブラケット３９８によりＸ軸スライド５４
に取り付けられ、ノズル保持具１５２の旋回軌跡の内側
に設けられており、受光部４０２は、図示しないブラケ
ットによりＸ軸スライド５４に取り付けられ、旋回軌跡
の外側（旋回中心線とは反対側）に設けられている。ノ
ズル有無確認センサ３９２の用途は後に説明する。

【００３０】ノズル確認センサ３９４は、本実施形態に
おいては、投光部および受光部を有する反射型の光電セ
ンサにより構成されており、投光部および受光部は、ノ
ズル保持具１５２の旋回軌跡の内側であって、ノズル確
認位置に停止させられ、上昇位置に位置するノズル保持
具１５２に保持された吸着ノズル９０の発光板１４６に
対応する位置に設けられている。ノズル保持具１５２が
ノズル確認位置に停止したときには、ノズル保持具１５
２が吸着ノズル９０を保持し、上昇位置にあって発光板
１４６により光が反射されて受光部が受光し、受光量が
しきい値を超えるはずであり、受光部の受光量がしきい
以下であり、吸着ノズル９０が検出されなければ、例え
ば、吸着ノズル９０がノズル保持具１５２から脱落して
いるか、あるいは脱落していなくてもノズル保持具１５
２が上昇位置へ移動することができない状態にあり、何
らかの異常が生じていることがわかる。ノズル確認セン
サ３９４は、吸着ノズル検出装置ないし保持具異常検出
装置を構成している。

【００３１】ノズル不良検出センサ３９６は、本実施形
態においては、図５に示すように、投光部４０６および
受光部４０８を有する透過型の光電センサによって構成
されている。投光部４０６および受光部４０８はそれぞ
れ複数の光ファイバにより構成されており、投光部４０
６は図示しない光源に接続され、受光部４０８は図示し
ない受光素子に接続されている。受光素子は、受光部４
０８の複数の光ファイバのうち、投光部４０６から投光
された光を受光した光ファイバの数に比例する受光信号
を出力する。この受光素子は制御装置３３０（図１４参
照）に接続されている。投光部４０６および受光部４０
８を構成する光ファイバの先端部は帯状に並べられ、投
光部４０６は帯板状の光を発する。本実施形態において
は、この帯板状の光の幅は、電気部品装着機２０，２２
において使用が予定されている複数種類の吸着ノズル９
０のうち、直径が最小である吸着管１３４の直径よりや
や小さい幅とされている。これら投光部４０６および受
光部４０８はブラケット４１０によりＸ軸スライド５４
に取り付けられており、投光部４０６は吸着ノズル９０
の吸着管１３４の旋回軌跡の内側に設けられ、受光部４
０８は外側に設けられ、投光部４０６，受光部４０８
は、光軸が、ノズル不良検出位置に位置する吸着ノズル
９０の吸着管１３４の軸線と直交する状態で設けられて
いる。なお、図５においてノズル交換確認センサ３９０
およびノズル不良検出センサ３９６は、理解を容易にす
るために、実際の位置から回されて図示されており、ノ
ズル有無確認センサ３９２の図示は省略されている。ま
た、図５には、ノズル保持具１５２および吸着ノズル９
０が代表的に２個、図示されている。

【００３２】基板コンベヤ１４のメインコンベヤ２４，
２６と電気部品供給装置１６，１８との間にはそれぞ
れ、図１に示すように、ノズル収納装置１９０，１９２
が設けられている。これらノズル収納装置１９０，１９
２の構成は同じであり、ノズル収納装置１９０を代表的
に説明する。

【００３３】ノズル収納装置１９０は、図６に示すよう
に、ノズル収容部材たるノズル収容板１９４と収容部材
保持装置たる収容板保持装置１９６とを含み、収容部材
受部材たる収容板受台２０４の長手方向が基板搬送方向
（Ｘ軸方向）と平行となるように設けられている。収容
板保持装置１９６は基台１２上に固定されたフレーム１
９８を備えており（図６には基台１２の図示は省略され
ている）、フレーム１９８には、駆動源たる流体圧アク
チュエータの一種である流体圧シリンダたるエアシリン
ダ２００が上向きに固定されるとともに、エアシリンダ
２００のピストンロッド２０２の突出端部には、図６お
よび図７に示すように、収容板受台２０４が固定されて
いる。収容板受台２０４は、板状を成し、ピストンロッ
ド２００の突出端部に水平な姿勢で固定されており、上
面が収容部材受面たる収容板受面２０６を構成してい
る。収容板受台２０４の下面に固定の一対の被案内部材
たるガイドロッド２０８はそれぞれ、フレーム１９８に
固定の一対の案内部材たる案内筒２１０に上下方向に移
動可能に嵌合されるとともに、案内筒２１０から突出し
た下端部は、連結部材２１２により連結されている。電
磁方向切換弁２１３（図１４参照）の切換えにより、エ
アシリンダ２００の２個のエア室が大気と圧縮空気供給
源とに選択的に連通させられてピストンロッド２０２が
伸縮させられ、収容板受台２０４は、ガイドロッド２０
８および案内筒２１０を含む案内装置により案内されつ
つ水平な姿勢を保って、上昇端位置と下降端位置とに昇
降させられる。エアシリンダ２００は、収容部材移動装
置の一種である収容部材昇降装置たる収容板昇降装置を
構成している。

【００３４】収容板受台２０４上に前記ノズル収容板１
９４が工具を使用することなく着脱可能に取り付けられ
ており、収容板受台２０４とともに昇降させられる。ノ
ズル収容板１９４は、図６および図８に示すように、矩
形の板状を成し、複数のノズル収容凹部たるノズル収容
穴２５０が、ノズル収容板１９４の板面に平行な一平面
に形成されている。これらノズル収容穴２５０はそれぞ
れ段付状を成し、ノズル収容板１９４を厚さ方向に貫通
して形成された貫通穴であり、図８および図９に示すよ
うに、収容板受台２０４により受けられる被受面２５２
に開口する小径穴部２５４と、被受面２５２とは反対向
きの面に開口する大径穴部２５６とを有し、ノズル収容
板１９４の長手方向と幅方向とにおいてそれぞれ等間隔
に形成されている。大径穴部２５６の深さは、前記吸着
ノズル９０の発光板１４６の厚さより大きくされ、小径
穴部２５４の深さは、吸着ノズル９０の吸着管１３４の
長さより大きくされている。なお、ノズル収容板１９４
には、黒染め処理が施されて光の反射率が低くされてい
る。

【００３５】これらノズル収容穴２５０にはそれぞれ、
図１２に示すように、吸着ノズル９０が嵌合されている
（図１２には吸着ノズル９０が２個、代表的に図示され
ている。なお、図１０および図１１においては、吸着ノ
ズル９０の図示は省略されている）。吸着ノズル９０
は、吸着管１３４が小径穴部２５４に嵌合され、発光板
１４６が大径穴部２５６に嵌合されるとともに、大径穴
部２５６の底面により下方から支持され、吸着管保持体
１３２に設けられたテーパ部１３６は、ノズル収容板１
９４から上方へ突出させられている。ノズル収容穴２５
０は、吸着ノズル９０の反射面１４８より先端側（吸着
管１３４側）の部分を収容し、吸着ノズル９０はノズル
収容板１９４に対して吸着ノズル９０の軸線に平行な方
向に収納されているのであり、ノズル収納装置１９０
は、複数の吸着ノズル９０を個別に取出し可能に収納し
ている。

【００３６】本実施形態の電気部品装着機２０，２２
は、装着ヘッド５０，５２において電気部品９２の装着
に使用される複数の吸着ノズル９０の全部が同じ種類で
ある態様で使用することができ、あるいは複数の吸着ノ
ズル９０の全部あるいは一部の種類が異なる態様で使用
することもできる。種類の異なる吸着ノズル９０は、発
光板１４６の直径は同じであるが、吸着管１３４の直径
を異にし、電気部品９２の形状，寸法に応じた吸着管１
３４を有する吸着ノズル９０が電気部品９２の吸着，装
着に使用される。種類の異なる吸着ノズル９０が使用さ
れる場合には、ノズル収容板１９４には、複数種類の吸
着ノズル９０が保持される。吸着ノズル９０は、使用頻
度の高い吸着ノズル９０ほど数が多くされ、種類毎にま
とめて保持される。なお、ノズル収容穴２５０の小径穴
部２５４の直径は、最も大きい吸着管１３４が嵌合可能
な大きさとされ、大径穴部２５６の直径は発光板１４６
より僅かに大きくされている。また、吸着ノズル９０の
種類が異なっても、テーパ部１３６の大きさは同じであ
る。

【００３７】ノズル収容板１９４は、図７に示すよう
に、収容板受台２０４上に載せられ、２個の切欠２６２
がそれぞれ、収容板受台２０４に立設された２個の頭付
ピン２１８の胴部２２２に係合させられ、被受面２５２
に平行な方向の平行移動と被受面２５２に平行な方向に
おける回転とが阻止されている。また、図７に示すよう
に、頭部２２４が係合面２６４に係合してノズル収容板
１９４の収容板受台２０４からの浮上がりが防止されて
いる。そして、図７に示すように、収容板受台２０４に
設けられた留め具２３０の係合部材２４０が、ノズル収
容板１９４に固定の係合部材２６８の係合部２７２に係
合させられるとともに、圧縮コイルスプリング２４２に
より付勢されて、ノズル収容板１９４が収容板受台２０
４に取り付けられている。留め具２３０によるノズル収
容板１９４の収容板受台２０４に対する取付けは、作業
者が手動操作で解除することができ、ノズル収容板１９
４を、吸着ノズル９０を保持した別のノズル収容板１９
４と交換することにより、複数の吸着ノズル９０を同時
にまとめて交換することができる。ノズル収容板１９４
の交換は本発明との関連が薄いため、説明を省略する。

【００３８】ノズル収容板１９４には、図１０ないし図
１２に示すように、ノズル収容穴２５０を覆う離脱阻止
板２８０が、ノズル収容板１９４の板面に平行な一平面
に沿って移動可能に設けられている。離脱阻止板２８０
は薄い板状を成し、４つの開口２８２が離脱阻止板２８
０を厚さ方向に貫通し、離脱阻止板２８０の長手方向に
平行に形成されている。各開口２８２はそれぞれ、複数
の円形穴部２８４と、隣接する円形穴部２８４をつなぐ
つなぎ部２８６とを有する。これら円形穴部２８４はそ
れぞれ、ノズル収容穴２５０の大径穴部２５６より僅か
に大きい径を有し、ノズル収容穴２５０のノズル収容板
１９４の長手方向における形成ピッチと等しいピッチで
形成されている。また、つなぎ部２８６は、吸着ノズル
９０のテーパ部１３６の最大直径より大きく、発光板１
４６の直径より小さい幅（離脱阻止板２８０の板面に平
行な平面内において開口２８２の長手方向と直角な方向
の寸法）を有し、離脱阻止板２８０の複数のつなぎ部２
８６をそれぞれ画定する一対ずつの突部が離脱阻止部２
８８を構成している。各対の２個の離脱阻止部２８８
は、離脱阻止板２８０の長手方向と直角な方向、すなわ
ち収容板受台２０４の長手方向と直角な方向であって、
前記Ｙ軸方向に距離を隔てて対向して設けられており、
円形穴部２８４に隣接して設けられている。なお、４つ
の開口２８２は、離脱阻止板２８０の幅方向において、
ノズル収容穴２５０のノズル収容板１９４の幅方向にお
ける形成ピッチと等しいピッチで形成されている。

【００３９】ノズル収容板１９４には、図１０，図１１
および図１３に示すように、複数のピン２９２が立設さ
れて係合突部が設けられており、離脱阻止板２８０は、
その長手方向に平行に形成された複数の係合凹部たる長
穴２９４の各々においてピン２９２に相対移動可能に嵌
合されている。符号２９６はワッシャである。これらピ
ン２９２および長穴２９４の嵌合により、離脱阻止板２
８０のノズル収容板１９４に対する相対移動が案内され
るとともに、離脱阻止板２８０のノズル収容板１９４に
対する被受面２５２に平行な方向の回転が阻止されてい
る。ピン２９２および長穴２９４は、案内装置を構成す
るとともに、回転阻止装置を構成している。

【００４０】ノズル収容板１９４と離脱阻止板２８０と
の間には、図１１および図１２に示すように、付勢手段
の一種である弾性部材たるばね部材としての引張コイル
スプリング３００が掛け渡されている。引張コイルスプ
リング３００の付勢による離脱阻止板２８０の移動限度
は、長穴２９４がピン２９２に当接することにより規定
されている。ピン２９２はストッパとしても機能するの
であり、図１０に示すように、長穴２９４の、引張コイ
ルスプリング３００の付勢による離脱阻止板２８０の移
動方向において上流側の端部がピン２９２に当接した状
態では、離脱阻止板２８０は、離脱阻止部２８８がノズ
ル収容穴２５０上に位置し、吸着ノズル９０の発光板１
４６の反射面１４８に係合して、吸着ノズル９０のノズ
ル収容板１９４からの離脱を阻止する作用位置に位置さ
せられる。本実施形態においては、吸着ノズル９０の発
光板１４６の反射面１４８が、被保持部たるテーパ部１
３６側に向いた肩面を構成している。

【００４１】離脱阻止板２８０の、引張コイルスプリン
グ３００の付勢による移動方向において上流側の端部に
は、図１０ないし図１２に示すように、突部３０６が突
設されている。突部３０６の突出端部には、ノズル収容
板１９４側へ延び出す係合部３０８が設けられている。

【００４２】収容板受台２０４には、図６に示すよう
に、駆動源たる流体圧アクチュエータの一種である流体
圧シリンダたるエアシリンダ３１２が固定されており、
エアシリンダ３１２のピストンロッド３１４に固定の係
合部材３１６には切欠３１８が形成されるとともに、離
脱阻止板２８０の係合部３０８が着脱可能に嵌合されて
いる。切欠３１８は、係合部の一種である係合凹部であ
り、図６および図１０に示すように、ピストンロッド３
１４の伸縮方向と直角な方向であって、ノズル収容板１
９４の収容板受台２０４に対する取付方向（収容板受台
２０４の長手方向と直角な方向）と平行な方向に貫通し
て形成されている。切欠３１８の一対の切欠側面の長手
方向に隔たった両端部はそれぞれ、図１０に示すよう
に、端側ほど切欠３１８の幅が広くなる向きに傾斜させ
られて案内面３２０が形成されている。

【００４３】係合部３０８と切欠３１８とは、離脱阻止
板２８０が作用位置に位置し、ピストンロッド３１４が
収縮位置に位置する状態で互いに係合するようにされて
いる。エアシリンダ３１２の収容板受台２０４に対する
取付位置がそのように設定されているのであるが、切欠
３１８の長手方向の両端部にはそれぞれ案内面３２０が
形成されており、係合部３０８と切欠３１８との離脱阻
止板２８０の長手方向（離脱阻止板２８０のノズル収容
板１９４に対する移動方向）における位置が僅かにずれ
ていても、案内面３２０により案内されて嵌合可能であ
る。エアシリンダ３１２は、切欠３１８の係合部３０８
に対するずれが、係合部３０８に対して収容板受台２０
４とは反対側（引張コイルスプリング３００の付勢方向
とは逆の方向側）に生ずるように取り付けられている。

【００４４】電磁方向切換弁３２２（図１４参照）の切
換えにより、エアシリンダ３１２の２個のエア室が大気
と圧縮空気供給源とに選択的に連通させられてピストン
ロッド３１４が伸縮させられ、係合部材３１６が移動さ
せられるとともに、離脱阻止板２８０が基板搬送方向と
平行な方向に移動させられ、図１０に示す作用位置、す
なわち離脱阻止部２８８が、ノズル収容穴２５０に嵌合
された吸着ノズル９０の発光板１４６に係合する位置
と、図１１に示す退避位置、すなわち開口２８２の円形
穴部２８４とノズル収容穴２５０との位置がほぼ合致す
る位置とに移動させられる。離脱阻止板２８０は、前記
引張コイルスプリング３００の付勢力に抗して退避位置
へ移動させられる。離脱阻止板２８０が退避位置に位置
する状態では、吸着ノズル９０がノズル収納装置１９０
に対して吸着ノズル９０の軸線に平行な方向に収納さ
れ、取り出されることが許容される。離脱阻止板２８０
が退避位置に位置する状態が許容状態である。離脱阻止
板２８０が作用位置に位置する状態では、離脱阻止部２
８８が反射面１４８に係合することにより、吸着ノズル
９０のノズル収容穴２５０からの離脱を阻止する。離脱
阻止板２８０が作用位置に位置する状態が阻止状態であ
る。本実施形態においては、円形穴部２８４が、複数個
のノズル収容穴２５０の各々に対応して、吸着ノズル９
０の反射面１４８より先端側の部分の軸方向の通過を許
容する貫通穴を構成し、離脱阻止板２８０が離脱阻止部
材を構成し、エアシリンダ３１２が離脱阻止部材駆動装
置を構成し、離脱阻止板２８０と共に許容・阻止装置を
構成している。

【００４５】なお、引張コイルスプリング３００は、ノ
ズル収容板１９４が収容板受台２０４から外されたと
き、離脱阻止板２８０を作用位置に向かって付勢し、離
脱阻止板２８０を吸着ノズル９０のノズル収容板１９４
からの離脱を防止する状態に保つ。また、係合部材３１
６には一対の案内部材が設けられるとともに、エアシリ
ンダ３１２に設けられた一対のガイドブッシュに移動可
能に嵌合されており、これら案内部材およびガイドブッ
シュは係合部材３１６の移動を案内するとともに回転を
防止している。

【００４６】前記Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置
に対応する位置に設けられた前記ノズル有無確認センサ
３９２は、ノズル収容板１９４のノズル収容穴２５０に
吸着ノズル９０が収容されているか否かを検出する。ノ
ズル有無確認センサ３９２は、部品吸着装着位置に停止
させられたノズル保持具１５２が、ノズル交換のために
ノズル収容板１９４のノズル収容穴２５０上へ移動させ
られるとともに、ノズル収容板１９４および収容板受台
２０４が下降端位置にあり、ノズル収容穴２５０に吸着
ノズル９０が収容されているとき、ノズル収容穴２５０
に収容された吸着ノズル９０の発光板１４６の反射面１
４８の、作用位置に位置する離脱阻止板２８０の対を成
す２個の離脱阻止部２８８により覆われていない部分に
向かって投光部４００が光を照射し、その光が反射面１
４８により反射されて受光部４０２が受光し、かつ、部
品吸着装着位置に位置決めされたノズル保持具１５２が
保持する吸着ノズル９０により、投光部４００が発する
光の反射面１４８への到達および受光部４０２による反
射光の受光が妨げられることがないように設けられてい
る。

【００４７】ノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０が収
容されていれば、投光部４００が発する光は発光板１４
６の反射面１４８により反射され、受光部４０２の受光
量がしきい値を超えることから、吸着ノズル９０が収容
されていることがわかる。ノズル収容穴２５０に吸着ノ
ズル９０が収容されていなければ、投光部４００が発す
る光はノズル収容穴２５０の大径穴部２５６の底面に当
たるが、ノズル収容板１９４には黒染め処理が施されて
いるため、光の反射量が少なく、受光部４０２の受光量
がしきい値以下となることから、ノズル収容穴２５０に
吸着ノズル９０が収容されておらず、空であることがわ
かる。

【００４８】なお、本電気部品装着システム１０におい
て、電気部品供給装置１６，１８および電気部品装着機
２０，２２はそれぞれ、基板コンベヤ１４の基板搬送方
向に平行な中心線に対して左右対称に構成されており、
各装置は、前後方向（基板搬送方向に平行な方向）の向
きが互いに同じにされている。ノズル収納装置１９０，
１９２についても同じである。

【００４９】本電気部品装着システム１０は、図１４に
示す制御装置３３０により制御される。制御装置３３０
は、ＰＵ（プロセッシングユニット）３３２，ＲＯＭ３
３４，ＲＡＭ３３６およびそれらを接続するバス３３８
を有するコンピュータ３４０を主体とするものである。
バス３３８には入力インタフェース３４２が接続される
とともに、電気部品撮像装置１６０，基準マーク撮像装
置１６２およびノズルセンサ３９０，３８２，３８４，
３８６（正確には各センサの受光素子）が接続されてい
る。バス３３８にはまた、出力インタフェース３４６が
接続されるとともに、駆動回路３４５，３４７，３４
８，３５７，３５０，３５２，３５４，３５６を介して
サーボモータ６５，６６，７６，３７８，リニアモータ
１７２，エアシリンダ２００，３１２への各エアの供給
を切り換える電磁方向切換弁２１３，３２２，警告装置
３５８が接続されている。駆動回路３４５ないし３５７
がコンピュータ３４０と共に制御装置３３０を構成して
いる。警告装置３５８は、異常の発生を作業者に報知す
る装置である。前記サーボモータ６５，６６，７６，３
７８は、駆動源たる電動モータの一種である電動回転モ
ータであって、回転角度および回転速度の精度の良い制
御が可能なモータである。また、リニアモータ１７２
は、駆動源たる電動モータの一種であって、移動距離お
よび移動速度の精度の良い制御が可能なサーボモータに
より構成されている。サーボモータに代えてステップモ
ータを用いてもよい。なお、図１４において図示は省略
するが、制御装置３３０は、この他に、前記搬入コンベ
ヤシフト装置，搬出コンベヤシフト装置，メインコンベ
ヤ２４，２６，搬入コンベヤ２８，搬出コンベヤ３０，
フィーダ４２のテープ送り装置等を制御する。ＲＯＭ３
３４には、図１５にフローチャートで表されるノズル不
良検出ルーチンおよび電気部品装着機２０，２２を制御
して電気部品９２をプリント基板３２に装着するための
装着プログラム等が記憶されている。

【００５０】次に作動を説明する。２個の電気部品装着
機２０，２２は、装着プログラムに従って制御され、メ
インコンベヤ２４とメインコンベヤ２６とのいずれか一
方により位置決め支持されたプリント基板３２に交互に
電気部品９２を装着する。１枚のプリント基板３２につ
いて、本電気部品装着システム１０において装着が予定
された全部の電気部品９２を電気部品装着機２０，２２
が共同して装着するのである。メインコンベヤ２４，２
６のうち、一方のメインコンベヤにおいて位置決め支持
されたプリント基板３２について電気部品９２の装着が
行われている間、他方のメインコンベヤにおいてはプリ
ント基板３２の搬出，搬入および位置決め支持が行わ
れ、搬入されたプリント基板３２は電気部品９２の装着
に備えてメインコンベヤ上で待機させられる。一方のメ
インコンベヤにより支持されたプリント基板３２への電
気部品９２の装着が終了すれば、そのプリント基板３２
は搬出コンベヤ３０により搬出されるとともに、他方の
メインコンベヤにおいて待機させられているプリント基
板３２への電気部品９２の装着が開始される。

【００５１】電気部品装着機２０，２２による電気部品
９２のプリント基板３２への装着は、種々の態様で行わ
れ得る。例えば、電気部品供給装置１６，１８がそれぞ
れ、１種類のプリント基板３２用であって、互いに同じ
種類のフィーダ４２を有し、装着ヘッド５０，５２がそ
れぞれ保持可能な全部（本実施形態においては１６個）
の吸着ノズル９０を保持し、電気部品装着機２０，２２
が、電気部品供給装置１６，１８の全部のフィーダ４２
を用いて、１種類のプリント基板３２を予め設定された
枚数生産するのであり、予め設定された複数枚のプリン
ト基板３２へのそれぞれ複数の電気部品９２の装着が一
連の電気部品装着作業であり、この装着を行うための装
着プログラムがＲＯＭ３３４に記憶され、装着プログラ
ムに基づいて電気部品９２がプリント基板３２に装着さ
れる。

【００５２】２個の電気部品装着機２０，２２がそれぞ
れ電気部品９２を取り出す電気部品供給装置は決まって
おり、電気部品装着機２０は、電気部品供給装置１６か
ら電気部品９２を取り出し、電気部品装着機２２は、電
気部品供給装置１８から電気部品９２を取り出す。電気
部品装着機２０について、電気部品９２の取出し，装着
を代表的に説明する。

【００５３】電気部品９２の取出し時には、間欠回転体
６８の間欠回転により、１６個のノズル保持具１５２お
よび吸着ノズル９０が順次部品吸着装着位置に位置決め
されるとともに、ＸＹロボット６２により、電気部品９
２を供給するフィーダ４２の部品供給部上へ移動させら
れる。ノズル保持具１５２が部品吸着装着位置へ到達す
るとき、ノズル保持具１５２が昇降駆動部１８０の下方
に位置する状態になり、その状態でリニアモータ１７２
が起動され、移動部材１７６が下降させられることによ
り昇降駆動部材１７８が下降させられ、昇降駆動部１８
０が下降させられてノズル保持具１５２および吸着ノズ
ル９０が下降させられる。圧力切換弁９６が負圧供給状
態に切り換えられ、吸着ノズル９０が電気部品９２に接
触して負圧により吸着した後、移動部材１７６が上昇さ
せられ、昇降駆動部材１７８が上昇させられるととも
に、ノズル保持具１５２が圧縮コイルスプリング８６の
付勢により上昇位置へ上昇させられ、吸着ノズル９０が
電気部品９２をフィーダ４２から取り出す。

【００５４】１６個の吸着ノズル９０はそれぞれ、部品
吸着装着位置において電気部品９２を取り出した後、電
気部品撮像位置に至ったとき、電気部品撮像装置１６０
により電気部品９２の保持姿勢が撮像され、吸着ノズル
９０による電気部品９２の保持位置誤差および保持方位
誤差が求められる。電気部品撮像位置には図示しない紫
外線照射装置が設けられており、発光板１４６に向かっ
て紫外線を照射し、発光板１４６は紫外線を吸収し、電
気部品８２に向かって可視光線を放射する。全部の吸着
ノズル９０が電気部品９２を吸着したならば、装着ヘッ
ド５０がＸＹロボット６２によりプリント基板３２上へ
移動させられ、電気部品９２を装着する。吸着ノズル９
０がプリント基板３２に電気部品９２を装着するノズル
保持具１５２は、間欠回転体６８の回転により部品吸着
装着位置に位置決めされ、ＸＹロボット６２によってプ
リント基板３２の部品装着箇所上へ移動させられる。

【００５５】この移動中に保持軸８４がノズル回転装置
３７０により自身の軸線のまわりに回転させられ、吸着
ノズル９０が自身の軸線のまわりに回転させられて電気
部品９２の保持方位誤差が修正される。方位が変更され
ることもある。なお、プリント基板３２への電気部品９
２の装着に先立ってプリント基板３２に設けられた基準
マークが基準マーク撮像装置１６２により撮像され、プ
リント基板３２の複数の部品装着箇所の各々についてＸ
軸方向およびＹ軸方向の各位置誤差が演算されている。
保持軸８４の移動距離は、プリント基板３２の部品装着
箇所のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差，電気部品９２の中
心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差を修正すべく、修
正される。電気部品９２の中心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の
各位置誤差は、吸着ノズル９０が電気部品９２を吸着す
る際に生ずる中心位置誤差，電気部品９２の保持方位誤
差の修正により生ずる中心位置の変化および電気部品９
２の方位変更により生ずる中心位置の変化の和である。
移動後、昇降装置１７０によってノズル保持具１５２が
下降させられ、電気部品９２がプリント基板３２上に載
置されるとともに、圧力切換弁９６が負圧解除状態に切
り換えられ、吸着ノズル９０が大気に開放されて負圧の
供給が遮断され、電気部品９２が解放される。電気部品
９２の載置後、ノズル保持具１５２は上昇位置へ上昇さ
せられる。間欠回転体６８の間欠回転および装着ヘッド
５０の移動が繰り返され、装着ヘッド５０において保持
された全部の電気部品９２がプリント基板３２に装着さ
れたならば、装着ヘッド５０は電気部品９２を取り出す
べく、電気部品供給装置１６へ移動する。

【００５６】電気部品９２の吸着中であっても装着中で
あっても、ノズル確認位置に至ったノズル保持具１５２
について、吸着ノズル９０を保持しているか否かの確認
がノズル確認センサ３９４の出力値に基づいて行われ
る。ノズル確認センサ３９４の受光部の受光量がしきい
値以下であれば、吸着ノズル９０がなく、吸着ノズル９
０のノズル保持具１５２からの脱落やノズル保持具１５
２に異常があることがわかり、警告装置３５８が作動さ
せられて異常の発生が作業者に報知されるとともに、電
気部品装着機２０，２２のうち、少なくとも吸着ノズル
９０がない、あるいはノズル保持具１５２が異常である
と判定された電気部品装着機が停止させられる。ノズル
確認センサ３９４がノズル確認装置を構成しているので
ある。異常発生時には、警告装置３５８の作動による異
常発生の報知と、電気部品装着機２０，２２のうち少な
くとも一方（異常が生じた方）の停止とが行われるが、
記載を簡易にするために、以下、警告装置３５８が作動
させられることをのみを記載する。

【００５７】また、電気部品９２の吸着中であっても装
着中であっても、ノズル不良検出位置に停止したノズル
保持具１５２の吸着ノズル９０について不良検出が行わ
れる。ノズル不良検出位置にノズル保持具１５２が停止
すれば、図１５に示すノズル不良検出ルーチンが実行さ
れる。ノズル不良の検出をノズル不良検出ルーチンに基
づいて説明する。

【００５８】ノズル不良検出ルーチンのステップ１（以
下、Ｓ１と略記する。他のステップについても同じ。）
においては、ノズル不良検出センサ３９６の出力値（受
光部４０８の受光量）の読取りが行われ、Ｓ２におい
て、その出力値に基づいて吸着ノズル９０が不良である
か否かの判定が行われる。ノズル不良検出センサ３９６
は、ノズル不良検出位置にノズル保持具１５２および吸
着ノズル９０が移動して来ていない状態では、投光部４
０６から発せられた光を受光部４０８が受光するが、ノ
ズル保持具１５２および吸着ノズル９０がノズル不良検
出位置に停止すれば、受光部４０８の受光が吸着管１３
４により妨げられる。しかし、吸着管１３４に折れや曲
がりが生じていて、受光部４０８の受光を妨げなけれ
ば、受光部４０８は受光するため、ノズル保持具１５２
および吸着ノズル９０がノズル不良検出位置に停止して
いることと、受光部の受光量がしきい値を超えることと
によって、吸着ノズル９０が吸着管１３４の折れあるい
は曲がりが生じた不良ノズルであることがわかる。な
お、しきい値は０に近い値に設定されており、吸着管１
３４の曲がり量が少なくても、受光量がしきい値を超
え、曲がりが検出される。ノズル不良検出センサ３９６
は、吸着管１３４に向かって光を照射するようにされて
おり、吸着管１３４の折れや曲がりは、吸着ノズル９０
が電気部品９２を吸着していてもいなくても検出でき
る。

【００５９】前述のように、ノズル不良検出センサ３９
６の投光部４０６が発する帯板状の光の幅は、直径が最
小の吸着管１３４の直径より僅かに小さくされており、
最小の吸着管１３４および最小の吸着管１３４よりは直
径が大きいが、直径が異なる全部の種類の吸着管１３４
のうちでは小さい方の２，３種類の吸着管１３４につい
て曲がりを検出し得る。

【００６０】投光部４０６が発する光の幅を、吸着管１
３４の直径より小さいが、できるだけ直径に近い大きさ
にすれば、吸着管１３４の曲がり量が少なくても、受光
部の受光量が、０に近い値に設定されたしきい値を超
え、曲がりを検出することができる。光の幅を、直径が
大きい吸着管１３４に合わせて大きくすれば、直径が小
さい吸着管１３４は、曲がりが生じていてもいなくても
光の透過経路内に位置し、受光量が変わらず、曲がりが
あっても検出することができない。一方、光の幅を小さ
くすれば、吸着管１３４の直径が大きい場合、曲がって
いてもいなくても、受光部の受光が吸着管１３４によっ
て妨げられるため、曲がりがあっても検出することがで
きない。一方、曲がりが生じ易いのは直径が小さい吸着
管であるという事実があるため、本実施形態において
は、投光部４０６が発する光の幅が小さくされ、直径が
小さい２，３種類の吸着管１３４の曲がりが検出される
ようにされているのである。なお、吸着管１３４が折れ
れば、吸着管１３４が細くても太くても、受光量がしき
い値を超えるため、直径如何によらず、吸着管１３４の
折れは検出できる。

【００６１】また、吸着ノズル９０は、方位変更あるい
は保持方位誤差の修正のためにノズル回転装置３７０に
よって自身の軸線まわりに回転させられるようにされて
いるため、ノズル不良検出位置に停止するとき、吸着管
１３４の方位が同じであるとは限らない。そのため、吸
着管１３４に曲がりが生じたとき、その曲がりの方向が
ノズル不良検出センサ３９６の光軸の方向と同じであれ
ば、曲がりを検出することができないが、方位が変われ
ば、光軸から外れ、曲がりが検出される。吸着管１３４
の方位が変われば、吸着管１３４の曲がりが複数の方向
から検出されるのに等しく、曲がりが検出されるのであ
る。

【００６２】このように受光部４０８の受光量に基づい
て吸着管１３４に曲がりや折れが生じているか否かの判
定が行われ、受光部４０８の受光量がしきい値以下であ
れば、吸着管１３４に折れや曲がりはなく、吸着ノズル
９０は不良ノズルではないため、Ｓ２の判定結果はＮＯ
になってルーチンの実行は終了する。Ｓ２がノズル不良
検出行程なのである。

【００６３】吸着管１３４が折れ、あるいは曲がってい
れば、受光部４０８の受光量がしきい値を超える。吸着
ノズル９０が不良ノズルであるのであり、Ｓ２の判定結
果がＹＥＳになってＳ３が実行され、吸着ノズル９０を
交換するか否かの判定が行われる。例えば、吸着管１３
４が曲がっていても、曲がり量が少なく、電気部品９２
の吸着，装着に支障がないのであれば、その吸着ノズル
９０により次の電気部品９２の吸着が行われる前にその
吸着ノズル９０を交換する必要はない。また、吸着管１
３４が折れていれば、その吸着ノズル９０により次の電
気部品９２の吸着が行われる前に吸着ノズル９０を交換
することが必要である。不良が検出された吸着ノズル９
０により次の電気部品９２の吸着が行われる前にその吸
着ノズル９０の交換を行うことが必要なほど曲がりが大
きいこと、あるいは吸着管１３４が折れていることが不
良な吸着ノズル９０の交換を行う条件なのである。

【００６４】吸着管１３４の曲がりの多少は、受光部４
０８の受光量の多少によりわかり、受光部４０８の受光
量と、吸着ノズル９０を交換を行うか否かを決定するし
きい値とが比較される。このしきい値は、Ｓ２において
吸着ノズル９０が不良であるか否かを判定するためのし
きい値より大きい値に設定されており、受光部４０８の
受光量がしきい値以下であれば、吸着管１３４に交換が
必要なほどの曲がりは生じておらず、Ｓ３の判定結果は
ＮＯになってルーチンの実行は終了する。

【００６５】受光部４０８の受光量がしきい値を超えて
いれば、吸着管１３４の曲がりが大きく、吸着ノズル９
０を交換しなければならず、Ｓ３の判定結果がＹＥＳに
なる。吸着管１３４が折れていても、受光部４０８の受
光量はしきい値を超え、Ｓ３の判定結果はＹＥＳにな
る。次いで、Ｓ４において吸着ノズル９０が電気部品９
２を保持しているか否かの判定が行われる。吸着ノズル
９０が電気部品９２を保持しているか否かは装着プログ
ラムからわかり、電気部品９２を保持していなければ、
Ｓ４の判定結果がＮＯになってＳ５が実行され、不良ノ
ズルの良品ノズルへの自動交換が指示される。

【００６６】不良ノズルの良品ノズルへの交換が必要で
あると判定されたとき、不良ノズルが電気部品９２を保
持していればＳ４の判定結果はＹＥＳになってＳ６が実
行され、電気部品９２の排出が指示されるとともに、不
良ノズルの良品ノズルへの自動交換が指示される。図示
は省略するが、ＸＹロボット６２，６４による装着ヘッ
ド５０，５２の移動領域内に電気部品９２を排出するた
めの電気部品収容器が設けられており、電気部品９２を
保持した不良ノズルは電気部品収容器上へ移動させられ
て電気部品９２を捨て、その後、不良ノズルの良品ノズ
ルへの交換が行われる。

【００６７】不良ノズルの良品ノズルへの交換指示に基
づいて、交換が自動的に行われる。この行程がノズル交
換行程である。不良ノズルの交換は、吸着ノズル９０が
電気部品９２を保持していてもいなくても、不良ノズル
が次の電気部品９２を吸着する前に行われ、一連の電気
部品装着作業の途中に行われる。ノズル交換を説明す
る。

【００６８】吸着ノズル９０の交換時には、吸着ノズル
９０を交換するノズル保持具１５２が部品吸着装着位置
に位置させられるとともに、ＸＹロボット６２により空
のノズル収容穴２５０上へ移動させられる。ノズル保持
具１５２の移動時には、ノズル収容板１９４は下降端位
置にあり、ノズル保持具１５２の移動後、収容板受台２
０４が上昇させられ、ノズル収容板１９４が上昇端位置
へ上昇させられる。

【００６９】ノズル収容板１９４の上昇に先立って、ノ
ズル有無確認センサ３９２により、ノズル収容穴２５０
が空であるか否かが検出される。ノズル収容穴２５０が
空であれば、吸着ノズル９０がノズル収容板１９４へ戻
されるが、空でなければノズル交換が停止させられると
ともに、警告装置３５８が作動させられ、異常の発生が
作業者に報知される。ノズル収容穴２５０が空ではない
にもかかわらず、ノズル収容板１９４が上昇させられ
て、ノズル収容穴２５０に保持された吸着ノズル９０と
保持軸８４に保持された吸着ノズル９０とが衝突し、損
傷することが回避される。

【００７０】ノズル収容穴２５０が空であれば、ノズル
収容板１９４が上昇させられる。ノズル収容板１９４の
上昇後、ノズル保持具１５２が昇降装置１７０により下
降させられ、吸着ノズル９０の吸着管１３４が小径穴部
２５４内に嵌入させられる。この状態では、離脱阻止板
２８０は作用位置にあり、発光板１４６は離脱阻止板２
８０の小距離上方に位置する。

【００７１】吸着管１３４の小径穴部２５４内への嵌入
後、離脱阻止板２８０がエアシリンダ３１２により退避
位置へ移動させられ、次いでノズル保持具１５２が昇降
装置１７０により下降させられ、発光板１４６が大径穴
部２５６に嵌合される。ノズル保持具１５２の下降距離
は、発光板１４６と大径穴部２５６との間の距離に、ノ
ズル収納装置１９０等の製造誤差等を考慮した値を加え
た距離とされ、余分な下降距離は、圧縮コイルスプリン
グ１０８の圧縮により吸収される。下降後、離脱阻止板
２８０がエアシリンダ３１２によって作用位置へ移動さ
せられた後、昇降駆動部材１７８がノズル保持具１５２
から吸着ノズル９０が離脱するのに十分な位置、本実施
形態においては上昇位置へ移動させられ、ノズル保持具
１５２が上昇位置へ上昇させられる。この際、離脱阻止
板２８０の離脱阻止部２８８が発光板１４６に係合して
吸着ノズル９０のノズル収容板１９４からの離脱を阻止
する。それにより吸着ノズル９０に、ばね部材１４０が
吸着ノズル９０をアダプタ１００内に引き込む引込力
（アダプタ１００が吸着ノズル９０を保持する保持力）
より大きい引抜力がアダプタ１００から離脱する向きに
加えられれば、吸着ノズル９０がアダプタ１００から外
れ、ノズル収容板１９４に収容される。

【００７２】部品吸着装着位置に位置するノズル保持具
１５２が吸着ノズル９０をノズル収容部材１９０に戻
し、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持しない
状態になれば、ノズル保持具１５２が上昇位置に復帰し
たとき、吸着ノズル９０がないため、ノズル交換確認セ
ンサ３９０は吸着ノズル９０を検出せず、吸着ノズル９
０がノズル収容板１９４に戻されたことが確認される。
ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノズル収容板１
９４に戻すために昇降させられたこと（例えば、ノズル
保持具１５２の昇降が、部品吸着装着位置に位置する状
態での１回目の昇降であること）と、吸着ノズル９０が
検出されないこととによって、吸着ノズル９０がノズル
収容板１９４に戻されたことが確認されるのである。ノ
ズル保持具１５２が昇降させられ、吸着ノズル９０をノ
ズル収容板１９４に戻す動作が行われたにもかかわら
ず、ノズル交換確認センサ３９０が吸着ノズル９０を検
出すれば、何らかの異常により、吸着ノズル９０がノズ
ル収容板１９４に戻されなかったことがわかる。その場
合、警告装置３５８が作動させられ、作業者に異常の発
生が報知される。

【００７３】ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノ
ズル収容板１９４に戻した後、ノズル収容板１９４が下
降端位置へ下降させられ、下降後、空のノズル保持具１
５２は、ＸＹロボット６２により、ノズル収容板１９４
に保持された吸着ノズル９０のうち、不良ノズルと同じ
種類の吸着ノズル９０上へ移動させられる。

【００７４】ノズル保持具１５２の移動後、ノズル収容
板１９４が上昇させられる前に、ノズル有無確認センサ
３９２により、ノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０が
収容されているか否かが検出される。吸着ノズル９０が
収容されていなければ、ノズル交換が停止させられると
ともに、警報装置３５８が作動させられて異常の発生が
作業者に報知される。ノズル有無確認センサ３９２は、
ノズル有無確認装置を構成しているのである。

【００７５】ノズル収容板１９４に吸着ノズル９０が収
容されていれば、ノズル収容板１９４が上昇端位置へ上
昇させられる。ノズル収容板１９４の上昇後、ノズル保
持具１５２が下降させられ、アダプタ１００のテーパ穴
１３８に吸着ノズル９０のテーパ部１３６が嵌合され
る。ノズル保持具１５２の下降距離は、テーパ部１３６
がテーパ穴１３８に嵌合されるのに必要な距離に、ノズ
ル収納装置１９０等の製造誤差等を加えた大きさとさ
れ、テーパ部１３６はテーパ穴１３８に確実に嵌合され
るとともにばね部材１４０により保持される。なお、余
分な下降距離は、圧縮コイルスプリング１０８の圧縮に
より吸収される。

【００７６】嵌合後、離脱阻止板２８０が退避位置へ移
動させられた後、ノズル保持具１５２が上昇位置へ上昇
させられて吸着ノズル９０がノズル収容板１９４から離
脱させられる。次いで、離脱阻止板２８０が作用位置へ
移動させられ、ノズル収容板１９４に保持された吸着ノ
ズル９０の飛出しが防止された状態でノズル収容板１９
４が下降端位置へ下降させられる。ノズル保持具１５２
が上昇位置へ移動したとき、ノズル交換確認センサ３９
０が吸着ノズル９０を検出するか否かにより、ノズル保
持具１５２が吸着ノズル９０を保持したか否かが検出さ
れる。ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持する
ための動作を行ったこと（例えば、ノズル保持具１５２
が電気部品吸着装着位置において２回目の昇降を行った
こと）と、吸着ノズル９０が検出されることとによっ
て、ノズル保持具１５２がノズル収容板１９４から吸着
ノズル９０を取り出したことがわかる。吸着ノズル９０
が検出されなければ、ノズル保持具１５２が良品ノズル
である吸着ノズル９０を保持できなかったのであり、警
告装置３５８が作動させられ、異常の発生が作業者に報
知される。ノズル交換確認センサ３９０は、ノズル交換
確認装置を構成しているのである。

【００７７】不良ノズルが良品ノズルに交換されれば、
電気部品装着機は電気部品の装着作業に復帰する。不良
ノズル交換時には、電気部品装着作業が中断されるが、
不良ノズルの発生が自動的に検出され、交換の必要があ
れば、不良ノズルが次に電気部品を吸着する前に良品ノ
ズルと自動的に交換されるため、装着作業を中断して吸
着ノズルを交換しても装着能率の低下は少なくて済む。

【００７８】従来、複数の吸着ノズルを有する電気部品
装着機においては、同じ種類の吸着ノズルが複数あれ
ば、ノズル不良発生時に不良ノズルはスキップされ、不
良ノズルによる電気部品のプリント基板への装着が行わ
れず、残りの不良でない吸着ノズルによって装着が行わ
れるとともに、ブザー等の警報により作業者にノズル不
良発生が報知され、作業者が気がつけば、不良ノズルを
良品ノズルに交換するようにされていた。しかしなが
ら、不良ノズルがスキップされれば、電気部品をプリン
ト基板に装着する吸着ノズルの数が減り、その分、装着
ヘッドがプリント基板と電気部品供給装置との間を往復
する回数が増えて装着に要する時間が増え、装着能率が
低下する。電気部品装着機が有する複数個の吸着ノズル
の種類が全部同じであれば、そのうちの１個に不良が発
生したとき、電気部品の装着を続けることができるとと
もに、装着ヘッドのプリント基板と電気部品供給装置と
の間の往復回数の増え方が小さいが、複数個の吸着ノズ
ルの種類が異なり、１つしかない吸着ノズルに不良が生
ずれば、電気部品のプリント基板への装着をやめなけれ
ばならず、装着能率が大きく低下する。また、種類が同
じ吸着ノズルが２つあっても、一方に不良が生ずれば、
装着ヘッドがプリント基板と電気部品供給装置との間を
往復する回数が倍になり、装着能率が低下する。同じ種
類の吸着ノズルの数が少ないほど、装着能率が低下する
のであり、しかも、作業者による交換は面倒であり、３
０秒以上の時間を要し、装着能率がかなり低下してい
た。それに対し、本実施形態におけるように、ノズル不
良が自動的に検出されるとともに、不良検出に基づいて
不良ノズルの良品ノズルへの交換が自動的に行われるの
であれば、交換が、作業者を煩わせることなく、迅速に
かつ容易に行われ、また、不良な吸着ノズルは、次に電
気部品を吸着する前に交換されるため、電気部品の装着
は、常に予定された全部の数の吸着ノズルによって行わ
れ、不良ノズルのスキップによる装着能率の低下が回避
され、装着時間の延びは１枚のプリント基板について例
えば３秒程度で済む。この装着能率低下の回避効果は、
同一種類の吸着ノズルの数が少ないほど大きい。

【００７９】以上の説明から明らかなように、本実施形
態において電気部品装着機２０，２２は、複数の電気部
品９２を一斉に搬送する一斉搬送式であり、ノズル不良
検出センサ３９６の投光部４０６および光源がビーム放
射装置を構成し、受光部４０８および受光素子がビーム
検出装置を構成している。Ｘ軸スライド５４，５６およ
びＹ軸スライド５８，６０が移動部材を構成し、Ｘ軸ス
ライド移動装置７１，Ｙ軸スライド移動装置および間欠
回転体６８を回転させる回転駆動装置７８が電気部品９
２を搬送するために吸着ノズル９０を移動させる搬送用
移動装置を構成している。回転駆動装置７８はまた、検
出用相対移動装置たる検出用ノズル移動装置を構成し、
ノズル不良検出センサ３９６と共にノズル不良検出装置
を構成している。また、ＸＹロボット６２，６４および
昇降装置１７０は、収容部材移動装置の一種である収容
部材昇降装置たる収容板昇降装置を構成するエアシリン
ダ２００と共に交換用相対移動装置を構成し、ノズル収
納装置１９０，１９２，ノズル保持具１５２，離脱阻止
板２８０，エアシリンダ３１２と共にノズル交換装置を
構成している。また、制御装置３３０のノズル交換装置
にノズル交換を行わせる部分がノズル交換装置制御装置
を構成している。さらに、制御装置３３０のＳ３を実行
する部分が緊急性判断手段を構成している。

【００８０】なお、ノズル不良が検出されたならば、ノ
ズル不良の履歴を記憶するようにしてもよい。例えば、
不良が生じた吸着ノズルの種類，間欠回転体６８上にお
ける保持位置，電気部品９２の装着回数等を記憶手段、
例えばコンピュータのＲＡＭに記憶しておくのである。
また、ノズル不良が検出されたならば、不良ノズルは自
動的に良品ノズルに交換されるが、この際、不良ノズル
の良品ノズルへの交換が行われていることが作業者に報
知されるようにしてもよい。

【００８１】なお、上記実施形態において、ノズル不良
は、吸着ノズル９０がノズル不良検出位置において停止
した状態で検出されるようになっていたが、吸着ノズル
とノズル不良検出センサとの相対移動中にノズル不良を
検出するようにしてもよい。吸着ノズルの移動中にノズ
ル不良を検出する例を図１６および図１７に基づいて説
明する。吸着ノズルの移動中にノズル不良を検出する場
合、ノズル不良検出センサは、吸着ノズルの隣接する２
個の停止位置の間であって、吸着ノズルがほぼ定速で移
動する部分に設けられる。この位置がノズル不良検出位
置である。ノズル不良検出センサは、例えば、投光部お
よび受光部を含む光電センサの一種である透過型センサ
により構成され、投光部が受光部に向かって発する光の
幅は、直径が最小の吸着管の直径より小さくされ、光軸
が吸着管１３４の移動軌跡と交差する状態で設けられて
いる。

【００８２】吸着管１３４がノズル不良検出位置へ移動
して来ていない状態では、投光部が発する光が受光部に
より受光される。吸着管１３４がノズル不良検出位置へ
移動して来れば、受光部の受光が妨げられる。吸着管１
３４が曲がっていてもいなくても、吸着管１３４の通過
により受光部の受光が妨げられるが、図１７のグラフに
示すように、受光部の受光が妨げられて受光量が減少す
る時期が異なる。図１６に実線で示すように、吸着管１
３４が曲がっていなければ、受光部の受光量は、吸着ノ
ズル９０の移動に対して予定された時期に減少するが、
例えば、図１６に二点鎖線で示すように、矢印Ａで示す
吸着ノズル移動方向において上流側へ曲がっていれば、
減少時期が予定された時期より遅れ、吸着管１３４に曲
がりが生じていることがわかる。吸着管１３４が折れて
いれば、受光部の受光量が少なくなる時期がなくなるた
め、吸着管１３４が折れたことがわかる。

【００８３】投光部が発する光の幅を、直径が最小であ
る吸着管の直径より小さくすれば、吸着管１３４の直径
如何によらず、曲がりを検出することができる。吸着ノ
ズルが停止した状態で不良を検出する場合は、前記実施
形態において説明したように、光の幅によっては、曲が
りを検出できない大きさの吸着管があるが、吸着ノズル
とノズル不良検出センサとを相対移動させつつ検出する
のであれば、吸着管の直径が小さくても大きくても、吸
着管の最小の直径より小さい幅の光を受光部が受光する
ことを妨げ、吸着管が検出されるとともに、吸着管が曲
がっていれば、検出時期がずれ、それにより曲がりを検
出することができるのである。間欠回転体を回転させ、
吸着ノズル９０を間欠回転体６８の回転軸線まわりに旋
回させ、ノズル不良検出センサに対して移動させる回転
駆動装置が検出用相対移動装置たる検出用ノズル移動装
置を構成している。

【００８４】ノズル不良は、撮像装置の一種であるライ
ンセンサを用いて検出してもよい。その例を図１８に基
づいて説明する。ラインセンサ４６０は、一線状、例え
ば一直線状に配列された多数の受光素子を含むＣＣＤ
（電荷結合素子）を備え、各受光素子の受光状態に応じ
た電気信号を発生させ、画像データが取得される。ライ
ンセンサ４６０は、吸着ノズルの複数の停止位置の一つ
に設けられたノズル不良検出位置に、吸着管１３４の移
動経路から外れ、吸着管１３４の軸線と直角に設けられ
ている。

【００８５】吸着ノズル９０がノズル不良検出位置に停
止すれば、図示しない照明装置により吸着管１３４に光
が照射され、その反射光がラインセンサ４６０に入光
し、吸着管１３４の像が形成される。ラインセンサ４６
０は、電気部品装着機を制御する制御装置に接続されて
おり、制御装置にラインセンサ４６０が出力する電気信
号が供給される。制御装置においては、この電気信号に
基づいて吸着ノズル９０が不良ノズルであるか否かの判
定が行われる。

【００８６】図１８に実線で示すように、吸着管１３４
が曲がっていなければ、吸着管１３４の像は、ラインセ
ンサ４６０の予め設定された位置に形成されるのに対
し、二点鎖線で示すように吸着管１３４が曲がっていれ
ば、曲がりがない場合に対してずれた位置に像が形成さ
れることから、吸着管１３４が曲がっていることがわか
る。吸着管１３４の直径によって像の大きさは変わる
が、吸着管１３４の直径如何によらず、像形成位置が設
定位置に対してずれているか否かにより、吸着管１３４
が曲がっているか否かがわかる。また、吸着管１３４が
折れていれば、像が形成されないことから、折れがわか
る。制御装置のラインセンサ４６０からの電気信号に基
づいて吸着ノズル９０が不良ノズルであるか否かの判定
を行う部分が画像処理装置を構成している。

【００８７】なお、ラインセンサと吸着ノズルとを、吸
着ノズルの軸線に平行な方向に相対移動させて曲がりを
検出するようにしてもよい。例えば、部品吸着装着位置
に、吸着ノズルの軸線に対して直角にラインセンサを設
け、吸着ノズルが昇降装置によって昇降させられる際に
吸着管を撮像してノズル不良を検出するのである。例え
ば、吸着管が曲がっていなければ、ラインセンサの同じ
位置に像が形成され、曲がっていれば、像形成位置が変
わることから吸着管が曲がっていることがわかる。吸着
ノズルの移動に対する像形成位置の変化により、吸着管
全体について曲がり具合（方向および量）がわかる。部
品吸着装着位置とは別の位置に、同様の昇降装置を設
け、吸着ノズルを昇降させ、ラインセンサに対して移動
させてもよい。これらの場合、昇降装置が検出用相対移
動装置たる検出用ノズル移動装置を構成する。

【００８８】ノズル不良検出装置を構成する撮像装置
は、吸着管１３４を面で撮像する面撮像装置としてもよ
い。その例を図１９および図２０に基づいて説明する。
面撮像装置４７０は、複数の停止位置の一つであるノズ
ル不良検出位置に設けられており、固体イメージセンサ
の一種であるＣＣＤ（電荷結合素子）を含む。面撮像装
置４７０のＣＣＤは、一平面上に多数の受光素子が一平
面状に配列されて撮像面４７２を構成し、各受光素子の
受光状態に応じた電気信号を発生させ、画像データが取
得される。面撮像装置４７０は、撮像面４７２が、ノズ
ル不良検出位置に停止させられた吸着ノズルの吸着管に
直角に対向して設けられている。面撮像装置４７０から
出力される電気信号は電気部品装着機の制御装置に供給
され、処理される。

【００８９】吸着ノズルがノズル不良検出位置に停止さ
せられれば、図示しない照明装置により吸着管１３４に
光が照射され、吸着管１３４の電気部品を吸着する吸着
面４７４からの反射光が撮像面４７２に入光し、吸着面
４７４の像４７６が形成される。吸着管１３４に曲がり
がなければ、図２０（ａ）に示すように、撮像面４７２
の撮像中心に吸着面４７４の像４７６が形成される。吸
着管１３４が曲がっていれば、図２０（ｂ）に示すよう
に、吸着面４７４の像が撮像面４７２の撮像中心からず
れた位置に形成されるため、吸着管１３４が曲がってい
ることがわかる。また、吸着面４７４が摩耗していれ
ば、摩耗部からの光の反射量が減り、図２０（ｃ）に斜
線を施して示すように、吸着面４７４の一部が不明瞭な
像４７６が形成されることから、吸着面４７４に摩耗が
生じていることがわかる。さらに、吸着面４７４に汚れ
が付着していれば、図２０（ｄ）に示すように、吸着面
４７４の像以外の像が形成されるため、汚れが付着した
ことがわかる。さらにまた、図示は省略するが、吸着管
１３４が折れれば、吸着管１３４と撮像面４７２との距
離が変わるため、撮像面４７２に像が形成されるが、全
体が不明瞭な像になるため、吸着管１３４が折れたこと
がわかる。このように面撮像装置４７０を用いれば、吸
着管１３４の直径に関係なく、曲がりおよび折れを検出
することができる上、吸着面４７４の摩耗や汚れの付着
を検出することができる。制御装置の面撮像装置４７０
から供給される電気信号を処理し、吸着ノズルが不良で
あるか否かの判定を行う部分が画像処理装置を構成して
いる。

【００９０】さらに、吸着ノズルによる電気部品の吸着
ミスを検出してノズル不良を検出してもよい。その例を
図２１にフローチャートで表されるノズル不良検出ルー
チンに基づいて説明する。吸着ノズルによる電気部品の
吸着ミスは、例えば、吸着ノズルによる電気部品の保持
姿勢を撮像することにより検出できる。前述のように、
電気部品装着機の撮像位置には電気部品撮像装置が設け
られ、吸着ノズルによる電気部品の保持姿勢が撮像され
るようになっており、この電気部品撮像装置により得ら
れる撮像データに基づいて、吸着ノズルによる電気部品
の保持位置誤差および保持方位誤差が求められるととも
に、吸着ノズルが電気部品を吸着しているか否か、吸着
していても電気部品の姿勢がプリント基板に装着可能な
姿勢であるか否かが検出される。

【００９１】ノズル不良検出ルーチンは、電気部品装着
機の制御装置を構成するコンピュータのＲＯＭに記憶さ
れており、吸着ノズルが予め設定されたＮ回（例えば１
０００回）、電気部品を吸着する間に、予め設定された
ｎ回（例えば３回）、吸着ミスが生じたか否かによって
ノズル不良が検出されるように構成されている。そのた
め、コンピュータのＲＡＭ４８０には、図２２に示すよ
うに、第１カウンタ４８２および第２カウンタ４８４が
ワーキングメモリと共に設けられている。なお、ノズル
不良検出ルーチンは、複数個の吸着ノズルの各々につい
て実行され、電気部品の吸着回数および吸着ミスの回数
は、吸着ノズル毎に記憶され、ノズル不良検出は吸着ノ
ズル毎に行われる。第１，第２カウンタ４８２，４８４
は、複数の吸着ノズルの各々について設けられている。

【００９２】Ｓ２１においては、吸着ノズルが電気部品
を保持しているべきときであるか否か、すなわち部品吸
着装着位置において電気部品を吸着した後であって、プ
リント基板に装着する前であるか否かの判定が行われ
る。吸着ノズルによる電気部品の保持姿勢あるいは保持
の有無によって不良ノズルを検出するためであり、Ｓ２
１の判定は装着プログラムに基づいて行われる。

【００９３】吸着ノズルが電気部品を保持しているべき
ときであれば、Ｓ２１の判定結果はＹＥＳになってＳ２
２が実行され、電気部品撮像装置の撮像データに基づい
て、吸着ノズルが電気部品を正常に保持しているか否
か、すなわち吸着ノズルが電気部品を保持しているか、
保持しているのであればプリント基板に装着可能な姿勢
で保持しているか否かの判定が行われる。吸着ノズルが
電気部品を保持していても、例えば、電気部品が立って
いればプリント基板に装着することができず、吸着ミス
であるからである。吸着ノズルが電気部品を正常に保持
していればＳ２２の判定結果はＹＥＳになってＳ２３が
実行され、第１カウンタ４８２のカウント値Ｃ₁ が１増
加させられる。次いでＳ２４が実行され、カウント値Ｃ
₁ が予め設定された回数Ｎ（例えば１０００回）以上に
なったか否かの判定が行われる。第１カウンタ４８２
は、吸着ノズルの電気部品の吸着回数をカウントするも
のであり、Ｓ２４の判定結果は当初はＮＯであり、ルー
チンの実行は終了する。

【００９４】吸着ノズルが電気部品を保持していない
か、あるいは保持していても正常に保持していなければ
Ｓ２２の判定結果はＮＯになってＳ２６が実行され、第
２カウンタ４８４のカウント値Ｃ₂ が１増加させられ
る。吸着ミスの回数がカウントされるのである。次いで
Ｓ２７が実行され、カウント値Ｃ₂ がｎ回以上であるか
否かの判定が行われる。第２カウンタ４８４は、吸着ノ
ズルの吸着ミスの回数をカウントするカウンタであり、
Ｓ２７では、吸着ミスが設定回数、例えば３回生じたか
否かの判定が行われる。この判定結果がＮＯであれば、
ルーチンの実行は終了する。

【００９５】吸着ノズルによる電気部品の吸着ミスがｎ
回生ずる前に、吸着ノズルによる電気部品の吸着がＮ回
行われれば、Ｓ２４の判定結果がＹＥＳになってＳ２５
が実行され、第１，第２カウンタ４８２，４８４がリセ
ットされる。吸着ノズルによる電気部品の吸着回数に制
限を設けなければ、吸着ノズルが不良でなくても、吸着
ミスの検出回数がｎ回に達することがあり得るため、吸
着回数を制限し、Ｎ回を単位としてノズル不良検出が繰
り返し行われるようにされているのである。

【００９６】吸着ノズルによる電気部品の吸着がＮ回行
われる前に吸着ノズルによる電気部品の吸着ミスがｎ回
生ずれば、吸着ノズルが不良ノズルであると判定され、
Ｓ２７の判定結果がＹＥＳになってＳ２８が実行され、
第１，第２カウンタ４８２，４８４がリセットされた
後、Ｓ２９が実行される。Ｓ２９では、電気部品の排出
の指示および不良ノズルの良品ノズルへの自動交換が指
示される。本実施形態においては、電気部品撮像装置が
吸着ミス検出装置を構成し、制御装置のＳ２１ないしＳ
２８を実行する部分が判定手段たる統計処理手段を構成
している。

【００９７】さらに、吸着ノズルの不良を、吸着ノズル
をその軸線まわりに回転させることなく、ノズル軸線と
交差する複数の方向から検出するようにしてもよい。ノ
ズル不良検出装置をビーム放射装置およびビーム検出装
置を含んで構成する場合を例に取り、図２３に基づいて
説明する。図２３には、吸着管１３４を、吸着管１３４
の軸線に直角な一平面内において互いに直交する２方向
において検出する例が図示されている。透過型の光電セ
ンサにより構成されるノズル不良検出センサ４９０は、
２組の投光部４９２および受光部４９４を含み、各組の
投光部４９２および受光部４９４は、その光軸が吸着管
１３４の軸線と直交し、吸着管１３４の移動経路４９６
を挟んで互いに反対側に位置するように設けられてお
り、２組の投光部４９２および受光部４９４は、各光軸
が互いに直交する位置に設けられている。

【００９８】このように吸着管１３４を２方向から検出
するようにすれば、吸着管１３４の方位が変更されなく
ても、吸着管１３４の曲がりを確実に検出することが可
能である。吸着管１３４が曲がっていなければ、２つの
受光部４９４の受光がいずれも吸着管１３４によって妨
げられるのに対し、吸着管１３４が曲がっていれば、２
つの受光部４９４のうち、少なくとも一方の受光部４９
４の受光が妨げられないからである。そのため、例え
ば、吸着管１３４が一方の組の投光部４９２および受光
部４９４の光軸と平行な方向に曲がっていても、他方の
組の投光部４９２および受光部４９４の光軸から外れ、
受光部４９４が受光することから、曲がりが検出され
る。

【００９９】なお、吸着ノズル９０の交換時におけるノ
ズル保持具１５２の昇降，移動，ノズル収容板１９４の
昇降および離脱阻止板２８０の移動は、吸着ノズル９
０，ノズル収容板１９４および離脱阻止板２８０が互い
に干渉しない範囲で並行して行ってもよい。例えば、吸
着ノズル９０をノズル収容板１９４に戻す際に、ノズル
保持具１５２の下降とノズル収容板１９４の上昇とを並
行して行ってもよい。あるいは保持軸８４の下降と離脱
阻止板２８０の退避位置への移動とを並行して行うよう
にしてもよい。あるいは、ノズル保持具１５２が下降さ
せられて、テーパ穴１３８が、ノズル収容板１９４に収
容された吸着ノズル９０のテーパ部１３６に嵌合された
後、ノズル保持具１５２の上昇と間欠回転体６８の回転
およびＸＹロボット６０，６２による移動とを並行して
行ってもよく、この際、更にノズル収容板１９４の下降
を並行して行ってもよい。

【０１００】また、上記各実施形態においては、ノズル
保持具１５２の昇降およびノズル収容板１９４（収容板
受台２０４）の昇降により、ノズル保持具１５２とノズ
ル収容板１９４との間で吸着ノズル９０の交換が行われ
るようにされていたが、ノズル収容板１９４は昇降させ
ず、ノズル保持具１５２のみを昇降させて吸着ノズル９
０の交換が行われるようにしてもよい。

【０１０１】さらに、上記各実施形態においては、ノズ
ル交換確認センサ３９０がノズル保持具１５２と共にＸ
スライド５４に設けられ、ノズル保持具１５２が吸着ノ
ズル９０をノズル収容板１９４に戻し、ノズル収容板１
９４から新たに吸着ノズル９０を受け取ったか否かが、
ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持しているか
否かにより検出されるようになっており、ノズル保持具
１５２がＸＹロボット６２，６４によって移動させられ
ている間に吸着ノズル９０が交換されたか否かを確認す
ることができるが、ノズル収容板１９４のノズル収容穴
２５０に吸着ノズル９０があるか否かを確認するノズル
有無確認センサ３９２によってもノズル交換を確認する
ことが可能である。ノズル保持具１５２が吸着ノズル９
０をノズル収容板１９４に戻す動作を行った後、ノズル
収容板１９４において吸着ノズル９０が検出されれば、
吸着ノズル９０はノズル収容板１９４に戻されたのであ
り、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノズル収容
板１９４から取り出す動作を行った後、ノズル収容板１
９４において吸着ノズル９０が検出されなければ、ノズ
ル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持したのである。

【０１０２】また、本発明は、一軸線まわりに回転可能
な回転体に複数個の吸着ノズルが取り付けられ、回転体
の回転により複数個の吸着ノズルが順次、電気部品を吸
着し、搬送して回路基材に装着する電気部品装着機にも
適用することができる。例えば、特開平６−３４２９９
８号公報に記載の電気部品装着機においては、一軸線ま
わりに回転可能な回転体に、その回転軸線を中心とする
一円周上に複数組の部品吸着ユニットが設けられてお
り、それら部品吸着ユニットが部品吸着位置，部品装着
位置に停止させられて電気部品を吸着し、装着するので
あるが、複数組の部品吸着ユニットはそれぞれ、複数個
ずつの吸着ノズルを有し、それら吸着ノズルが電気部品
の吸着，装着に選択的に使用されるようになっている。
そのため、複数組の部品吸着ユニットの各々において電
気部品の吸着，装着に使用される吸着ノズルの選択によ
り、電気部品装着機において電気部品の吸着，装着に使
用される複数の吸着ノズルの組合わせを適宜に設定する
ことができ、複数組の部品吸着ユニットのうちの１つに
ついてノズル不良が発生しても、別の部品吸着ユニット
において、ノズル不良が発生した吸着ノズルと同じ種類
の吸着ノズルを電気部品の吸着，装着に使用することに
より、電気部品の吸着，装着を続けることができる。し
かし、この場合には、不良ノズルはスキップされ、電気
部品の吸着，装着に使用されないため、電気部品装着機
において電気部品の吸着，装着に使用される吸着ノズル
の数が減り、装着能率が低下する。それに対し、ノズル
不良を検出し、一連の電気部品装着作業を中断して不良
ノズルを良品ノズルに交換すれば、交換後は予定された
全部の数の吸着ノズルを用いて電気部品の吸着，装着を
行うことができ、不良ノズルのスキップによる電気部品
装着能率の低下が回避される。

【０１０３】以上、本発明の実施形態を詳細に説明した
が、これは文字通り例示であり、本発明は、前記〔発明
が解決しようとする課題，課題解決手段および効果〕の
項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づ
いて種々の変更、改良を施した形態で実施することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態である電気部品装着機を備
え、本発明の一実施形態である電気部品装着方法が実施
される電気部品装着システムを概略的に示す平面図であ
る。

【図２】上記電気部品装着機を構成する間欠回転体の要
部を示す正面断面図である。

【図３】上記間欠回転体に保持された吸着ノズルをノズ
ル保持具と共に示す正面断面図である。

【図４】上記電気部品装着機に設けられたノズル交換確
認センサおよびノズル有無確認センサを概略的に示す正
面図である。

【図５】上記電気部品装着機に設けられたノズル不良検
出センサを示す正面図である。

【図６】上記電気部品装着機に設けられたノズル交換装
置のノズル収納装置を示す正面図（一部断面）である

【図７】上記ノズル収納装置を示す側面断面図である。

【図８】上記ノズル収納装置の構成要素であるノズル収
容板を示す平面図である。

【図９】上記ノズル収容板に設けられたノズル収容穴を
示す正面断面図である。

【図１０】上記ノズル収容板を作用位置に位置する離脱
阻止板と共に示す平面図である。

【図１１】上記ノズル収容板を退避位置に位置する離脱
阻止板と共に示す平面図である。

【図１２】上記ノズル収容板を離脱阻止板と共に示す正
面図（一部断面）である。

【図１３】上記ノズル収容板に立設されたピンが離脱阻
止板の長穴に嵌合された状態を示す側面断面図である。

【図１４】上記電気部品装着システムを制御する制御装
置のうち、本発明に関連の深い部分を概略的に示すブロ
ック図である。

【図１５】上記制御装置を構成するコンピュータのＲＯ
Ｍに記憶されたノズル不良検出ルーチンを表すフローチ
ャートである。

【図１６】本発明の別の実施形態である電気部品装着機
のノズル不良検出装置の構成を概略的に説明する図であ
る。

【図１７】図１６により説明されるノズル不良検出装置
によるノズル不良の検出を説明するためのグラフであ
る。

【図１８】本発明の更に別の実施形態である電気部品装
着機のノズル不良検出装置を構成するラインセンサを概
略的に示す図である。

【図１９】本発明の更に別の実施形態である電気部品装
着機のノズル不良検出装置を構成する面撮像装置を概略
的に示す図である。

【図２０】図１９に示す面撮像装置を用いたノズル不良
の検出を説明する図である。

【図２１】本発明の更に別の実施形態である電気部品装
着機の制御装置のコンピュータのＲＯＭに記憶されたノ
ズル不良検出ルーチンを表すフローチャートである。

【図２２】図２１に示すノズル不良検出ルーチンを実行
するためのコンピュータのＲＡＭを構成示す図である。

【図２３】本発明の更に別の実施形態である電気部品装
着機のノズル不良検出装置を構成するノズル不良検出セ
ンサを概略的に示す平面図である。

【符号の説明】

２０，２２：電気部品装着機 ３２：プリント基板
６８：間欠回転体 ６２，６４：ＸＹロボット ９０：吸着ノズル ９
２：電気部品 １５２：ノズル保持具 １９０，１
９２：ノズル収納装置 １９４：ノズル収容板 ２
５０：ノズル収容穴 ２８０：離脱阻止板 ３３
０：制御装置 ３９６：ノズル不良検出センサ ４６０：ラインセン
サ ４７０：面撮像装置 ４９０：ノズル不良検出
センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 児玉 次郎 愛知県知立市山町茶碓山19番地 富士機械 製造株式会社内 (72)発明者 安田 公彦 愛知県知立市山町茶碓山19番地 富士機械 製造株式会社内 Ｆターム(参考） 5E313 AA02 AA11 CC03 CC04 CD04 EE02 EE03 EE24 EE34 EE50 FG01

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸着ノズルに電気部品を吸着して搬送
   し、回路基材に装着する電気部品装着機において、 前記吸着ノズルが不良ノズルであることを検出するノズ
   ル不良検出装置と、 そのノズル不良検出装置により検出された不良ノズルを
   自動で良品ノズルと交換するノズル交換装置とを設けた
   ことを特徴とする電気部品装着機。
2. 【請求項２】 当該電気部品装着機が、前記ノズル不良
   検出装置により吸着ノズルが不良ノズルであることが検
   出された場合に、ノズル不良が検出されない限り連続し
   て行うことが予定されていた電気部品装着作業の途中
   で、前記ノズル交換装置にノズル交換を行わせるノズル
   交換装置制御装置を含む請求項１に記載の電気部品装着
   機。
3. 【請求項３】 当該電気部品装着機が、１枚の回路基材
   に複数の電気部品を装着するものであり、前記ノズル交
   換装置制御装置が、１枚の回路基材に対する電気部品の
   装着作業の途中で前記ノズル交換装置にノズル交換を行
   わせるものである請求項２に記載の電気部品装着機。
4. 【請求項４】 当該電気部品装着機が、１個の移動部材
   に複数個の吸着ノズルが取り付けられ、それら複数個の
   吸着ノズルの各々に１個ずつの電気部品を保持し、移動
   部材の移動に伴ってそれら複数の電気部品を一斉に搬送
   する一斉搬送式である請求項１ないし３のいずれか１つ
   に記載の電気部品装着機。
5. 【請求項５】 吸着ノズルに電気部品を吸着して搬送
   し、回路基材に装着する電気部品装着方法であって、 前記吸着ノズルが不良ノズルであることを検出するノズ
   ル不良検出行程と、そのノズル不良検出行程において検
   出された不良ノズルを自動で良品ノズルと交換するノズ
   ル交換行程とを含むことを特徴とする電気部品装着方
   法。
6. 【請求項６】 予め設定された複数枚の回路基材にそれ
   ぞれ複数の電気部品を予め定められた装着プログラムに
   基づいて装着する一連の電気部品装着作業を実行する方
   法であって、 前記一連の作業の途中で、不良ノズルと良品ノズルとの
   交換を実施する作業途中ノズル交換を行うことを特徴と
   する電気部品装着方法。