JPH0717468B2 - 熱分解炭素被覆黒鉛材の製造法 - Google Patents
熱分解炭素被覆黒鉛材の製造法Info
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- JPH0717468B2 JPH0717468B2 JP62042177A JP4217787A JPH0717468B2 JP H0717468 B2 JPH0717468 B2 JP H0717468B2 JP 62042177 A JP62042177 A JP 62042177A JP 4217787 A JP4217787 A JP 4217787A JP H0717468 B2 JPH0717468 B2 JP H0717468B2
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- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は各種用途に用いられる寿命の長い熱分解炭素被
覆黒鉛材の製造法に関する。
覆黒鉛材の製造法に関する。
（従来の技術） 熱分解炭素被覆黒鉛材の製造法は通常熱CVD法であり，
その被覆温度は400−2100℃である。被覆される熱分解
炭素の膜のかさ密度は1.4〜2.2g/cm3であり，結晶子の
大きさLc(002)は10〜150Åの範囲である。被覆温度の低
い例としては特公昭56−35603号公報に示されるハロゲ
ン化炭化水素を原料とし,400−1000℃で被覆する方法が
あり，高い温度の例としては，特公昭47−1003号公報に
示される初めに1100−1600℃で，次いで1600−2100℃で
被覆する方法がある。また熱分解黒鉛の製造法は熱分解
炭素被覆黒鉛材の製造法と類似しているが，熱分解黒鉛
は膜を厚くつけて基材から剥離させて製造するもので，
膜が剥離すると製品とならない被覆材とは本質的に異な
るものである。
その被覆温度は400−2100℃である。被覆される熱分解
炭素の膜のかさ密度は1.4〜2.2g/cm3であり，結晶子の
大きさLc(002)は10〜150Åの範囲である。被覆温度の低
い例としては特公昭56−35603号公報に示されるハロゲ
ン化炭化水素を原料とし,400−1000℃で被覆する方法が
あり，高い温度の例としては，特公昭47−1003号公報に
示される初めに1100−1600℃で，次いで1600−2100℃で
被覆する方法がある。また熱分解黒鉛の製造法は熱分解
炭素被覆黒鉛材の製造法と類似しているが，熱分解黒鉛
は膜を厚くつけて基材から剥離させて製造するもので，
膜が剥離すると製品とならない被覆材とは本質的に異な
るものである。
（発明が解決しようとする問題点） 炭素材料は酸化に対して抵抗力が小さい欠点がある。炭
素材料に熱分解炭素を被覆すると耐酸化性は向上する
が，従来の400〜2100℃で熱分解炭素を被覆した黒鉛材
料ではその耐酸化性は不十分である。このため各種ヒー
タ，るつぼ，治具として使用した場合，寿命が期待する
程長くない問題点がある。
素材料に熱分解炭素を被覆すると耐酸化性は向上する
が，従来の400〜2100℃で熱分解炭素を被覆した黒鉛材
料ではその耐酸化性は不十分である。このため各種ヒー
タ，るつぼ，治具として使用した場合，寿命が期待する
程長くない問題点がある。
熱分解炭素は炭素材料であるため酸化を本質的に防止す
ることはできないが，耐酸化性をさらに向上させること
は可能である。また耐酸化性を向上させることにより種
々の化学物質との反応性も同様に向上すると考えられ
る。
ることはできないが，耐酸化性をさらに向上させること
は可能である。また耐酸化性を向上させることにより種
々の化学物質との反応性も同様に向上すると考えられ
る。
本発明は従来材のこのような問題点を改善し，耐酸化
性，耐反応性のさらに良好な熱分解炭素被覆黒鉛材の製
造法を提供することを目的とするものである。
性，耐反応性のさらに良好な熱分解炭素被覆黒鉛材の製
造法を提供することを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段） 本発明者らは熱分解炭素の耐酸化性について研究を重ね
た結果,1600−2200℃の温度で2.0g/cm3以上のかさ密度
を有する熱分解炭素を被覆した後，さらに2500℃以上の
温度で熱処理することにより耐酸化性を大幅に向上でき
ることを見出した。
た結果,1600−2200℃の温度で2.0g/cm3以上のかさ密度
を有する熱分解炭素を被覆した後，さらに2500℃以上の
温度で熱処理することにより耐酸化性を大幅に向上でき
ることを見出した。
本発明は黒鉛基材に1600−2200℃の温度で2.0g/cm3以上
のかさ密度を有する熱分解炭素を被覆し，次いで該熱分
解炭素被覆黒鉛基材を2500℃以上の温度で熱処理する熱
分解炭素被覆黒鉛材の製造法に関する。
のかさ密度を有する熱分解炭素を被覆し，次いで該熱分
解炭素被覆黒鉛基材を2500℃以上の温度で熱処理する熱
分解炭素被覆黒鉛材の製造法に関する。
本発明に用いられる黒鉛基材は通常の人造黒鉛であり，
このようなものとしては，たとえば等方性黒鉛材料をあ
げることができる。本発明に用いられる熱分解炭素の被
覆法は通常のCVD法であり，このようなものとしては熱C
VDがあげられる。被覆温度を1600℃以上としたのは,160
0℃未満では2500℃以上で熱処理した場合に膜が剥離し
やすいためである。熱分解炭素の膜のかさ密度を2.0g/c
m3以上としたのは2.0g/cm3未満では2500℃以上で熱処理
した場合に多孔質な膜になりやすく，耐酸化性の向上効
果が無いためである。また被覆温度を2200℃までとした
のは2200℃を越えると煤が発生しやすく，良好な熱分解
炭素膜を得るのが困難となるためである。
このようなものとしては，たとえば等方性黒鉛材料をあ
げることができる。本発明に用いられる熱分解炭素の被
覆法は通常のCVD法であり，このようなものとしては熱C
VDがあげられる。被覆温度を1600℃以上としたのは,160
0℃未満では2500℃以上で熱処理した場合に膜が剥離し
やすいためである。熱分解炭素の膜のかさ密度を2.0g/c
m3以上としたのは2.0g/cm3未満では2500℃以上で熱処理
した場合に多孔質な膜になりやすく，耐酸化性の向上効
果が無いためである。また被覆温度を2200℃までとした
のは2200℃を越えると煤が発生しやすく，良好な熱分解
炭素膜を得るのが困難となるためである。
本発明では上記した熱分解炭素被覆黒鉛基材を更に2500
℃以上の温度で熱処理する。この熱処理工程を経ないと
耐酸化性向上の効果があまりないためである。熱処理温
度の上限は特に制限はないが，黒鉛の耐酸化温度である
およそ3200℃程度である。経済的な点を考慮した最適上
限は2800℃程度である。
℃以上の温度で熱処理する。この熱処理工程を経ないと
耐酸化性向上の効果があまりないためである。熱処理温
度の上限は特に制限はないが，黒鉛の耐酸化温度である
およそ3200℃程度である。経済的な点を考慮した最適上
限は2800℃程度である。
本発明で使用される原料は炭素の化合物であり，このよ
うなものとしてはたとえば通常の炭化水素（メタン，プ
ロパン，ベンゼンなど）やハロゲン化炭化水素（ジクロ
ロエチレン，トリクロロエタンなど）をあげることがで
きる。
うなものとしてはたとえば通常の炭化水素（メタン，プ
ロパン，ベンゼンなど）やハロゲン化炭化水素（ジクロ
ロエチレン，トリクロロエタンなど）をあげることがで
きる。
（実施例） 次に実施例により本発明を詳細に説明する。
通常の間接加熱減圧VCD炉を使用し,10mm角×厚さ2mmに
加工した等方性の黒鉛基材（日立化成工業社製,PD−32
0）の全面に，原料としてベンゼンを用い，炉内圧力を2
0Torr以下に保ちつつ，第１表に示す被覆温度で熱分解
炭素の膜を40μｍの厚さに被覆した。その後窒素ガス雰
囲気中で2600℃まで昇温し2600℃で30分間熱処理を行つ
た。その場合の被覆の特性及び酸化速度の測定結果を第
１表に示す。
加工した等方性の黒鉛基材（日立化成工業社製,PD−32
0）の全面に，原料としてベンゼンを用い，炉内圧力を2
0Torr以下に保ちつつ，第１表に示す被覆温度で熱分解
炭素の膜を40μｍの厚さに被覆した。その後窒素ガス雰
囲気中で2600℃まで昇温し2600℃で30分間熱処理を行つ
た。その場合の被覆の特性及び酸化速度の測定結果を第
１表に示す。
第１表における酸化速度は,700℃に加熱された炉内に試
料を入れ，空気を通じて毎時１cm2当りの重量減を求め
たものである。第１表から実施例のものは，比較例のも
のに較べて耐酸化性が著しく向上していることがわか
る。
料を入れ，空気を通じて毎時１cm2当りの重量減を求め
たものである。第１表から実施例のものは，比較例のも
のに較べて耐酸化性が著しく向上していることがわか
る。
（発明の効果） 本発明によれば，耐酸化性の優れた熱分解炭素被覆黒鉛
材が得られる。該熱分解炭素被覆黒鉛材は耐熱性を要求
されるヒータ，るつぼ，治具に用いて好適であり，それ
らの寿命を延長できる。
材が得られる。該熱分解炭素被覆黒鉛材は耐熱性を要求
されるヒータ，るつぼ，治具に用いて好適であり，それ
らの寿命を延長できる。
Claims (1)
- 【請求項１】黒鉛基材に1600−2200℃の温度で20g/cm3
以上のかさ密度を有する熱分解炭素を被覆し，次いで該
熱分解炭素被覆黒鉛基材を2500℃以上の温度で熱処理す
ることを特徴とする熱分解炭素被覆黒鉛材の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62042177A JPH0717468B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 熱分解炭素被覆黒鉛材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62042177A JPH0717468B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 熱分解炭素被覆黒鉛材の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63210088A JPS63210088A (ja) | 1988-08-31 |
| JPH0717468B2 true JPH0717468B2 (ja) | 1995-03-01 |
Family
ID=12628703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62042177A Expired - Lifetime JPH0717468B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 熱分解炭素被覆黒鉛材の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717468B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0316994A (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-24 | Nippon Mining Co Ltd | 化合物半導体単結晶成長方法 |
| JP6388515B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2018-09-12 | イビデン株式会社 | 熱分解炭素被覆黒鉛部材の製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0672004B2 (ja) * | 1985-03-22 | 1994-09-14 | 日立化成工業株式会社 | 熱分解炭素被覆黒鉛製品の製造法 |
| JPS61222914A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-10-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 熱分解炭素製品の製造法 |
| JPS61256909A (ja) * | 1985-05-07 | 1986-11-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 熱分解炭素被覆材の製造法 |
| JPS61256993A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-14 | Toyo Tanso Kk | シリコン単結晶引上げ装置用黒鉛子るつぼ及びヒ−タ− |
-
1987
- 1987-02-25 JP JP62042177A patent/JPH0717468B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63210088A (ja) | 1988-08-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |