JP2000251700A

JP2000251700A - スクリーン版のパターニング方法およびパターニング装置

Info

Publication number: JP2000251700A
Application number: JP4717199A
Authority: JP
Inventors: Yuji Kasanuki; 有二笠貫
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-02-24
Filing date: 1999-02-24
Publication date: 2000-09-14

Abstract

(57)【要約】【課題】スクリーン版の位置精度を向上させ、高精度
で且つ大面積に対応できるスクリーン版のパターニング
方法及びパターニング装置を提供する。【解決手段】スクリーン版３をガラスマスク２に面接
触させる接触ローラ５ａ、５ｂと、スクリーン版３に張
力を付与する巻き出しローラ６ａ、巻き取りローラ６ｂ
と、スクリーン版３を支持する支持ローラ７ａ、７ｂ
と、巻き出しローラ６ａ、巻き取りローラ６ｂに設けら
れた回転機構により張力が付与されると共に搬送される
スクリーン版３にパターンを露光する露光機１と、露光
機１により露光されたスクリーン版３に現像を行う現像
槽８とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、新規なスクリーン
印刷版のパターニング方法およびパターニング装置に関
するものであり、さらには前記パターニング方法により
形成された版を用いたマトリクス基板の製造方法、画像
表示装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、ＣＲＴに代わる薄く軽く大画面な
平板状の画像表示装置が期待されている。このような平
板状の画像表示装置の一つとして自発光型画像表示があ
る。たとえば、紫外線を蛍光体に照射することで蛍光体
を励起し発光させるプラズマディスプレイパネル（ＰＤ
Ｐ）、電界放出型電子放出素子（ＦＥ）や表面伝導型電
子放出素子を電子源として用い、上記電子放出素子から
放出された電子を蛍光体に照射することで、蛍光体を励
起し、発光させる平板型画像表示装置がある。なかでも
ＰＤＰは４０インチ程度のものが市販されはじめてい
る。

【０００３】本出願人は、自発光型の平板状画像表示装
置の中でも、表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示
装置に着目している。これは構造が比較的簡易なため、
大面積に形成することに適しているためである。

【０００４】表面伝導型電子放出素子は、基板上に形成
された微粒子膜からなる導電性薄膜に素子電極と呼ばれ
る一対の電極から上記導電性薄膜に電圧を印加すること
により、導電性薄膜の一部に形成された電子放出部から
電子が放出される。上記電子放出素子から放出された電
子を蛍光体に照射し、発光を得ることにより画像表示装
置を実現することができる。

【０００５】本出願人は、先に特開平６−３４２６３６
号公報において、このような表面伝導型電子放出素子を
もちいた画像表示装置の一例を開示している。

【０００６】図９は表面伝導型電子放出素子を用いた画
像表示装置の一例をしめす概略構成図である。図９にお
いて、１０５はリアプレート、１０６は外枠、１０７は
フェースプレートである。外枠１０６、リアプレート１
０５、フェースプレート１０７の各接続部は不図示の低
融点ガラスフリット等の接着材により封着され、画像表
示装置内部を真空に維持するための外囲器を構成してい
る。リアプレート１０５には基板１０１が固定されてい
る。この基板１０１上には表面伝導型電子放出素子１０
２がｎ×ｍ個配列形成されている（ｎ，ｍは２以上の正
の整数であり、目的とする表示装置に応じて適宜設定さ
れる。）。

【０００７】また、表面伝導型電子放出素子１０２は図
９に示すとおり、ｍ本の行方向配線とｎ本の列方向配線
とにより配線されている。これら基板１０１、複数の表
面伝導型電子放出素子１０２、行方向配線Ｄｘ１〜Ｄｘ
ｍ、列方向配線Ｄｙ１〜Ｄｙｎによってマルチ電子ビー
ム源が構成される。また、少なくも行方向配線と列方向
配線の交差する部分には、両配線間に不図示の層間絶縁
層が形成されており、行方向配線Ｄｘ１〜Ｄｘｍと列方
向配線Ｄｙ１〜Ｄｙｎとの電気的な絶縁が保たれてい
る。

【０００８】上記画像表示装置を形成するには、上記電
子放出素子１０２、行配線Ｄｘ１〜Ｄｘｍ、列配線Ｄｙ
１〜Ｄｙｎを多数配列形成する必要がある。しかしなが
ら、たとえば数十インチの大画面の画像表示装置を形成
する場合、対角数十インチの大基板の対応する大型製造
装置が必要となる。とりわけフォトリソグラフィー技術
を用いるとすると、その製造工程上の取り扱いの難しさ
や高コストなどの問題がある。

【０００９】そこで比較的安価で、真空装置などが必要
なく、大面積に対応しえる印刷技術を用いて、上記電子
放出素子、行方向および列方向配線を多数配列形成する
ことが考えられる。

【００１０】本出願人は、先に特開平８−３４１１０号
公報にスクリーン印刷技術を用いて上記行方向および列
方向を多数配列形成することを開示している。

【００１１】スクリーン印刷は、たとえば金属粒子をま
ぜたインキを所望のパターンの開口を有する版をマスク
として、上記開口部からインキを被印刷体である基板上
に印刷形成し、その後焼成を行うことで、所望のパター
ンの導体配線などを形成するものである。

【００１２】スクリーン印刷機の一例を図１０及び図１
１を用いて以下に述べる。

【００１３】図１０は従来のスクリーン印刷機の斜視
図、図１１は従来のスクリーン印刷機の断面図である。
図１０、図１１において、１１１は版枠、１１２はスク
リーンメッシュ、１１３はスキージ、１１４はワーク
（被印刷体）、１２１は押圧部、１１５は版パターン、
１１６はインキパターン、１１７はインキ、１２２は張
力、１２３はギャップである。スクリーンメッシュ１１
２はステンレス等の材質のメッシュ上に形成されてお
り、適宜設定された張力で版枠にはられている。

【００１４】次ぎにスクリーン印刷の手順を、図を用い
て以下に述べる。

【００１５】まず、図１１に示すように、スクリーンメ
ッシュ１１２の面とワークを所定のギャップ１２３にセ
ットする。次ぎにスクリーンメッシュ１１２が押圧部に
おいてワーク１１４に接するまでスキージ１１３を下げ
る。次ぎにスキージ１１３の手前にインキ１１７を設置
する。つぎにスクリーンメッシュ１１２がワーク１１４
に常に接するように、スキージ１１３を下げたまま、ス
キージ１１３を図１０の矢印方向に操引して、インキ１
１７をかきとる。その後、図１０のようにスキージ１１
３からの圧力によってインキ１１７は版パターン１１５
を通ってワーク１１４上に吐出される。このように、イ
ンキ１１７の吐出と同時に、図１１に示すスクリーン押
圧部の張力の垂直成分に由来する復元力によりスクリー
ンメッシュ１１２がワーク１１４から離れることでイン
キ１１７が分離されワーク１１４上に、図１０に示す所
望のインキパターン１１６が形成される。

【００１６】以上のような従来のスクリーン印刷には、
以下の点に特徴がある。（１）四辺を枠固定したスクリーンメッシュ１１２を原
版として使用している。（２）原版とワーク１１４の間を、あるギャップ１２３
に保った状態で印刷を行う。

【００１７】これらのことにより、スクリーン印刷で
は、あらかじめ設定されたスクリーン版上の元パターン
を伸長して、印刷することとなるため、元パターンの寸
法に対して２次元的に歪んだ誤差が加えられた寸法での
印刷となる。以上の位置精度悪化は大面積に成るほど無
視できない大きさとなる（ＮＨＫ技研Ｒ＆ＤＮｏ３７
１９９５年８月「ハイビジョン用プラズマディスプレイ
の研究」）。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のスクリーン印刷法では前述したように印刷版とワーク
間にギャップがあり、スキージで印刷インキをワークに
印刷する際、印刷版の伸びが発生する。また繰り返し印
刷する際、スクリーン版はスクリーン版の位置により異
なった伸びを発生して、パターン位置精度が劣化してい
く。さらには、これらの伸びの発生は、各パターンによ
っても異なる。すなわち、各パターンに応じて、異なる
スクリーン版を用いて印刷されるため、各パターン間の
位置精度が大幅に低下するということになる。

【００１９】とりわけｘ軸方向の第一の配線と、第一の
配線と直交するｙ軸方向の第二の配線と、第一の配線と
第二の配線の交差部とに、すくなくも配置される絶縁層
から構成されるマトリクス基板では、各パターンの位置
精度のみならず各パターン間の相対位置精度は重要であ
る。

【００２０】本発明は、上記スクリーン版の位置精度を
向上させ、高精度でかつ大面積に対応できるスクリーン
印刷版のパターニング方法およびパターニング装置を提
供することを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を解
決するものであり、スクリーン版のパターニング方法に
おいて、スクリーン版の対向する２辺をそれぞれロール
に巻き付けるロール・ツー・ロール構成によってスクリ
ーン版に張力を与えた状態で少なくも一種類以上のパタ
ーンをパターニングすることを特徴とするスクリーン版
のパターニング方法であり、本発明で用いられるスクリ
ーン版は好ましくは非弾性スクリーン版である。

【００２２】また紗と乳剤から構成されるスクリーン版
のパターニング装置において対向する２辺のロールにス
クリーン版が巻き付けられるロール・ツー・ロール構成
によりスクリーン版に張力が与えられる手段を有し、張
力を印加した状態でロールの回転により移動させること
により少なくも一種類以上のパターンを露光・現像でき
ることを特徴としたパターニング装置である。

【００２３】また、メタルと乳剤から構成されるスクリ
ーン版のパターニング装置において対向する２辺のロー
ルにスクリーン版が巻き付けられるロール・ツー・ロー
ル構成によりスクリーン版に張力が与えられる手段を有
し、張力を印加した状態でロールの回転により移動させ
ることにより少なくも一種類以上のパターンを露光・現
像・エッチングできることを特徴としたパターニング装
置である。

【００２４】さらには、メタルもしくはプラスチックか
ら構成されるスクリーン版のパターニング装置において
対向する２辺のロールにスクリーン版が巻き付けられる
ロール・ツー・ロール構成によりスクリーン版に張力が
与えられる手段を有し、張力を印加した状態でロールの
回転により移動させることにより少なくも一種類以上の
パターンをレーザーでエッチングすることを特徴とした
パターニング装置である。

【００２５】さらには上記パターニング方法により形成
された版の複数のパターン部が第一の配線、第一の配線
と直交する第二の配線、第一の配線と第二の配線の交差
部に少なくも配置される絶縁層から構成され、該版を用
いて印刷されるマトリクス基板の製造方法であり、また
上記パターニング方法により形成された版の複数のパタ
ーン部が３原色からなる蛍光体およびブラックラインか
ら構成され、該版を用いて印刷される蛍光膜を有する基
板の製造方法であり、またこれらを用いて製造されたこ
とを特徴とする画像表示装置の製造方法でもある。

【００２６】［作用］本発明のパターニング装置は、ス
クリーン版の対向する２辺をそれぞれロールに巻き付け
るロール・ツー・ロール構成によって、スクリーン版に
張力を加える手段を有しているので、印刷時の張力と同
様の張力を設定して加えることができる。しかも、ロー
ル・ツー・ロール方式なので、一定で均一な張力を印加
でき、このため複数のパターニングを行う際に、順次ロ
ールでスクリーン版をおくり、パターニングする際に各
パターン間での張力を一定に保つことができ、高精度な
パターニングを行うことができる。

【００２７】スクリーン版はこのましくは非弾性スクリ
ーン版がよい。ここで非弾性スクリーン版とよんでいる
のは、従来のポリエステルスクリーンやステンレススク
リーンに対して、これらにニッケルメッキ処理をして作
成されたリジタイズドスクリーン版、エレクトロフォー
ミング法で作成されたスクリーン版、金属板やプラスチ
ック板をエッチングして作成されたスクリーン版等をい
う。しかし、本発明に用いることのできるスクリーン版
は、これに限るものではない。

【００２８】本発明のパターニング装置で作成したスク
リーン版は、異なるパターンでも同一の張力でパターニ
ングされているため、パターン間の相対的位置精度が良
好であり、マトリクス基板等の形成には好適である。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明による実施形態について、
図面を参照しつつ詳細に説明する。

【００３０】［第１の実施形態］図１、図２を用いて本
実施形態のスクリーン版のパターニング方法及びパター
ニング装置を説明する。

【００３１】図１は本実施形態のパターニング装置を示
す斜視図である。

【００３２】図１は本発明の第１の実施形態のスクリー
ン版のパターニング方法を実現するパターニング装置を
示す斜視図である。

【００３３】図１において、パターニング装置は、露光
機１、ガラスマスク２、接触ローラ５ａ、５ｂ、巻き出
しローラ６ａ、巻き取りローラー６ｂ、支持ローラ７
ａ、７ｂ、現像槽８を備えている。また図中、４はスク
リーン版３のパターニング領域を示す。ここで、巻き出
しローラ６ａはテンションローラーであり、巻き出す方
向とは反対の方向に一定のトルクをかけることができ
る。トルクは例えば電磁クラッチ等を用いる。一方、巻
き取りローラー６ｂは巻き取り用で、巻き取り速度を制
御することができる。巻き取りローラー６ｂはローラー
を駆動するモータにより速度制御し、巻き出しローラ６
ａと巻き取りローラー６ｂとの間にあるローラーは全て
フリーロールである。以上の機構により、所望の張力
で、所望の速度で巻き取ることができる。

【００３４】また、スクリーン版３は、ガラスマスク２
に対し接触ローラ５ａ、５ｂにより密着されている。ま
た、スクリーン版３は、本例では紗と乳剤から構成され
ており、巻き出しローラ６ａ、巻き取りローラー６ｂに
より一定の張力に制御されている。

【００３５】スクリーン版３の両端には、引き回し用に
不図示のリーダが設けられている。巻き出しローラ６
ａ、巻き取りローラー６ｂには、不図示の回転機構が設
けてあり、一定の張力を印加しながら、スクリーン版３
を搬送することができる。また、接触ローラ５ａ、５ｂ
には、スクリーン版３をガラスマスク２に面接触させる
ための不図示の上下機構が装備されている。

【００３６】図２は本発明の第１の実施形態のパターニ
ング装置の概略図である。図２において、８ａは現像液
を吐出するノズル、８ｂは乾燥用のエアナイフであり、
現像槽８の内部に配設されている。尚、図１及び図２に
おける共通構成には同一符号を付す。

【００３７】（動作の説明）次に、本発明の第１の実施
形態のパターニング手順について、図１及び図２、図３
及び図４を参照して詳細に説明する。

【００３８】最初に、パターニング装置へのスクリーン
のセッティングについて述べる。本例では、スクリーン
版３としてステンレススクリーンにニッケルメッキ処理
して作成されたリジタイズドスクリーン版を用いた。係
るスクリーン版３の一端を張力ローラ６ａに固定する。
次に、スクリーン版３を種々の支持ローラ７ａ、７ｂや
接触ローラ５ａ、５ｂ及び現像槽８を通過させて、もう
一方の張力ローラ６ｂに固定する。支持ローラ７ａ、７
ｂは、このスクリーン版３の引き回しに応じて適宜設け
ることができる。

【００３９】また、スクリーン版３の両端には、上記の
ように、引き回し用にリーダが設けられており、必ずし
もスクリーン版３が張力ローラ６ａ、６ｂに巻き取られ
る必要はない。張力ローラ６ａ、６ｂには、上記のよう
に回転機構が設けてあり、一定の張力を印加しながら、
スクリーン版を搬送することができる。また、接触ロー
ラ５ａ、５ｂには、上記のように不図示の上下機構がつ
いており、スクリーン版３をガラスマスク２に面接触さ
せることができる。

【００４０】スクリーン版３をパターニング装置にセッ
ティングした後、パターニング領域４がガラスマスク２
上にくるまでスクリーン版３を搬送する。所定の位置ま
で搬送したら、接触ローラ５によりスクリーン版３にお
けるパターンが形成されたパターニング領域（パターン
形成領域）４をガラスマスク２に面接触させて、露光機
１により露光する。

【００４１】露光が終わると、接触ローラ５ａ、５ｂに
よりスクリーン版３をガラスマスク２より離し、スクリ
ーン版３を搬送する。

【００４２】次に、スクリーン版３は現像槽８に入れら
れる。現像槽８では現像液がノズル８ａよりシャワー状
に吐出して、現像が行われる。ノズル８ａの数や現像液
の量は現像条件により選択される。また、現像後のリン
ス、洗浄もこの現像槽８内で同様にして行われる。洗浄
後のスクリーン版３は、エアナイフ８ｂにより乾燥され
て現像槽８より出てくる。

【００４３】この間、スクリーン版３は常に一定の張力
に保持される。本例では、張力は２ｋｇ／ｃｍとした。

【００４４】上記工程を繰り返すことにより、複数のパ
ターニングも行うことができる。

【００４５】本例では、印刷精度のチェックのため、第
一のパターン部と第二のパターン部によってドットパタ
ーンを構成するようにスクリーン版をパターニングし
た。図３に、第一のドット１３と第二のドット１４のパ
ターンの配置図を示す。

【００４６】図３において、基板１１は対角２０インチ
で、印刷パターン部１２は、対角１５インチである。ド
ットパターンは、図３（ｂ）に示すアライメントマーカ
１５を基準として等ピッチで、且つ第一のドット１３と
第二のドット１４が交互になるように配置されている。

【００４７】上記のようなパターンのスクリーン版３を
ロール・ツー・ロール方式の印刷機１にセットして印刷
を行った。この時のスクリーン版３の張力は２ｋｇ／ｃ
ｍである。先ず、第一のパターン部を基板１１に印刷
し、次に、第二のパターン部までスクリーン版を送って
ワーク上で位置合わせした後、第一のパターン部と同様
に印刷を行い、ドットパターンを形成した。ペーストは
銀ペーストを使用した。

【００４８】以上の方法により印刷したドットパターン
の位置精度を測定した。位置精度は図上、右上下のアラ
イメントマーカ１５を原点としてその位置を測定した。

【００４９】（第１の実施形態と比較例）次に、第１の
実施形態と比較例との相異について説明する。

【００５０】第１の実施形態と同様のパターンを通常の
２版のスクリーン版で構成して、従来技術で説明したス
クリーン印刷機を用いて印刷し、その位置精度を測定し
た。

【００５１】第１の実施形態と比較例の位置精度の測定
結果を図４に示す。図４はそれぞれのドットの設計座標
に対する印刷後の位置座標のずれ量の分布を示す。第１
の実施形態における第一のドットのずれ量の分布と第二
のドットのずれ量の分布はほぼ同じであり、重なる。こ
れに対して、比較例は第一のドットのずれ量と第二のド
ットのずれ量が異なる傾向を示していることが分かる。

【００５２】以上のように本発明の第１の実施形態で
は、スクリーン版のパターニング時の張力を異なるパタ
ーンにたいして一定に保つことができ、このため異なる
パターン間での相対的位置精度を良好とすることができ
る。

【００５３】［第２の実施形態］次に、本発明の第２の
実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

【００５４】（１）構成の説明本発明の第２の実施形態では、メタルと乳剤から構成さ
れるスクリーン版のパターニング装置の場合について述
べる。

【００５５】図５は本発明の第１の実施形態のパターニ
ング装置の概略の構成を示す説明図である。

【００５６】図５において、パターニング装置は、露光
機１、ガラスマスク２、接触ローラ５ａ、５ｂ、張力ロ
ーラ６ａ、６ｂ、支持ローラ７ａ、７ｂ、現像槽８、エ
ッチング槽９を備えている。尚、上記図１及び図２と同
一の符号は同一のものを示す。

【００５７】第１の実施形態のスクリーン版の構成は、
第１の実施形態の紗にたいして、メタルが用いられてい
る。メタルが用いられることにより、乳剤の現像工程の
後に、メタルのエッチング工程のためにエッチング槽９
が設けられている。メタルとしては種々の材料がある
が、ＳＵＳ３０４・ニッケル等がよく用いられる。メタ
ル箔の厚さは１０〜３００μｍである。

【００５８】（２）動作の説明次に、本発明の第２の実施形態のパターニング手順につ
いて、図５を参照して詳細に説明する。

【００５９】パターニング手順は、第１の実施形態と同
様に乳剤の現像まで行った後に、エッチング槽９にてメ
タルエッチングを行った。エッチング槽９では、メタル
のエッチング液、洗浄液、乳剤の剥離液、洗浄液と順に
ノズルより供給し、最後にブロワーして、エッチング工
程を終了する。

【００６０】以上のように本発明の第２の実施形態で
は、上記のようにして形成されたスクリーン版におい
て、第１の実施形態と同様の印刷実験を行ったところ、
良好な位置精度の印刷が実現できた。

【００６１】［第３の実施形態］次に、本発明の第３の
実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

【００６２】（１）構成の説明本発明の第３の実施形態では、メタルまたはプラスチッ
クから構成されるスクリーン版のパターニング装置につ
いて述べる。

【００６３】図６は本発明の第３の実施形態のパターニ
ング装置の概略の構成を示す説明図である。

【００６４】図６において、パターニング装置は、ガラ
スマスク２、接触ローラ５ａ、５ｂ、張力ローラ６ａ、
６ｂ、支持ローラ７ａ、７ｂ、レーザ照射機構１０を備
えている。尚、図１及び図２と同一の符号は同一のもの
を示す。

【００６５】第３の実施形態のスクリーン版の構成は、
第１の実施形態の紗に対して、メタルまたはプラスチッ
クが用いられている。

【００６６】（２）動作の説明次に、本発明の第３の実施形態のパターニング手順につ
いて、図６を参照して詳細に説明する。

【００６７】パターンは直接、レーザ照射機構１０から
照射したレーザ光で描画される。レーザ照射機構１０は
ＹＡＧ（Yttrium-Aluminum-Garmet）やエキシマを使用
しており、材料により取捨選択すればよい。本発明で
は、メタル、例えばＳＵＳ３０４（ステンレス）には、
ＹＡＧ第二高調波を用いた。また、プラスチック、例え
ばＰＥＴ（石油化学品）にはエキシマレーザを用いた。

【００６８】以上のように本発明の第３の実施形態で
は、上記のようにして得られたスクリーン版を用いて、
第１の実施形態と同様の印刷実験を行ったところ、良好
な位置精度の印刷ができた。

【００６９】［第４の実施形態］次に、本発明の第４の
実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

【００７０】（１）構成の説明本発明の第４の実施形態では、第１の実施形態で述べた
本発明のパターニング装置で単純マトリクス状に行配
線、行配線と直交するように配置された列配線と行配線
と列配線の交差部に配置された絶縁層に相当するパター
ン部を、パターニングしたスクリーン版を用いてマトリ
クス配線を形成し、表面伝導型電子放出素子を複数配置
した電子源を用いた画像表示装置の製造方法について以
下に述べる。

【００７１】図７（ａ）〜（ｅ）は本発明の第４の実施
の形態のパターニング装置を用いてパターニングしたス
クリーン版により形成した画像表示装置の電子源基板の
製造工程を示した上面図である。ここでは、図７（ｅ）
において、不図示の青板ガラス基板上に対して、電子放
出素子６５を３×３個の計９個のマトリクス状に配線６
２，６４と共に形成した例で示す。

【００７２】図７（ｅ）において、６１はオフセット印
刷によって形成された素子電極である。この素子電極パ
ターンは、本実施形態においては、２０μｍのギャップ
を隔てた長方形状の一対の電極がマトリクス状に配置さ
れている。６２は印刷銀ペーストの焼成によって形成さ
れた下層印刷配線、６３は印刷ガラスペーストの焼成に
よって形成された絶縁層である。６４は印刷銀ペースト
の焼成によって形成された上層印刷配線である。６５は
導電性薄膜であり、Ｐｄ微粒子から成る薄膜であり、一
対の素子電極６２の間隔部に配線形成される。

【００７３】（２）動作の説明次に、本発明の第４の実施形態の電子源基板の製造工程
について、図７及び図８を参照して詳細に説明する。

【００７４】素子電極６１のパターンを、２０μｍのギ
ャップを隔てた長方形状の一対の電極がマトリクス状に
配置して形成する。また、印刷銀ペーストの焼成によっ
て下層印刷配線６２を形成し、印刷ガラスペーストの焼
成によって絶縁層６３を形成する。また、印刷銀ペース
トの焼成によって上層印刷配線６４を形成する。これら
の印刷は本発明のパターニング装置と同様なロールツー
ロールの印刷機により印刷された。

【００７５】また、Ｐｄ微粒子から成る薄膜である導電
性薄膜６５を、一対の素子電極６２の間隔部に配線形成
する。

【００７６】次に、図９に示したフェースプレート１０
７〜１０９を形成する。フェースプレートにはガラス基
体１０７と蛍光膜１０８とメタルバック１０９等が形成
されている。図８（ａ）、（ｂ）は蛍光膜１０８を示す
上面図である。カラーの蛍光膜の場合は、蛍光体の配列
によりブラックストライプ（図８（ａ））或いはブラッ
クマトリクス（図８（ｂ））の黒色導電材７１と蛍光体
７２とで形成される。

【００７７】ガラス基板に蛍光体７２を塗布する方法に
は、沈殿法や印刷法が用いられる。また、蛍光膜１０８
の内面側には通常メタルバック１０９が設けられる。メ
タルバック１０９は蛍光膜１０８作成後、蛍光膜１０８
の内面側表面の平滑化処理を行い、その後、アルミを真
空蒸着等で堆積することで作成できる。

【００７８】本例では、蛍光膜１０８のうちブラックラ
インペーストに黒鉛をふくむペーストを用い、ブラック
ラインを印刷した。これを乾燥させた後、ブラックライ
ン間に赤色蛍光体を印刷した。これを乾燥させた後、赤
色蛍光体に隣接するブラックライン間に絶縁蛍光体を印
刷した。同様に青色蛍光体を印刷した後、本焼成してフ
ェースプレートを形成した。

【００７９】上記のように、図９に示したように形成し
たフェースプレート１０７、リアプレート１０５を支持
枠１０６を介して封着し、画像表示装置を構成した。画
像表示装置は、封着後、行列配線を介して素子電極間に
所望の電圧を印加して、通電フォーミング処理、及び活
性化処理を行い、内部を真空状態として、素子電極に走
査信号と画像信号を印加し、メタルバックに高電圧を印
加すれば、高輝度の画像を視認することができた。

【００８０】画像表示装置に表示された画像を観察する
と、印刷位置精度に起因する色ずれ、ばらつき等は観察
されなかった。

【００８１】以上のように本発明の第４の実施形態で
は、各パターンの位置精度が高く、従って色ずれ等のな
い高品位の画像表示装置が製造できた。

【００８２】

【発明の効果】以上説明したように本発明のスクリーン
版のパターニング方法、本発明のスクリーン版のパター
ニング装置によれば、搬送方向両端がロールに巻き付け
られたスクリーン版に張力を付与して搬送を行い、スク
リーン版にパターンを露光し現像を行うため、高精度且
つ大面積での印刷に対応したスクリーン版を形成するこ
とができる。

【００８３】また、本発明のマトリクス基板の製造方法
によれば、本発明のスクリーン版のパターニング方法、
スクリーン版のパターニング装置を用いることにより、
位置精度が高く色ずれ等のないマトリクス基板を製造す
ることができる。

【００８４】また、本発明の蛍光体を有する基板の製造
方法によれば、本発明のスクリーン版のパターニング方
法、スクリーン版のパターニング装置を用いることによ
り、位置精度が高く色ずれ等のない蛍光膜を有する基板
を製造することができる。

【００８５】また、本発明の画像表示装置の製造方法に
よれば、本発明のマトリクス基板の製造方法、蛍光膜を
有する基板の製造方法を用いることにより、各パターン
の位置精度が高く色ずれ等のない高品位の画像表示装置
を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態のパターニング装置の
構成例を示す斜視図である。

【図２】本発明の第１の実施形態のパターニング装置の
構成例を示す概略図である。

【図３】本発明の第１の実施形態の印刷テストパターン
を示す上面図である。

【図４】本発明の第１の実施形態と比較例との位置精度
の評価結果を示す説明図である。

【図５】本発明の第２の実施形態のパターニング装置の
構成例を示す概略図である。

【図６】本発明の第３の実施形態のパターニング装置の
構成例を示す概略図である。

【図７】本発明の第４の実施形態の製造装置を用いて形
成したリアプレートの製造工程を示す上面図である。

【図８】本発明の第４の実施形態の蛍光膜を示す上面図
である。

【図９】本発明及び従来例の表面伝導型電子放出素子を
用いた画像表示装置の斜視図である。

【図１０】従来例のスクリーン印刷機の斜視図である。

【図１１】従来例のスクリーン印刷機の概略図である。

【符号の説明】

１露光機２ガラスマスク３スクリーン版４パターニング領域５ａ、５ｂ接触ローラ６ａ、６ｂ張力ローラ７ａ、７ｂ接触ローラ８現像槽９エッチング槽１０レーザ照射機構６２下層印刷配線６３絶縁層６４上層印刷配線７１黒色導電材７２蛍光体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スクリーン版のパターニングにおいて、
前記スクリーン版の対向する２辺をそれぞれロールに巻
き付けるロール・ツー・ロール構成によって前記スクリ
ーン版に張力を与えた状態で少なくも一種類以上のパタ
ーンをパターニングすることを特徴とするスクリーン版
のパターニング方法。
【請求項２】前記スクリーン版が非弾性スクリーン版
であることを特徴とする請求項１に記載のパターニング
方法。
【請求項３】紗と乳剤から構成されるスクリーン版の
パターニング装置において、対向する２辺のロールに前記スクリーン版が巻き付けら
れるロール・ツー・ロール構成により前記スクリーン版
に張力が与えられる手段を有し、前記張力を印加した状
態で前記ロールの回転により移動させることにより少な
くも一種類以上のパターンを露光・現像できることを特
徴としたパターニング装置。
【請求項４】メタルと乳剤から構成されるスクリーン
版のパターニング装置において、対向する２辺のロールに前記スクリーン版が巻き付けら
れるロール・ツー・ロール構成により前記スクリーン版
に張力が与えられる手段を有し、前記張力を印加した状
態で前記ロールの回転により移動させることにより少な
くも一種類以上のパターンを露光・現像・エッチングで
きることを特徴としたパターニング装置。
【請求項５】メタルもしくはプラスチックから構成さ
れるスクリーン版のパターニング装置において、対向する２辺のロールにスクリーン版が巻き付けられる
ロール・ツー・ロール構成により前記スクリーン版に張
力が与えられる手段を有し、前記張力を印加した状態で
前記ロールの回転により移動させることにより少なくも
一種類以上のパターンをレーザーでエッチングすること
を特徴としたパターニング装置。
【請求項６】請求項１又は２に記載のパターニング方
法により形成された前記スクリーン版の複数のパターン
部が第一の配線、該第一の配線と直交する第二の配線、
前記第一の配線と前記第二の配線の交差部に少なくも配
置される絶縁層から構成され、前記スクリーン版を用い
て印刷されるマトリクス基板の製造方法。
【請求項７】請求項１又は２に記載のパターニング方
法により形成された版の複数のパターン部が３原色から
なる蛍光体およびブラックラインから構成され、該版を
用いて印刷される蛍光膜を有する基板の製造方法。
【請求項８】請求項６又は，７に記載のマトリクス基
板の製造方法により製造されたおいて、を用いて製造さ
れたことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項９】スクリーン版にパターンを形成するスク
リーン版のパターニング方法において、搬送方向両端がロールに巻き付けられた前記スクリーン
版を引き回して搬送する搬送工程と、前記スクリーン版
に張力を付与する張力付与工程と、該張力付与工程によ
り張力が付与されると共に前記搬送工程により搬送され
る前記スクリーン版にパターンを露光する露光工程と、
該露光工程により露光された前記スクリーン版に現像を
行う現像工程とを有することを特徴とするスクリーン版
のパターニング方法。
【請求項１０】前記スクリーン版は、紗及び乳剤を有
して構成されるスクリーン版であることを特徴とする請
求項９に記載のスクリーン版のパターニング方法。
【請求項１１】請求項９に記載されたスクリーン版の
パターニング方法において、前記現像工程により現像さ
れた前記スクリーン版のエッチングを行うエッチング工
程とを有することを特徴とするスクリーン版のパターニ
ング方法。
【請求項１２】スクリーン版にパターンを形成するス
クリーン版のパターニング方法において、搬送方向両端がロールに巻き付けられた前記スクリーン
版を引き回して搬送する搬送工程と、前記スクリーン版
に張力を付与する張力付与工程と、該張力付与工程によ
り張力が付与されると共に前記搬送工程により搬送され
る前記スクリーン版にレーザを照射してパターンをエッ
チングするレーザ照射工程とを有することを特徴とする
スクリーン版のパターニング方法。
【請求項１３】前記スクリーン版は、メタル或いはプ
ラスチックから構成される非弾性スクリーン版であるこ
とを特徴とする請求項１２に記載のスクリーン版のパタ
ーニング方法。
【請求項１４】スクリーン版にパターンを形成するス
クリーン版のパターニング装置において、搬送方向両端がロールに巻き付けられた前記スクリーン
版を引き回して搬送する搬送手段と、前記スクリーン版
に張力を付与する張力付与手段と、該張力付与手段によ
り張力が付与されると共に前記搬送手段により搬送され
る前記スクリーン版にパターンを露光する露光手段と、
該露光手段により露光された前記スクリーン版に現像を
行う現像手段とを備えることを特徴とするスクリーン版
のパターニング装置。
【請求項１５】前記スクリーン版は、紗及び乳剤を有
して構成されるスクリーン版であることを特徴とする請
求項１４に記載のスクリーン版のパターニング装置。
【請求項１６】請求項１４に記載されたスクリーン版
のパターニング装置において、前記現像手段により現像
された前記スクリーン版のエッチングを行うエッチング
手段とを備えることを特徴とするスクリーン版のパター
ニング装置。
【請求項１７】前記スクリーン版は、メタル及び乳剤
を有して構成される非弾性スクリーン版であることを特
徴とする請求項１４に記載のスクリーン版のパターニン
グ装置。
【請求項１８】スクリーン版にパターンを形成するス
クリーン版のパターニング装置において、搬送方向両端がロールに巻き付けられた前記スクリーン
版を引き回して搬送する搬送手段と、前記スクリーン版
に張力を付与する張力付与手段と、該張力付与手段によ
り張力が付与されると共に前記搬送手段により搬送され
る前記スクリーン版にレーザを照射してパターンをエッ
チングするレーザ照射手段とを備えることを特徴とする
スクリーン版のパターニング装置。
【請求項１９】前記スクリーン版は、メタル或いはプ
ラスチックから構成される非弾性スクリーン版であるこ
とを特徴とする請求項１８に記載のスクリーン版のパタ
ーニング装置。
【請求項２０】請求項１，２，６乃至１３の何れかに
記載のパターニング方法により形成された版の複数のパ
ターン部を第一の配線、該第一の配線と直交する第二の
配線、少なくとも前記第一の配線と前記第二の配線の交
差部に配置される絶縁層から構成し、該版を用いて基板
に印刷を行うことを特徴とするマトリクス基板の製造方
法。
【請求項２１】請求項３乃至５及び１４乃至１９の何
れか１項に記載のパターニング装置により形成された版
の複数のパターン部を第一の配線、該第一の配線と直交
する第二の配線、少なくとも前記第一の配線と前記第二
の配線の交差部に配置される絶縁層から構成し、該版を
用いて基板に印刷を行うことを特徴とするマトリクス基
板の製造方法。
【請求項２２】請求項２０又は２１に記載のマトリク
ス基板の製造方法を用いて画像表示装置を製造すること
を特徴とする画像表示装置の製造方法。