JP2000247619A - 柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法 - Google Patents
柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法Info
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- JP2000247619A JP2000247619A JP11050016A JP5001699A JP2000247619A JP 2000247619 A JP2000247619 A JP 2000247619A JP 11050016 A JP11050016 A JP 11050016A JP 5001699 A JP5001699 A JP 5001699A JP 2000247619 A JP2000247619 A JP 2000247619A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 焼成後の厚さを効率良く制御することによ
り、折れ曲げに強く柔軟性に富むグラファイトシートを
再現性良く製造することを目的とする。 【解決手段】 ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室
温から昇温し、２５００℃以上の温度で焼成してグラフ
ァイトシートを製造する熱処理工程において、１８００
℃から２５００℃の間の一定温度で一定時間保持するこ
とにより、焼成後の厚さを効率よく制御することができ
るため、再現性良く柔軟性、強靱性に富み、熱伝導性に
優れたグラファイトシートを得ることができる。
り、折れ曲げに強く柔軟性に富むグラファイトシートを
再現性良く製造することを目的とする。 【解決手段】 ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室
温から昇温し、２５００℃以上の温度で焼成してグラフ
ァイトシートを製造する熱処理工程において、１８００
℃から２５００℃の間の一定温度で一定時間保持するこ
とにより、焼成後の厚さを効率よく制御することができ
るため、再現性良く柔軟性、強靱性に富み、熱伝導性に
優れたグラファイトシートを得ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電気伝導体あるいは
熱伝導体として放熱材、均熱材に利用される柔軟性のあ
るグラファイトシートの製造方法に関するものである。
熱伝導体として放熱材、均熱材に利用される柔軟性のあ
るグラファイトシートの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ポリイミドフィルムを熱処理及び圧延処
理によって柔軟性のあるグラファイトシートを直接的に
得る方法がすでに特公平１−４９６４２号公報で知られ
ている。このシートの特性としては単結晶グラファイト
と同様なものを持ち、鱗片状の剥離や、残留酸などの問
題が無く、高品質で折れ曲げに強く柔軟性に富む熱伝導
性に優れた、グラファイトシートが得られる。
理によって柔軟性のあるグラファイトシートを直接的に
得る方法がすでに特公平１−４９６４２号公報で知られ
ている。このシートの特性としては単結晶グラファイト
と同様なものを持ち、鱗片状の剥離や、残留酸などの問
題が無く、高品質で折れ曲げに強く柔軟性に富む熱伝導
性に優れた、グラファイトシートが得られる。
【０００３】グラファイトシートの製造方法は、原料と
してはグラファイト化反応が可能である縮合系芳香族高
分子フィルムの中でも芳香族系ポリイミド高分子フィル
ムを選択し、窒素やＡｒなどの不活性ガス雰囲気中で予
備熱処理を行い、その後、さらに同じく不活性ガス雰囲
気中で、ある昇温速度で高温熱処理を行う。
してはグラファイト化反応が可能である縮合系芳香族高
分子フィルムの中でも芳香族系ポリイミド高分子フィル
ムを選択し、窒素やＡｒなどの不活性ガス雰囲気中で予
備熱処理を行い、その後、さらに同じく不活性ガス雰囲
気中で、ある昇温速度で高温熱処理を行う。
【０００４】この時の予備熱処理と高温熱処理時の昇温
速度などの焼成条件を制御することによって、焼成後の
厚さを制御したグラファイトシートを作製することがで
き、焼成後の厚さが原料のポリイミドフィルムより厚い
ことにより、折れ曲げに強く柔軟性に富むグラファイト
シートとなる。
速度などの焼成条件を制御することによって、焼成後の
厚さを制御したグラファイトシートを作製することがで
き、焼成後の厚さが原料のポリイミドフィルムより厚い
ことにより、折れ曲げに強く柔軟性に富むグラファイト
シートとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】これらの発明により、
予備熱処理と高温熱処理時の昇温速度等の焼成条件を制
御することによって、焼成後の厚さを制御したグラファ
イトシートを作製することができる。しかしながら、焼
成条件には多数のパラメータがあるために、これらを制
御することが必要であり、うまく焼成条件を制御できな
いと、焼成後のグラファイトはボロボロになりシート形
状とならなかったり、十分に厚くならず柔軟性をもたせ
ることが困難となる。
予備熱処理と高温熱処理時の昇温速度等の焼成条件を制
御することによって、焼成後の厚さを制御したグラファ
イトシートを作製することができる。しかしながら、焼
成条件には多数のパラメータがあるために、これらを制
御することが必要であり、うまく焼成条件を制御できな
いと、焼成後のグラファイトはボロボロになりシート形
状とならなかったり、十分に厚くならず柔軟性をもたせ
ることが困難となる。
【０００６】本発明はこれらの課題を解決するためにな
されたもので、ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室
温から昇温し、２５００℃以上の温度で焼成してグラフ
ァイトシートを製造する熱処理工程において、１８００
℃から２５００℃の間の一定温度で一定時間保持するこ
とにより、焼成後の厚さを制御することを目的とするも
のである。
されたもので、ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室
温から昇温し、２５００℃以上の温度で焼成してグラフ
ァイトシートを製造する熱処理工程において、１８００
℃から２５００℃の間の一定温度で一定時間保持するこ
とにより、焼成後の厚さを制御することを目的とするも
のである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室温
からある昇温速度で２５００℃以上の最高焼成温度まで
昇温させ焼成してグラファイトシートを製造する熱処理
工程において、１８００℃から２５００℃の間の一定温
度で一定時間保持することより、効率良く焼成後の厚さ
を制御でき、折れ曲げに強く柔軟性に富むグラファイト
シートを再現性良く製造することができる。
に本発明は、ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室温
からある昇温速度で２５００℃以上の最高焼成温度まで
昇温させ焼成してグラファイトシートを製造する熱処理
工程において、１８００℃から２５００℃の間の一定温
度で一定時間保持することより、効率良く焼成後の厚さ
を制御でき、折れ曲げに強く柔軟性に富むグラファイト
シートを再現性良く製造することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】請求項１に記載の本発明は、ポリ
イミドフィルムを不活性ガス中で室温から昇温し２５０
０℃以上の温度で焼成してグラファイトシートを製造す
る熱処理工程において、１８００℃から２５００℃の間
の一定温度で一定時間保持することにより、焼成後の厚
さを制御することを特徴とする柔軟性のあるグラファイ
トシートの製造方法である。このような構成により、焼
成後の厚さを制御することができるため、柔軟性、強靱
性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシートを得る
ことができる。
イミドフィルムを不活性ガス中で室温から昇温し２５０
０℃以上の温度で焼成してグラファイトシートを製造す
る熱処理工程において、１８００℃から２５００℃の間
の一定温度で一定時間保持することにより、焼成後の厚
さを制御することを特徴とする柔軟性のあるグラファイ
トシートの製造方法である。このような構成により、焼
成後の厚さを制御することができるため、柔軟性、強靱
性に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシートを得る
ことができる。
【０００９】請求項２に記載のように、昇温速度が３０
℃／ｍｉｎ以下のいずれかの昇温速度の組み合わせから
なることが望ましい。
℃／ｍｉｎ以下のいずれかの昇温速度の組み合わせから
なることが望ましい。
【００１０】請求項３に記載のように、１８００℃から
２５００℃の間での一定温度での保持時間が２０時間以
下とすることにより、焼成後の厚さを制御することがで
きる。
２５００℃の間での一定温度での保持時間が２０時間以
下とすることにより、焼成後の厚さを制御することがで
きる。
【００１１】請求項４に記載のように、１８００℃から
２５００℃の間の２つ以上の一定温度で一定時間保持す
ることも可能である。
２５００℃の間の２つ以上の一定温度で一定時間保持す
ることも可能である。
【００１２】また、請求項５に記載のように、１８００
℃から２５００℃の間の温度領域の一部または全部を
０．１℃／ｍｉｎから１℃／ｍｉｎの間の昇温速度で昇
温することも可能である。
℃から２５００℃の間の温度領域の一部または全部を
０．１℃／ｍｉｎから１℃／ｍｉｎの間の昇温速度で昇
温することも可能である。
【００１３】また、請求項６に記載のように、温度２５
００℃以上での最高熱処理温度の保持時間が２０時間以
下とすることにより、焼成後の厚さを制御することがで
きる。
００℃以上での最高熱処理温度の保持時間が２０時間以
下とすることにより、焼成後の厚さを制御することがで
きる。
【００１４】請求項７に記載のように熱処理工程が室温
から昇温して温度１０００℃から１６００℃まで焼成す
る予備熱処理工程と、その後さらに室温から温度２５０
０℃以上の最高焼成温度で焼成する高温熱処理工程との
組み合わせからなることも可能である。
から昇温して温度１０００℃から１６００℃まで焼成す
る予備熱処理工程と、その後さらに室温から温度２５０
０℃以上の最高焼成温度で焼成する高温熱処理工程との
組み合わせからなることも可能である。
【００１５】請求項８に記載のように、焼成後のグラフ
ァイトシートの厚さは、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚いことが望ましい。このようなシートは柔
軟性、強靱性に優れたシートとなる。
ァイトシートの厚さは、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚いことが望ましい。このようなシートは柔
軟性、強靱性に優れたシートとなる。
【００１６】請求項９に記載のように、出発原料である
ポリイミドフィルムの膜厚が５０μm以上３００μｍ以
下であることが好適である。
ポリイミドフィルムの膜厚が５０μm以上３００μｍ以
下であることが好適である。
【００１７】さらに、請求項１０に記載のように、焼成
後のグラファイトシートを圧延処理することによりグラ
ファイトシートの柔軟性や均質性を向上させても良い。
後のグラファイトシートを圧延処理することによりグラ
ファイトシートの柔軟性や均質性を向上させても良い。
【００１８】（実施例１）出発原料のポリイミドフィル
ムとして、東レ・デュポン社製（商品名カプトン）の厚
さ１２５μｍのものを用いて実験を行った。予備熱処理
として、窒素雰囲気中で昇温速度を５℃／ｍｉｎで最高
処理温度を１２００℃まで上げ、１２００℃で２時間保
持した後、室温まで温度を下げて取り出した。さらに高
温熱処理として、Ａｒガス雰囲気下で昇温速度を５℃／
ｍｉｎとして、２２００℃まで上昇させ２２００℃で１
時間保持した後、さらに昇温速度を５℃／ｍｉｎとし
て、最高処理温度２７００℃まで上昇させ、２７００℃
で１時間保持した後に、室温まで温度を下げて熱処理を
行った。
ムとして、東レ・デュポン社製（商品名カプトン）の厚
さ１２５μｍのものを用いて実験を行った。予備熱処理
として、窒素雰囲気中で昇温速度を５℃／ｍｉｎで最高
処理温度を１２００℃まで上げ、１２００℃で２時間保
持した後、室温まで温度を下げて取り出した。さらに高
温熱処理として、Ａｒガス雰囲気下で昇温速度を５℃／
ｍｉｎとして、２２００℃まで上昇させ２２００℃で１
時間保持した後、さらに昇温速度を５℃／ｍｉｎとし
て、最高処理温度２７００℃まで上昇させ、２７００℃
で１時間保持した後に、室温まで温度を下げて熱処理を
行った。
【００１９】このようにして熱処理を行い焼成したグラ
ファイトシートの厚さは約５００μｍであり、出発原料
のポリイミドフィルムの厚さより厚い状態にあった。こ
のグラファイトシートは折り曲げが可能で柔軟性を持っ
ていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処理す
ることにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚さ等
の均質性が向上した。
ファイトシートの厚さは約５００μｍであり、出発原料
のポリイミドフィルムの厚さより厚い状態にあった。こ
のグラファイトシートは折り曲げが可能で柔軟性を持っ
ていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処理す
ることにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚さ等
の均質性が向上した。
【００２０】（実施例２）本実施例では、高温熱処理で
の２２００℃での保持時間をなしとさせたこと以外には
実施例１と同様の熱処理工程によりグラファイトシート
を作製した。このようにして熱処理を行い焼成したグラ
ファイトはボロボロとなりシート形状とはならなかっ
た。
の２２００℃での保持時間をなしとさせたこと以外には
実施例１と同様の熱処理工程によりグラファイトシート
を作製した。このようにして熱処理を行い焼成したグラ
ファイトはボロボロとなりシート形状とはならなかっ
た。
【００２１】（実施例３）本実施例では、高温熱処理で
の２２００℃での保持時間を４及び８時間とさせたこと
以外には実施例１と同様の熱処理工程によりグラファイ
トシートを作製した。このようにして熱処理を行い焼成
したグラファイトシートの膜厚は、２２００℃で４時間
保持したグラファイトシートでは約３５０μm、２２０
０℃で８時間保持したグラファイトシートでは約２５０
μｍであり、２２００℃での保持時間を制御することに
より、焼成後の厚さを制御することができた。これらの
グラファイトシートは、いずれも出発原料のポリイミド
フィルムの厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で
柔軟性を持っていた。さらに、このグラファイトシート
を圧延処理することにより、圧延前に比較して柔軟性が
向上し厚さ等の均質性が向上した。
の２２００℃での保持時間を４及び８時間とさせたこと
以外には実施例１と同様の熱処理工程によりグラファイ
トシートを作製した。このようにして熱処理を行い焼成
したグラファイトシートの膜厚は、２２００℃で４時間
保持したグラファイトシートでは約３５０μm、２２０
０℃で８時間保持したグラファイトシートでは約２５０
μｍであり、２２００℃での保持時間を制御することに
より、焼成後の厚さを制御することができた。これらの
グラファイトシートは、いずれも出発原料のポリイミド
フィルムの厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で
柔軟性を持っていた。さらに、このグラファイトシート
を圧延処理することにより、圧延前に比較して柔軟性が
向上し厚さ等の均質性が向上した。
【００２２】（実施例４）本実施例では、予備熱処理及
び２２００℃までの高温熱処理での昇温速度を１０℃／
ｍｉｎとした以外には実施例１と同様の熱処理工程によ
りグラファイトシートを作製した。このようにして熱処
理を行い焼成したグラファイトシートの膜厚は約２００
μmであった。柔軟性はあるものの、実施例１に比較す
ると柔軟性は乏しかった。
び２２００℃までの高温熱処理での昇温速度を１０℃／
ｍｉｎとした以外には実施例１と同様の熱処理工程によ
りグラファイトシートを作製した。このようにして熱処
理を行い焼成したグラファイトシートの膜厚は約２００
μmであった。柔軟性はあるものの、実施例１に比較す
ると柔軟性は乏しかった。
【００２３】（実施例５）本実施例では、高温処理の最
高熱処理温度を２９００℃としたこと以外は、実施の形
態４と同様にグラファイトシートを作製した。このよう
にして熱処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さ
は約５００μmであり、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を
持っていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処
理することにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚
さ等の均質性が向上した。
高熱処理温度を２９００℃としたこと以外は、実施の形
態４と同様にグラファイトシートを作製した。このよう
にして熱処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さ
は約５００μmであり、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を
持っていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処
理することにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚
さ等の均質性が向上した。
【００２４】（実施例６）本実施例では、高温熱処理工
程中の保持温度を２０００℃及び２４００℃とさせたこ
と以外には実施例１と同様にグラファイトシートを作製
した。このようにして熱処理を行い焼成したグラファイ
トシートの厚さは保持温度が２０００℃では約５５０μ
mであり、２４００℃では約４５０μmであり、出発原料
のポリイミドフィルムの厚さより厚い状態にあり、折り
曲げが可能で柔軟性を持っていた。さらに、このグラフ
ァイトシートを圧延処理することにより、圧延前に比較
して柔軟性が向上し厚さ等の均質性が向上した。
程中の保持温度を２０００℃及び２４００℃とさせたこ
と以外には実施例１と同様にグラファイトシートを作製
した。このようにして熱処理を行い焼成したグラファイ
トシートの厚さは保持温度が２０００℃では約５５０μ
mであり、２４００℃では約４５０μmであり、出発原料
のポリイミドフィルムの厚さより厚い状態にあり、折り
曲げが可能で柔軟性を持っていた。さらに、このグラフ
ァイトシートを圧延処理することにより、圧延前に比較
して柔軟性が向上し厚さ等の均質性が向上した。
【００２５】（実施例７）本実施例では、高温熱処理工
程中において２２００℃で１時間の保持を行なう代わり
に、２１５０℃〜２２５０℃の間の温度を０．５℃／ｍ
ｉｎの昇温速度で昇温させたこと以外には実施例１と同
様にグラファイトシートを作製した。このようにして熱
処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さは約４５
０μmであり、出発原料のポリイミドフィルムの厚さよ
り厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を持ってい
た。さらに、このグラファイトシートを圧延処理するこ
とにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚さ等の均
質性が向上した。
程中において２２００℃で１時間の保持を行なう代わり
に、２１５０℃〜２２５０℃の間の温度を０．５℃／ｍ
ｉｎの昇温速度で昇温させたこと以外には実施例１と同
様にグラファイトシートを作製した。このようにして熱
処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さは約４５
０μmであり、出発原料のポリイミドフィルムの厚さよ
り厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を持ってい
た。さらに、このグラファイトシートを圧延処理するこ
とにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚さ等の均
質性が向上した。
【００２６】（実施例８）本実施例では、出発原料のポ
リイミドフィルムとして、東レ・デュポン社製（商品名
カプトン）の厚さ７５μｍのものを用いた以外には実施
例５と同様にグラファイトシートを作製した。このよう
にして熱処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さ
は約１５０μmであり、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を
持っていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処
理することにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚
さ等の均質性が向上した。
リイミドフィルムとして、東レ・デュポン社製（商品名
カプトン）の厚さ７５μｍのものを用いた以外には実施
例５と同様にグラファイトシートを作製した。このよう
にして熱処理を行い焼成したグラファイトシートの厚さ
は約１５０μmであり、出発原料のポリイミドフィルム
の厚さより厚い状態にあり、折り曲げが可能で柔軟性を
持っていた。さらに、このグラファイトシートを圧延処
理することにより、圧延前に比較して柔軟性が向上し厚
さ等の均質性が向上した。
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ポリイミ
ドフィルムを不活性ガス中で室温から昇温し２５００℃
以上の温度で焼成してグラファイトシートを製造する熱
処理工程において、１８００℃から２５００℃の間の一
定温度で一定時間保持することにより、焼成後の厚さを
制御することができ、焼成後にボロボロになってシート
形状とならなかったり、十分に厚くならずに柔軟性をも
たなかったりすることなく、再現性良く柔軟性、強靱性
に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシートを得るこ
とができる。
ドフィルムを不活性ガス中で室温から昇温し２５００℃
以上の温度で焼成してグラファイトシートを製造する熱
処理工程において、１８００℃から２５００℃の間の一
定温度で一定時間保持することにより、焼成後の厚さを
制御することができ、焼成後にボロボロになってシート
形状とならなかったり、十分に厚くならずに柔軟性をも
たなかったりすることなく、再現性良く柔軟性、強靱性
に富み、熱伝導性に優れたグラファイトシートを得るこ
とができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大木 芳正 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内 (72)発明者 土屋 宗次 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内 Ｆターム(参考） 4G046 EA03 EB02 EB04 EC03 EC05
Claims (10)
- 【請求項１】 ポリイミドフィルムを不活性ガス中で室
温から昇温し、２５００℃以上の温度で焼成してグラフ
ァイトシートを製造する熱処理工程において、１８００
℃から２５００℃の間の一定温度で一定時間保持するこ
とにより、焼成後の厚さを制御することを特徴とする柔
軟性のあるグラファイトシートの製造方法。 - 【請求項２】 昇温速度が３０℃／ｍｉｎ以下のいずれ
かの昇温速度の組み合わせからなる請求項１に記載の柔
軟性のあるグラファイトシートの製造方法。 - 【請求項３】 １８００℃から２５００℃の間での一定
温度での保持時間が２０時間以下からなる請求項１また
は２に記載の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方
法。 - 【請求項４】 １８００℃から２５００℃の間の２つ以
上の一定温度で一定時間保持することからなる請求項１
から３のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイトシ
ートの製造方法。 - 【請求項５】 １８００℃から２５００℃の間の温度領
域の一部または全部を０．１℃／ｍｉｎから１℃／ｍｉ
ｎの間の昇温速度で昇温することを特徴とする請求項１
から４のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイトシ
ートの製造方法。 - 【請求項６】 温度２５００℃以上での最高熱処理温度
の保持時間が２０時間以下である請求項１から５のいず
れかに記載の柔軟性のあるグラファイトシートの製造方
法。 - 【請求項７】 ポリイミドフィルムを不活性ガス中で２
５００℃以上の温度で焼成してグラファイトシートを製
造する熱処理工程が、室温から昇温して温度１０００℃
から１６００℃の間の温度まで焼成する予備熱処理工程
と、その後さらに室温から昇温して２５００℃以上の最
高熱処理温度で焼成する高温熱処理工程からなる請求項
１から６のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイト
シートの製造方法。 - 【請求項８】 焼成後のグラファイトシートの厚さが、
出発原料のポリイミドフィルムの厚さより厚いことを特
徴とする請求項１から７のいずれかに記載の柔軟性のあ
るグラファイトシートの製造方法。 - 【請求項９】 出発原料であるポリイミドフィルムの膜
厚が５０μm以上３００μｍ以下である請求項１から８
のいずれかに記載の柔軟性のあるグラファイトシートの
製造方法。 - 【請求項１０】 焼成後のグラファイトシートを圧延処
理する工程を有する請求項１から９のいずれかに記載の
柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11050016A JP2000247619A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11050016A JP2000247619A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000247619A true JP2000247619A (ja) | 2000-09-12 |
| JP2000247619A5 JP2000247619A5 (ja) | 2006-12-07 |
Family
ID=12847214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11050016A Withdrawn JP2000247619A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 柔軟性のあるグラファイトシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000247619A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020101122A1 (ko) * | 2018-11-16 | 2020-05-22 | 에스케이씨코오롱피아이 주식회사 | 고후도 그라파이트 시트의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 고후도 그라파이트 시트 |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP11050016A patent/JP2000247619A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020101122A1 (ko) * | 2018-11-16 | 2020-05-22 | 에스케이씨코오롱피아이 주식회사 | 고후도 그라파이트 시트의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 고후도 그라파이트 시트 |
| KR20200057314A (ko) * | 2018-11-16 | 2020-05-26 | 에스케이씨코오롱피아이 주식회사 | 고후도 그라파이트 시트의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 고후도 그라파이트 시트 |
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