JP2000249662A

JP2000249662A - テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置における撮像手段の位置合わせ方法

Info

Publication number: JP2000249662A
Application number: JP11052327A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Idemoto; 浩井手元; Hideki Matsui; 秀樹松井; Yukio Nakamori; 幸雄中森
Original assignee: NIPPON INTER CONNECTION SYSTEMS KK; Nippon Steel Corp
Current assignee: NIPPON INTER CONNECTION SYSTEMS KK; Nippon Steel Corp
Priority date: 1999-03-01
Filing date: 1999-03-01
Publication date: 2000-09-14

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の撮像手段を有する場合に、それらの撮
像手段の位置合わせを容易に行うことができるテープキ
ャリア欠陥検査装置を提供する。【解決手段】制御装置７０は、検査を開始する前に、
テープキャリア１００のフレームのピッチ間隔に基づ
き、各Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂ，４２の移動を制
御し、予めテープキャリア１００の搬送経路に沿っての
各カメラ３１ａ，３１ｂ，４４の光軸間の距離がフレー
ムのピッチ間隔の整数倍となるようにカメラ３１ａ，３
１ｂ，４４の位置を調整する。その後、制御装置７０
は、例えばカメラ３１ｂの光軸がテープキャリア１００
上の所定の基準位置に一致するようにカメラ３１ｂの位
置合わせが手動で行われたときに、カメラ３１ｂで得ら
れた画像に基づきカメラ３１ｂの光軸の移動量を算出
し、その移動量に基づきＸ−Ｙステージ３３ａ，４２の
移動を制御して、カメラ３１ａ，４４の位置合わせを行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣなどを実装す
るのに用いられるテープキャリアに生じた欠陥を検査す
るテープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥
検査装置における撮像手段の位置合わせ方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】テープキャリアは、スプロケットホール
やデバイスホールなどが形成されたテープ上に、銅箔で
リードを形成したものである。このテープキャリアは、
全長が２０〜２００ｍの長尺であり、リールに巻かれ
て、ユーザに出荷される。また、テープキャリアは、フ
レームと称される複数の領域に区分され、通常、１フレ
ームに一個の製品が含まれている。

【０００３】テープキャリアをユーザに出荷する前に
は、テープキャリアの外観検査が行われる。このテープ
キャリアの外観検査は、専用の欠陥検査装置により行わ
れる。かかる欠陥検査装置では、リールからリールへの
搬送方式を用いて、テープキャリアを１フレームずつ送
る。テープキャリアの送り動作が停止する度に、ＣＣＤ
カメラにより、所定の検査領域に送られてきたテープキ
ャリアの１フレームについての画像を撮像する。この検
査領域は１フレームとほぼ同じ大きさである。そして、
各フレーム毎の画像に基づいてテープキャリアの各製品
に生じた欠陥を検査する。欠陥が生じていると判断され
た製品については、テープキャリアの搬送経路の下流側
に配置されたパンチャが駆動されて、その製品の所定位
置にパンチ穴があけられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の欠陥
検査装置では、ＣＣＤカメラをＸ−Ｙステージに取り付
けている。そして、このＸ−Ｙステージを移動すること
により、ＣＣＤカメラがテープキャリアの表面に平行な
ＸＹ平面内で移動して、テープキャリアについての画像
を撮像する。このため、欠陥検査を行う前には、所望の
検査対象となる画像を得ることができるように、ＣＣＤ
カメラの光軸をテープキャリア上の所定の基準位置に合
わせておく必要がある。しかしながら、かかるＣＣＤカ
メラの位置合わせは容易でなく、時間がかかる。特に、
欠陥検査装置が複数のＣＣＤカメラを有し、各ＣＣＤカ
メラで得られた画像に基づいて検査を行おうとした場合
には、各ＣＣＤカメラ毎に位置合わせを行わなければな
らず、オペレータの負担が大きく、作業能率がよくない
という問題がある。

【０００５】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、複数の撮像手段を有する場合に、それらの撮像
手段の位置合わせを容易に行うことができるテープキャ
リア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置にお
ける撮像手段の位置合わせ方法を提供することを目的と
するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係るテープキャリア欠陥検査装置は、テー
プキャリアの搬送経路に沿って設けられた、前記テープ
キャリアを撮像する複数の撮像手段と、前記各撮像手段
毎に設けられた、前記各撮像手段を前記テープキャリア
の表面に平行な平面内で移動する複数の移動手段と、前
記テープキャリアのフレームのピッチ間隔を入力するた
めの入力手段と、所定の前記撮像手段で得られた画像に
基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を検
査する欠陥検査手段と、欠陥の検査を行う前に、前記入
力手段から入力された前記テープキャリアのフレームの
ピッチ間隔に基づいて、前記複数の移動手段の移動を制
御して、予め前記搬送経路に沿っての前記各撮像手段の
光軸間の距離が前記テープキャリアのフレームのピッチ
間隔の整数倍となるように前記複数の撮像手段の位置の
調整を行い、且つ、一の前記撮像手段の光軸が前記テー
プキャリア上の所定の基準位置に一致するように前記一
の撮像手段を移動するための一の前記移動手段を手動で
移動して前記一の撮像手段の位置合わせが行われたとき
に、前記一の撮像手段で得られた画像に基づいて、位置
合わせ前の前記一の撮像手段の光軸の位置から前記基準
位置までの移動量を算出し、その算出した前記移動量に
基づいて他の前記移動手段の移動を制御することによ
り、他の前記撮像手段の位置合わせを行う制御手段と、
を具備することを特徴とするものである。

【０００７】また、上記の目的を達成するための本発明
に係るテープキャリア欠陥検査装置における撮像手段の
位置合わせ方法は、テープキャリアの搬送経路に沿って
設けられた、前記テープキャリアを撮像する複数の撮像
手段と、前記各撮像手段毎に設けられた、前記各撮像手
段を前記テープキャリアの表面に平行な平面内で移動す
る複数の移動手段と、前記テープキャリアのフレームの
ピッチ間隔を入力するための入力手段と、所定の前記撮
像手段で得られた画像に基づいて前記テープキャリアの
各製品に生じた欠陥を検査する欠陥検査手段とを有する
テープキャリア欠陥検査装置において、欠陥の検査を行
う前に、前記入力手段から入力された前記テープキャリ
アのフレームのピッチ間隔に基づいて、前記複数の移動
手段を移動することにより、予め前記搬送経路に沿って
の前記各撮像手段の光軸間の距離が前記テープキャリア
のフレームのピッチ間隔の整数倍となるように前記複数
の撮像手段の位置の調整を行う第一工程と、一の前記撮
像手段の光軸が前記テープキャリア上の所定の基準位置
に一致するように前記一の撮像手段を移動するための一
の前記移動手段を手動で移動して前記一の撮像手段の位
置合わせが行われたときに、前記一の撮像手段で得られ
た画像に基づいて、位置合わせ前の前記一の撮像手段の
光軸の位置から前記基準位置までの移動量を算出する第
二工程と、第二工程で算出した前記移動量に基づいて他
の前記移動手段を移動することにより、他の前記撮像手
段の位置合わせを行う第三工程と、を具備することを特
徴とするものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態
であるテープキャリア欠陥検査装置の概略構成図、図２
乃至図４はテープキャリアの種類を説明するための図、
図５（ａ）は本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
の検査ステージの概略拡大斜視図、図５（ｂ）はその検
査ステージの動作を説明するための図、図６はその検査
ステージの吸引台の概略斜視図、図７は本実施形態のテ
ープキャリア欠陥検査装置の第一ＣＣＤカメラ及び第二
ＣＣＤカメラを説明するための図、図８はそのテープキ
ャリア欠陥検査装置における第一欠陥検査部及び第二欠
陥検査部の検査内容を説明するための図、図９はそのテ
ープキャリア欠陥検査装置のパンチャの概略拡大斜視
図、図１０はパンチャの移動を制御するのに必要なデー
タを説明するための図である。

【０００９】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
は、図１に示すように、搬送装置１０と、第一欠陥検査
部２０ａと、第二欠陥検査部２０ｂと、パンチ部４０
と、入力装置５０と、表示装置６０と、統括制御装置７
０とを備えるものである。

【００１０】テープキャリア（Tape Carrier）１００
は、全長が２０〜２００ｍの長尺であり、フレームと称
される複数の領域に区分されている。このフレームはテ
ープキャリア１００の製造・加工時の単位となるもので
ある。テープキャリア１００には、１フレームの長さや
１フレームに含まれる製品の数に応じて、さまざまな種
類のものがある。図２乃至図４に代表的なテープキャリ
ア１００の例を示す。図２に示すテープキャリア１００
は、通常製品と言われるものであり、１フレームに一個
の製品を含んでいる。そのフレームは略正方形状をして
いる。これに対し、図３及び図４に示すテープキャリア
１００は、ＣＳＰ（Chip Scale Packageあるいは Chip
Size Package）等に対応するものであり、１フレームに
複数の製品を含んでいる。図３に示すテープキャリア１
００では、フレームが略正方形状であり、１フレーム内
には、上下各行に２個ずつ合計４個の製品が含まれる。
一方、図４に示すテープキャリア１００では、フレーム
の送り方向の長さが長く、１フレーム内には、上下各行
に６個ずつ合計１２個の製品が含まれる。本実施形態の
テープキャリア欠陥検査装置では、これらすべての種類
のテープキャリア１００を検査対象とする。

【００１１】尚、１本のテープキャリアに上記各種類の
ものが混在することはない。したがって、１フレームの
サイズは各テープキャリア毎に一定に決まっている。

【００１２】次に、テープキャリア１００について詳し
く説明する。テープキャリア１００は、例えば図２に示
すように、スプロケットホール１１１やデバイスホール
１１２が形成されたテープ（基材）１１０上に、銅箔で
リード１２０が形成されたものである。このリード１２
０は各デバイスホール１１２の周りの略正方形状の領域
に所定のパターンで形成される。この一つの略正方形状
の領域が１個の製品となる。図２に示すテープキャリア
１００では、この略正方形状の領域が１フレームとな
る。各フレームは一定間隔だけ離して形成される。尚、
一般に、製品はユーザの仕様に応じてさまざまな形状・
サイズに設計される。

【００１３】スプロケットホール１１１は、テープキャ
リア１００を搬送するための孔である。また、デバイス
ホール１１２にはインナーリード１２１が導出されてい
る。デバイスホール１１２は、このインナーリード１２
１とボンディングされるＩＣを配置するための孔であ
る。テープキャリア１００のインナーリード１２１とＩ
Ｃの電極とを接続すると、ＴＡＢ（Tape Automated Bon
ding）テープやＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）テ
ープが得られる。

【００１４】かかるテープキャリア１００は、リールに
巻かれた状態でユーザに出荷される。本実施形態のテー
プキャリア欠陥検査装置では、ユーザに出荷する前に、
各製品についてリードに欠けや太り等の欠陥が生じてい
るかどうかについて検査する。

【００１５】次に、テープキャリア欠陥検査装置の各部
について説明する。搬送装置１０は、テープキャリア１
００をリールからリールへの搬送方式で搬送するもので
あり、図１に示すように、巻き出し部１１と、巻き取り
部１２と、駆動ローラ１３と、モータ１４と、搬送制御
装置１５とを有する。巻き出し部１１は、テープキャリ
ア１００を送り出す供給リール１１ａと、インターリー
フを巻き取るインターリーフ巻取リール１１ｂとから構
成される。また、巻き取り部１２は、供給リール１１ａ
から供給されるテープキャリア１００を巻き取る巻取リ
ール１２ａと、テープキャリア１００を巻き取るときに
インターリーフを供給するインターリーフ供給リール１
２ｂとから構成される。ここで、インターリーフとは、
テープキャリア１００をリールに巻いたときに、製品に
傷が付かないようにテープキャリア１００とテープキャ
リア１００との間に挿入される保護用フィルムのことで
ある。また、搬送制御装置１５は、統括制御装置７０か
らの指示に基づいて、モータ１４を駆動するものであ
る。モータ１４により駆動ローラ１３が回転すると、テ
ープキャリア１００は供給リール１１ａから巻取リール
１２ａに向かって所定の送り量ずつ搬送される。尚、巻
き出し部１１と巻き取り部１２との間には、多数のガイ
ドローラ１８が設けられている。

【００１６】第一欠陥検査部２０ａ及び第二欠陥検査部
２０ｂは、テープキャリア１００の各製品に生じた欠陥
を検査するものである。第一欠陥検査部２０ａは、テー
プキャリア２の搬送経路上の上流側に設けられ、一方、
第二欠陥検査部２０ｂは、第一欠陥検査部２０ａより
も、テープキャリア２の搬送経路上の下流側に設けられ
る。第一欠陥検査部２０ａは、検査ステージ２１ａと、
第一ＣＣＤカメラ３１ａと、照明装置３２ａと、Ｘ−Ｙ
ステージ（移動手段）３３ａと、ステージコントローラ
３４ａと、第一画像処理装置３５ａとを有する。第二欠
陥検査部２０ｂは、検査ステージ２１ｂと、第二ＣＣＤ
カメラ３１ｂと、照明装置３２ｂと、Ｘ−Ｙステージ
（移動手段）３３ｂと、ステージコントローラ３４ｂ
と、第二画像処理装置３５ｂとを有する。

【００１７】検査ステージ２１ａ，２１ｂは、図５
（ａ）に示すように、押さえ板２５と、吸引台２６と、
吸引装置（不図示）とを有する。押さえ板２５の中央部
には、略正方形状の開口部２５ａが形成されている。吸
引台２６には、吸引装置と繋がる多数の孔２６ａが形成
されている。これら押さえ板２５及び吸引台２６はとも
に、上下方向に移動可能に構成される。テープキャリア
１００は、押さえ板２５と吸引台２６との間を通過す
る。テープキャリア１００が所定の送り量だけ送られて
停止すると、押さえ板２５が下方に移動すると共に吸引
台２６が上方に移動して、図５（ｂ）の右側の図に示す
ように、テープキャリア１００をクランプする。そし
て、吸引装置で吸引すると、テープキャリア１００の平
面が吸引台２６に吸い付けられる。これにより、テープ
キャリア１００はしっかりと固定され、この状態で検査
が行われる。このように検査時にテープキャリア１００
を固定するのは、テープキャリア１００はカールしてし
まうことがあり、かかる状態のテープキャリア１００を
第一ＣＣＤカメラ３１ａ又は第二ＣＣＤカメラ３１ｂで
撮像すると、画像の焦点がボケてしまい、正確な検査が
行えないからである。

【００１８】また、テープキャリア１００を押さえ板２
５と吸引台２６とで機械的にクランプすると、テープキ
ャリア１００の押さえ板２５と接触する部分に押し疵が
できることがある。このため、本実施形態では、例え
ば、図６（ａ），（ｂ）に示すように、吸引台２６の上
面に凹部２８ａ又は凸部２８ｂを設けて、押し疵をでき
にくくしている。ここで、凹部２８ａの深さ、凸部２８
ｂの高さは、テープキャリア１００の厚みに応じて決定
する。尚、かかる凹部２８ａ又は凸部２８ｂは、吸引台
２６の上面に設ける代わりに、押さえ板２５の下面に設
けてもよい。また、吸引台２６と押さえ板２５の両方に
設けてもよい。

【００１９】第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二ＣＣＤカ
メラ３１ｂは、テープキャリア１００を撮像するもので
あり、押さえ板２５，２５の開口部２５ａの上方に設け
られる。したがって、第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二
ＣＣＤカメラ３１ｂは、押さえ板２５，２５の開口部２
５ａに位置するテープキャリア１００についての画像を
取得する。すなわち、本実施形態では、押さえ板２５，
２５の開口部２５ａがテープキャリア１００の検査領域
となる。また、第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二ＣＣＤ
カメラ３１ｂの近傍にはそれぞれ、照明装置３２ａ，３
２ｂが配置される。第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二Ｃ
ＣＤカメラ３１ｂはそれぞれ、照明装置３２ａ，３２ｂ
から照射され、検査ステージ２１ａ，２１ｂに固定され
たテープキャリア１００により反射された反射光を検出
することにより、テープキャリア１００を撮像する。

【００２０】また、第一ＣＣＤカメラ３１ａとしては、
図７（ａ）に示すように、広い視野を持つラインセンサ
を用いる。テープキャリア１００が検査ステージ２１に
固定されたときに、第一ＣＣＤカメラ３１ａがスキャニ
ングすることにより、開口部２５ａに含まれるテープキ
ャリア全面についての画像が取得される。例えば、図２
に示すテープキャリア１００の場合には、図７（ｂ）に
示すような画像が取得される。しかも、第一ＣＣＤカメ
ラ３１ａとしては、４０００画素×４０００画素からな
る高精細な画像を取得できるものを用いる。尚、第一Ｃ
ＣＤカメラ３１ａとして視野の狭いものを用いる場合に
は、検査領域を複数の領域に分割し、各領域毎にスキャ
ニングすることにより、検査領域に含まれるテープキャ
リア全面についての画像を取得するようにしてもよい。

【００２１】ところで、本実施形態のテープキャリア欠
陥検査装置では、押さえ板２５として開口部２５ａの大
きさの異なるものを予め複数用意している。そして、テ
ープキャリア１００を検査する際に、少なくとも一個の
製品が開口部２５ａに完全に含まれるような押さえ板２
５を使用する。したがって、第一ＣＣＤカメラ３１ａで
撮像された画像には、必ず一つの製品が入るようにな
る。ここで、第一ＣＣＤカメラ３１ａで撮像された画像
中に一部しか写っていない製品については、検査の対象
外とされる。特に、本実施形態では、図２及び図３に示
すテープキャリア１００についての１フレームを完全に
含むことができるような大きさの開口部２５ａを有する
押さえ板２５を使用することにする。但し、この押さえ
板２５の開口部２５ａは、図４に示すテープキャリアに
ついての１フレームよりは小さいとする。

【００２２】一方、第二ＣＣＤカメラ３１ｂとしては、
第一ＣＣＤカメラ３１ａと異なり、図７（ｃ）に示すよ
うに、狭い視野を持つエリアセンサを用いる。また、第
二ＣＣＤカメラ３１ｂには第一ＣＣＤカメラ３１ａより
も高倍率の光学系を用い、図７（ｄ）に示すように、製
品の局所的な拡大画像を取得することにしている。この
第二ＣＣＤカメラ３１ｂにより、６００〜８００×４０
０〜６００画素からなる画像が得られる。尚、第二ＣＣ
Ｄカメラ３１ｂにラインセンサを用いずにエリアセンサ
を用いたのは、制御が簡単であり、しかも、第二欠陥検
査部２０ｂでは局所的な画像を取得するため小さい視野
を持つもので十分だからである。

【００２３】Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂはそれぞ
れ、第一ＣＣＤカメラ３１ａ、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
をＸＹ二次元平面内（テープキャリア１００の表面に平
行な平面内）の所定の位置に移動するものである。ここ
で、テープキャリア１００を本欠陥検査装置にセットす
る前に、統括制御装置７０は、入力装置５０から入力さ
れた当該テープキャリア１００のフレームのピッチ間隔
に基づいて、各Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂの移動を
制御して、予めテープキャリア１００の搬送経路に沿っ
ての各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂの光軸間の距離が当
該テープキャリア１００のフレームのピッチ間隔の整数
倍となるように各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂの位置を
調整している。また、このとき、オペレータは、調整後
の各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂの位置に対応して、各
検査ステージ２１ａ，２１ｂの位置をテープキャリア１
００の搬送経路に沿って移動させる。

【００２４】Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂの動作はそ
れぞれ、統括制御装置７０によりステージコントローラ
３４ａ，３４ｂを介して制御される。したがって、第一
欠陥検査部２０ａでは、ステージコントローラ３４ａで
第一ＣＣＤカメラ３１ａの位置を調整することにより、
検査領域内におけるテープキャリア１００全体の画像を
取得することができ、一方、第二欠陥検査部２０ｂで
は、ステージコントローラ３４ｂで第二ＣＣＤカメラ３
１ｂの位置を移動することにより、検査領域内における
テープキャリア１００の各製品について所望の位置の拡
大画像を取得することができる。

【００２５】また、ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂの位置
を制御して所望の画像を取得するためには、各テープキ
ャリア１００毎に、欠陥検査を行う前にＣＣＤカメラ３
１ａ，３１ｂの光軸をそれぞれテープキャリア１００上
の所定の基準位置に合わせておく必要がある。かかる基
準位置は、ソフトウエア原点とも称され、統括制御装置
７０がＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂの移動制御を行う際
の基準となるものである。例えば、第一ＣＣＤカメラ３
１ａの位置合わせを行う場合、統括制御装置７０は、第
一ＣＣＤカメラ３１ａで得られた画像と位置合わせ用の
十字の図形とを重ね合わせて、表示装置６０の画面上に
表示する。この十字の図形の交点は第一ＣＣＤカメラ３
１ａの光軸に対応する。オペレータは、この表示装置６
０の画面上に表示された画像を見ながら、入力装置５０
を用いてＸ−Ｙステージ３３ａを移動させて、十字の図
形の交点を所定の基準位置に合わせる。ここで、基準位
置としては、例えばテープキャリア１００のフレームの
角部を用いる。本実施形態では、第一ＣＣＤカメラ３１
ａで得られた画像に十字の図形を重ね合わせて表示する
ことにより、オペレータはカメラの位置合わせを容易に
行うことができる。尚、十字の図形の代わりに、三角形
や矢印等の図形を用いてもよい。こうして、第一ＣＣＤ
カメラ３１ａの位置合わせを行うと、統括制御装置７０
は、この基準位置を座標原点とする新たなＸＹ二次元座
標系をＸ−Ｙステージ３３ａ上に設定する。そして、こ
のＸＹ二次元座標系に従って第一ＣＣＤカメラ３１ａの
位置を制御する。

【００２６】第二ＣＣＤカメラ３１ｂの位置合わせにつ
いても同様に行うことができる。しかし、本実施形態で
は、すでに第一ＣＣＤカメラ３１ａの位置合わせが行わ
れた後では、第二ＣＣＤカメラ３１ｂの位置合わせを自
動的に行うことができる。すなわち、各ＣＣＤカメラ３
１ａ，３１ｂの位置は、予めテープキャリア１００の搬
送経路に沿っての各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂの光軸
間の距離がテープキャリア１００のフレームのピッチ間
隔の整数倍となるように調整されているので、位置合わ
せ前の各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂの光軸とテープキ
ャリア１００との位置関係は局所的には全く同じであ
る。このため、統括制御装置７０は、第一ＣＣＤカメラ
３１ａの位置合わせが行われたときに、第一ＣＣＤカメ
ラ３１ａで得られた画像に基づいて、第一ＣＣＤカメラ
３１ａの光軸の移動量を算出し、その算出した移動量に
基づいてＸ−Ｙステージ３３ｂの移動を制御することに
より、第二ＣＣＤカメラ３１ｂの位置合わせを行うこと
ができる。すなわち、第二ＣＣＤカメラ３１ｂの光軸
は、位置合わせ後の第一ＣＣＤカメラ３１ａの光軸に対
応するテープキャリア１００上の位置（基準位置）に移
動する。

【００２７】本実施形態においては、第一欠陥検査部２
０ａでは、検査領域に含まれる一又は複数の製品の全面
を検査し、一方、第二欠陥検査部２０ｂでは、各製品の
局所的な部分を検査する。すなわち、二つの欠陥検査部
２０ａ，２０ｂを用いて二段階の検査を行う。ここで、
本実施形態では、リードの欠け及びリードの太りを検査
対象とする場合について説明する。

【００２８】第一欠陥検査部２０ａの第一画像処理装置
３５ａは、第一ＣＣＤカメラ３１ａによって取得された
画像に所定の処理を施し、その画像に完全に含まれてい
る各製品について検査する。具体的には、まず、パター
ンマッチングの手法を用いて、各製品毎に、リードの欠
け又は太りを検出する。ここで、欠けには断線が含ま
れ、太りには短絡が含まれる。第一画像処理装置３５ａ
は、欠け又は太りを検出すると、欠け又は太りの部分
（欠陥箇所）の面積値を求めると共に、欠陥箇所の領域
の重心位置を求める。そして、欠陥箇所の面積値を予め
定められた所定のしきい値と比較し、欠陥箇所の面積値
がしきい値よりも大きいときに、大欠陥があると判定す
る。ここで、しきい値は検査項目、すなわち欠け又は太
りに応じて異なる。例えば、図８（ａ）に示すような画
像が取得された場合には、断線Ｄ₁ と、大きな太りＤ₂
とが生じており、第一画像処理装置３５ａは大欠陥があ
ると判定する。一方、欠陥箇所の面積値がしきい値以下
であるときに、再検査を必要とする微小な欠陥があると
判定する。例えば、図８（ｂ）に示すような画像が取得
された場合には、微小な欠陥（欠け）Ｄ₃ があると判定
する。第一画像処理装置３５ａでの検査結果は、統括制
御装置７０に送られ、所定の記憶部に記憶される。尚、
同じリードであっても、インナーリードとパッド用リー
ドとでは、幅等が異なり、当然、欠陥の判定基準も異な
る。このため、リードを各部位別に区別し、その区別し
た部位毎に、しきい値を設定するようにしてもよい。ま
た、本実施形態では、リードに不純物が付着している場
合も欠けとして処理することができる。

【００２９】第二欠陥検査部２０ｂの第二画像処理装置
３５ｂでは、第一欠陥検査部２０ａで微小な欠陥が検出
された場合のみ、各製品毎に、その微小な欠陥の箇所を
再検査する。したがって、第一欠陥検査部２０ａにおい
て欠陥が検出されなかった製品及び大欠陥が検出された
製品については、第二欠陥検査部２０ｂでの検査は行わ
れない。

【００３０】統括制御装置７０は、再検査の必要な製品
が第二欠陥検査部２０ｂの検査ステージ２１ｂに送られ
てきたときに、再検査箇所の重心座標についての情報を
第二画像処理装置３５ｂに送る。すると、第二画像処理
装置３５ｂは、第二ＣＣＤカメラ３１ｂの視野の中心が
再検査箇所の重心座標位置に一致するように、ステージ
コントローラ３４ｂを介してＸ−Ｙステージ３３ｂを移
動する。そして、第二ＣＣＤカメラ３１ｂで当該製品に
ついて再検査箇所を含む拡大画像を取り込む。例えば、
第一欠陥検査部２０ａで図８（ｂ）に示す微小な欠陥Ｄ
₃ が検出された場合、第二ＣＣＤカメラ３１ｂでは、図
８（ｂ）の破線で示す範囲を、第一ＣＣＤカメラ３１ａ
よりも拡大した倍率（例えば３、４倍程度）で撮像す
る。これにより、図８（ｃ）に示すように、再検査箇所
Ｄ₃ の鮮明な画像を得ることができる。

【００３１】その後、第二画像処理装置３５ｂは、第一
画像処理装置３５ａと同様に、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
で取得された拡大画像に所定の処理を施し、パターンマ
ッチングの手法を用いて、再検査箇所を再検査する。具
体的には、再検査箇所の面積値を求め、その面積値を予
め定められた所定のしきい値を比較する。但し、第二画
像処理装置３５ｂで用いるしきい値は第一画像処理装置
３５ａで用いるしきい値と異なる。第二画像処理装置３
５ｂは、再検査箇所の面積値がしきい値よりも大きいと
きに、欠陥であると判定し、一方、再検査箇所の面積値
がしきい値以下であるときに、欠陥ではないと判定す
る。第二画像処理装置３５ｂでの検査結果は、統括制御
装置７０に送られ、所定の記憶部に記憶される。尚、各
製品について複数の再検査箇所がある場合には、欠陥の
程度が高い再検査箇所から検査が行われる。

【００３２】また、各製品について欠陥が生じているか
否かの最終的な判断は、統括制御装置７０が第一画像処
理装置３５ａ及び第二画像処理装置３５ｂの検査結果に
基づいて行う。本実施形態では、このように二つの欠陥
検査部２０ａ，２０ｂを設け、二段階の検査を行うこと
により、各製品について欠陥が生じているか否かを正確
に判定することができる。

【００３３】パンチ部４０は、第二欠陥検査部２０ｂよ
りもテープキャリア１００の搬送経路上の下流側に設け
られており、図１及び図９に示すように、パンチャ（欠
陥目印付加手段）４１と、Ｘ−Ｙステージ（移動手段）
４２と、ステージコントローラ４３と、ＣＣＤカメラ４
４と、画像表示装置４５と、Ｘ−Ｙ調整機構４６とを有
する。パンチャ４１は、統括制御装置７０により最終的
に不良と判定された製品の所定位置にパンチ穴をあける
ものである。ここでは、エアーシリンダ式のパンチャ４
１を用いている。このパンチャ４１は、統括制御装置７
０の管理の下、搬送制御装置１５からの信号に基づいて
作動する。また、Ｘ−Ｙステージ４２は、パンチャ４１
をＸＹ二次元平面内の所定の位置に移動するものであ
る。このＸ−Ｙステージ４２の動作は、統括制御装置７
０により搬送制御装置１５、ステージコントローラ４４
を介して制御される。したがって、パンチ部４０では、
不良製品について所望の位置（パンチ位置）にパンチ穴
をあけることができる。このパンチ位置は、テープキャ
リア１００毎にユーザから予め指定される。

【００３４】ＣＣＤカメラ４４は、テープキャリア１０
０を撮像するものであり、図９に示すように、パンチャ
４１の側面に取り付けたＸ−Ｙ調整機構４６を介してＸ
−Ｙステージ４２上に設けられている。このＸ−Ｙ調整
機構４６により、ＣＣＤカメラ４４をＸ−Ｙステージ４
２上においてＸＹ二次元平面内の所定の位置に手動で調
整することができる。また、テープキャリア１００を本
欠陥検査装置にセットする前に、統括制御装置７０は、
入力装置５０から入力された当該テープキャリア１００
のフレームのピッチ間隔に基づいて、Ｘ−Ｙステージ４
２の移動を制御して、予めテープキャリア１００の搬送
経路に沿ってのＣＣＤカメラ４４の光軸とＣＣＤカメラ
３１ａ（又は３１ｂ）の光軸と間の距離が当該テープキ
ャリア１００のフレームのピッチ間隔の整数倍となるよ
うにＣＣＤカメラ４４の位置を調整している。画像表示
装置４５は、ＣＣＤカメラ４４で映し出した画像を画面
上に表示する。このとき、その画像に位置合わせ用の十
字の図形を重ね合わせて表示する。この十字の図形の交
点はＣＣＤカメラ４４の光軸に対応する。

【００３５】このＣＣＤカメラ４４についても、検査を
開始する前に、位置合わせを行う必要がある。例えば、
すでに第一ＣＣＤカメラ３１ａの位置合わせが手動で行
われている場合には、統括制御装置７０は、その位置合
わせが行われたときに算出した、第一ＣＣＤカメラ３１
ａの光軸の移動量に基づいて、Ｘ−Ｙステージ４２の移
動を制御することにより、ＣＣＤカメラ４４の光軸を、
位置合わせ後の第一ＣＣＤカメラ３１ａの光軸に対応す
るテープキャリア１００上の位置（基準位置）に移動す
ることができる。この基準位置は、Ｘ−Ｙステージ４２
における新たなＸＹ二次元座標系の座標原点となる。

【００３６】検査が開始されると、統括制御装置７０
は、Ｘ−Ｙステージ４２の移動を制御して、パンチャ４
１のパンチ軸を各不良製品のパンチ位置に一致させる。
このとき、１フレーム内の各製品についてのパンチ位置
ｐ₁ ，ｐ₂ ，・・・にパンチ軸を一致させるためのパンチ
ャ４１（Ｘ−Ｙステージ４２）の移動量は、図１０に示
すように、基準位置（０，０）から所定の一の製品のパ
ンチ位置（例えばｐ₁ ）までのオフセット量（Ｘ₁ ，Ｙ
₁ ）と、ＣＣＤカメラ４４の光軸（基準位置）に対する
パンチャ４１のパンチ軸のＸＹ座標データ（Ｘ₀ ，Ｙ
₀ ）と、１フレームに含まれる製品の送り方向のピッチ
間隔Ｐ及び幅方向のピッチ間隔Ｑとに基づいて算出され
る。ここで、図１０では、１フレームに４個の製品を含
むテープキャリア１００の例を示しており、１フレーム
内に４つのパンチ位置ｐ₁ ，ｐ₂ ，ｐ ₃ ，ｐ₄ がある。
また、基準位置をフレームの左上の角部としている。

【００３７】尚、特に、図２に示すテープキャリア１０
０についての検査を行う場合には、パンチ位置は１フレ
ームに１つしかないので、パンチャ４１のパンチ軸がパ
ンチ位置に一致するようにＣＣＤカメラ４４の位置合わ
せを行うようにしてもよい。例えば、これを行うには、
オペレータは、まず、ＣＣＤカメラ４４の光軸とパンチ
ャ４１のパンチ軸との位置関係が基準位置とユーザから
指定されたパンチ位置との位置関係と同じになるよう
に、Ｘ−Ｙ調整機構４６を用いてＣＣＤカメラ４４の位
置を調整する。次に、オペレータは、画像表示装置４５
に映し出した画像を見ながら、入力装置５０を用いてＸ
−Ｙステージ４２を移動して、十字の図形の交点を基準
位置に合わせる。当然のことながら、このＣＣＤカメラ
４４の位置合わせは、上述したように自動で行うことも
できる。これにより、パンチャ４１のパンチ軸をパンチ
位置に正確に一致させることができる。この場合は、不
良製品にパンチ穴をあける際に、パンチャ４１の移動を
制御する必要はなく、パンチャ４１のパンチ動作を制御
するだけでよい。

【００３８】入力装置５０は、例えばキーボード等であ
って、この入力装置５０から、検査を行う前に、予め各
テープキャリア毎に検査に必要なデータやパンチャ４１
の移動制御に必要なデータ等が入力される。検査に必要
なデータとは、例えば、テープキャリア１００のフレー
ムのピッチ間隔Ｆ、１フレームに含まれる製品の送り方
向のピッチ間隔Ｐ等である（図２乃至図４参照）。ま
た、第一ＣＣＤカメラ３１ａにより撮像した画像に対し
て、検査領域に完全に含まれる製品の範囲を指定するこ
とにより、検査を行う範囲を設定したり、１フレーム内
に含まれる各製品について検査の順番を指定したりす
る。更に、各欠陥検査部２０ａ，２０ｂにおいて欠陥を
判定する際のしきい値を入力したりする。また、パンチ
ャ４１の移動を制御するのに必要なデータとは、上述し
たように、基準位置から所定の一の製品のパンチ位置ま
でのオフセット量と、ＣＣＤカメラ４４の光軸に対する
パンチャ４１のパンチ軸のＸＹ座標データと、１フレー
ムに含まれる製品の送り方向のピッチ間隔Ｐ及び幅方向
のピッチ間隔Ｑとである。

【００３９】入力装置５０から入力されたデータは、統
括制御装置７０に送られ、所定の記憶部に記憶される。
また、表示装置６０は、第一ＣＣＤカメラ３１ａ又は第
二ＣＣＤカメラ３１ｂにより撮像した画像を表示した
り、各製品についての最終的な検査結果を表示する。

【００４０】統括制御装置７０は、本テープキャリア欠
陥検査装置の各部の制御を統括するものである。例え
ば、第一欠陥検査部２０ａの第一画像処理装置３５ａ及
び第二欠陥検査部２０ｂの第二画像処理装置３５ｂから
送られた検査結果に基づいて、最終的にテープキャリア
１００の各製品に欠陥が生じているか否かを判定する。
具体的には、第一画像処理装置３５ａで大欠陥が生じて
いると判定された製品については、統括制御装置７０は
不良品と判定する。また、第一画像処理装置３５ａで再
検査が必要であると判定された製品については、第二欠
陥検査部２０ｂに再検査を実行させる。この再検査の結
果、第二画像処理装置３５ｂで欠陥が生じていると判定
された製品については、統括制御装置７０は不良品と判
定する。さらに、第一画像処理装置３５ａにおいて欠陥
が生じていないと判定された製品、及び第二画像処理装
置３５ｂにおいて再検査の結果、欠陥が生じていないと
判定された製品については、統括制御装置７０は良品と
判定する。

【００４１】また、統括制御装置７０は、ＣＣＤカメラ
３１ａ，３１ｂ，４４の位置合わせを実行させる。すな
わち、欠陥の検査を開始する前に、入力装置５０から入
力されたテープキャリアのフレームのピッチ間隔に基づ
いて、各Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂ，４２の移動を
制御して、予めテープキャリア１００の搬送経路に沿っ
ての各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂ，４４の光軸間の距
離がテープキャリア１００のフレームのピッチ間隔の整
数倍となるように三つのＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂ，
４４の位置の調整を行う。その後、一のＣＣＤカメラの
光軸がテープキャリア１００上の所定の基準位置に一致
するように、当該一のＣＣＤカメラを移動するためのＸ
−Ｙ移動手段を手動で移動して当該一のＣＣＤカメラの
位置合わせが行われたときに、当該一のＣＣＤカメラで
得られた画像に基づいて、位置合わせ前の当該一のＣＣ
Ｄカメラの光軸の位置から上記基準位置までの移動量を
算出する。そして、その算出した移動量に基づいて他の
Ｘ−Ｙステージの移動を制御することにより、他のＣＣ
Ｄカメラの位置合わせを行う。

【００４２】ところで、第一欠陥検査部２０ａでは、検
査領域に完全に含まれる製品について検査が行われる。
したがって、テープキャリア１００の送り動作が停止し
たときに、製品の一部分しか検査領域に含まれない製品
については、検査は行われない。しかも、本実施形態で
は、図２乃至図４に示すようなさまざまな種類のテープ
キャリア１００を検査対象としているので、テープキャ
リア１００の種類に応じて、送り動作の停止時に各製品
が検査領域に完全に含まれるような送り量を設定する必
要がある。このため、統括制御装置７０は、入力装置５
０で入力されたフレームのピッチ間隔Ｆ及び製品の送り
方向のピッチ間隔Ｐに基づいて、テープキャリア１００
の種類に応じた適切な送り量を算出し、その算出した送
り量に基づいて搬送装置１０の動作を制御する。

【００４３】次に、統括制御装置７０がテープキャリア
１００の送り量を算出する手順について説明する。図１
１はテープキャリア１００の送り量を算出する手順を説
明するためのフローチャートである。

【００４４】まず、オペレータは入力装置５０を用い
て、今回の検査対象となるテープキャリア１００につい
てのフレームのピッチ間隔Ｆと、一フレームに含まれる
製品の送り方向のピッチ間隔Ｐとを入力する（Ｓ１）。
統括制御装置７０は、フレームのピッチ間隔Ｆが検査領
域の送り方向の長さＲ（図５参照）以下であるか否かを
判断する（Ｓ２）。ここで、検査領域のサイズは予め決
められており、検査領域の送り方向の長さＲについての
情報は所定の記憶部に既に記憶されている。フレームの
ピッチ間隔Ｆが検査領域の送り方向の長さＲ以下である
と判断されると、統括制御装置７０は、テープキャリア
１００の一回の送り量Ｌをフレームのピッチ間隔Ｆに設
定する（Ｓ３）。この場合、テープキャリア１００を一
回送る毎に、各フレームが順次検査領域に移動するの
で、送り動作の停止時に各製品は必ず検査領域に完全に
含まれる。

【００４５】一方、ステップＳ２においてフレームのピ
ッチ間隔Ｆが検査領域の送り方向の長さＲよりも長いと
判断されると、統括制御部７０は、各フレームを、検査
領域の送り方向の長さＲ内に完全に含めることができる
一又は複数の製品を含む複数の領域に分割し、フレーム
のピッチ間隔Ｆ及び製品の送り方向のピッチ間隔Ｐに基
づいて、各フレームの各領域が順次、検査領域に送られ
るような送り量を算出する。これにより、各分割領域に
含まれる一又は複数の製品毎に検査が行われることにな
る。この場合、送り量は具体的には以下のように算出さ
れる。統括制御装置７０は、まず、製品の送り方向のピ
ッチ間隔Ｐに基づいて、検査領域の送り方向の長さＲ内
に完全に含めることができる製品の送り方向に沿った最
大数ｎを算出する（Ｓ４）。この製品の最大数ｎは、検
査領域の送り方向の長さＲを製品の送り方向のピッチ間
隔Ｐで割り、その得られた値の小数点以下を切り捨てる
ことにより、容易に求めることができる。

【００４６】その後、統括制御装置７０は、ステップＳ
４で得られた製品の最大数ｎに基づいて１フレームを複
数の領域に分割したときの分割領域の数ｄを算出する
（Ｓ５）。この分割領域の数ｄは、フレームのピッチ間
隔Ｆを製品の最大数ｎで割り、その得られた値の少数点
以下を切り上げることにより、容易に求めることができ
る。ここでは、各フレームをｄ個の分割領域に分割する
際、最初から最後の一つ前までの各分割領域には送り方
向に沿って最大数ｎの製品を含むように、最後の分割領
域には残りの製品を含むようにｄ個の分割領域を決定す
る。また、各フレームにおいて最初の分割領域が検査領
域に入っている状態から最後の分割領域が検査領域に入
っている状態に移行させるのに要する送り動作の回数
は、ｄ−１回である。

【００４７】次に、統括制御装置７０は、各フレームに
おいて一の分割領域から次の分割領域を検査領域に送る
ときの送り量Ｌ₁ を、製品の送り方向のピッチ間隔Ｐと
製品の最大数ｎとの積で与えられる値（Ｐ×ｎ）として
算出する（Ｓ６）。これにより、１フレーム内に含まれ
る各製品は必ず検査領域に完全に含まれることになる。
また、一のフレームの最後の分割領域が検査領域に入っ
ている状態から次のフレームの最初の分割領域が検査領
域に入る状態に移行する際には、フレーム間に一定の間
隔が設けられていることを考慮する必要がある。このた
め、統括制御装置７０は、一のフレームの最後の分割領
域から次のフレームの最初の分割領域を検査領域に送る
ときの送り量Ｌ₂ を、フレームのピッチ間隔Ｆから製品
の送り方向のピッチ間隔Ｐと製品の最大数ｎと分割領域
の数から１引いた数ｄ−１との積を減じて得られる値
（Ｆ−Ｐ×ｎ×（ｄ−１））として算出する（Ｓ７）。
これにより、次のフレームの最初の分割領域について
は、当該一のフレームの最初の分割領域が検査領域に入
っている状態と全く同じ状態が再現される。

【００４８】次に、本実施形態のテープキャリア欠陥検
査装置において、各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂ，４４
の位置合わせを行う手順について説明する。図１２は一
のＣＣＤカメラについて手動で位置合わせを行う場合を
説明するための図である。ここでは、図２に示すテープ
キャリア１００について検査を行う場合を考える。

【００４９】まず、オペレータは、入力装置５０を用い
て、検査対象となるテープキャリア１００のフレームの
ピッチ間隔を入力する。すると、統括制御装置５０は、
その入力されたテープキャリア１００のフレームのピッ
チ間隔に基づいて、三つのＸ−Ｙステージ３３ａ，３３
ｂ，４２の移動を制御して、予めテープキャリア１００
の搬送経路に沿っての各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂ，
４４の光軸間の距離がテープキャリア１００のフレーム
のピッチ間隔の整数倍となるように三つのＣＣＤカメラ
３１ａ，３１ｂ，４４の位置の調整を行う。その後、オ
ペレータは、調整後の各ＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂの
位置に対応して、各検査ステージ２１ａ，２１ｂの位置
をテープキャリア１００の搬送経路に沿って移動させ
る。

【００５０】以上の準備作業が終了すると、オペレータ
は、実際に、テープキャリア１００を本欠陥検査装置に
セットする。この場合は、図１２（ａ）に示すように、
押さえ板２５の検査領域内にはフレームの端部が必ず含
まれる。次に、オペレータは、入力装置５０から各ＣＣ
Ｄカメラの位置合わせを行う旨の指示を与えると共に、
三つのＣＣＤカメラのうち一つのＣＣＤカメラを選択す
る。ここでは、第二ＣＣＤカメラ３１ｂを選択したとす
る。すると、統括制御装置７０は、その選択された第二
ＣＣＤカメラ３１ｂで撮像して得られた画像を表示装置
６０の画面上に表示する。このとき、統括制御装置７０
は、第二ＣＣＤカメラ３１ｂで得られた画像に十字の図
形を重ね合わせて表示する。この表示装置６０の画面上
に表示された初期状態の画像の一例を図１２（ｂ）に示
す。この例では、検査領域内の左上の部分（図１２
（ａ）の破線で示した部分）の拡大画像が表示されてい
る。

【００５１】次に、オペレータは、表示装置６０の画面
上に映し出された画像を見ながら、入力装置５０を用い
てＸ−Ｙステージ３３ｂを移動させて、十字の図形の交
点をテープキャリア１００上の所定の基準位置に合わせ
る。ここでは、基準位置を、テープキャリア１００のフ
レームの左上の角部とする。具体的には、オペータは、
十字の図形の交点を、図１２（ｃ）に示すように右下の
方向に移動させて、図１２（ｄ）に示すようにフレーム
の左上の角部に合わせる。これにより、第二ＣＣＤカメ
ラ３１ｂの光軸は基準位置に一致する。その後、オペレ
ータは、表示装置６０の画面上で、位置合わせが完了し
た旨のボタンを押すと、統括制御装置７０は、第二ＣＣ
Ｄカメラ３１ｂで得られた画像に基づいて、位置合わせ
前の第二ＣＣＤカメラ３１ｂの光軸の位置から基準位置
までの移動量を算出する。かかる移動量を求める際に
は、第二ＣＣＤカメラ３１ｂの光学的倍率等を考慮す
る。また、統括制御装置７０は、その基準位置をＸ−Ｙ
ステージ３３ｂにおけるＸＹ二次元座標系の座標原点と
する。

【００５２】次に、統括制御装置７０は、上記の第二Ｃ
ＣＤカメラ３１ｂの光軸の移動量に基づいてＸ−Ｙステ
ージ３３ａ及びＸ−Ｙステージ４２の移動を制御する。
これにより、第一ＣＣＤカメラ３１ａの光軸、ＣＣＤカ
メラ４４の光軸も、テープキャリア１００のフレームの
左上の角部に一致する。以上で、各ＣＣＤカメラ３１
ａ，３１ｂ，４４の位置合わせが終了する。

【００５３】尚、手動で位置合わせを行うＣＣＤカメラ
は、三つのＣＣＤカメラ３１ａ，３１ｂ，４４のうちど
れでもよく、残りのＣＣＤカメラについては上述のよう
に自動で位置合わせを行える。

【００５４】その後、オペレータが入力装置５０から検
査を開始する旨の指示を与えると、統括制御装置７０
は、所定の送り量に基づいて搬送装置１０の動作を制御
しながら、第一欠陥検査部２０ａに検査を実行させると
共に、第二欠陥検査部２０ｂに検査を実行させる。ま
た、不良製品がパンチ部４０に送られてきた場合には、
統括制御装置７０は、基準位置から所定の一の製品のパ
ンチ位置までのオフセット量、基準位置に対するパンチ
ャ４１のパンチ軸のＸＹ座標データ、及び製品のピッチ
間隔に基づいて、Ｘ−Ｙステージ４２の移動量を算出す
る。そして、その移動量にしたがってＸ−Ｙステージ４
２の移動を制御することにより、パンチャ４１のパンチ
軸を当該不良製品のパンチ位置に一致させる。その後、
パンチャ４１を駆動することにより、当該不良製品のパ
ンチ位置にパンチ穴があけられる。

【００５５】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
では、統括制御装置は、欠陥の検査を行う前に、入力装
置から入力されたテープキャリアのフレームのピッチ間
隔に基づいて、三つのＸ−Ｙステージの移動を制御し
て、予めテープキャリアの搬送経路に沿っての各ＣＣＤ
カメラの光軸間の距離がテープキャリアのフレームのピ
ッチ間隔の整数倍となるように三つのＣＣＤカメラの位
置の調整を行う。その後、統括制御装置は、一のＣＣＤ
カメラの光軸がテープキャリア上の所定の基準位置に一
致するように当該一のＣＣＤカメラの位置合わせが手動
で行われたときに、当該一のＣＣＤカメラで得られた画
像に基づいて、位置合わせ前の当該一のＣＣＤカメラの
光軸の位置から基準位置までの移動量を算出する。これ
により、統括制御装置は、その算出した移動量に基づい
て他のＸ−Ｙステージの移動を制御し、他のＣＣＤカメ
ラの位置合わせを実行させることができる。このため、
オペレータは、一つのＣＣＤカメラについての位置合わ
せ作業を行うだけでよく、オペータの作業負荷の軽減を
図ることができる。

【００５６】ところで、従来は、欠陥検査を行う前に、
実際にパンチャを駆動してテープキャリアにパンチ穴を
あける、いわゆる試し打ちを行うことにより、試行錯誤
的にパンチャの位置合わせを行っていた。しかし、何度
も試し打ちを行えば、それだけ製品が無駄になるので、
かかる試し打ちは非効率的である。また、パンチャの位
置合わせ作業を行うオペレータの負担も大きかった。こ
れに対して、本実施形態では、一つのＣＣＤカメラをパ
ンチャとともにＸ−Ｙステージに設けたことにより、そ
のＣＣＤカメラ、したがってパンチャについても正確に
位置合わせをすることができる。このため、統括制御装
置は、Ｘ−Ｙステージの移動を制御して、パンチャのパ
ンチ軸を不良製品のパンチ位置に正確に一致させること
ができるので、従来のように試し打ちを行う必要がな
く、オペレータの負荷を軽減することができる。尚、本
発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その
要旨の範囲内において種々の変形が可能である。

【００５７】例えば、上記の実施形態では、パンチャを
用いて不良製品にパンチ穴をあける場合について説明し
たが、パンチャの代わりに、所定の目印を不良製品に記
すマーカを用いてもよい。

【００５８】また、上記の実施形態では、パンチ部にお
いて不良製品にパンチ穴をあける際に、ＣＣＤカメラを
使用して位置合わせを行う場合について説明したが、例
えば、ＣＣＤカメラの代わりにレーザ照射器を使用し、
レーザ照射器が照射するレーザ光のポインタにパンチ穴
があくように、パンチャの位置合わせを行うようにして
もよい。

【００５９】また、上記の実施形態では、ＣＣＤカメラ
の位置合わせの際に、テープキャリア上の基準位置とし
てフレームの角部を用いる場合について説明したが、例
えば、基準位置としてはスプロケットホールの角部を用
いてもよい。

【００６０】更に、上記の実施形態では、テープキャリ
ア欠陥検査装置が三つのＣＣＤカメラを有する場合につ
いて説明したが、本発明は、テープキャリア欠陥検査装
置が二つの又は四つ以上のＣＣＤカメラを有する場合に
も適用できる。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように本発明のテープキャ
リア欠陥検査装置によれば、制御手段は、欠陥の検査を
行う前に、入力手段から入力されたテープキャリアのフ
レームのピッチ間隔に基づいて、複数の移動手段の移動
を制御して、予めテープキャリアの搬送経路に沿っての
各撮像手段の光軸間の距離がテープキャリアのフレーム
のピッチ間隔の整数倍となるように複数の撮像手段の位
置の調整を行う。そして、制御手段は、欠陥の検査を開
始する前に、一の撮像手段の光軸がテープキャリア上の
所定の基準位置に一致するように当該一の撮像手段の位
置合わせが手動で行われたときに、当該一の撮像手段で
得られた画像に基づいて、位置合わせ前の当該一の撮像
手段の光軸の位置から基準位置までの移動量を算出す
る。これにより、制御手段は、その算出した移動量に基
づいて他の移動手段の移動を制御し、他の撮像手段の位
置合わせを実行させることができる。このため、オペレ
ータは、一つの撮像手段についての位置合わせ作業を行
うだけでよく、オペータの作業負荷の軽減を図ることが
できる。

【００６２】また、本発明のテープキャリア欠陥検査装
置における撮像手段の位置合わせ方法によれば、同様
に、一の撮像手段の位置合わせが手動で行われたときに
算出した当該一の撮像手段の光軸の移動量に基づいて、
他の移動手段を移動することにより、他の撮像手段の位
置合わせを行うことができるので、オペレータは、一つ
の撮像手段についての位置合わせ作業を行うだけでよ
く、オペータの作業負荷の軽減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるテープキャリア欠陥
検査装置の概略構成図である。

【図２】１フレームに１個の製品を含むテープキャリア
を説明するための図である。

【図３】１フレームに複数の製品を含むテープキャリア
を説明するための図である。

【図４】１フレームに複数の製品を含み且つ１フレーム
の長さが図３に示すものに比べて長いテープキャリアを
説明するための図である。

【図５】（ａ）は本実施形態のテープキャリア欠陥検査
装置の検査ステージの概略拡大斜視図、（ｂ）はその検
査ステージの動作を説明するための図である。

【図６】その検査ステージの吸引台の概略斜視図であ
る。

【図７】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置の第
一ＣＣＤカメラ及び第二ＣＣＤカメラを説明するための
図である。

【図８】そのテープキャリア欠陥検査装置における第一
欠陥検査部及び第二欠陥検査部の検査内容を説明するた
めの図である。

【図９】そのテープキャリア欠陥検査装置のパンチャの
概略拡大斜視図である。

【図１０】パンチャの移動を制御するのに必要なデータ
を説明するための図である。

【図１１】テープキャリアの送り量を算出する手順を説
明するためのフローチャートである。

【図１２】一のＣＣＤカメラについて手動で位置合わせ
を行う場合を説明するための図である。

【符号の説明】

１０搬送装置１１巻き出し部１１ａ供給リール１１ｂインターリーフ巻取リール１２巻き取り部１２ａ巻取リール１２ｂインターリーフ供給リール１３駆動ローラ１４モータ１５搬送制御装置１８ガイドローラ２０ａ第一欠陥検査部２０ｂ第二欠陥検査部２１ａ，２１ｂ検査ステージ２５押さえ板２５ａ開口部２６吸引台２６ａ孔２８ａ凹部２８ｂ凸部３１ａ第一ＣＣＤカメラ３１ｂ第二ＣＣＤカメラ３２ａ，３２ｂ照明装置３３ａ，３３ｂＸ−Ｙステージ３４ａ，３４ｂステージコントローラ３５ａ第一画像処理装置３５ｂ第二画像処理装置４０パンチ部４１パンチャ４２Ｘ−Ｙステージ４３ステージコントローラ４４ＣＣＤカメラ４５画像表示装置４６Ｘ−Ｙ調整機構５０入力装置６０表示装置７０統括制御装置１００テープキャリア１１０テープ１１１スプロケットホール１１２デバイスホール１２０リード１２１インナーリード

フロントページの続き (72)発明者松井秀樹東京都千代田区大手町２丁目６番３号新日本製鐵株式会社内 (72)発明者中森幸雄千葉県君津市君津１番地日本インターコネクションシステムズ株式会社内Ｆターム(参考） 2G051 AA41 AB02 AB11 CA04 CB01 CD07 DA07 DA09 DA15 EA11 EB01 ED11 ED23 FA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】テープキャリアの搬送経路に沿って設け
られた、前記テープキャリアを撮像する複数の撮像手段
と、前記各撮像手段毎に設けられた、前記各撮像手段を前記
テープキャリアの表面に平行な平面内で移動する複数の
移動手段と、前記テープキャリアのフレームのピッチ間隔を入力する
ための入力手段と、所定の前記撮像手段で得られた画像に基づいて前記テー
プキャリアの各製品に生じた欠陥を検査する欠陥検査手
段と、欠陥の検査を行う前に、前記入力手段から入力された前
記テープキャリアのフレームのピッチ間隔に基づいて、
前記複数の移動手段の移動を制御して、予め前記搬送経
路に沿っての前記各撮像手段の光軸間の距離が前記テー
プキャリアのフレームのピッチ間隔の整数倍となるよう
に前記複数の撮像手段の位置の調整を行い、且つ、一の
前記撮像手段の光軸が前記テープキャリア上の所定の基
準位置に一致するように前記一の撮像手段を移動するた
めの一の前記移動手段を手動で移動して前記一の撮像手
段の位置合わせが行われたときに、前記一の撮像手段で
得られた画像に基づいて、位置合わせ前の前記一の撮像
手段の光軸の位置から前記基準位置までの移動量を算出
し、その算出した前記移動量に基づいて他の前記移動手
段の移動を制御することにより、他の前記撮像手段の位
置合わせを行う制御手段と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装
置。
【請求項２】前記搬送経路の最下流側に設けられた前
記移動手段は、欠陥が生じていると判定された製品に対
して所定の目印を付ける欠陥目印付加手段を当該撮像手
段とともに移動するものであることを特徴とする請求項
１記載のテープキャリア欠陥検査装置。
【請求項３】前記欠陥目印付加手段は、パンチ穴をあ
けるパンチャ又は所定の目印を記すマーカであることを
特徴とする請求項２記載のテープキャリア欠陥検査装
置。
【請求項４】前記制御手段は、前記一の撮像手段の位
置合わせを手動で行う際に、前記一の撮像手段で得られ
た画像と位置合わせ用の図形とを重ね合わせて表示手段
の画面上に表示させることを特徴とする請求項１、２又
は３記載のテープキャリア欠陥検査装置。
【請求項５】前記基準位置は、前記テープキャリアの
フレーム又はスプロケットホールの角部であることを特
徴とする請求項１、２、３又は４記載のテープキャリア
欠陥検査装置。
【請求項６】テープキャリアの搬送経路に沿って設け
られた、前記テープキャリアを撮像する複数の撮像手段
と、前記各撮像手段毎に設けられた、前記各撮像手段を
前記テープキャリアの表面に平行な平面内で移動する複
数の移動手段と、前記テープキャリアのフレームのピッ
チ間隔を入力するための入力手段と、所定の前記撮像手
段で得られた画像に基づいて前記テープキャリアの各製
品に生じた欠陥を検査する欠陥検査手段とを有するテー
プキャリア欠陥検査装置において、欠陥の検査を行う前に、前記入力手段から入力された前
記テープキャリアのフレームのピッチ間隔に基づいて、
前記複数の移動手段を移動することにより、予め前記搬
送経路に沿っての前記各撮像手段の光軸間の距離が前記
テープキャリアのフレームのピッチ間隔の整数倍となる
ように前記複数の撮像手段の位置の調整を行う第一工程
と、一の前記撮像手段の光軸が前記テープキャリア上の所定
の基準位置に一致するように前記一の撮像手段を移動す
るための一の前記移動手段を手動で移動して前記一の撮
像手段の位置合わせが行われたときに、前記一の撮像手
段で得られた画像に基づいて、位置合わせ前の前記一の
撮像手段の光軸の位置から前記基準位置までの移動量を
算出する第二工程と、第二工程で算出した前記移動量に基づいて他の前記移動
手段を移動することにより、他の前記撮像手段の位置合
わせを行う第三工程と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装
置における撮像手段の位置合わせ方法。
【請求項７】前記搬送経路の最下流側に設けられた前
記移動手段は、欠陥が生じていると判定された製品に対
して所定の目印を付ける欠陥目印付加手段を当該撮像手
段とともに移動するものであることを特徴とする請求項
６記載のテープキャリア欠陥検査装置における撮像手段
の位置合わせ方法。
【請求項８】前記欠陥目印付加手段は、パンチ穴をあ
けるパンチャ又は所定の目印を記すマーカであることを
特徴とする請求項７記載のテープキャリア欠陥検査装置
における撮像手段の位置合わせ方法。
【請求項９】前記基準位置は、前記テープキャリアの
フレーム又はスプロケットホールの角部であることを特
徴とする請求項６、７又は８記載のテープキャリア欠陥
検査装置における撮像手段の位置合わせ方法。