JP2000258292A - 屈折率分布の測定装置及び屈折率分布の測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 屈折率分布の測定において、測定データと被
検物の形状データを重ね合わせることが簡単にできる装
置を提供する。 【解決手段】 光源１と、被検物Ｏとほぼ同じ屈折率の
試液Ｓを有する被検物保持装置１０と、被検物を透過し
た被検波から干渉縞を形成する干渉計と、該干渉縞像を
結像させる結像光学系１３’と、被検物を移動する移動
装置３７と、干渉縞検出器１５と、演算手段３９と、上
記結像光学系に入射する第２の光源２５と、基準板２９
とを有する構成。測定に先だって基準板２９の像を干渉
縞検出器１５上に結像させ、像の倍率を求め、測定デー
タと形状とを重ね合わせられるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、被検物に可干渉光
を透過させ、透過した被検波から干渉縞を形成して被検
物の位相分布を測定する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、レーザプリンタやカメラなどの光
学機器に使用される光学レンズの材料としてプラスチッ
クを用いることが多くなっている。プラスチック成形レ
ンズはガラス研磨レンズに比較して、コスト低減や非球
面レンズの製作性に優れ、安価であるというメリットが
ある。

【０００３】しかし、その反面、ガラスレンズに比べ製
造上、屈折率分布が不安定でレンズの内部に不均一性を
生じることがある。レンズ内部に不均一性があると、光
学特性に大きな影響を及ぼし、画質の劣化やボケといっ
た原因につながる。従って、レンズ内部の屈折率分布を
３次元的に高精度に測定し、光学レンズの均質性を評価
する必要がある。

【０００４】光学レンズの屈折率を測定する方法として
は、精密示差屈折計などを使用してＶブロック法等によ
り屈折角を計測して屈折率を求める方法や、トワイマン
・グリーン干渉計などの干渉計を使用して干渉縞より屈
折率を測定する方法などがあり、また、光学的均質性の
測定方法として、フィゾー干渉計、マハツェンダ干渉計
などの干渉計を使用して干渉縞像の解析より透過波面を
計測し、屈折率分布から光学的均質性を求める方法が知
られている。

【０００５】しかしながら、上記のいずれの方法におい
ても、被検物は、所定形状に加工する必要があり、測定
対象の光学素子を破壊しなければならない。また、透過
波面より求められる屈折率分布は、光路進行方向に積算
された平均値となり、３次元空間的な屈折率分布を測定
し、屈折率の不均一部分を３次元空間的に特定すること
ができない。

【０００６】そこで、本発明の出願人は、先願の特願平
６−２０３５０２号において、図９に示すような、被検
物を試液中に浸した状態で干渉縞を形成し、干渉縞から
透過波面量を算出して屈折率分布を計測する装置を提案
している。

【０００７】図９に示す装置は、マハツェンダ干渉計を
用いた構成である。マハツェンダ干渉計は、可干渉光と
してのレーザ光を射出する光源１と、ビームエキスパン
ダ３と、偏光ビームスプリッタからなる光分割器５と、
参照波の光路内に置かれたミラーからなる反射装置７
と、被検波を２つの光束に分割するビームスプリッタか
らなる反射装置９と、光重畳器１１としての偏光ビーム
スプリッタと、結像レンズ１３と、ＣＣＤなどからなる
干渉縞検出器１５とを備えている。

【０００８】図９において、被検物Ｏは屈折率が被検物
とほぼ一致した試液Ｓの中に浸された容器状の被検物支
持手段１０中にあり、光束の入射口１２及び出射口１４
には面精度の良いオプティカルフラット１６，１８を取
り付けている。被検物Ｏは光軸に対して垂直な回転軸Ｐ
を持つ回転台２０上に設置されており被検物支持手段１
０は固定された状態で被検物０が軸Ｐを中心に回転可能
である。そして、回転台２０の回転は、微小な回転角や
昇降量を与えられるもので、ステッピングモータ等が用
いられている。

【０００９】光源１より出射するレーザ光は、ビームエ
キスパンダ３によって光束径を拡大され、光分割器５に
よってこれを直角に屈折して参照波ａとなるレーザ光束
と、直進して被検物Ｏとしての位相物体を透過する被検
波ｂとに分割される。参照波ａと被検波ｂとはほぼ１：
１となるようになっている。

【００１０】反射装置７は、ピエゾ素子などによる電気
−変位変換素子１９により支持され、位相シフト法によ
る干渉縞解析を行うために、参照波ａの光路長を波長以
下のオーダで変更できるものである。

【００１１】参照波ａは反射装置７で反射され、光重畳
器１１に達し、他方の被検波ｂは、被検物Ｏを透過して
反射装置兼光分割器９で一部ｂ２が反射され、光重畳器
１１に達して参照波ａと重なり合うが、電気−変位変換
素子１９により参照波ａと被検波ｂ２との光路長には、
ｎπ／２の位相の差ができるように調整される。

【００１２】参照波ａと被検波ｂは重畳され、光重畳器
１１から射出されて偏光子１７を経て結像レンズ１３に
入射し、干渉縞検出器１５の撮像面に干渉縞を結像す
る。干渉縞検出器１５には干渉縞と直交する方向に配置
されたリニアＣＣＤやエリアＣＣＤ或いはアレイ状のセ
ンサを用いる。

【００１３】干渉縞検出器１５の測定結果は、干渉縞検
出器１５の長さ方向をｘ軸とし、各素子の発する強度を
Ｗとすると、透過波面Ｗ（ｘ，ｙ）という関数で表され
る。干渉縞検出器１５がｘ軸方向に延びる１次元ＣＣＤ
の場合、１回の測定では、被検物をｘ−ｚ面で切断した
１測定断面について透過波面が測定できることになる。

【００１４】こうして得られた透過波面Ｗ（ｘ）をフー
リエ変換、極座標変換等の演算処理をすることによっ
て、上記の測定断面について、屈折率分布Ｎ（ｘ）を得
ることができる。そして、ｙ座標を複数箇所について同
様の測定を行い、屈折率分布Ｎ（ｘ，ｙ）を得ることが
できる。

【００１５】上記の出願による屈折率分布の測定方法及
び装置によれば、被検物Ｏを全く破壊することなく、使
用する形状のままで、高精度の計測が可能であるという
利点を有している。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の屈折
率分布の測定においては、干渉縞像から測定して得た屈
折率分布の測定データと被検物の形状データを重ね合わ
せることが必要である。そのためには、干渉縞検出器上
の干渉縞像の倍率が既知でなければならない。しかしな
がら、従来は、この倍率の計算が困難で、重ね合わせに
長時間を要していた。

【００１７】本発明は、このような問題の解決を図った
もので、干渉縞の倍率を簡単に得ることができる屈折率
分布の測定装置を提供することを目的としている。ま
た、上記従来技術では、干渉縞検出器１５の１次元セン
サの長さは一定であるのに対し、被検物の大きさは変化
する。そのため、干渉縞が小さすぎたり、大き過ぎたり
して、測定精度が粗くなったり、測定不能になってしま
うことがあった。本発明の目的は、被検物の大きさに左
右されることなく、常に、ほぼ同じ大きさの干渉縞像を
結像させることができる屈折率分布測定装置を提供する
ことを目的としている。

【００１８】また、上記の測定装置では、光源からの光
量が強すぎたり、弱すぎたりすると、正確な測定ができ
ない。そこで、適当な光量を得ることができる屈折率分
布測定装置を提供することを目的としている。

【００１９】さらに、上記の測定方法によれば、フーリ
エ変換したり、極座標変換する等の複雑な演算処理を必
要としている。本発明は、比較的簡単な演算で屈折率分
布の計測が可能な方法を提供することを目的としてい
る。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記の干渉縞像の倍率を
簡単に得るために、本発明の屈折率分布の測定装置で
は、可干渉光を射出する光源と、該光源から射出された
光束上に配置され被検物とほぼ同じ屈折率の試液を有す
るとともに相互に平行な入射口と射出口とを有する被検
物保持装置と、被検物を透過した被検波から被検物の１
測定断面について干渉縞を形成する干渉計と、該干渉計
で形成された干渉縞像を結像させる結像光学系と、被検
物を上記１測定断面と交叉する方向に移動する移動装置
と、干渉縞像の結像位置に設けられた干渉縞検出器と、
該干渉縞検出器の出力から屈折率分布を算出する演算手
段と、上記結像光学系に入射する第２の光源と、該第２
の光源と上記光学系との間に設けられた基準板とを有す
る構成を特徴としている。

【００２１】上記光源と第２の光源との双方を制御する
光源駆動装置を設け、２つの光源が同時に点灯しないよ
うに制御される構成としたり、上記光学系がズームレン
ズである構成としたり、上記光源の光量を変更する透過
光量変更手段を設けた構成としたり、演算手段が、最小
自乗法による多項式近似により屈折率分布の多項式近似
係数を求める演算手段である構成とすることができる。

【００２２】また、比較的簡単な演算で屈折率分布の計
測が可能な方法として、可干渉光を被検物に透過し、光
学系を介して干渉縞像を結像させ、結像位置に設けた干
渉縞検出器上の干渉縞像から被検物の１測定断面につい
て透過波面を求め、該透過波面から被検物の上記１測定
断面について屈折率の分布を算出する屈折率分布の測定
方法において、上記干渉縞検出器の測定方向をｘ’とし
て透過波面Ｗ（ｘ’，ｙ）を求め、該干渉縞検出器上に
長さが既知の基準パターンの像を結像させ、該基準パタ
ーンの像の長さから演算装置により倍率Ｍを求め、該演
算装置によって該倍率Ｍからｘ＝Ｍｘ’によりＷ（ｘ，
ｙ）を算出し、さらに屈折率の分布Ｎ（ｘ，ｙ）を求め
ることを特徴とする

【００２３】また、上記透過波面Ｗ（ｘ，ｙ）から屈折
率分布Ｎ（ｘ，ｙ）が、 Ｎ（ｘ，ｙ）＝Ｗ（ｘ，ｙ）／ｄ（ｘ，ｙ） （ここでｄ（ｘ，ｙ）は被検物の厚さ）により求めら
れ、かつ、演算装置が、上記透過波面から最小自乗法に
よる多項式近似によって屈折率分布の多項式近似係数を
求めることを特徴としている。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に図面を用いて本発明の実施
例を詳細に説明する。図１は本発明の屈折率分布の測定
装置を示す図である。同図に示す装置の全体構成の大部
分は従来例と共通しているので、相違する構成を中心に
説明する。

【００２５】本発明の装置では、光源１とビームエキス
パンダ３との間に、透過光量変更手段２１を設けてい
る。この透過光量変更手段２１は、円板状のＮＤフィル
タで、ステッピングモータ２３で回転可能に支持されて
いる。そして、円周方向に透過率が変化するようになっ
ており、ステッピングモータ２３で回転させるとＮＤフ
ィルタの透過場所が変化するので、透過光の強度を変化
させることができる。ステッピングモータの回転角が決
まると、透過率が決まることになる。

【００２６】図２は干渉縞検出器の出力を示す線図であ
る。縦軸が光の強度、横軸が画素（ｘ軸）である。図２
（ａ）の２本の平行な点線の内、上方の点線が上限を示
し、下方の線が下限を示す。画素の出力がこの上限と下
限との間にあれば正確な測定が可能であるが、図２
（ｂ）のように下限を下回ったり、図２（ｃ）のように
上限を越えたりすると、正確な測定ができない。

【００２７】また、本発明の装置では、反射装置９の近
傍に第２の光源２５と、コリメータレンズ２７と、基準
板２９とを配置している。基準板２９は、図３（ａ）に
示すように矩形をした不透明の板からなり、ここに２本
のスリット２９ａがＬｍｍの既知の間隔で平行に形成さ
れている。

【００２８】第２の光源２５が点灯されると、コリメー
タレンズ２７で平行光束にされ、基準板２９を照射す
る。基準板２９は不透明でスリット２９ａ部分のみが透
明なので、ここを透過した光束が反射装置９を透過して
結像レンズ１３に入射し、干渉縞検出器１５の１次元Ｃ
ＣＤ上に結像する。

【００２９】図３（ｂ）は干渉縞検出器１５の出力状態
を示す図で、縦軸が光の強度、横軸が画素（ｘ軸）であ
る。スリット２９ａを透過した光が結像した画素のみが
大きな光量を受けるので、これらの間隔Ｌ’を測定し、
Ｍ＝Ｌ／Ｌ’から倍率Ｍを求めることができる。

【００３０】図４は、制御部分のブロック図である。干
渉縞検出器１５は、ＣＣＤカメラ駆動装置３１に接続さ
れ、ステッピングモータ２３はステッピングモータ駆動
装置３３に接続され、光源１と第２の光源２５とは共に
光源駆動装置３５に接続されている。光源駆動装置３５
は、光源１と第２の光源２５の双方が同時に点灯しない
ように制御する。符号３７は回転台２０をｙ軸方向に昇
降させる被検物移動装置である。そして、これらＣＣＤ
カメラ駆動装置３１、ステッピングモータ駆動装置３
３、光源駆動装置３５及び被検物移動装置３７は、それ
ぞれパーソナルコンピュータ３９に接続され、パーソナ
ルコンピュータ３９にインストールされたプログラムに
よって、図示しないキーボードからの指示により操作さ
れる。また、各操作状況や干渉縞検出器１５上に結像さ
れた干渉縞像は、ディスプレイ４１に表示され、目視に
より確認しながら操作できるようになっている。

【００３１】本発明の装置では、結像レンズ１３が可変
焦点レンズになっている。特に、実施例ではズームレン
ズとし、干渉縞検出器１５の位置を変更することなく干
渉縞像を結像できるようにしている。

【００３２】次ぎに、測定方法について、説明する。測
定の順序は、図５のフローチャートに示す順序で進め
る。すなわち、光量調節→倍率の取得→透過波面測定→
屈折率分布の算出→多項式近似のようになる。ただし、
光量調節と倍率の取得との順序は入れ替え可能である。

【００３３】まず、被検物Ｏを回転台２０上に置き光源
１を点灯して干渉縞像を干渉縞検出器１５の１次元ＣＣ
Ｄ上に結像させる。そして、図６のフローチャートにし
たがって、次のようにして光量の調節をする。

【００３４】まず、干渉縞検出器１５の画素から強度の
最大値を得る（Ｓ１０１）。そして、その最大値が予め
設定されている上限（図２（ａ）の上の点線）より下に
あるか上にあるかを判断する（Ｓ１０３）。

【００３５】上限より上にある場合は透過光量変更手段
２１のＮＤフィルターに光量を下げる余裕があるか否か
を判断する（Ｓ１０５）。下げる余裕があれば、ステッ
ピングモータ駆動装置３３に指示を出し、透過光量変更
手段２１を回転させ、透過光量が上限より下がるように
する（Ｓ１０７）。次ぎに、Ｓ１０１に戻り、最大値を
求め、ふたたび上限と比較するが、上限より下にあるは
ずなので、こんどは下限と比較する（Ｓ１０９）。下限
より上であれば測定を開始する。

【００３６】上記Ｓ１０９で、下限より下である場合
は、透過光量変更手段２１のＮＤフィルターに光量を上
げる余裕があるか否かを判断する（Ｓ１１１）。上げる
余裕があれば、ステッピングモータ駆動装置３３に指示
を出し、透過光量変更手段２１を回転させ、透過光量が
下限より上がるようにする（Ｓ１１３）。もし、既に上
限を越えていて透過光量を下げた後であれば、ここで
は、前回の回転量より少なくする。これによって、最大
値が上限と下限の中間に収まるようになる。

【００３７】最大値が上限より上で、しかも透過光量を
低下させる余裕がない場合、及び、最大値が下限より下
で、しかも透過光量を上げる余裕がない場合には、測定
不能を表示する（Ｓ１１５）。以上で光量の調整が完了
する。以上の操作はパーソナルコンピュータ３９が自動
的に行うようになっている。

【００３８】次ぎに、干渉縞検出器１５上の干渉縞像の
大きさが適当な大きさになるように結像レンズ１３’を
操作する。これは、手動で行う。干渉縞像が変動したこ
とで最大値が変化する場合もあり、その場合、上記の光
量調整を再度行う。

【００３９】次ぎに、光源駆動装置３５を介して光源１
を消灯し、第２の光源２５を点灯し、基準板２９のスリ
ット像を干渉縞検出器１５上に結像させる。そして、
Ｌ’を測定し倍率Ｍを算出する。これは１次元ＣＣＤの
出力からパーソナルコンピュータ３９が算出可能であ
る。

【００４０】干渉縞像は、被検物Ｏをｘ−ｚ面で切断し
た１測定断面について干渉縞検出器１５上に結像され
る。そして、各画素の出力から透過波面としてＷ
（ｘ’，ｙｉ）が測定される。これはｙ座標がｉにおけ
る透過波面である。ｘ’は、画素上での座標なので、こ
れに倍率Ｍを掛けて被検物上のｘ座標とし、Ｗ（ｘ，ｙ
ｉ）を得る。

【００４１】パーソナルコンピュータ３９は、被検物移
動装置３７に指示を出し、被検物Ｏを上昇あるいは下降
させ、ｙ０，ｙ１，ｙ２……について複数回の透過波面
測定を行い、Ｗ（ｘ，ｙ０）、Ｗ（ｘ，ｙ１）、Ｗ
（ｘ，ｙ２）……を得る。

【００４２】被検物の厚みをｄ（ｘ，ｙ）とし、２次元
の屈折率分布をｎ（ｘ，ｙ）とすると、次式

【数１】 で与えられる。ここで、ｄ（ｘ，ｙ）は被検物の形状デ
ータの設計値、又は他の測定装置による形状測定によっ
て求めた被検物の形状データ等から得る。屈折率分布を
何次まで多項式近似するかは、必要に応じて決定するこ
とになるが、ここでは、４次まで多項式近似する場合を
一例として挙げる。

【００４３】屈折率分布の多項式近似を次ぎのように定
義する。

【数２】

【００４４】式（１）から各ｙの値におけるｎ（ｘ，ｙ
ｉ）を求め、これらから多項式近似された屈折率分布
Ｎ’（ｘ，ｙｉ）を求める。

【数３】

【００４５】図７はｎ（ｘ，ｙｉ）とＮ’（ｘ，ｙｉ）
とを図示したものである。図７（ａ）はｙ＝ｙ１、
（ｂ）はｙ＝ｙ２の例である。図中の細かい折曲部を多
数有する細い線は、測定データＷ（ｘ，ｙｉ）から得た
屈折率分布ｎ（ｘ，ｙｉ）で、太い緩やかな曲線が多項
式近似した屈折率分布Ｎ’（ｘ，ｙｉ）を示す。

【００４６】上記の式における各係数ａ’（ｉ），ｂ’
（ｉ），ｃ’（ｉ）……は、最小自乗法による多項式近
似により求めることができる。図８はこうして求めた
ａ’（ｉ），ｂ’（ｉ）を縦軸にａ’又はｂ’をとり、
横軸にｙをとって表示したものである。これらの図に示
すように、ａ’（ｉ），ｂ’（ｉ）もｙの関数として表
すことができ、次のように多項式近似できる。

【００４７】

【数４】

【００４８】上記の各係数ａ０，ａ１，ａ２……、ｂ
０，ｂ１０，ｂ２……も、最小自乗法により求めること
ができ、結局、ａ（ｙ）、ｂ（ｙ）……を得ることがで
き、これらを式（２）に代入すれば、多項式近似された
屈折率分布Ｎ（ｘ，ｙ）を求めることができる。

【００４９】以上の計算は、パーソナルコンピュータ３
９にプログラムをインストールしておくことによって、
行うことが可能である。また、この計算方法は、フーリ
エ変換と極座標変換とを組み合わせた計算方法よりも簡
単なので、短時間で測定できることになる。

【００５０】なお、上記実施例はマハツェンダ干渉計を
用いたが、他の干渉計でも同様に測定が可能であり、さ
らに、参照波を用いずに被検波を２つに分割して横ずら
しを与えるシアリング干渉計でも測定が可能である。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように本発明の屈折率分布
測定装置は、結像光学系に入射する第２の光源と、該第
２の光源と上記光学系との間に設けられた基準板とを設
けたので、干渉縞の倍率を容易に求めることができ、測
定データと被検物の形状データとの重ね合わせが簡単に
できるようになった。

【００５２】また、光源と第２の光源との双方を制御す
る光源駆動装置を設け、２つの光源が同時に点灯しない
ように制御すると、双方の光源が点灯することによる測
定ミスを防止することができる。

【００５３】光学系をズームレンズにすると、干渉縞像
の大きさを自由に変化させることができ、測定が容易に
なる。透過光量変更手段を設ければ、光源の光量を変更
して適正な光量で測定でき、測定精度を向上することが
できる。測定データを多項式近似で処理すれば、演算処
理が簡単になり、測定時間を短縮できる。また、多項式
近似で係数で表すことができれば、複雑な屈折率分布を
数個の数で表すことができ、測定した屈折率分布を用い
た光学シミュレーション等への入力が簡単になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の屈折率分布測定装置の構成を示す図で
ある。

【図２】干渉縞検出器の出力状態を示す線図である。

【図３】（ａ）は基準板の図、（ｂ）は基準板を結像さ
せたときの干渉縞検出器の出力状態を示す図である。

【図４】図１の装置の制御部分のブロック図である。

【図５】図１の装置の測定順序を示すフローチャートで
ある。

【図６】光量調整を行うフローチャートである。

【図７】ｎ（ｘ，ｙ）とＮ’（ｘ，ｙ）との関係を示す
線図である。

【図８】ａ（ｙ），ｂ（ｙ）の求め方を説明する線図で
ある。

【図９】従来の屈折率分布測定装置の構成を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ 光源 １０ 被検物保持装置 １３’ 結像光学系 １５ 干渉縞検出器 ２１ 透過光量変更手段 ２５ 第２の光源 ２９ 基準板 ３５ 光源駆動装置 ３７ 移動装置 ３９ 演算手段

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可干渉光を射出する光源と、該光源から
   射出された光束上に配置され被検物とほぼ同じ屈折率の
   試液を有するとともに相互に平行な入射口と射出口とを
   有する被検物保持装置と、被検物を透過した被検波から
   被検物の１測定断面について干渉縞を形成する干渉計
   と、該干渉計で形成された干渉縞像を結像させる結像光
   学系と、被検物を上記１測定断面と交叉する方向に移動
   する移動装置と、干渉縞像の結像位置に設けられた干渉
   縞検出器と、該干渉縞検出器の出力から屈折率分布を算
   出する演算手段と、上記結像光学系に入射する第２の光
   源と、該第２の光源と上記光学系との間に設けられた基
   準板とを有することを特徴とする屈折率分布の測定装
   置。
2. 【請求項２】 上記光源と第２の光源との双方を制御す
   る光源駆動装置を設け、２つの光源が同時に点灯しない
   ように制御されることを特徴とする請求項１記載の屈折
   率分布の測定装置。
3. 【請求項３】 上記光学系がズームレンズであることを
   特徴とする請求項１又は２記載の屈折率分布の測定装
   置。
4. 【請求項４】 上記光源の光量を変更する透過光量変更
   手段を設けたことを特徴とする請求項１から３のいずれ
   かに記載の屈折率分布の測定装置。
5. 【請求項５】 上記演算手段が、最小自乗法による多項
   式近似により屈折率分布の多項式近似係数を求める演算
   手段であることを特徴とする請求項１記載の屈折率の測
   定装置。
6. 【請求項６】 可干渉光を被検物に透過し、光学系を介
   して干渉縞像を結像させ、結像位置に設けた干渉縞検出
   器上の干渉縞像から被検物の１測定断面について透過波
   面を求め、該透過波面から被検物の上記１測定断面につ
   いて屈折率の分布を算出する屈折率分布の測定方法にお
   いて、 上記干渉縞検出器の測定方向をｘ’として透過波面Ｗ
   （ｘ’，ｙ）を求め、該干渉縞検出器上に長さが既知の
   基準パターンの像を結像させ、該基準パターンの像の長
   さから演算装置により倍率Ｍを求め、該演算装置によっ
   て該倍率Ｍからｘ＝Ｍｘ’によりＷ（ｘ，ｙ）を算出
   し、さらに屈折率の分布Ｎ（ｘ，ｙ）を求めることを特
   徴とする屈折率の測定方法。
7. 【請求項７】 上記透過波面Ｗ（ｘ，ｙ）から屈折率分
   布Ｎ（ｘ，ｙ）が、 Ｎ（ｘ，ｙ）＝Ｗ（ｘ，ｙ）／ｄ（ｘ，ｙ） ただし：ｄ（ｘ，ｙ）は被検物の厚さにより求められ、
   かつ、演算装置が、上記透過波面から最小自乗法による
   多項式近似によって屈折率分布の多項式近似係数を求め
   ることを特徴とする請求項６記載の屈折率分布の測定方
   法。