JP2000261132A - 電子部品搭載用基板 - Google Patents
電子部品搭載用基板Info
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/20—Bump connectors, e.g. solder bumps or copper pillars; Dummy bumps; Thermal bumps
- H10W72/281—Auxiliary members
- H10W72/283—Reinforcing structures, e.g. bump collars
-
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/541—Dispositions of bond wires
- H10W72/5449—Dispositions of bond wires not being orthogonal to a side surface of the chip, e.g. fan-out arrangements
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
とができ,かつ電気特性に優れたボンディングパッドを
有する電子部品搭載用基板を提供する。 【解決手段】 電子部品79を搭載するための搭載部7
と,搭載部7の周縁に配置され且つ導体パターン31に
接続しているボンディングパッド35とを有する電子部
品搭載用基板である。ボンディングパッド35における
搭載部側端部350の幅Aは,基板周縁側端部355の
幅aよりも大きい。
Description
にボンディングパッドの接続構造に関する。
に示すごとく,絶縁基板94に電子部品979を搭載す
るための搭載部97を設け,その周囲にボンディングパ
ッド935を設けたものがある。ボンディングパッド9
35は,その基板周縁側端部936において導体パター
ン931と接続している。また,ボンディングパッド9
35の搭載部側端部937には,ボンディングワイヤー
978の一端が接合されている。ボンディングワイヤー
978の他端は,搭載部97に搭載された電子部品97
9と接合されている。
グパッド935は,一般に銅箔のエッチングにより形成
される。これらの表面は銅メッキ膜により被覆されてお
り,ボンディングパッド935は銅メッキ膜上に更にニ
ッケル金めっき層を形成している。
を形成するに当たっては,絶縁基板の表面全体を被覆す
る銅箔に対して,パターン形成部以外の部分をエッチン
グにより除去し,次いで,絶縁基板の表面全体に無電解
メッキを行い不要部分をソフトエッチングにより除去す
る。次いで,表面をソルダーレジストにより被覆した
後,ボンディングパッド部分を開口させその内部に金メ
ッキ膜を形成する。
とく,ボンディングパッド935の銅メッキ膜をエッチ
ングするときに,ボンディングパッド935が侵食され
設計寸法Sよりも実寸法Rが細幅となることがある。特
に,ボンディングパッド935における,搭載部側端部
937の両側端部の侵食が大きい。このため,細幅の搭
載部側端部937にクラックが発生しやすくなり,ボン
ディングパッド935の電気接続信頼性が低下するおそ
れがある。また,搭載部側端部937が細幅となって,
ボンディングワイヤー978を接合できないこともあ
る。
ディングワイヤーの接合を確実に行うことができ,かつ
電気特性に優れたボンディングパッドを有する電子部品
搭載用基板を提供しようとするものである。
電子部品を搭載するための搭載部と,該搭載部の周縁に
配置され且つ導体パターンに接続しているボンディング
パッドとを有する電子部品搭載用基板であって,上記ボ
ンディングパッドにおける搭載部側端部の幅は,基板周
縁側端部の幅よりも大きいことを特徴とする電子部品搭
載用基板である。
おいては,ボンディングパッドにおける搭載部側端部の
幅が,基板周縁側端部の幅よりも大きい。そのため,搭
載部側端部が金属メッキ膜のエッチングの際に侵食され
たとしても,エッチング後の搭載部側端部に充分な幅が
残る。それゆえ,ボンディングワイヤーを搭載部側端部
近傍に確実に接合できる。このため,ワイヤー使用量を
低減できるとともに,基板全体のインダクタンスが低く
なり電気特性が向上する。
発明において,上記「搭載部側端部」とは,ボンディン
グパッドにおける搭載部に面している端部をいい,上記
「基板周縁側端部」とは,ボンディングパッドにおける
電子部品搭載用基板の周縁側に面している端部をいう。
の幅よりも10〜50μm大きいことが好ましい。10
μm未満の場合には,搭載部側端部が先細りとなるおそ
れがあり,50μmを超える場合には,ボンディングパ
ッドのピッチが大きくなりボンディングパッドを高密度
に配置することが困難となる場合がある。
側端部の幅が基板周縁側端部の幅よりも大きくなればど
のような形状でもよい。たとえば,ボンディングパッド
の側面が,その途中から搭載部側端部に向けて徐々に拡
大していてもよいし,基板周縁側端部から搭載部側端部
に向けて徐々に拡大していてもよい。
部から,ボンディングパッドの全長の1/20以上離れ
た位置より外方向に傾斜していることが好ましい。1/
20未満の場合には,ボンディングワイヤーの接合領域
を充分に確保できないおそれがある。
に当たっては,基本的には従来法とほぼ同様の製法(セ
ミアディティブ法)により製造できるが,他のアディテ
ィブ法,サブトラクティブ法でも製造できる。ここで特
徴とする点は,ボンディングパッドの設計形状を,搭載
部側端部の幅が基板周縁側端部の幅よりも大きくなるよ
うにすることである。
は,所望の実寸法よりも若干大きい設計寸法にすること
が好ましい。具体的には,設計寸法は,所望の実寸法よ
りも,製造工程中に削られる分だけ大きくすることが好
ましい。これにより,製造工程中でボンディングパッド
の周囲が削られても,充分な面積を確保でき,上記の優
れた効果を発揮し得るボンディングパッドを形成でき
る。
て,図1〜図3を用いて説明する。本例の電子部品搭載
用基板は,図1に示すごとく,電子部品79を搭載する
ための搭載部7と,搭載部7の周縁に配置され且つ導体
パターン31と接続しているボンディングパッド35と
を有する。ボンディングパッド35における,搭載部7
に面した搭載部側端部350の幅Aは,基板周縁側端部
355の幅aよりも大きい。
50から基板周縁側端部355に向けて延びる略短冊状
の形状を有している。基板周縁側端部355の幅aは5
0μmであり,搭載部側端部350の幅Aは100μm
である。ボンディングパッド35の長さMは700μm
である。ボンディングパッド35の側面353は,搭載
部側端部350から,ボンディングパッド35の全長の
1/14離れた位置Cから外方に傾斜する拡大部354
を有する。上記位置Cと搭載部側端部350との間の距
離は50μmである。ボンディングパッド35は,凹状
の搭載部7の壁面70に対して垂直方向に並設されてい
る。ボンディングパッド35及び導体パターン31は,
信号回路を構成している。
79が搭載されている。搭載した電子部品79は,ボン
ディングワイヤー78により,ボンディングパッド35
と電気的に接続される。
について図3を用いて説明する。図3は,ボンディング
パッドの形成工程を示す図である。同図において,左側
の図3(A)〜(F)は上記ボンディングパッド形成部
の断面図,右側の図3(a)〜(f)は上記ボンディン
グパッド形成部の平面図である。
板に銅箔を貼着し,搭載部形成用の開口部及びビアホー
ルを穿設する。次いで,銅箔をエッチングして内部用の
導体パターンを形成する。また,必要に応じて複数枚積
層圧着する。
示すごとく,絶縁基板4の表面の銅箔をエッチングし
て,外部用の導体パターン31,及びボンディングパッ
ド35を形成する。このとき,ボンディングパッド35
は,仕上がり形状よりも若干大きいサイズとする。
とく,無電解銅メッキを施して,ビアホールの内部を含
めて絶縁基板4の全面に薄膜銅メッキ層51を形成す
る。次いで,図3(C),図3(c)に示すごとく,上
記各種パターンを形成していない部分をソフトエッチン
グにて除去する。次いで,図3(D),図3(d)に示
すごとく,電解銅メッキを施して薄膜銅メッキ層51の
表面に厚膜銅メッキ層52を形成する。
とく,絶縁基板4の表面に,ボンディングパッド35を
露出させたまま,ソルダーレジスト8を被覆する。次い
で,図3(F),図3(f)に示すごとく,露出させた
ボンディングパッド35の表面に,ニッケル−金メッキ
層53を形成する。その後,必要に応じて半田ボールの
接合,導体ピンの装着などを行う。以上により,電子部
品搭載用基板が得られる。
ては,図1に示すごとく,ボンディングパッド35にお
ける搭載部側端部350の幅Aが,基板周縁側端部35
5の幅aよりも大きい。そのため,図3(C),図3
(c)に示すごとく,ボンディングパッド35における
搭載部側端部350が,薄膜銅メッキ層51のエッチン
グの際に侵食され設計寸法Sよりも実寸法Rが小さくな
ったとしても,エッチング後の搭載部側端部350に充
分な幅が残る。それゆえ,ボンディングパッド35とボ
ンディングワイヤー78との間の電気接続信頼性を確保
できる。また,ボンディングワイヤー78を搭載部側端
部350の近傍に確実に接合できる。このため,ワイヤ
ー使用量を低減できるとともに,基板全体のインダクタ
ンスが低くなり電気特性が向上する。
ド35が台形形状をしている。ボンディングパッド35
の側面全体は,基板周縁側端部355から搭載部側端部
350に向けて拡大する拡大部351を形成している。
ボンディングパッド35の搭載部側端部350の幅Aは
90μmであり,基板周縁側端部355の幅aは50μ
mである。その他は実施形態例1と同様である。
における搭載部側端部350が,薄膜銅メッキ層のエッ
チングの際に侵食され設計寸法Sよりも実寸法Rが小さ
くなることがある。しかし,その場合にも,エッチング
後の搭載部側端部350に充分な幅が残る。それゆえ,
実施形態例1と同様に,ボンディングパッド35とボン
ディングワイヤー78との間の電気接続信頼性を確保で
き,ワイヤー使用量の低減及び電気特性が向上する。
の接合を確実に行うことができ,かつ電気特性に優れた
ボンディングパッドを有する電子部品搭載用基板を提供
することができる。
形成方法を示すための,多層基板の断面図(A)〜
(F),及び多層基板の平面図(a)〜(f)。
Claims (1)
- 【請求項1】 電子部品を搭載するための搭載部と,該
搭載部の周縁に配置され且つ導体パターンに接続してい
るボンディングパッドとを有する電子部品搭載用基板で
あって,上記ボンディングパッドにおける搭載部側端部
の幅は,基板周縁側端部の幅よりも大きいことを特徴と
する電子部品搭載用基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06093099A JP4187339B2 (ja) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | 電子部品搭載用基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06093099A JP4187339B2 (ja) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | 電子部品搭載用基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000261132A true JP2000261132A (ja) | 2000-09-22 |
| JP4187339B2 JP4187339B2 (ja) | 2008-11-26 |
Family
ID=13156605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06093099A Expired - Lifetime JP4187339B2 (ja) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | 電子部品搭載用基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4187339B2 (ja) |
Citations (8)
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-
1999
- 1999-03-08 JP JP06093099A patent/JP4187339B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4187339B2 (ja) | 2008-11-26 |
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