JP2000272974A - ホットプレス方法およびホットプレス装置 - Google Patents
ホットプレス方法およびホットプレス装置Info
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- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 脱バインダ処理を容易に行えると共に、焼成
前の予備成形体の形状保持特性に優れ、良質の成形体を
高生産性で製造することができるホットプレス方法およ
びホットプレス装置を提供すること。 【解決手段】 ホットプレス装置30に取り付けられる
べき型38のスリーブ挿入孔37内に、少なくとも1の
第1分割スリーブ36aが挿入された状態で、焼成前の
予備成形体10の外周面の少なくとも一部が露出するよ
うに、予備成形体10を第1分割スリーブ36aにより
保持する。次に、予備成形体10の脱バインダ処理を行
い、その後、スリーブ挿入孔37の内周面と予備成形体
10の外周面との隙間に、第2分割スリーブ36b〜3
6dを挿入し、予備成形体10の全外周面を取り囲む。
その後、型38をホットプレス装置30の内部に取り付
け、予備成形体10を加圧しつつ焼成する。
前の予備成形体の形状保持特性に優れ、良質の成形体を
高生産性で製造することができるホットプレス方法およ
びホットプレス装置を提供すること。 【解決手段】 ホットプレス装置30に取り付けられる
べき型38のスリーブ挿入孔37内に、少なくとも1の
第1分割スリーブ36aが挿入された状態で、焼成前の
予備成形体10の外周面の少なくとも一部が露出するよ
うに、予備成形体10を第1分割スリーブ36aにより
保持する。次に、予備成形体10の脱バインダ処理を行
い、その後、スリーブ挿入孔37の内周面と予備成形体
10の外周面との隙間に、第2分割スリーブ36b〜3
6dを挿入し、予備成形体10の全外周面を取り囲む。
その後、型38をホットプレス装置30の内部に取り付
け、予備成形体10を加圧しつつ焼成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホットプレス方法
およびホットプレス装置に係り、さらに詳しくは、脱バ
インダ処理を容易に行えると共に、焼成前の予備成形体
の形状保持特性に優れ、良質の成形体を高生産性で製造
することができるホットプレス方法およびホットプレス
装置に関する。
およびホットプレス装置に係り、さらに詳しくは、脱バ
インダ処理を容易に行えると共に、焼成前の予備成形体
の形状保持特性に優れ、良質の成形体を高生産性で製造
することができるホットプレス方法およびホットプレス
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】タングステン、モリブデン、チタン、タ
ンタル、ジルコニウムなどのような金属の酸化物、炭化
物、窒化物、ホウ化物またはケイ化物や炭化ケイ素、窒
化ケイ素、窒化ホウ素、ケイ化ホウ素などのセラミック
ス焼結体は、電子部品用素子、工具、電気絶縁材、るつ
ぼ材、原子炉材料、発熱体、タービン材、サーメット
材、高温用電極、コーティング材などとして広く用いら
れている。
ンタル、ジルコニウムなどのような金属の酸化物、炭化
物、窒化物、ホウ化物またはケイ化物や炭化ケイ素、窒
化ケイ素、窒化ホウ素、ケイ化ホウ素などのセラミック
ス焼結体は、電子部品用素子、工具、電気絶縁材、るつ
ぼ材、原子炉材料、発熱体、タービン材、サーメット
材、高温用電極、コーティング材などとして広く用いら
れている。
【0003】これらのセラミックス焼結体は、通常、ホ
ットプレス装置を用いた加圧焼結法(ホットプレス)に
よって製造されている。ホットプレスは、黒鉛製型の内
部に原料粉末または予備成形体を入れて加圧しながら加
熱して焼結体を得る方法である。原料粉末を用いてホッ
トプレスを行う場合には、原料粉末にバインダを含有さ
せる必要はなく、脱バインダ処理は不要である。
ットプレス装置を用いた加圧焼結法(ホットプレス)に
よって製造されている。ホットプレスは、黒鉛製型の内
部に原料粉末または予備成形体を入れて加圧しながら加
熱して焼結体を得る方法である。原料粉末を用いてホッ
トプレスを行う場合には、原料粉末にバインダを含有さ
せる必要はなく、脱バインダ処理は不要である。
【0004】ところが、予備成形体を用いてホットプレ
スを行う場合には、予備成形体としての形状を保持させ
るために、バインダを用いる必要がある。たとえば異な
る材料の層を積層させた焼結体を得るためには、ホット
プレス前に予備成形体を成形する必要があり、その際に
バインダを用いることが必要になる。
スを行う場合には、予備成形体としての形状を保持させ
るために、バインダを用いる必要がある。たとえば異な
る材料の層を積層させた焼結体を得るためには、ホット
プレス前に予備成形体を成形する必要があり、その際に
バインダを用いることが必要になる。
【0005】バインダが混入された予備成形体を、その
ままホットプレスにより焼結してしまうと、焼結反応に
悪影響を与え、良好な焼結体を得られないおそれがあ
る。そこで、従来では、バインダを用いて焼成前の予備
成形体を成形した後、この予備成形体の脱バインダ処理
を脱バインダ炉などで行い、その後、脱バインダ処理さ
れた予備成形体をホットプレス装置の型の内部にセット
し、ホットプレスを行っている。
ままホットプレスにより焼結してしまうと、焼結反応に
悪影響を与え、良好な焼結体を得られないおそれがあ
る。そこで、従来では、バインダを用いて焼成前の予備
成形体を成形した後、この予備成形体の脱バインダ処理
を脱バインダ炉などで行い、その後、脱バインダ処理さ
れた予備成形体をホットプレス装置の型の内部にセット
し、ホットプレスを行っている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、予備成形体
は、脱バインダ処理によって、その強度が極端に低下
し、僅かな衝撃でも成形体の形状を保持できないなどの
課題を有する。したがって、予備成形体を用いてホット
プレスを行う場合には、脱バインダ処理後の予備成形体
の取り扱いに注意する必要があり、少量生産では可能で
あるが、多量生産には不向きである。
は、脱バインダ処理によって、その強度が極端に低下
し、僅かな衝撃でも成形体の形状を保持できないなどの
課題を有する。したがって、予備成形体を用いてホット
プレスを行う場合には、脱バインダ処理後の予備成形体
の取り扱いに注意する必要があり、少量生産では可能で
あるが、多量生産には不向きである。
【0007】本発明は、このような実状に鑑みてなさ
れ、脱バインダ処理を容易に行えると共に、焼成前の予
備成形体の形状保持特性に優れ、良質の成形体を高生産
性で製造することができるホットプレス方法およびホッ
トプレス装置を提供することを目的とする。
れ、脱バインダ処理を容易に行えると共に、焼成前の予
備成形体の形状保持特性に優れ、良質の成形体を高生産
性で製造することができるホットプレス方法およびホッ
トプレス装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るホットプレス方法は、ホットプレス装
置に取り付けられるべき型のスリーブ挿入孔内に、少な
くとも1の第1分割スリーブが挿入された状態で、焼成
前の予備成形体の外周面の少なくとも一部が露出するよ
うに、前記予備成形体を前記第1分割スリーブにより保
持する工程と、前記型内に挿入された第1分割スリーブ
により保持してある予備成形体の脱バインダ処理を行う
工程と、前記スリーブ挿入孔の内周面と予備成形体の外
周面との隙間に、前記第1分割スリーブとは別部品の第
2分割スリーブを挿入し、前記予備成形体の全外周面を
取り囲むように、前記第1分割スリーブおよび第2分割
スリーブを位置させる工程と、前記予備成形体の全外周
面に前記第1分割スリーブおよび第2分割スリーブが配
置してある型をホットプレス装置の内部に取り付ける工
程と、前記第1分割スリーブおよび第2分割スリーブに
より囲まれた予備成形体を加圧しつつ焼成する工程とを
有する。
に、本発明に係るホットプレス方法は、ホットプレス装
置に取り付けられるべき型のスリーブ挿入孔内に、少な
くとも1の第1分割スリーブが挿入された状態で、焼成
前の予備成形体の外周面の少なくとも一部が露出するよ
うに、前記予備成形体を前記第1分割スリーブにより保
持する工程と、前記型内に挿入された第1分割スリーブ
により保持してある予備成形体の脱バインダ処理を行う
工程と、前記スリーブ挿入孔の内周面と予備成形体の外
周面との隙間に、前記第1分割スリーブとは別部品の第
2分割スリーブを挿入し、前記予備成形体の全外周面を
取り囲むように、前記第1分割スリーブおよび第2分割
スリーブを位置させる工程と、前記予備成形体の全外周
面に前記第1分割スリーブおよび第2分割スリーブが配
置してある型をホットプレス装置の内部に取り付ける工
程と、前記第1分割スリーブおよび第2分割スリーブに
より囲まれた予備成形体を加圧しつつ焼成する工程とを
有する。
【0009】本発明に係る方法において、予備成形体の
横断面形状は、特に限定されず、円形、楕円形、四角
形、その他の多角形などであっても良い。予備成形体の
横断面形状が四角形である場合には、予備成形体の四側
面のうち少なくとも1側面以上、好ましくは2側面以
上、さらに好ましくは3側面が、脱バインダ処理時には
型内で露出していることが好ましい。また、予備成形体
の横断面形状が四角形以外である場合には、予備成形体
の外周の全面積のうち、好ましくは25%以上、さらに
好ましくは50%以上、特に好ましくは75%以上の面
積の外周面が、脱バインダ処理時には型内で露出してい
ることが好ましい。
横断面形状は、特に限定されず、円形、楕円形、四角
形、その他の多角形などであっても良い。予備成形体の
横断面形状が四角形である場合には、予備成形体の四側
面のうち少なくとも1側面以上、好ましくは2側面以
上、さらに好ましくは3側面が、脱バインダ処理時には
型内で露出していることが好ましい。また、予備成形体
の横断面形状が四角形以外である場合には、予備成形体
の外周の全面積のうち、好ましくは25%以上、さらに
好ましくは50%以上、特に好ましくは75%以上の面
積の外周面が、脱バインダ処理時には型内で露出してい
ることが好ましい。
【0010】前記予備成形体の全外周に前記第1分割ス
リーブおよび第2分割スリーブが位置するように、前記
予備成形体を型の内部に配置した後、少なくとも1の前
記第2分割スリーブを型の内部から取り除き、予備成形
体の外周の少なくとも一部を露出させ、その後、脱バイ
ンダ処理を行うことが好ましい。
リーブおよび第2分割スリーブが位置するように、前記
予備成形体を型の内部に配置した後、少なくとも1の前
記第2分割スリーブを型の内部から取り除き、予備成形
体の外周の少なくとも一部を露出させ、その後、脱バイ
ンダ処理を行うことが好ましい。
【0011】前記脱バインダ処理は、前記予備成形体お
よび第1分割スリーブが挿入された型を、脱バインダ炉
の内部にセットすることにより行うことが好ましい。本
発明において、脱バインダ処理時の加熱温度は、脱バイ
ンダ処理すべきバインダの種類などによっても異なる
が、一般には、400〜1000°Cである。また、脱
バインダ処理の時間は、予備成形体の大きさや加熱温度
などによっても異なるが、一般には、数時間〜数十時間
である。
よび第1分割スリーブが挿入された型を、脱バインダ炉
の内部にセットすることにより行うことが好ましい。本
発明において、脱バインダ処理時の加熱温度は、脱バイ
ンダ処理すべきバインダの種類などによっても異なる
が、一般には、400〜1000°Cである。また、脱
バインダ処理の時間は、予備成形体の大きさや加熱温度
などによっても異なるが、一般には、数時間〜数十時間
である。
【0012】前記型の軸方向に沿ってテーパ状の貫通孔
から成る前記スリーブ挿入孔が形成してある型を用い、
前記スリーブ挿入孔内に挿入されるべき全ての第1およ
び第2分割スリーブが前記スリーブ挿入孔内に挿入され
た状態で、型の軸方向に沿って略同じ横断面形状の成形
用空間を形成するような形状を有する第1および第2分
割スリーブを準備することが好ましい。
から成る前記スリーブ挿入孔が形成してある型を用い、
前記スリーブ挿入孔内に挿入されるべき全ての第1およ
び第2分割スリーブが前記スリーブ挿入孔内に挿入され
た状態で、型の軸方向に沿って略同じ横断面形状の成形
用空間を形成するような形状を有する第1および第2分
割スリーブを準備することが好ましい。
【0013】本発明に係るホットプレス装置は、スリー
ブ挿入孔が軸方向に沿って形成してあるホットプレス用
型と、前記スリーブ挿入孔の内部に軸方向から挿入され
る複数の分割スリーブとを有し、前記スリーブ挿入孔
が、型の軸方向に沿ってテーパ状の貫通孔であり、前記
各分割スリーブは、前記スリーブ挿入孔内に挿入される
べき全ての分割スリーブが前記スリーブ挿入孔内に挿入
された状態で、型の軸方向に沿って略同じ横断面形状の
成形用空間を形成するような形状を有することを特徴と
する。
ブ挿入孔が軸方向に沿って形成してあるホットプレス用
型と、前記スリーブ挿入孔の内部に軸方向から挿入され
る複数の分割スリーブとを有し、前記スリーブ挿入孔
が、型の軸方向に沿ってテーパ状の貫通孔であり、前記
各分割スリーブは、前記スリーブ挿入孔内に挿入される
べき全ての分割スリーブが前記スリーブ挿入孔内に挿入
された状態で、型の軸方向に沿って略同じ横断面形状の
成形用空間を形成するような形状を有することを特徴と
する。
【0014】本発明に係る方法および装置において、分
割スリーブは、耐熱性に優れた材質であれば特に限定さ
れないが、好ましくは黒鉛製である。
割スリーブは、耐熱性に優れた材質であれば特に限定さ
れないが、好ましくは黒鉛製である。
【0015】
【作用】本発明に係るホットプレス方法では、ホットプ
レス装置に用いる型の内部で予備成形体の脱バインダ処
理を行うので、脱バインダ処理後にホットプレス装置の
型の内部に予備成形体をセットする作業が不要である。
また、脱バインダ処理時には、型のスリーブ挿入孔内に
は、全ての分割スリーブが挿入された状態ではなく、予
備成形体の外周面の少なくとも一部が露出している状態
であるため、予備成形体からのバインダの除去を効率的
且つ十分に行うことができる。したがって、十分に脱バ
インダされた予備成形体をホットプレス成形するため、
焼成が良好に行われ、得られる成形体(たとえばセラミ
ックス焼結体)の品質が向上する。
レス装置に用いる型の内部で予備成形体の脱バインダ処
理を行うので、脱バインダ処理後にホットプレス装置の
型の内部に予備成形体をセットする作業が不要である。
また、脱バインダ処理時には、型のスリーブ挿入孔内に
は、全ての分割スリーブが挿入された状態ではなく、予
備成形体の外周面の少なくとも一部が露出している状態
であるため、予備成形体からのバインダの除去を効率的
且つ十分に行うことができる。したがって、十分に脱バ
インダされた予備成形体をホットプレス成形するため、
焼成が良好に行われ、得られる成形体(たとえばセラミ
ックス焼結体)の品質が向上する。
【0016】脱バインダ処理後にホットプレスを行う際
には、スリーブ挿入孔の隙間に残りの第2分割スリーブ
を差し込み、型をホットプレス装置に取り付けるのみ
で、ホットプレスの準備が整う。スリーブ挿入孔の隙間
に残りの第2分割スリーブを差し込む際には、型に形成
してあるテーパ状のスリーブ挿入孔の開口面積が大きい
方から、分割スリーブにおける横断面積の小さい先端側
を、挿入孔の内周面に接触させながら差し込む。この方
法では、各分割スリーブの挿入終了時に各スリーブが予
備成形体に接する状態となる。このため、この分割スリ
ーブが、その差し込み途中において予備成形体に接触す
ることはなく、予備成形体を破壊するおそれは少ない。
には、スリーブ挿入孔の隙間に残りの第2分割スリーブ
を差し込み、型をホットプレス装置に取り付けるのみ
で、ホットプレスの準備が整う。スリーブ挿入孔の隙間
に残りの第2分割スリーブを差し込む際には、型に形成
してあるテーパ状のスリーブ挿入孔の開口面積が大きい
方から、分割スリーブにおける横断面積の小さい先端側
を、挿入孔の内周面に接触させながら差し込む。この方
法では、各分割スリーブの挿入終了時に各スリーブが予
備成形体に接する状態となる。このため、この分割スリ
ーブが、その差し込み途中において予備成形体に接触す
ることはなく、予備成形体を破壊するおそれは少ない。
【0017】このように本発明に係るホットプレス方法
では、脱バインダ処理を容易に行えると共に、焼成前の
予備成形体の形状保持特性に優れ、良質の成形体を高生
産性で製造することができる。また、本発明に係るホッ
トプレス装置では、このような本発明に係るホットプレ
ス方法を好適に実施することができる。
では、脱バインダ処理を容易に行えると共に、焼成前の
予備成形体の形状保持特性に優れ、良質の成形体を高生
産性で製造することができる。また、本発明に係るホッ
トプレス装置では、このような本発明に係るホットプレ
ス方法を好適に実施することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面に示す実施
形態に基づき説明する。図1は本発明の1実施形態に係
るホットプレス装置の概略断面図、図2は図1に示すホ
ットプレス装置に取り付けられる型の斜視図、図3は図
2に示す型のスリーブ挿入孔に挿入される分割スリーブ
の斜視図、図4(A)〜(C)は図2に示すIV−IV線に
沿う断面図であり、分割スリーブの着脱の順序を示す工
程図、図5は図4(B)に示す工程にある型の斜視図、
図6は予備成形体の一例を示す分解斜視図、図7はホッ
トプレスにより成形された焼結体の用途の一例を示す抵
抗素子の斜視図である。
形態に基づき説明する。図1は本発明の1実施形態に係
るホットプレス装置の概略断面図、図2は図1に示すホ
ットプレス装置に取り付けられる型の斜視図、図3は図
2に示す型のスリーブ挿入孔に挿入される分割スリーブ
の斜視図、図4(A)〜(C)は図2に示すIV−IV線に
沿う断面図であり、分割スリーブの着脱の順序を示す工
程図、図5は図4(B)に示す工程にある型の斜視図、
図6は予備成形体の一例を示す分解斜視図、図7はホッ
トプレスにより成形された焼結体の用途の一例を示す抵
抗素子の斜視図である。
【0019】ホットプレス装置 図1に示すように、本実施形態のホットプレス装置30
は、フランジ33を持つ押し棒32と、受棒34とを有
し、予備成形体10は、黒鉛製分割スリーブ36a〜3
6dの内部で、押し棒32と受棒34との間で加熱およ
び加圧される。スリーブ36a〜36dは、型38の内
部に交換自在に取り付けられ、型38は、型支持ブロッ
ク40の下に支持してある。型支持ブロック40は、耐
熱ブロック42の下に保持してある。型38は、耐火性
チャンバ44の内部に配置してあり、押し棒32は、チ
ャンバ44の外部に配置してある水圧プレス機構などの
駆動源によりプラグに向けて押圧される。なお、図1で
は、予備成形体10を加熱するためのヒータなどの加熱
手段の図示を省略してある。
は、フランジ33を持つ押し棒32と、受棒34とを有
し、予備成形体10は、黒鉛製分割スリーブ36a〜3
6dの内部で、押し棒32と受棒34との間で加熱およ
び加圧される。スリーブ36a〜36dは、型38の内
部に交換自在に取り付けられ、型38は、型支持ブロッ
ク40の下に支持してある。型支持ブロック40は、耐
熱ブロック42の下に保持してある。型38は、耐火性
チャンバ44の内部に配置してあり、押し棒32は、チ
ャンバ44の外部に配置してある水圧プレス機構などの
駆動源によりプラグに向けて押圧される。なお、図1で
は、予備成形体10を加熱するためのヒータなどの加熱
手段の図示を省略してある。
【0020】図2に示すように、型38の内部には、軸
方向に沿ってスリーブ挿入孔37が形成してある。スリ
ーブ挿入孔37は、一端開口部37aから他端開口部3
7bに向けてテーパ状に横断面積が小さくなっている断
面円形の貫通孔である。このスリーブ挿入孔37には、
円周方向に4分割される分割スリーブ36a〜36dが
挿入され、これら分割スリーブ36a〜36dの中央部
に、軸方向に伸びる成形用空間35を形成するようにな
っている。本実施形態では、成形用空間35は、横断面
が四角形であり、軸方向に同一形状を有する。
方向に沿ってスリーブ挿入孔37が形成してある。スリ
ーブ挿入孔37は、一端開口部37aから他端開口部3
7bに向けてテーパ状に横断面積が小さくなっている断
面円形の貫通孔である。このスリーブ挿入孔37には、
円周方向に4分割される分割スリーブ36a〜36dが
挿入され、これら分割スリーブ36a〜36dの中央部
に、軸方向に伸びる成形用空間35を形成するようにな
っている。本実施形態では、成形用空間35は、横断面
が四角形であり、軸方向に同一形状を有する。
【0021】図2および図3に示すように、各分割スリ
ーブ36a〜36dは、型38と同じ軸方向長さを有す
る。各分割スリーブ36a〜36dは、スリーブ挿入孔
37のテーパ状内周面を円周方向に分割した形状の分割
テーパ状側面54と、成形用空間35の一側面を構成す
る長方形側面56と、隣接する分割スリーブとの接触面
となる一対の台形側面58とを有する。また、各分割ス
リーブの軸方向両端には、大径扇形状の基端50と小径
扇形状の先端52とが形成してある。
ーブ36a〜36dは、型38と同じ軸方向長さを有す
る。各分割スリーブ36a〜36dは、スリーブ挿入孔
37のテーパ状内周面を円周方向に分割した形状の分割
テーパ状側面54と、成形用空間35の一側面を構成す
る長方形側面56と、隣接する分割スリーブとの接触面
となる一対の台形側面58とを有する。また、各分割ス
リーブの軸方向両端には、大径扇形状の基端50と小径
扇形状の先端52とが形成してある。
【0022】ホットプレス方法 本実施形態に係るホットプレス方法では、まず、予備成
形体10を準備する。予備成形体10としては、特に限
定されないが、たとえば図6に示すように、内部電極1
4が表面にスクリーン印刷法などで所定の繰り返しパタ
ーンで形成してあるグリーンシート12と、何ら内部電
極14が形成されていないグリーンシート16との積層
体を、離型剤層を介して多数積層したものが用いられ
る。離型剤層としては、特に限定されないが、窒化ホウ
素(BN)シートなどが用いられる。
形体10を準備する。予備成形体10としては、特に限
定されないが、たとえば図6に示すように、内部電極1
4が表面にスクリーン印刷法などで所定の繰り返しパタ
ーンで形成してあるグリーンシート12と、何ら内部電
極14が形成されていないグリーンシート16との積層
体を、離型剤層を介して多数積層したものが用いられ
る。離型剤層としては、特に限定されないが、窒化ホウ
素(BN)シートなどが用いられる。
【0023】予備成形体の焼成後には、図6に示すグリ
ーンシート14と16とが一体となり焼結され、切断線
18および20に沿って切断されることで、図7に示す
抵抗素子本体22が形成される。抵抗素子本体22の内
部には、内部電極14(図6参照)が形成してあり、そ
の取り出し電極部に外部端子24を接合することによ
り、発熱素子26(または温度センサ)となる。
ーンシート14と16とが一体となり焼結され、切断線
18および20に沿って切断されることで、図7に示す
抵抗素子本体22が形成される。抵抗素子本体22の内
部には、内部電極14(図6参照)が形成してあり、そ
の取り出し電極部に外部端子24を接合することによ
り、発熱素子26(または温度センサ)となる。
【0024】図6に示すグリーンシート12および16
は、たとえばセラミックス焼結体を製造するために通常
使用している原料混合物の粉末に有機バインダーを含む
水溶液または有機溶剤系溶液を加えてシート状に成形し
て乾燥したものである。シート状に成形するための方法
としては、ドクターブレード法などが用いられる。
は、たとえばセラミックス焼結体を製造するために通常
使用している原料混合物の粉末に有機バインダーを含む
水溶液または有機溶剤系溶液を加えてシート状に成形し
て乾燥したものである。シート状に成形するための方法
としては、ドクターブレード法などが用いられる。
【0025】原料混合物としては、特に限定されない
が、たとえば金属の酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化
物、ケイ化物など、または焼成によりこれらに変化しう
る化合物などの1以上の混合物を例示することができ
る。また、原料混合物の粉末に添加されるバインダとし
ては、特に限定されないが、たとえばポリビニルアルコ
ール、アクリル樹脂などを例示することができる。
が、たとえば金属の酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化
物、ケイ化物など、または焼成によりこれらに変化しう
る化合物などの1以上の混合物を例示することができ
る。また、原料混合物の粉末に添加されるバインダとし
ては、特に限定されないが、たとえばポリビニルアルコ
ール、アクリル樹脂などを例示することができる。
【0026】上記の金属の酸化物の例としては、アルミ
ナ、ベリリア、トリアのような酸化物が例示される。金
属の炭化物の例としては、炭化ケイ素、炭化チタンのよ
うな炭化物が例示される。金属の窒化物の例としては窒
化ホウ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウムのような窒化
物が例示される。金属のホウ化物の例としては、ホウ化
チタン、ホウ化ジルコニウムのようなホウ化物が例示さ
れる。金属のケイ化物の例としては、ケイ化モリブデ
ン、ケイ化ホウ素などのようなケイ化物を挙げることが
できる。また、これらの化合物に変わりうるものとして
は、対応する金属の炭酸塩、金属+珪素、金属+ホウ
素、金属+炭素、金属+窒素、金属酸化物+炭素、金属
酸化物+炭素+窒素などがある。
ナ、ベリリア、トリアのような酸化物が例示される。金
属の炭化物の例としては、炭化ケイ素、炭化チタンのよ
うな炭化物が例示される。金属の窒化物の例としては窒
化ホウ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウムのような窒化
物が例示される。金属のホウ化物の例としては、ホウ化
チタン、ホウ化ジルコニウムのようなホウ化物が例示さ
れる。金属のケイ化物の例としては、ケイ化モリブデ
ン、ケイ化ホウ素などのようなケイ化物を挙げることが
できる。また、これらの化合物に変わりうるものとして
は、対応する金属の炭酸塩、金属+珪素、金属+ホウ
素、金属+炭素、金属+窒素、金属酸化物+炭素、金属
酸化物+炭素+窒素などがある。
【0027】グリーンシート12の表面に形成される内
部電極14の材質としては、高融点、低熱膨張率および
低電気比抵抗の特性を有する材質が好ましく、特に限定
されないが、たとえばタングステンおよび炭素などを所
定の割合で含有する導電性ペースト組成物などが用いら
れる。
部電極14の材質としては、高融点、低熱膨張率および
低電気比抵抗の特性を有する材質が好ましく、特に限定
されないが、たとえばタングステンおよび炭素などを所
定の割合で含有する導電性ペースト組成物などが用いら
れる。
【0028】たとえば図6に示すようなグリーンシート
12および16の積層体の単位を、図示省略してある離
型剤層を介して多数積層し、予備加圧することで、図1
または図2に示すような軸方向に長い予備成形体10が
得られる。この予備成形体10は、バインダを含むグリ
ーンシート12および16の多数の積層体である。
12および16の積層体の単位を、図示省略してある離
型剤層を介して多数積層し、予備加圧することで、図1
または図2に示すような軸方向に長い予備成形体10が
得られる。この予備成形体10は、バインダを含むグリ
ーンシート12および16の多数の積層体である。
【0029】本実施形態では、図1に示すホットプレス
装置による焼成前に、図2および図4(A)に示すよう
に、型38の内部に4つの分割スリーブ36a〜36d
で囲まれた予備成形体10をセットする。次に、図4
(B)および図5に示すように、4つの分割スリーブ3
6a〜36dのうち、一つの分割スリーブ36aを残
し、他の3つの分割スリーブ36b〜36dを、スリー
ブ挿入孔37の大面積側の一端開口部37aから抜き取
る。その結果、予備成形体10は、単一の分割スリーブ
36aのみで保持された状態となり、予備成形体10の
3つの側面が型38の内部で露出し、脱バインダ処理し
やすい状態となる。
装置による焼成前に、図2および図4(A)に示すよう
に、型38の内部に4つの分割スリーブ36a〜36d
で囲まれた予備成形体10をセットする。次に、図4
(B)および図5に示すように、4つの分割スリーブ3
6a〜36dのうち、一つの分割スリーブ36aを残
し、他の3つの分割スリーブ36b〜36dを、スリー
ブ挿入孔37の大面積側の一端開口部37aから抜き取
る。その結果、予備成形体10は、単一の分割スリーブ
36aのみで保持された状態となり、予備成形体10の
3つの側面が型38の内部で露出し、脱バインダ処理し
やすい状態となる。
【0030】次に、図4(B)および図5に示す状態の
型38を脱バインダ炉内に入れ、予備成形体10の脱バ
インダ処理を行う。脱バインダ処理時の加熱温度は、脱
バインダ処理すべきバインダの種類などによっても異な
るが、一般には、400〜1000°Cである。また、
脱バインダ処理の時間は、予備成形体の大きさや加熱温
度などによっても異なるが、一般には、数時間〜数十時
間である。
型38を脱バインダ炉内に入れ、予備成形体10の脱バ
インダ処理を行う。脱バインダ処理時の加熱温度は、脱
バインダ処理すべきバインダの種類などによっても異な
るが、一般には、400〜1000°Cである。また、
脱バインダ処理の時間は、予備成形体の大きさや加熱温
度などによっても異なるが、一般には、数時間〜数十時
間である。
【0031】次に、図4(B)から図4(C)に示すよ
うに、脱バインダ処理された予備成形体10とスリーブ
挿入孔37の内周面との隙間に、3つの分割スリーブ3
6b〜36dを差し戻す。その際には、型38に形成し
てあるテーパ状のスリーブ挿入孔37の開口面積が大き
い開口部37aから、分割スリーブ36b〜36dにお
ける横断面積の小さい先端52を、挿入孔37の内周面
に接触させながら差し込む。この方法では、各分割スリ
ーブ36b〜36dの挿入終了時に各スリーブが予備成
形体10に接する状態となる。このため、この分割スリ
ーブ36b〜36dが、その差し込み途中において予備
成形体10に接触することはなく、予備成形体10を破
壊するおそれは少ない。
うに、脱バインダ処理された予備成形体10とスリーブ
挿入孔37の内周面との隙間に、3つの分割スリーブ3
6b〜36dを差し戻す。その際には、型38に形成し
てあるテーパ状のスリーブ挿入孔37の開口面積が大き
い開口部37aから、分割スリーブ36b〜36dにお
ける横断面積の小さい先端52を、挿入孔37の内周面
に接触させながら差し込む。この方法では、各分割スリ
ーブ36b〜36dの挿入終了時に各スリーブが予備成
形体10に接する状態となる。このため、この分割スリ
ーブ36b〜36dが、その差し込み途中において予備
成形体10に接触することはなく、予備成形体10を破
壊するおそれは少ない。
【0032】次に、本実施形態では、図4(C)に示す
状態の型38を、図1に示すホットプレス装置30に取
り付け、ホットプレスを行う。このホットプレス装置3
0を用いる成形において、チャンバ44の内部は、不活
性ガス雰囲気にすることが好ましい。不活性ガスとして
は、特に限定されないが、窒素ガスまたはアルゴンガス
等が好ましい。また、予備成形体10の加熱温度は、特
に限定されないが、一般には、1300〜2100°C
である。さらに、予備成形体10に印加される加圧力
は、好ましくは100〜600kg/cm2 、さらに
好ましくは200〜300kg/cm2 である。加圧
時間は、一般には、10〜120分である。このような
成形により、予備成形体10は加圧状態で焼成され、図
6に示すグリーンシート12および16は一体化されて
焼結される。
状態の型38を、図1に示すホットプレス装置30に取
り付け、ホットプレスを行う。このホットプレス装置3
0を用いる成形において、チャンバ44の内部は、不活
性ガス雰囲気にすることが好ましい。不活性ガスとして
は、特に限定されないが、窒素ガスまたはアルゴンガス
等が好ましい。また、予備成形体10の加熱温度は、特
に限定されないが、一般には、1300〜2100°C
である。さらに、予備成形体10に印加される加圧力
は、好ましくは100〜600kg/cm2 、さらに
好ましくは200〜300kg/cm2 である。加圧
時間は、一般には、10〜120分である。このような
成形により、予備成形体10は加圧状態で焼成され、図
6に示すグリーンシート12および16は一体化されて
焼結される。
【0033】その後、図1に示すホットプレス装置30
から成形体を取り出し、図6に示す切断線18および2
0に沿って切断することで、図7に示す抵抗素子本体2
2が一度に多数形成される。各抵抗素子本体22の内部
には、内部電極14(図6参照)が形成してあり、その
取り出し電極部に外部端子24を接合することにより、
発熱素子26(または温度センサ)となる。
から成形体を取り出し、図6に示す切断線18および2
0に沿って切断することで、図7に示す抵抗素子本体2
2が一度に多数形成される。各抵抗素子本体22の内部
には、内部電極14(図6参照)が形成してあり、その
取り出し電極部に外部端子24を接合することにより、
発熱素子26(または温度センサ)となる。
【0034】本実施形態に係るホットプレス方法では、
ホットプレス装置30に用いる型38の内部で予備成形
体10の脱バインダ処理を行うので、脱バインダ処理後
にホットプレス装置30の型の内部に予備成形体10を
セットする作業が不要である。また、脱バインダ処理時
には、型38のスリーブ挿入孔37内には、全ての分割
スリーブ36a〜36dが挿入された状態ではなく、予
備成形体10の外周面の少なくとも一部が露出している
状態であるため、予備成形体10からのバインダの除去
を効率的且つ十分にに行うことができる。したがって、
十分に脱バインダされた予備成形体10をホットプレス
成形するため、焼成が良好に行われ、得られるセラミッ
クス焼結体の品質が向上する。
ホットプレス装置30に用いる型38の内部で予備成形
体10の脱バインダ処理を行うので、脱バインダ処理後
にホットプレス装置30の型の内部に予備成形体10を
セットする作業が不要である。また、脱バインダ処理時
には、型38のスリーブ挿入孔37内には、全ての分割
スリーブ36a〜36dが挿入された状態ではなく、予
備成形体10の外周面の少なくとも一部が露出している
状態であるため、予備成形体10からのバインダの除去
を効率的且つ十分にに行うことができる。したがって、
十分に脱バインダされた予備成形体10をホットプレス
成形するため、焼成が良好に行われ、得られるセラミッ
クス焼結体の品質が向上する。
【0035】脱バインダ処理後にホットプレスを行う際
には、スリーブ挿入孔37の隙間に残りの分割スリーブ
b〜36dを差し込み、型38をホットプレス装置30
に取り付けるのみで、ホットプレスの準備が整う。
には、スリーブ挿入孔37の隙間に残りの分割スリーブ
b〜36dを差し込み、型38をホットプレス装置30
に取り付けるのみで、ホットプレスの準備が整う。
【0036】その他の実施形態 なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるもので
はなく、本発明の範囲内で種々に改変することができ
る。
はなく、本発明の範囲内で種々に改変することができ
る。
【0037】たとえば、上述した実施形態では、分割ス
リーブとして、円周方向に4等分した4つの分割スリー
ブ36a〜36dを用いたが、本発明において、分割ス
リーブとしては、円周方向に2分割または3分割または
5分割以上の分割スリーブを用いても良い。また、上述
した実施形態では、各分割スリーブは、全て同じ形状と
したが、本発明では、必ずしも全て同じ形状のスリーブ
を用いる必要はない。たとえば円周方向に1/2の分割
スリーブと、円周方向に1/4の二つの分割スリーブと
を組み合わせて用いても良い。
リーブとして、円周方向に4等分した4つの分割スリー
ブ36a〜36dを用いたが、本発明において、分割ス
リーブとしては、円周方向に2分割または3分割または
5分割以上の分割スリーブを用いても良い。また、上述
した実施形態では、各分割スリーブは、全て同じ形状と
したが、本発明では、必ずしも全て同じ形状のスリーブ
を用いる必要はない。たとえば円周方向に1/2の分割
スリーブと、円周方向に1/4の二つの分割スリーブと
を組み合わせて用いても良い。
【0038】
【実施例】以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づ
き説明するが、本発明は、これら実施例に限定されな
い。
き説明するが、本発明は、これら実施例に限定されな
い。
【0039】実施例1 予備成形体10として、W2 C製内部電極を内在させ
たアクリル樹脂製バインダ使用の窒化珪素質成形体を準
備した。この予備成形体10を、図4(B)および図5
に示すように、その3側面を解放した状態で、黒鉛製分
割スリーブ36aにて金型38の内部に保持し、脱バイ
ンダ炉に入れ、窒素雰囲気中、500°C、15時間の
条件で脱バインダ処理した。脱バインダ炉より、型38
ごと取り出した後、型38のスリーブ挿入孔37の解放
部分に、残りの3つの分割スリーブ36b〜36dを、
横断面積の小さい先端52側から、挿入孔37の内周面
に接触させながら差し込んだ。この方法では、各分割ス
リーブ36b〜36dの挿入終了時に各スリーブが予備
成形体10に接する状態となった。
たアクリル樹脂製バインダ使用の窒化珪素質成形体を準
備した。この予備成形体10を、図4(B)および図5
に示すように、その3側面を解放した状態で、黒鉛製分
割スリーブ36aにて金型38の内部に保持し、脱バイ
ンダ炉に入れ、窒素雰囲気中、500°C、15時間の
条件で脱バインダ処理した。脱バインダ炉より、型38
ごと取り出した後、型38のスリーブ挿入孔37の解放
部分に、残りの3つの分割スリーブ36b〜36dを、
横断面積の小さい先端52側から、挿入孔37の内周面
に接触させながら差し込んだ。この方法では、各分割ス
リーブ36b〜36dの挿入終了時に各スリーブが予備
成形体10に接する状態となった。
【0040】解放部が分割スリーブで満たされた状態
で、型38をホットプレス装置30にセットし、窒素雰
囲気中、1750℃、30分、200kg/cm2の条
件で焼成した。
で、型38をホットプレス装置30にセットし、窒素雰
囲気中、1750℃、30分、200kg/cm2の条
件で焼成した。
【0041】得られた焼結体の3点曲げ試験強度は90
kg/mm2 であり、多量生産ではなく個別に試験的
にホットプレスを行った通常の脱バインダ焼成品と同程
度の強度であった。
kg/mm2 であり、多量生産ではなく個別に試験的
にホットプレスを行った通常の脱バインダ焼成品と同程
度の強度であった。
【0042】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明に係る
ホットプレス方法によれば、脱バインダ処理を容易に行
えると共に、焼成前の予備成形体の形状保持特性に優
れ、良質の成形体を高生産性で製造することができる。
また、本発明に係るホットプレス装置では、このような
本発明に係るホットプレス方法を好適に実施することが
できる。
ホットプレス方法によれば、脱バインダ処理を容易に行
えると共に、焼成前の予備成形体の形状保持特性に優
れ、良質の成形体を高生産性で製造することができる。
また、本発明に係るホットプレス装置では、このような
本発明に係るホットプレス方法を好適に実施することが
できる。
【図1】 図1は本発明の1実施形態に係るホットプレ
ス装置の概略断面図である。
ス装置の概略断面図である。
【図2】 図2は図1に示すホットプレス装置に取り付
けられる型の斜視図である。
けられる型の斜視図である。
【図3】 図3は図2に示す型のスリーブ挿入孔に挿入
される分割スリーブの斜視図である。
される分割スリーブの斜視図である。
【図4】 図4(A)〜(C)は図2に示すIV−IV線に
沿う断面図であり、分割スリーブの着脱の順序を示す工
程図である。
沿う断面図であり、分割スリーブの着脱の順序を示す工
程図である。
【図5】 図5は図4(B)に示す工程にある型の斜視
図である。
図である。
【図6】 図6は予備成形体の一例を示す分解斜視図で
ある。
ある。
【図7】 図7はホットプレスにより成形された焼結体
の用途の一例を示す抵抗素子の斜視図である。
の用途の一例を示す抵抗素子の斜視図である。
10… 予備成形体 12,16… グリーンシート 14… 内部電極 30… ホットプレス装置 35… 成形用空間 36a〜36b… 分割スリーブ 37… スリーブ挿入孔 37a… 一端開口部 37b… 他端開口部 38… 型
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B29K 105:04
Claims (5)
- 【請求項1】 ホットプレス装置に取り付けられるべき
型のスリーブ挿入孔内に、少なくとも1の第1分割スリ
ーブが挿入された状態で、焼成前の予備成形体の外周面
の少なくとも一部が露出するように、前記予備成形体を
前記第1分割スリーブにより保持する工程と、 前記型内に挿入された第1分割スリーブにより保持して
ある予備成形体の脱バインダ処理を行う工程と、 前記スリーブ挿入孔の内周面と予備成形体の外周面との
隙間に、前記第1分割スリーブとは別部品の第2分割ス
リーブを挿入し、前記予備成形体の全外周面を取り囲む
ように、前記第1分割スリーブおよび第2分割スリーブ
を位置させる工程と、 前記予備成形体の全外周面に前記第1分割スリーブおよ
び第2分割スリーブが配置してある型をホットプレス装
置の内部に取り付ける工程と、 前記第1分割スリーブおよび第2分割スリーブにより囲
まれた予備成形体を加圧しつつ焼成する工程とを有する
ホットプレス方法。 - 【請求項2】 前記予備成形体の全外周に前記第1分割
スリーブおよび第2分割スリーブが位置するように、前
記予備成形体を型の内部に配置した後、少なくとも1の
前記第2分割スリーブを型の内部から取り除き、予備成
形体の外周の少なくとも一部を露出させ、その後、脱バ
インダ処理を行うことを特徴とする請求項1に記載のホ
ットプレス方法。 - 【請求項3】 前記脱バインダ処理は、前記予備成形体
および第1分割スリーブが挿入された型を、脱バインダ
炉の内部にセットすることにより行う請求項1または2
に記載のホットプレス方法。 - 【請求項4】 前記型の軸方向に沿ってテーパ状の貫通
孔から成る前記スリーブ挿入孔が形成してある型を用
い、 前記スリーブ挿入孔内に挿入されるべき全ての第1およ
び第2分割スリーブが前記スリーブ挿入孔内に挿入され
た状態で、型の軸方向に沿って略同じ横断面形状の成形
用空間を形成するような形状を有する第1および第2分
割スリーブを準備する請求項1〜3のいずれかに記載の
ホットプレス方法。 - 【請求項5】 スリーブ挿入孔が軸方向に沿って形成し
てあるホットプレス用型と、 前記スリーブ挿入孔の内部に軸方向から挿入される複数
の分割スリーブとを有し、 前記スリーブ挿入孔が、型の軸方向に沿ってテーパ状の
貫通孔であり、 前記各分割スリーブは、前記スリーブ挿入孔内に挿入さ
れるべき全ての分割スリーブが前記スリーブ挿入孔内に
挿入された状態で、型の軸方向に沿って略同じ横断面形
状の成形用空間を形成するような形状を有することを特
徴とするホットプレス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11079505A JP2000272974A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ホットプレス方法およびホットプレス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11079505A JP2000272974A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ホットプレス方法およびホットプレス装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000272974A true JP2000272974A (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=13691812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11079505A Withdrawn JP2000272974A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | ホットプレス方法およびホットプレス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000272974A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103896601A (zh) * | 2014-03-06 | 2014-07-02 | 清华大学 | 一种高致密度复杂形状陶瓷制品的热压烧结方法 |
| CN113232280A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-08-10 | 上海蓝恩控制系统有限公司 | 套管热压机 |
-
1999
- 1999-03-24 JP JP11079505A patent/JP2000272974A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103896601A (zh) * | 2014-03-06 | 2014-07-02 | 清华大学 | 一种高致密度复杂形状陶瓷制品的热压烧结方法 |
| CN113232280A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-08-10 | 上海蓝恩控制系统有限公司 | 套管热压机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |