JP2000269312A - ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 - Google Patents
ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置Info
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- JP2000269312A JP2000269312A JP7188399A JP7188399A JP2000269312A JP 2000269312 A JP2000269312 A JP 2000269312A JP 7188399 A JP7188399 A JP 7188399A JP 7188399 A JP7188399 A JP 7188399A JP 2000269312 A JP2000269312 A JP 2000269312A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハを把持するときにおける発塵を少なく
することができるウエハ把持装置を提供することを目的
とするものである。 【解決手段】 筐体に保持されている環状部材に対して
回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能
な回転板と、上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手
段と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押
圧可能であり、上記回転板に載置されているチャックピ
ースと、上記ウエハの中心に向って上記チャックピース
を直線往復運動させるチャックピース駆動手段とを有す
るウエハ把持装置である。
することができるウエハ把持装置を提供することを目的
とするものである。 【解決手段】 筐体に保持されている環状部材に対して
回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能
な回転板と、上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手
段と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押
圧可能であり、上記回転板に載置されているチャックピ
ースと、上記ウエハの中心に向って上記チャックピース
を直線往復運動させるチャックピース駆動手段とを有す
るウエハ把持装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ把持装置、
ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置に
関するものである。
ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエハ目視検査装置は、目視検査
前のウエハがスタックに複数枚載置され、このスタック
に載置されている複数枚のウエハのうちで任意の段に載
置されているウエハをハンドが把持し、検査ステージに
搬送し、この検査ステージにおいてそのウエハが検査者
によって目視検査される。なお、上記従来例における検
査ステージにおいて、ウエハを載置する台が皿状であ
り、この皿の上にウエハが載置される。
前のウエハがスタックに複数枚載置され、このスタック
に載置されている複数枚のウエハのうちで任意の段に載
置されているウエハをハンドが把持し、検査ステージに
搬送し、この検査ステージにおいてそのウエハが検査者
によって目視検査される。なお、上記従来例における検
査ステージにおいて、ウエハを載置する台が皿状であ
り、この皿の上にウエハが載置される。
【０００３】この搬送ステージでは、ウエハの表（おも
て）面のみが目視検査され、上記ウエハの裏面を検査す
るには、ハンドによってウエハを載置し直す。つまり、
ハンドがそのウエハを再び把持し、検査ステージの上方
に移動し、ウエハの裏面が上に向くように、そのハンド
がウエハを裏返し、この裏返し状態で、ウエハを検査ス
テージに再び載置する。すなわち、ハンドでウエハを持
ち替える。
て）面のみが目視検査され、上記ウエハの裏面を検査す
るには、ハンドによってウエハを載置し直す。つまり、
ハンドがそのウエハを再び把持し、検査ステージの上方
に移動し、ウエハの裏面が上に向くように、そのハンド
がウエハを裏返し、この裏返し状態で、ウエハを検査ス
テージに再び載置する。すなわち、ハンドでウエハを持
ち替える。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例において、
ウエハの表面と裏面とを目視検査するためには、ハンド
でウエハを持ち替える操作を実行する必要があり、この
ウエハの持ち替え操作を実行するために、ハンドによる
搬送時間として約２０秒間を必要とし、したがって、迅
速な目視検査を行うことができないという問題がある。
また、ハンドによるウエハの持ち替え操作によって、ご
みが発生し易いという問題があり、ウエハが破損する可
能性があるという問題がある。 さらに、ハンドによる
ウエハの持ち替え操作を実現するには、目視検査装置を
構成するユニットが増加し、このユニット増加によっ
て、コストアップが生じるという問題がある。
ウエハの表面と裏面とを目視検査するためには、ハンド
でウエハを持ち替える操作を実行する必要があり、この
ウエハの持ち替え操作を実行するために、ハンドによる
搬送時間として約２０秒間を必要とし、したがって、迅
速な目視検査を行うことができないという問題がある。
また、ハンドによるウエハの持ち替え操作によって、ご
みが発生し易いという問題があり、ウエハが破損する可
能性があるという問題がある。 さらに、ハンドによる
ウエハの持ち替え操作を実現するには、目視検査装置を
構成するユニットが増加し、このユニット増加によっ
て、コストアップが生じるという問題がある。
【０００５】また、上記実施例において、ウエハの傷、
歪み、曇り等を目視で発見するためには、ウエハを照明
する照明光の照射方向との関係で、検査者がその目の位
置を常に変化させる必要があり、目視検査者にとって目
視検査が煩雑であるという問題がある。
歪み、曇り等を目視で発見するためには、ウエハを照明
する照明光の照射方向との関係で、検査者がその目の位
置を常に変化させる必要があり、目視検査者にとって目
視検査が煩雑であるという問題がある。
【０００６】本発明は、ウエハを把持するときにおける
発塵を少なくすることができるウエハ把持装置、ウエハ
目視検査装置を提供することを目的とするものである。
発塵を少なくすることができるウエハ把持装置、ウエハ
目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】また、本発明は、ウエハの目視検査を迅速
に実行することができるウエハ把持装置、ウエハ目視検
査装置を提供することを目的とするものである。
に実行することができるウエハ把持装置、ウエハ目視検
査装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】さらに、本発明は、ウエハの目視検査時
に、付加機構（反転ハンド）によるウエハの破損の可能
性がなく、安価なウエハ把持装置、ウエハ目視検査装置
を提供することを目的とするものである。
に、付加機構（反転ハンド）によるウエハの破損の可能
性がなく、安価なウエハ把持装置、ウエハ目視検査装置
を提供することを目的とするものである。
【０００９】また、本発明は、ウエハを照明する光源が
どの位置に存在していても、また、光源からの光の照射
方向がどのような方向であっても、検査者がその目の位
置を変化させる必要がなく、目視検査者にとって目視検
査が容易であるウエハ目視検査装置を提供することを目
的とするものである。
どの位置に存在していても、また、光源からの光の照射
方向がどのような方向であっても、検査者がその目の位
置を変化させる必要がなく、目視検査者にとって目視検
査が容易であるウエハ目視検査装置を提供することを目
的とするものである。
【００１０】さらに、本発明は、ウエハの把持手段の位
置、状態のいかんにかかわらず、ウエハのノッチを確実
に検出することができるウエハのアライメント装置を提
供することを目的とするものである。
置、状態のいかんにかかわらず、ウエハのノッチを確実
に検出することができるウエハのアライメント装置を提
供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、筐体に保持さ
れている環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面
と同一の平面上を回転可能な回転板と、上記回転板を回
転駆動させる回転板駆動手段と、上記ウエハの中心に向
って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に
載置されているチャックピースと、上記ウエハの中心に
向って上記チャックピースを直線往復運動させるチャッ
クピース駆動手段とを有するウエハ把持装置である。
れている環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面
と同一の平面上を回転可能な回転板と、上記回転板を回
転駆動させる回転板駆動手段と、上記ウエハの中心に向
って上記ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に
載置されているチャックピースと、上記ウエハの中心に
向って上記チャックピースを直線往復運動させるチャッ
クピース駆動手段とを有するウエハ把持装置である。
【００１２】
【発明の実施の形態および実施例】図１は、本発明の一
実施例であるウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分
を切り欠いて示す平面図である。
実施例であるウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分
を切り欠いて示す平面図である。
【００１３】ウエハのアライメント装置ＡＳ１は、ウエ
ハの把持装置ＷＨとセンサＳＥとを具備する装置であ
り、図１の状態は、ウエハ把持装置ＷＨを構成するチャ
ックピース４１〜４５のうちで、チャックピース４１、
４３、４４のみがウエハＷの端面を把持している状態で
ある。
ハの把持装置ＷＨとセンサＳＥとを具備する装置であ
り、図１の状態は、ウエハ把持装置ＷＨを構成するチャ
ックピース４１〜４５のうちで、チャックピース４１、
４３、４４のみがウエハＷの端面を把持している状態で
ある。
【００１４】なお、アライメント装置は、複数のウエハ
Ｗをスタックに収納するときにノッチを揃えて位置合わ
せする場合や、露光されたパターンを顕微鏡等で見ると
きにそのパターンの向きが同一になるようにする場合等
に必要である。
Ｗをスタックに収納するときにノッチを揃えて位置合わ
せする場合や、露光されたパターンを顕微鏡等で見ると
きにそのパターンの向きが同一になるようにする場合等
に必要である。
【００１５】センサＳＥは、投光器ＳＥ１と、図３に示
す受光器ＳＥ２とによって構成され、チャックピースが
ウエハＷの端面から離れる領域であって、ウエハＷのノ
ッチ（ウエハＷの端面における切り込み）が通過する位
置に設置されている投受光装置の例である。なお、セン
サＳＥは、後述するアームＡに固定されている。また、
センサＳＥの代わりに、反射型のセンサを使用するよう
にしてもよい。
す受光器ＳＥ２とによって構成され、チャックピースが
ウエハＷの端面から離れる領域であって、ウエハＷのノ
ッチ（ウエハＷの端面における切り込み）が通過する位
置に設置されている投受光装置の例である。なお、セン
サＳＥは、後述するアームＡに固定されている。また、
センサＳＥの代わりに、反射型のセンサを使用するよう
にしてもよい。
【００１６】図２は、図１におけるＩＩーＩＩ’線から
みたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図
である。
みたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図
である。
【００１７】リング１０は、後述のアームＡ等を介し
て、筐体に固定されている。リング１０は、図２に示す
ように、縦断面がほぼコ字状であり、端面１１と、延出
部１２、１３とを有する。また、端面１１と延出部１
２、１３とよって空洞部１４が構成され、端面１１に透
孔１１１、１１２が設けられている。また、空洞部１４
は負圧に保たれ、これによって、ゴミの発散を阻止して
いる。
て、筐体に固定されている。リング１０は、図２に示す
ように、縦断面がほぼコ字状であり、端面１１と、延出
部１２、１３とを有する。また、端面１１と延出部１
２、１３とよって空洞部１４が構成され、端面１１に透
孔１１１、１１２が設けられている。また、空洞部１４
は負圧に保たれ、これによって、ゴミの発散を阻止して
いる。
【００１８】ウエハ把持装置ＷＨは、自転する回転板Ｓ
Ｂと、回転板駆動手段２０と、チャックピース４１〜４
５と、チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄと、回転
板用ケース５０とを有する。チャックピース駆動手段４
１Ｄ〜４５Ｄは、チャックピース４１〜４５のそれぞれ
に対応している。
Ｂと、回転板駆動手段２０と、チャックピース４１〜４
５と、チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄと、回転
板用ケース５０とを有する。チャックピース駆動手段４
１Ｄ〜４５Ｄは、チャックピース４１〜４５のそれぞれ
に対応している。
【００１９】回転板ＳＢは、リング１０に対して回転可
能であり、ウエハＷの面と同一の平面上を回転可能な回
転板である。回転板ＳＢには、回転ガイドローラＧＲが
設けられている。
能であり、ウエハＷの面と同一の平面上を回転可能な回
転板である。回転板ＳＢには、回転ガイドローラＧＲが
設けられている。
【００２０】回転板駆動手段２０は、回転板ＳＢを回転
駆動させる手段であり、自転モータ２１と、軸２２と、
軸２２と連動する駆動伝達ギア２３と、軸２２と連動す
る軸２４と、軸２４の先端に設けられている回転駆動ロ
ーラ２５と、ギア２３と噛み合う駆動伝達ギア２６と、
ギア２６と連動する軸２７と、軸２７の先端に設けられ
ている回転駆動ローラ２８とを有する。回転駆動ローラ
２５、２８は、自転モータ２１の回転力を回転板ＳＢに
伝達するものである。軸２４、２７は、それぞれ、透孔
１１、１１２を貫通している。
駆動させる手段であり、自転モータ２１と、軸２２と、
軸２２と連動する駆動伝達ギア２３と、軸２２と連動す
る軸２４と、軸２４の先端に設けられている回転駆動ロ
ーラ２５と、ギア２３と噛み合う駆動伝達ギア２６と、
ギア２６と連動する軸２７と、軸２７の先端に設けられ
ている回転駆動ローラ２８とを有する。回転駆動ローラ
２５、２８は、自転モータ２１の回転力を回転板ＳＢに
伝達するものである。軸２４、２７は、それぞれ、透孔
１１、１１２を貫通している。
【００２１】チャックピース４１〜４５は、ウエハＷの
中心に向ってウエハＷの端面を押圧可能であり、回転板
ＳＢに載置されているチャックピースである。
中心に向ってウエハＷの端面を押圧可能であり、回転板
ＳＢに載置されているチャックピースである。
【００２２】チャックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄ
は、ウエハＷの中心に向ってそれぞれチャックピース４
１〜４５を直線往復運動させる手段である。
は、ウエハＷの中心に向ってそれぞれチャックピース４
１〜４５を直線往復運動させる手段である。
【００２３】チャックピース駆動手段４１は、チャック
ピース４１ｐと、軸４１ｓと、チャック閉用バネ４１ｂ
と、カム１２ｃ１、１２ｃ２と、カムフォロア４１ｆと
を有する。
ピース４１ｐと、軸４１ｓと、チャック閉用バネ４１ｂ
と、カム１２ｃ１、１２ｃ２と、カムフォロア４１ｆと
を有する。
【００２４】軸４１ｓは、チャックピース４１ｐに固定
されている軸である。チャック閉用バネ４１ｂは、軸４
１ｓを包み、チャックピース４１ｐとケース５０との間
に設けられ、常時は、チャックピース４１ｐをケース５
０から遠ざけることによって、ウエハＷの端面を押圧す
るバネである。カム１２ｃ１、１２ｃ２は、リング１０
の延出部１２の内面に設けられているカムである。カム
フォロア４１ｆは、カム１２ｃ１、１２ｃ２を倣うもの
であり、軸４１ｃに固定されている。
されている軸である。チャック閉用バネ４１ｂは、軸４
１ｓを包み、チャックピース４１ｐとケース５０との間
に設けられ、常時は、チャックピース４１ｐをケース５
０から遠ざけることによって、ウエハＷの端面を押圧す
るバネである。カム１２ｃ１、１２ｃ２は、リング１０
の延出部１２の内面に設けられているカムである。カム
フォロア４１ｆは、カム１２ｃ１、１２ｃ２を倣うもの
であり、軸４１ｃに固定されている。
【００２５】なお、チャックピース駆動手段４２Ｄ〜４
５Ｄのそれぞれの構成は、チャックピース駆動手段４１
Ｄの構成と同様である。
５Ｄのそれぞれの構成は、チャックピース駆動手段４１
Ｄの構成と同様である。
【００２６】ケース５０は、図２に示すように、その縦
断面がほぼコ字状を有し、端面部５１と、延出部５２、
５３と、端面部５１に設けられている透孔５１１〜５１
５とを有する。延出部５２、５３は、リング１０のそれ
ぞれ延出部１２、１３に対向している。
断面がほぼコ字状を有し、端面部５１と、延出部５２、
５３と、端面部５１に設けられている透孔５１１〜５１
５とを有する。延出部５２、５３は、リング１０のそれ
ぞれ延出部１２、１３に対向している。
【００２７】また、リング１０の空洞部１４には、回転
駆動ローラ２５、２８と、回転板ＳＢの主要部分と、カ
ムフォロア４１ｆとが内蔵されている。
駆動ローラ２５、２８と、回転板ＳＢの主要部分と、カ
ムフォロア４１ｆとが内蔵されている。
【００２８】次に、上記実施例において、ウエハＷを把
持する動作について説明する。
持する動作について説明する。
【００２９】まず、図１に示す状態では、カムフォロア
４１ｆ、４３ｆ、４４ｆのそれぞれが、カム１２ｃ１、
１２ｃ２と当接していないので、バネ４１ｂ、４３ｂ、
４４ｂが、チャックピース４１ｐ、４３ｐ、４４ｐをケ
ース５０から遠ざけ、チャックピース４１ｐ、４３ｐ、
４４ｐがウエハＷの端面を押圧し、ケース５０を介し
て、ウエハＷがリング１０に把持されている。
４１ｆ、４３ｆ、４４ｆのそれぞれが、カム１２ｃ１、
１２ｃ２と当接していないので、バネ４１ｂ、４３ｂ、
４４ｂが、チャックピース４１ｐ、４３ｐ、４４ｐをケ
ース５０から遠ざけ、チャックピース４１ｐ、４３ｐ、
４４ｐがウエハＷの端面を押圧し、ケース５０を介し
て、ウエハＷがリング１０に把持されている。
【００３０】図３は、ウエハのアライメント装置ＡＳ１
の一部分を切り欠いて示す平面図であり、チャックピー
ス４１、４３がウエハＷの端面から離れ、チャックピー
ス４２、４４、４５がウエハＷの端面を把持している状
態を示す図である。
の一部分を切り欠いて示す平面図であり、チャックピー
ス４１、４３がウエハＷの端面から離れ、チャックピー
ス４２、４４、４５がウエハＷの端面を把持している状
態を示す図である。
【００３１】図４は、図３におけるＩＶーＩＶ’線から
みたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図
である。
みたリング１０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図
である。
【００３２】図１、図２に示す状態から、自転モータ２
１によって回転板ＳＢが、図１中、反時計方向に７２度
回動されると、カムフォロア４１ｆがカム１２ｃ１に当
接し、バネ４１ｂに抗して、軸４１ｃが、図３中、右方
向に押しやられ、チャックピース４１ｐがウエハＷの端
面から遠ざかる。
１によって回転板ＳＢが、図１中、反時計方向に７２度
回動されると、カムフォロア４１ｆがカム１２ｃ１に当
接し、バネ４１ｂに抗して、軸４１ｃが、図３中、右方
向に押しやられ、チャックピース４１ｐがウエハＷの端
面から遠ざかる。
【００３３】また、図３に示す状態である場合、カムフ
ォロア４３ｆがカム１２ｃ２に当接し、バネ４３ｂに抗
して、軸４３ｃが、図３中、右方向に押しやられ、チャ
ックピース４３ｐがウエハＷの端面から遠ざかる。この
場合、カムフォロア４２ｆ、４４ｆ、４５ｆがカム１２
ｃ１、１２ｃ２には当接しないので、チャックピース４
２ｐ、４４ｐ、４５ｐがウエハＷの端面を押圧し、ウエ
ハＷが把持され続ける。
ォロア４３ｆがカム１２ｃ２に当接し、バネ４３ｂに抗
して、軸４３ｃが、図３中、右方向に押しやられ、チャ
ックピース４３ｐがウエハＷの端面から遠ざかる。この
場合、カムフォロア４２ｆ、４４ｆ、４５ｆがカム１２
ｃ１、１２ｃ２には当接しないので、チャックピース４
２ｐ、４４ｐ、４５ｐがウエハＷの端面を押圧し、ウエ
ハＷが把持され続ける。
【００３４】その後、自転モータによって、回転板ＳＢ
が、図１中、反時計方向に７２度回動されると、上記と
同様にして、チャックピース４２ｐ、４４ｐがウエハＷ
の端面から遠ざかり、次のタイミング以降（再び７２度
回動されると）、順次、チャックピース４３ｐ、４５ｐ
がウエハＷの端面から遠ざかり、チャックピース４４
ｐ、４１ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、チャックピ
ース４５ｐ、４２ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、そ
の次のタイミングで、図３に示す最初のタイミングに戻
り、チャックピース４１ｐ、４３ｐがウエハＷの端面か
ら遠ざかる。以後、これらの動作を繰り返す。
が、図１中、反時計方向に７２度回動されると、上記と
同様にして、チャックピース４２ｐ、４４ｐがウエハＷ
の端面から遠ざかり、次のタイミング以降（再び７２度
回動されると）、順次、チャックピース４３ｐ、４５ｐ
がウエハＷの端面から遠ざかり、チャックピース４４
ｐ、４１ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、チャックピ
ース４５ｐ、４２ｐがウエハＷの端面から遠ざかり、そ
の次のタイミングで、図３に示す最初のタイミングに戻
り、チャックピース４１ｐ、４３ｐがウエハＷの端面か
ら遠ざかる。以後、これらの動作を繰り返す。
【００３５】上記動作の過程で、ウエハＷを自転させな
がら、ウエハＷを目視検査することができ、また、チャ
ックピース４１ｐ〜４５ｐがウエハＷを把持することに
よってウエハＷが隠れていた部分をも、目視することが
できる。
がら、ウエハＷを目視検査することができ、また、チャ
ックピース４１ｐ〜４５ｐがウエハＷを把持することに
よってウエハＷが隠れていた部分をも、目視することが
できる。
【００３６】また、ウエハＷが自転する過程で、そのウ
エハＷの縁部に設けられているノッチも回動し、このノ
ッチが回動する軌跡を挟むように、センサＳＥを構成す
る投光器ＳＥ１と受光器ＳＥ２とが対向している。つま
り、投光器ＳＥ１から受光器ＳＥ２に向かう光線の光路
を横切るようにノッチが通過する。また、投光器ＳＥ１
から受光器ＳＥ２に向かう光線の光路付近では、チャッ
クピース４１〜４５がノッチから離れるようになってい
る。したがって、センサＳＥの近傍にノッチがさしかか
ると、ノッチ検出に際してチャックピース４１〜４５が
邪魔することがなく、ノッチをセンサＳＥが検出するこ
とに支障がない。
エハＷの縁部に設けられているノッチも回動し、このノ
ッチが回動する軌跡を挟むように、センサＳＥを構成す
る投光器ＳＥ１と受光器ＳＥ２とが対向している。つま
り、投光器ＳＥ１から受光器ＳＥ２に向かう光線の光路
を横切るようにノッチが通過する。また、投光器ＳＥ１
から受光器ＳＥ２に向かう光線の光路付近では、チャッ
クピース４１〜４５がノッチから離れるようになってい
る。したがって、センサＳＥの近傍にノッチがさしかか
ると、ノッチ検出に際してチャックピース４１〜４５が
邪魔することがなく、ノッチをセンサＳＥが検出するこ
とに支障がない。
【００３７】上記実施例において、チャックピース駆動
手段４１Ｄ〜４５ＤによってウエハＷが把持され、チャ
ックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄの動作が、直線運動
であるので、チャックピース４１〜４５と回転板用ケー
ス５０との間にスリットを設ける必要がなく、ウエハＷ
を傾斜させても、スリットからごみが落下する可能性が
極めて少ない。
手段４１Ｄ〜４５ＤによってウエハＷが把持され、チャ
ックピース駆動手段４１Ｄ〜４５Ｄの動作が、直線運動
であるので、チャックピース４１〜４５と回転板用ケー
ス５０との間にスリットを設ける必要がなく、ウエハＷ
を傾斜させても、スリットからごみが落下する可能性が
極めて少ない。
【００３８】また、上記実施例において、ウエハＷがカ
ム１２ｃ１、１２ｃ２の位置に回転してくると、チャッ
クピース４１〜４５がウエハＷの端面から自動的に外
れ、チャックピース４１〜４５が押えて部位（チャック
ピース４１〜４５によって隠れていた部位）を確実に目
視検査することができる（エッジ目視検査が可能にな
る）。つまり、カム１２ｃ１、１２ｃ２が存在する位置
の近傍を見ていれば、チャックピース４１〜４５に邪魔
されずにウエハＷを目視することができる。
ム１２ｃ１、１２ｃ２の位置に回転してくると、チャッ
クピース４１〜４５がウエハＷの端面から自動的に外
れ、チャックピース４１〜４５が押えて部位（チャック
ピース４１〜４５によって隠れていた部位）を確実に目
視検査することができる（エッジ目視検査が可能にな
る）。つまり、カム１２ｃ１、１２ｃ２が存在する位置
の近傍を見ていれば、チャックピース４１〜４５に邪魔
されずにウエハＷを目視することができる。
【００３９】上記実施例では、目視検査者の意思による
ウエハＷの持替えを行わずに、ウエハＷの持ち替えが自
動的に行われるので、ウエーハＷが１回転すれば、ウエ
ハＷのノッチ（ウエハＷの端面における切り込み）を必
ず目視検出することができる。したがって、ウエハＷの
目視検査が高速で行われる。また、ウエハＷの持替え動
作を必要としないので、ウエハＷの損傷に対する懸念か
ら開放される。
ウエハＷの持替えを行わずに、ウエハＷの持ち替えが自
動的に行われるので、ウエーハＷが１回転すれば、ウエ
ハＷのノッチ（ウエハＷの端面における切り込み）を必
ず目視検出することができる。したがって、ウエハＷの
目視検査が高速で行われる。また、ウエハＷの持替え動
作を必要としないので、ウエハＷの損傷に対する懸念か
ら開放される。
【００４０】図５は、本発明の別の実施例であるウエハ
目視検査装置１００を示す斜視図である。
目視検査装置１００を示す斜視図である。
【００４１】ウエハ目視検査装置１００は、基台Ｂの上
に、Ｙ軸ボールネジＢＮｙと、Ｙ軸ボールネジＢＮｙを
駆動するＹ軸駆動モータＭｙと、２つのＹ軸ガイドＧｙ
とが設けられている。Ｙ軸駆動モータＭｙによって、Ｙ
軸ボールネジＢＮｙ上をＹ軸用スライダＳｙが摺動し、
このＹ軸用スライダＳｙに第１載置板Ｂ１が固定され、
この第１載置板Ｂ１は、２つのＹ軸ガイドＧｙを摺動す
るものである。
に、Ｙ軸ボールネジＢＮｙと、Ｙ軸ボールネジＢＮｙを
駆動するＹ軸駆動モータＭｙと、２つのＹ軸ガイドＧｙ
とが設けられている。Ｙ軸駆動モータＭｙによって、Ｙ
軸ボールネジＢＮｙ上をＹ軸用スライダＳｙが摺動し、
このＹ軸用スライダＳｙに第１載置板Ｂ１が固定され、
この第１載置板Ｂ１は、２つのＹ軸ガイドＧｙを摺動す
るものである。
【００４２】第１載置板Ｂ１には、Ｘ軸ボールネジＢＮ
ｘと、Ｘ軸ボールネジＢＮｘを駆動するＸ軸駆動モータ
Ｍｘと、２つのＸ軸ガイドＧｘとが設けられている。Ｘ
軸駆動モータＭｘによって、Ｘ軸ボールネジＢＮｘ上を
Ｘ軸用スライダＳｘが摺動し、このＸ軸用スライダＳｘ
に第２載置板Ｂ２が固定され、この第２載置板Ｂ２は、
２つのＸ軸ガイドＧｘを摺動するものである。
ｘと、Ｘ軸ボールネジＢＮｘを駆動するＸ軸駆動モータ
Ｍｘと、２つのＸ軸ガイドＧｘとが設けられている。Ｘ
軸駆動モータＭｘによって、Ｘ軸ボールネジＢＮｘ上を
Ｘ軸用スライダＳｘが摺動し、このＸ軸用スライダＳｘ
に第２載置板Ｂ２が固定され、この第２載置板Ｂ２は、
２つのＸ軸ガイドＧｘを摺動するものである。
【００４３】第２載置板Ｂ２には、円板６０と、Ｕ字状
のアームＡと、アーム回動モータＭａと、ベルトＢＴ２
とが設けられている。
のアームＡと、アーム回動モータＭａと、ベルトＢＴ２
とが設けられている。
【００４４】円板６０は、第２載置板Ｂ２に軸支されて
いる回転可能な円板であり、Ｕ字状のアームＡは、円板
６０を介して第２載置板Ｂ２に設けられ、アーム回動モ
ータＭａは、鉛直線を中心にアームＡを回動させるモー
タである。また、円板６０は、ベルトＢＴａを介して、
アーム回動モータＭａによって回転され、アーム回動モ
ータＭａによる回転力が円板６０に伝達される。
いる回転可能な円板であり、Ｕ字状のアームＡは、円板
６０を介して第２載置板Ｂ２に設けられ、アーム回動モ
ータＭａは、鉛直線を中心にアームＡを回動させるモー
タである。また、円板６０は、ベルトＢＴａを介して、
アーム回動モータＭａによって回転され、アーム回動モ
ータＭａによる回転力が円板６０に伝達される。
【００４５】アームＡには、ウエハの粗い面と装置ＡＳ
１が設けられ、つまり、自転する回転板ＳＢを内蔵する
リング１０と、自転モータ２１と、表裏反転モータＭ２
とが設けられている。 回転板ＳＢは、ウエハＷを把持
するとともに、ウエハＷの平面上で、駆動ローラＲを介
して自転モータ２１によって回転される環状部材であ
る。
１が設けられ、つまり、自転する回転板ＳＢを内蔵する
リング１０と、自転モータ２１と、表裏反転モータＭ２
とが設けられている。 回転板ＳＢは、ウエハＷを把持
するとともに、ウエハＷの平面上で、駆動ローラＲを介
して自転モータ２１によって回転される環状部材であ
る。
【００４６】表裏反転モータＭ２は、回転板ＳＢの軸心
と直交する直線を中心に回転板ＳＢを回動させるモータ
である。
と直交する直線を中心に回転板ＳＢを回動させるモータ
である。
【００４７】また、ウエハ目視検査装置１００は、制御
盤７０を有し、制御盤７０には、ウエハ目視検査装置１
００の全体を制御する制御手段と、搬送開始スイッチＳ
Ｗと、自転スイッチＳＷ１と、表裏反転スイッチＳＷ２
と、アーム回動スイッチＳＷａと、Ｘ軸調整スイッチＳ
Ｗｘと、Ｙ軸調整スイッチＳＷｙとを有する。
盤７０を有し、制御盤７０には、ウエハ目視検査装置１
００の全体を制御する制御手段と、搬送開始スイッチＳ
Ｗと、自転スイッチＳＷ１と、表裏反転スイッチＳＷ２
と、アーム回動スイッチＳＷａと、Ｘ軸調整スイッチＳ
Ｗｘと、Ｙ軸調整スイッチＳＷｙとを有する。
【００４８】搬送開始スイッチＳＷは、スタックに載置
されている複数枚のウエハのうちの１枚をウエハ目視監
査装置１００に搬送させるとき、または、ウエハ目視監
査装置１００から、目視検査を終了したウエハを別のス
タックにウエハを搬送させるときに押すスイッチであ
る。
されている複数枚のウエハのうちの１枚をウエハ目視監
査装置１００に搬送させるとき、または、ウエハ目視監
査装置１００から、目視検査を終了したウエハを別のス
タックにウエハを搬送させるときに押すスイッチであ
る。
【００４９】自転スイッチＳＷ１は、回転板ＳＢに保持
されているウエハＷを自転させるときに押すスイッチで
ある。表裏反転スイッチＳＷ２は、ウエハＷの俯角、仰
角を所定角度だけ調整させる場合、または、ウエハＷの
面を裏返すときに押すスイッチである。アーム回動スイ
ッチＳＷａは、鉛直線を中心にアームＡを回転させると
きに押すスイッチである。
されているウエハＷを自転させるときに押すスイッチで
ある。表裏反転スイッチＳＷ２は、ウエハＷの俯角、仰
角を所定角度だけ調整させる場合、または、ウエハＷの
面を裏返すときに押すスイッチである。アーム回動スイ
ッチＳＷａは、鉛直線を中心にアームＡを回転させると
きに押すスイッチである。
【００５０】Ｘ軸調整スイッチＳＷｘ、Ｙ軸調整スイッ
チＳＷｙは、基台Ｂに対して、アームＡの位置を、それ
ぞれＸ、Ｙ軸方向の位置を調整するときに押すスイッチ
である。
チＳＷｙは、基台Ｂに対して、アームＡの位置を、それ
ぞれＸ、Ｙ軸方向の位置を調整するときに押すスイッチ
である。
【００５１】図６は、ウエハ目視検査装置１００を簡略
化して示す斜視図である。
化して示す斜視図である。
【００５２】図６に示すウエハ目視検査装置１００にお
いて、チャックピース４１〜４５を介して回転板ＳＢが
ウエハＷを挟み、この状態で、回転板ＳＢともにウエハ
Ｗを自転させることができ、また、回転板ＳＢを前傾、
後傾または表裏反転させることができ、さらに、鉛直線
を中心としてアームＡを回転することができる。
いて、チャックピース４１〜４５を介して回転板ＳＢが
ウエハＷを挟み、この状態で、回転板ＳＢともにウエハ
Ｗを自転させることができ、また、回転板ＳＢを前傾、
後傾または表裏反転させることができ、さらに、鉛直線
を中心としてアームＡを回転することができる。
【００５３】次に、ウエハ目視検査装置１００の動作に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００５４】まず、回転板ＳＢにウエハＷがセットされ
ず（挟まれておらず）、アームＡの長手方向がＸ軸ボル
トねじＢＮｘと平行にセットされ、回転板ＳＢが水平に
セットされているとする。この場合、回転板ＳＢにおけ
るチャックピース４１〜４５の全てが回転板ＳＢの中央
から遠ざかる。つまり、図１、図２に示すように、チャ
ックピース４１〜４５のうちの２つは、カム１２Ｃ１、
１２Ｃ２によってウエハＷの端面から離れ、残りの３つ
のチャックピースは、図示しないハンドによって、ウエ
ハＷの端面から離される。
ず（挟まれておらず）、アームＡの長手方向がＸ軸ボル
トねじＢＮｘと平行にセットされ、回転板ＳＢが水平に
セットされているとする。この場合、回転板ＳＢにおけ
るチャックピース４１〜４５の全てが回転板ＳＢの中央
から遠ざかる。つまり、図１、図２に示すように、チャ
ックピース４１〜４５のうちの２つは、カム１２Ｃ１、
１２Ｃ２によってウエハＷの端面から離れ、残りの３つ
のチャックピースは、図示しないハンドによって、ウエ
ハＷの端面から離される。
【００５５】ここで、制御盤７０の搬送開始スイッチＳ
Ｗを押すと、図示しないハンドが、図示しないスタック
からウエハＷを１枚挟み取り、回転板ＳＢの中央に搬送
し、ウエハＷの中心位置と回転板ＳＢの中心位置とが一
致したときに、ウエハＷが停止する。
Ｗを押すと、図示しないハンドが、図示しないスタック
からウエハＷを１枚挟み取り、回転板ＳＢの中央に搬送
し、ウエハＷの中心位置と回転板ＳＢの中心位置とが一
致したときに、ウエハＷが停止する。
【００５６】そして、図１に示すように、ウエハＷがチ
ャックピース４１、４３、４４によって把持される。
ャックピース４１、４３、４４によって把持される。
【００５７】ここで、自転スイッチＳＷ１を押すと、こ
れを押している間だけ、自転モータ２１が徐々に回動
し、駆動ローラ２５、２８を介して、回転板ＳＢが回動
する。回転板ＳＢの回動に伴って、ウエハＷも徐々に回
動する。
れを押している間だけ、自転モータ２１が徐々に回動
し、駆動ローラ２５、２８を介して、回転板ＳＢが回動
する。回転板ＳＢの回動に伴って、ウエハＷも徐々に回
動する。
【００５８】また、表裏反転スイッチＳＷ２を押すと、
これを押している間だけ、回転板ＳＢが、回転板ＳＢの
軸と直交する直線を中心として、徐々に前傾または後傾
する。表裏反転スイッチＳＷ２は、２つ設けられ、その
うちの１つの表裏反転スイッチを押した場合と、残りの
１つの表裏反転スイッチを押した場合とでは、ウエハＷ
が傾斜する方向が異なる。つまり、ウエハＷは、その前
後に傾斜し、その仰角、俯角が変化する。なお、表裏反
転スイッチＳＷ２を押し続けると、回転板ＳＢが水平に
向いている状態から、鉛直方向に向き、引き続いて、水
平に向き、回転板ＳＢの裏側が上に向く、つまり、ウエ
ハＷの裏側が上に向く。
これを押している間だけ、回転板ＳＢが、回転板ＳＢの
軸と直交する直線を中心として、徐々に前傾または後傾
する。表裏反転スイッチＳＷ２は、２つ設けられ、その
うちの１つの表裏反転スイッチを押した場合と、残りの
１つの表裏反転スイッチを押した場合とでは、ウエハＷ
が傾斜する方向が異なる。つまり、ウエハＷは、その前
後に傾斜し、その仰角、俯角が変化する。なお、表裏反
転スイッチＳＷ２を押し続けると、回転板ＳＢが水平に
向いている状態から、鉛直方向に向き、引き続いて、水
平に向き、回転板ＳＢの裏側が上に向く、つまり、ウエ
ハＷの裏側が上に向く。
【００５９】そして、アーム回動スイッチＳＷａを押す
と、これを押している間だけ、アーム回動モータＭａが
回動し、ベルトＢＴａを介して円板６０が回動し、これ
と連動してアームＡが回動する。これによって、目視検
査者から見て、ウエハＷの左右の向きが変化する。
と、これを押している間だけ、アーム回動モータＭａが
回動し、ベルトＢＴａを介して円板６０が回動し、これ
と連動してアームＡが回動する。これによって、目視検
査者から見て、ウエハＷの左右の向きが変化する。
【００６０】なお、基台Ｂに対するウエハＷの中心位置
を調整する場合には、Ｘ軸調整スイッチＳＷｘ、Ｙ軸調
整スイッチｙを押すことによって、アームＡについて、
それぞれ、Ｘ軸上の位置、Ｙ軸上の位置を所望の位置に
調整することができる。
を調整する場合には、Ｘ軸調整スイッチＳＷｘ、Ｙ軸調
整スイッチｙを押すことによって、アームＡについて、
それぞれ、Ｘ軸上の位置、Ｙ軸上の位置を所望の位置に
調整することができる。
【００６１】上記実施例によれば、ウエハＷの目視検査
時に、ウエハＷを自転させることができ、また、ウエハ
Ｗを前傾、後傾させることができるので、ウエハＷを照
明する光源がどの位置に存在していても、また、光源か
らの光の照射方向がどのような方向であっても、検査者
がその目の位置を変化させる必要がなく、目視検査者に
とって目視検査が容易である。
時に、ウエハＷを自転させることができ、また、ウエハ
Ｗを前傾、後傾させることができるので、ウエハＷを照
明する光源がどの位置に存在していても、また、光源か
らの光の照射方向がどのような方向であっても、検査者
がその目の位置を変化させる必要がなく、目視検査者に
とって目視検査が容易である。
【００６２】また、上記実施例によれば、ウエハＷの目
視検査時に、検査ステージにおいて、ハンドを使用せず
に、ウエハＷを裏返しすることができるので、ウエハＷ
を裏返しする時間が従来の半分程度の時間で足り、ウエ
ハＷの目視検査を迅速に実行することができ、ウエハＷ
に付着するごみの発生量を少なくすることができ、ウエ
ハＷの破損が少く、複雑は構成を必要としないので、ウ
エハＷ目視検査装置が安価である。
視検査時に、検査ステージにおいて、ハンドを使用せず
に、ウエハＷを裏返しすることができるので、ウエハＷ
を裏返しする時間が従来の半分程度の時間で足り、ウエ
ハＷの目視検査を迅速に実行することができ、ウエハＷ
に付着するごみの発生量を少なくすることができ、ウエ
ハＷの破損が少く、複雑は構成を必要としないので、ウ
エハＷ目視検査装置が安価である。
【００６３】
【発明の効果】本発明によれば、ウエハを把持するとき
における発塵を少なくすることができるという効果を奏
する。
における発塵を少なくすることができるという効果を奏
する。
【図１】本発明の一実施例であるウエハのアライメント
装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図である。
装置ＡＳ１の一部分を切り欠いて示す平面図である。
【図２】図１におけるＩＩーＩＩ’線からみたリング１
０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【図３】ウエハのアライメント装置ＡＳ１の一部分を切
り欠いて示す平面図であり、チャックピース４１、４３
がウエハＷの端面から離れ、チャックピース４２、４
４、４５がウエハＷの端面を把持している状態を示す図
である。
り欠いて示す平面図であり、チャックピース４１、４３
がウエハＷの端面から離れ、チャックピース４２、４
４、４５がウエハＷの端面を把持している状態を示す図
である。
【図４】図３におけるＩＶーＩＶ’線からみたリング１
０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
０とウエハ把持装置ＷＨとを示す縦断面図である。
【図５】本発明の別の実施例であるウエハ目視検査装置
１００を示す斜視図である。
１００を示す斜視図である。
【図６】ウエハ目視検査装置１００を簡略化して示す斜
視図である。
視図である。
ＡＳ１…ウエハのアライメント装置、 ＷＨ…ウエハの把持装置、 ＳＥ…センサ、 ＳＥ１…投光器、 ＳＥ２…受光器、 Ｗ…ウエハ、 Ｂ…基台、 Ｂ１…第１載置台、 Ｂ２…第２載置台、 ＢＮｘ…Ｘ軸ボールネジ、 ＢＮｙ…Ｙ軸ボールネジ、 Ａ…アーム、 Ｍａ…アーム回動モータ、 ＳＢ…自転板、 Ｍ２…表裏反転モータ、 １００…ウエハ目視検査装置、 １０…リング、 １２ｃ１、１２ｃ２…カム、 ２０…回転板駆動手段、 ２１…自転モータ、 ４１〜４５…チャックピース、 ４１ｂ…チャック閉用バネ、 ４１ｆ…カムフォロア、 ４１Ｄ〜４５Ｄ…チャックピース駆動手段、 ５０…回転板用ケース。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4M106 AA01 BA10 CA38 DJ01 DJ02 DJ03 DJ06 DJ07 5F031 DA13 HA24 HA26 HA29 HA59 JA02 JA05 JA35 MA33
Claims (7)
- 【請求項１】 筐体に保持されている環状部材に対して
回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能
な回転板と；上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手
段と；上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押
圧可能であり、上記回転板に載置されているチャックピ
ースと；上記ウエハの中心に向って上記チャックピース
を直線往復運動させるチャックピース駆動手段と；を有
することを特徴とするウエハ把持装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 上記チャックピース駆動手段は、 上記チャックピースを上記ウエハの端面に押圧させるチ
ャック閉用バネと；上記環状部材に固定されているカム
と；上記チャックピースに固定され、上記カムを倣うカ
ムフォロアと；を有する手段であることを特徴とするウ
エハ把持装置。 - 【請求項３】 筐体に保持されている環状部材に対して
回転可能であり、ウエハの面と同一の平面上を回転可能
な回転板と、上記回転板を回転駆動させる回転板駆動手
段と、上記ウエハの中心に向って上記ウエハの端面を押
圧可能であり、上記回転板に載置されているチャックピ
ースと、上記ウエハの中心に向って上記チャックピース
を直線往復運動させるチャックピース駆動手段とを具備
するウエハ把持装置と；上記チャックピース駆動手段に
よって上記チャックピースが上記ウエハの端面から離れ
る領域であって、上記ウエハのノッチが通過する位置に
設置されている投受光装置と；を有することを特徴とす
るウエハのアライメント装置。 - 【請求項４】 筐体に保持されている環状部材と；上記
環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の
平面上を回転可能な回転板と、上記回転板を回転駆動さ
せる回転板駆動手段と、上記ウエハの中心に向って上記
ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置され
ているチャックピースと、上記ウエハの中心に向って上
記チャックピースを直線往復運動させるチャックピース
駆動手段とを具備し、上記環状部材に保持されているウ
エハ把持装置と；を有し、上記ウエハ把持手段が上記ウ
エハを把持した状態で、上記環状部材の中心を中心とし
て、上記ウエハの平面上で上記環状部材を回動させるこ
とによって、上記ウエハを自転させることを特徴とする
ウエハ目視検査装置。 - 【請求項５】 請求項４において、 上記環状部材を保持するアームと；鉛直線を中心に上記
アームを回動させるアーム回動手段と；を有することを
特徴とするウエハ目視検査装置。 - 【請求項６】 筐体に保持されている環状部材と；上記
環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の
平面上を回転可能な回転板と、上記回転板を回転駆動さ
せる回転板駆動手段と、上記ウエハの中心に向って上記
ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置され
ているチャックピースと、上記ウエハの中心に向って上
記チャックピースを直線往復運動させるチャックピース
駆動手段とを具備し、上記環状部材に保持されているウ
エハ把持装置と；上記環状部材の軸心と直交する直線を
中心に上記環状部材を傾斜させる環状部材傾斜手段と；
を有することを特徴とするウエハ目視検査装置。 - 【請求項７】 筐体に保持されている環状部材と；上記
環状部材に対して回転可能であり、ウエハの面と同一の
平面上を回転可能な回転板と、上記回転板を回転駆動さ
せる回転板駆動手段と、上記ウエハの中心に向って上記
ウエハの端面を押圧可能であり、上記回転板に載置され
ているチャックピースと、上記ウエハの中心に向って上
記チャックピースを直線往復運動させるチャックピース
駆動手段とを具備し、上記環状部材に保持されているウ
エハ把持装置と；上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把
持した状態で、上記環状部材の軸心と直交する直線を中
心に上記環状部材を１８０度以上回動させることによっ
て、上記ウエハの表裏を目視することが可能であるウエ
ハ裏返し手段と；を有することを特徴とするウエハ目視
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7188399A JP4341860B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7188399A JP4341860B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000269312A true JP2000269312A (ja) | 2000-09-29 |
| JP4341860B2 JP4341860B2 (ja) | 2009-10-14 |
Family
ID=13473385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7188399A Expired - Fee Related JP4341860B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ウエハ把持装置、ウエハのアライメント装置およびウエハ目視検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4341860B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007201292A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Kyocera Corp | 試料位置決め装置 |
| CN110931419A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-03-27 | 苏州展德自动化设备有限公司 | Led晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置 |
| CN114361088A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-04-15 | 深圳鼎晶科技有限公司 | 晶圆翻转装置及巨量转移设备 |
| CN116632104A (zh) * | 2023-04-25 | 2023-08-22 | 一道新能源科技股份有限公司 | 一种topcon电池片的均匀堆叠装置 |
| CN119936058A (zh) * | 2025-04-03 | 2025-05-06 | 深圳市三维机电设备有限公司 | 一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法 |
-
1999
- 1999-03-17 JP JP7188399A patent/JP4341860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007201292A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Kyocera Corp | 試料位置決め装置 |
| CN110931419A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-03-27 | 苏州展德自动化设备有限公司 | Led晶圆扩张外环自动抓取及压装裁切装置 |
| CN114361088A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-04-15 | 深圳鼎晶科技有限公司 | 晶圆翻转装置及巨量转移设备 |
| CN116632104A (zh) * | 2023-04-25 | 2023-08-22 | 一道新能源科技股份有限公司 | 一种topcon电池片的均匀堆叠装置 |
| CN119936058A (zh) * | 2025-04-03 | 2025-05-06 | 深圳市三维机电设备有限公司 | 一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4341860B2 (ja) | 2009-10-14 |
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