JPS6239044A - 電極構造 - Google Patents
電極構造Info
- Publication number
- JPS6239044A JPS6239044A JP60179780A JP17978085A JPS6239044A JP S6239044 A JPS6239044 A JP S6239044A JP 60179780 A JP60179780 A JP 60179780A JP 17978085 A JP17978085 A JP 17978085A JP S6239044 A JPS6239044 A JP S6239044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding pad
- parallel
- electrode structure
- talk
- reduced
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
- H10W72/931—Shapes of bond pads
- H10W72/932—Plan-view shape, i.e. in top view
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、並列状に配列された多数の受光部からなり、
各受光部間に静電結合を有するデバイスに関する。
各受光部間に静電結合を有するデバイスに関する。
（従来の技術）
焦電型赤外線検出素子は、焦電材料と一対の電極とから
なる熱型の光検出素子である。焦電材料は、光を吸収し
、温度が上昇すると、表面に電荷を生じる。この電荷を
電気的に検出ずろ。この焦電型の光検出素子の特徴は、
感度の光波長依存性か少ないことであり、また、常温に
おいて比較的応答が速く高感度であることである。
なる熱型の光検出素子である。焦電材料は、光を吸収し
、温度が上昇すると、表面に電荷を生じる。この電荷を
電気的に検出ずろ。この焦電型の光検出素子の特徴は、
感度の光波長依存性か少ないことであり、また、常温に
おいて比較的応答が速く高感度であることである。
素子を並列状に配置したりニアアレイ型の赤外線検出素
子は、空間分解能をよくするために、できるだけ微細な
構造にすることが望ましい。しかし、微細な配列にする
と、隣接する素子間の熱拡散による熱的クロストークや
、隣接する電極間の浮遊容量による電気的クロストーク
か生しる。
子は、空間分解能をよくするために、できるだけ微細な
構造にすることが望ましい。しかし、微細な配列にする
と、隣接する素子間の熱拡散による熱的クロストークや
、隣接する電極間の浮遊容量による電気的クロストーク
か生しる。
熱的クロストークを減少させるために、ｆことえば特開
昭５７−１２０８３０号公報においては、感光部を空間
的に分離している。
昭５７−１２０８３０号公報においては、感光部を空間
的に分離している。
（発明の解決すべき問題点）
電気的クロストークは、隣接するボンディングパッド間
の容量による静電結合から生じるしのがある。第４図に
、従来の引出電極及びボンディングパッド部分の構造の
一例を示す。焦電材料の平板ｌに、並列状に配置されて
いる素子の受光部（図示せず）からの引出電極２ａ 、
２ｂ 、２ｃ 、・・と、引出電極にそれぞれ接続され
るボンディングパッド部３ａ 、３ｂ 、３ｃ 、
・か並列状に配置されている。
の容量による静電結合から生じるしのがある。第４図に
、従来の引出電極及びボンディングパッド部分の構造の
一例を示す。焦電材料の平板ｌに、並列状に配置されて
いる素子の受光部（図示せず）からの引出電極２ａ 、
２ｂ 、２ｃ 、・・と、引出電極にそれぞれ接続され
るボンディングパッド部３ａ 、３ｂ 、３ｃ 、
・か並列状に配置されている。
ボンディングパッド部３ａ 、３ｂ 、３ｃ 、・・・
は、長方形であり、素子の数が多いため、両隣のボンデ
ィングパッド部と短い間を隔てて配置されている。
は、長方形であり、素子の数が多いため、両隣のボンデ
ィングパッド部と短い間を隔てて配置されている。
この構造では、ボンディングパッド間の容量か大きい。
したがって、隣接する素子との浮遊容量による電気的結
合のため、素子の出力電圧にクロストークが発生し、分
解能の低下を招いていた。
合のため、素子の出力電圧にクロストークが発生し、分
解能の低下を招いていた。
同様な電気的クロストークは、一般に、並列状に配列さ
れた多数の受光部からなるデバイスにおいて、各素子の
ボンディングパッド間に静電結合を有するデバイスにお
いて生じる。
れた多数の受光部からなるデバイスにおいて、各素子の
ボンディングパッド間に静電結合を有するデバイスにお
いて生じる。
本発明の目的は、電極間の静電結合によるクロストーク
を減少させた電極構造を提供することである。
を減少させた電極構造を提供することである。
（問題点を解決するための手段）
本発明に係る電極構造は、複数の受光部を並列状に配置
してなるセンサアレイの電極構造において、ボンディン
グパッド部の形状が、隣接するボンディングパッド部と
最も近接する部分に平行部分が存在しないことを特徴と
する。
してなるセンサアレイの電極構造において、ボンディン
グパッド部の形状が、隣接するボンディングパッド部と
最も近接する部分に平行部分が存在しないことを特徴と
する。
（作 用）
ボンディングパッド部の形状を相互に平行な部分かない
ようにし、隣接するボンディングパッド間の浮遊容量に
よる電気的クロストークを減少させる。
ようにし、隣接するボンディングパッド間の浮遊容量に
よる電気的クロストークを減少させる。
（実施例）
以下、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図〜第３図に示す電極構造に第３いては、素子材料
平返ｌの表面に、第９１図の場合と同様に、平板ｌに線
状に配置されている素子の受光部（図示せず）からの引
出電極２ ａ、 ２．ｂ、２ ｃ、゛と、引出電極にそ
れぞれ接続されるボンディングパッド部１３ａ、 ｌ
３ｂ、 １３ｃ、−：２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、・；３
３ａ、３３ｂ、３３ｃ、・か並列状に配置されている。
平返ｌの表面に、第９１図の場合と同様に、平板ｌに線
状に配置されている素子の受光部（図示せず）からの引
出電極２ ａ、 ２．ｂ、２ ｃ、゛と、引出電極にそ
れぞれ接続されるボンディングパッド部１３ａ、 ｌ
３ｂ、 １３ｃ、−：２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、・；３
３ａ、３３ｂ、３３ｃ、・か並列状に配置されている。
電極２ａ、２ｂ、２ｃ、−：Ｉ３ａ 、！３ｂ 、１３
ｃ。
ｃ。
：２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ
、−は、銀を進択エツチングして形成する。
、−は、銀を進択エツチングして形成する。
第１図に示す電極構造においては、ボンディングパッド
部１３ａ、 Ｌ ３ｂ、 ｌ ３ｃ、−は、ひし形状で
あり、引出電極方向において隣接するボンデインクハツ
ト部と平行な部分がない。このため浮遊容量は、第１図
に示した従来例に比べて、約２／３に低減し、したがっ
て、電気的クロストークも減少し、分解能が向上した。
部１３ａ、 Ｌ ３ｂ、 ｌ ３ｃ、−は、ひし形状で
あり、引出電極方向において隣接するボンデインクハツ
ト部と平行な部分がない。このため浮遊容量は、第１図
に示した従来例に比べて、約２／３に低減し、したがっ
て、電気的クロストークも減少し、分解能が向上した。
一方、ボンディングのための有効面積はあまり小さくな
らないので、ボンディング工程において、問題は生じな
かった。
らないので、ボンディング工程において、問題は生じな
かった。
第２図に示す電極構造においては、ボンディングパッド
部２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、・・・は、半月型である。
部２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、・・・は、半月型である。
第１図に示した実施例と同様に、引出電極方向において
隣接するボンディングパッド部と平行する部分かなく、
浮遊容量は減少し、電気的クロストークが低減する。一
方、ボンディングのための有効面積もあまり小さくなら
ない。
隣接するボンディングパッド部と平行する部分かなく、
浮遊容量は減少し、電気的クロストークが低減する。一
方、ボンディングのための有効面積もあまり小さくなら
ない。
第３図に示す電極構造においては、ボンディングパッド
部３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、・・・の形状は、円形状で
ある。第１図に示した従来例と同様に、引出電極方向に
おいて隣接するボンディングパッド部と平行する部分か
なく、浮遊容量は減少し、クロストークが低減する。
部３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、・・・の形状は、円形状で
ある。第１図に示した従来例と同様に、引出電極方向に
おいて隣接するボンディングパッド部と平行する部分か
なく、浮遊容量は減少し、クロストークが低減する。
（発明の効果）
本発明により、電極間の浮遊容量の減少により電気的ク
ロストークか減少し、分解能か向−トできた。
ロストークか減少し、分解能か向−トできた。
第１図〜第３図は、それぞれ、本発明の実施例の電極構
造の平面図である。 第４図は、従来の電極構造の平面図である。 ２ ａ、 ２ ｂ、 ２ ｃ、−・・引出電極、＋ ３
ａ、 １３ｂ、 ｌ ３ｃ、−； ２３ａ、２３ｂ、２
３ｃ、＝−；３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、−−ボンディン
グパッド部。 特許出願人 株式会社村田製作所代 理 人
弁理士 青山 葆 ほか２名第４図 第２図 ２Ｍ ２３Ｃ２５ｂ２５Ｑ １図 ｇ３図
造の平面図である。 第４図は、従来の電極構造の平面図である。 ２ ａ、 ２ ｂ、 ２ ｃ、−・・引出電極、＋ ３
ａ、 １３ｂ、 ｌ ３ｃ、−； ２３ａ、２３ｂ、２
３ｃ、＝−；３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、−−ボンディン
グパッド部。 特許出願人 株式会社村田製作所代 理 人
弁理士 青山 葆 ほか２名第４図 第２図 ２Ｍ ２３Ｃ２５ｂ２５Ｑ １図 ｇ３図
Claims (1)
- （１）複数の受光部を並列状に配置してなるセンサアレ
イの電極構造において、 ボンディングパッド部の形状が、隣接するボンディング
パッド部と最も近接する部分に平行部分が存在しないこ
とを特徴とする電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179780A JPS6239044A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179780A JPS6239044A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 電極構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6239044A true JPS6239044A (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=16071759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60179780A Pending JPS6239044A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6239044A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000261132A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Ibiden Co Ltd | 電子部品搭載用基板 |
-
1985
- 1985-08-14 JP JP60179780A patent/JPS6239044A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000261132A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Ibiden Co Ltd | 電子部品搭載用基板 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4541299B2 (ja) | 光検出装置 | |
| US5055838A (en) | Silicon tactile imaging array and method of making same | |
| JP4414646B2 (ja) | 光検出装置 | |
| US5457318A (en) | Thermal detector apparatus and method using reduced thermal capacity | |
| JPS63231230A (ja) | 端部照明光検出器アレイ | |
| US5561295A (en) | Infrared-responsive photoconductive array and method of making | |
| JPS6239044A (ja) | 電極構造 | |
| JPS6243160A (ja) | 電極構造 | |
| US4475040A (en) | Pyroelectric infrared detector | |
| JPS637611B2 (ja) | ||
| JPH11248540A (ja) | 焦電型赤外線検知素子 | |
| JPH0229180B2 (ja) | ||
| US5315100A (en) | Photoelectric conversion apparatus for detecting movement of object with spatial filter electrode | |
| JP2806972B2 (ja) | 熱画像作成装置 | |
| JPS61195318A (ja) | 焦電型赤外線検出器 | |
| JP2922098B2 (ja) | 半導体放射線検出器 | |
| JPH0762633B2 (ja) | 多素子型赤外線検出器 | |
| EP0159840B1 (en) | Radiation detector arrays | |
| JP2616654B2 (ja) | 一次元焦電型センサアレイ | |
| JP3146497B2 (ja) | 受光素子アレイおよびその信号処理回路の実装構造 | |
| JP3235298B2 (ja) | 焦電型赤外線アレイセンサ | |
| JPH02108992A (ja) | 放射線検出器およびこれを用いた放射線検出装置 | |
| JPS6269671A (ja) | イメ−ジセンサ | |
| JPH0219727A (ja) | 焦電形赤外検出素子アレイ、焦電形赤外検出器およびそれらの製法 | |
| JPH03123080A (ja) | アレイ型受光素子 |