JP2000275134A - 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 - Google Patents
漏洩試験方法及び漏洩試験装置Info
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- JP2000275134A JP2000275134A JP11078719A JP7871999A JP2000275134A JP 2000275134 A JP2000275134 A JP 2000275134A JP 11078719 A JP11078719 A JP 11078719A JP 7871999 A JP7871999 A JP 7871999A JP 2000275134 A JP2000275134 A JP 2000275134A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 3
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 漏洩試験に際して補強部材を不要とし、ワー
クの内外圧力差を監視する必要がない漏洩試験方法及び
漏洩試験装置を提供する。 【解決手段】 チャンバ３０内にワーク３１が収納さ
れ、ワーク３１のワークポートシール３２には配管３６
ｃが接続され、チャンバ３０には配管３６ｂが接続され
ている。配管３６ｂ、３６ｃはいずれも配管３６ａに接
続されており、この配管３６ａは真空ポンプ３３に接続
されている。また、配管３６ａには、Ｈｅ等のトレーサ
ガス供給源３８に接続された配管３６ｄと、空気源３９
に接続された配管３６ｅとが接続されている。チャンバ
３０には配管３６ｉが接続されており、この配管３６ｉ
にはトレーサガス検知器３５が接続されている。そし
て、開閉弁３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ、３７ｅ、
３７ｆ、３７ｇを操作して、ワーク３１内とチャンバ３
０内を同時に真空吸引し、両者内に同時に空気を導入す
る。
クの内外圧力差を監視する必要がない漏洩試験方法及び
漏洩試験装置を提供する。 【解決手段】 チャンバ３０内にワーク３１が収納さ
れ、ワーク３１のワークポートシール３２には配管３６
ｃが接続され、チャンバ３０には配管３６ｂが接続され
ている。配管３６ｂ、３６ｃはいずれも配管３６ａに接
続されており、この配管３６ａは真空ポンプ３３に接続
されている。また、配管３６ａには、Ｈｅ等のトレーサ
ガス供給源３８に接続された配管３６ｄと、空気源３９
に接続された配管３６ｅとが接続されている。チャンバ
３０には配管３６ｉが接続されており、この配管３６ｉ
にはトレーサガス検知器３５が接続されている。そし
て、開閉弁３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ、３７ｅ、
３７ｆ、３７ｇを操作して、ワーク３１内とチャンバ３
０内を同時に真空吸引し、両者内に同時に空気を導入す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は密閉容器の漏洩を検
査する漏洩試験方法及び漏洩試験装置に関し、特に、強
度が低い容器の検査に好適の漏洩試験方法及び漏洩試験
装置に関する。
査する漏洩試験方法及び漏洩試験装置に関し、特に、強
度が低い容器の検査に好適の漏洩試験方法及び漏洩試験
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の漏洩試験装置を示す。水槽
１内に水２が蓄えられており、この水２内に被検査対象
のワーク３が浸漬されている。このワーク３は剛性が高
い補強治具４に取り囲まれており、ワーク３はこの補強
治具４に複数個のスペーサ５により固定されている。こ
れにより、ワーク３はその外面で補強治具４により補強
されている。
１内に水２が蓄えられており、この水２内に被検査対象
のワーク３が浸漬されている。このワーク３は剛性が高
い補強治具４に取り囲まれており、ワーク３はこの補強
治具４に複数個のスペーサ５により固定されている。こ
れにより、ワーク３はその外面で補強治具４により補強
されている。
【０００３】ワーク３にはワークポートシール６が設け
られており、このワークポートシール６を介して配管７
がワーク３に連結されており、この配管７は空気供給源
９に連結されている。配管７の途中に開閉弁８が介装さ
れている。
られており、このワークポートシール６を介して配管７
がワーク３に連結されており、この配管７は空気供給源
９に連結されている。配管７の途中に開閉弁８が介装さ
れている。
【０００４】この従来の漏洩検査装置においては、開閉
弁８を開にして空気供給源９から空気をワーク３内に注
入する。もし、ワーク３に漏洩欠陥が存在すると、ワー
ク３内から気泡が水２内に出てくるので、これを観察す
ることにより、ワーク３の漏洩を検査することができ
る。
弁８を開にして空気供給源９から空気をワーク３内に注
入する。もし、ワーク３に漏洩欠陥が存在すると、ワー
ク３内から気泡が水２内に出てくるので、これを観察す
ることにより、ワーク３の漏洩を検査することができ
る。
【０００５】しかし、この従来装置においては、作業者
が気泡を見て漏れがあるか、ないかの判断をするので、
作業者の見落としにより、漏洩に気が付かないことがあ
る。また、漏れの定量的な把握ができない。更に、ワー
ク３が水に濡れてしまうのでワークを乾燥させる工程が
必要になるうえ、作業環境上もよくない。更にまた、ワ
ーク３からの空気の漏洩を気泡の発生により検出するた
めには、ワーク３内に高圧力の空気を注入する必要があ
り、このため、ワーク３の内部圧力と水圧との差に起因
してワーク３が変形することを防止するためには、補強
治具４が必要である。この場合に、ワークの形状毎に専
用の変形防止用の治具が必要になるうえ、専用の治具置
場も必要となる。
が気泡を見て漏れがあるか、ないかの判断をするので、
作業者の見落としにより、漏洩に気が付かないことがあ
る。また、漏れの定量的な把握ができない。更に、ワー
ク３が水に濡れてしまうのでワークを乾燥させる工程が
必要になるうえ、作業環境上もよくない。更にまた、ワ
ーク３からの空気の漏洩を気泡の発生により検出するた
めには、ワーク３内に高圧力の空気を注入する必要があ
り、このため、ワーク３の内部圧力と水圧との差に起因
してワーク３が変形することを防止するためには、補強
治具４が必要である。この場合に、ワークの形状毎に専
用の変形防止用の治具が必要になるうえ、専用の治具置
場も必要となる。
【０００６】上述の従来の漏洩試験装置の欠点を解消す
べく、図４に示す真空中でのトレーサガスの漏出を検出
する装置が提案されている。チャンバ１１内に検査対象
のワーク１３がスペーサ１５を介して補強部材１４に補
強された状態で、収納されている。このワーク１３のシ
ール１６には配管２５ｂが気密的に連結されており、こ
の配管２５ｂは配管２５ａを介して真空ポンプ２０に連
結されている。
べく、図４に示す真空中でのトレーサガスの漏出を検出
する装置が提案されている。チャンバ１１内に検査対象
のワーク１３がスペーサ１５を介して補強部材１４に補
強された状態で、収納されている。このワーク１３のシ
ール１６には配管２５ｂが気密的に連結されており、こ
の配管２５ｂは配管２５ａを介して真空ポンプ２０に連
結されている。
【０００７】また、配管２５ｂにはＨｅガス等のトレー
サガス供給源２１に接続された配管２５ｃが接続されて
おり、更に空気源（大気源）２２に連結された配管２５
ｄが接続されている。各配管２５ａ、２５ｃ、２５ｄに
は開閉弁２６ａ、２６ｂ、２６ｃが介装されている。
サガス供給源２１に接続された配管２５ｃが接続されて
おり、更に空気源（大気源）２２に連結された配管２５
ｄが接続されている。各配管２５ａ、２５ｃ、２５ｄに
は開閉弁２６ａ、２６ｂ、２６ｃが介装されている。
【０００８】一方、チャンバ１１には配管２５ｆが連結
されており、この配管２５ｆは配管２５ｅを介して真空
ポンプ２３に連結されており、配管２５ｇを介して空気
源２４に連結されている。そして、配管２５ｅ、２５ｇ
には、夫々開閉弁２６ｄ、２６ｅが介装されている。
されており、この配管２５ｆは配管２５ｅを介して真空
ポンプ２３に連結されており、配管２５ｇを介して空気
源２４に連結されている。そして、配管２５ｅ、２５ｇ
には、夫々開閉弁２６ｄ、２６ｅが介装されている。
【０００９】また、チャンバ１１内には配管２５ｂが接
続されており、この配管２５ｂはトレーサガス検知器
（リークディテクタ）２７に連結されている。そして、
配管２５ｈには、開閉弁２６ｆが介装されている。
続されており、この配管２５ｂはトレーサガス検知器
（リークディテクタ）２７に連結されている。そして、
配管２５ｈには、開閉弁２６ｆが介装されている。
【００１０】この従来の漏洩試験装置においては、開閉
弁２６ｄを開にして真空ポンプ２３によりチャンバ１１
内を真空排気し、更に開閉弁２６ａを開にしてワーク１
３内を真空排気する。その後、開閉弁２６ａ、２６ｄを
閉にし、開閉弁２６ｂを開にしてＨｅガス等のトレーサ
ガスをワーク１３内に注入すると共に、開閉弁２６ｆを
開にして検知器２７によりチャンバ１１内のトレーサガ
スの有無を検知する。これにより、ワーク１３に漏洩欠
陥が存在する場合には、検知器２７がトレーサガスを検
出し、漏洩の存在を検出する。
弁２６ｄを開にして真空ポンプ２３によりチャンバ１１
内を真空排気し、更に開閉弁２６ａを開にしてワーク１
３内を真空排気する。その後、開閉弁２６ａ、２６ｄを
閉にし、開閉弁２６ｂを開にしてＨｅガス等のトレーサ
ガスをワーク１３内に注入すると共に、開閉弁２６ｆを
開にして検知器２７によりチャンバ１１内のトレーサガ
スの有無を検知する。これにより、ワーク１３に漏洩欠
陥が存在する場合には、検知器２７がトレーサガスを検
出し、漏洩の存在を検出する。
【００１１】また、試験終了後は、開閉弁２６ｂ、２６
ｆを閉にし、開閉弁２６ｃ、２６ｅを開にして空気をチ
ャンバ１１及びワーク１３内に導入する。
ｆを閉にし、開閉弁２６ｃ、２６ｅを開にして空気をチ
ャンバ１１及びワーク１３内に導入する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この図
４に示す漏洩試験装置においては、図３に示す実施例と
同様に、ワーク１３の肉厚が薄くて内外圧力差により変
形しやすい場合には、変形及び破壊を防止するために
は、漏洩試験中のワーク１３を補強部材１４及びスペー
サ１５により補強する必要がある。
４に示す漏洩試験装置においては、図３に示す実施例と
同様に、ワーク１３の肉厚が薄くて内外圧力差により変
形しやすい場合には、変形及び破壊を防止するために
は、漏洩試験中のワーク１３を補強部材１４及びスペー
サ１５により補強する必要がある。
【００１３】また、真空排気及び空気の導入工程におい
ては、ワークの内外圧力差を監視し、それが過大になっ
てワークに変形が生じないようにする必要があり、操作
が複雑である。
ては、ワークの内外圧力差を監視し、それが過大になっ
てワークに変形が生じないようにする必要があり、操作
が複雑である。
【００１４】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、漏洩試験に際して補強部材を不要とし、ワ
ークの内外圧力差を監視する必要がない漏洩試験方法及
び漏洩試験装置を提供することを目的とする。
のであって、漏洩試験に際して補強部材を不要とし、ワ
ークの内外圧力差を監視する必要がない漏洩試験方法及
び漏洩試験装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る漏洩試験方
法は、密閉された被検査容器の漏洩を試験する漏洩試験
方法において、前記被検査容器をチャンバ内に装入する
工程と、前記被検査容器の内部と前記チャンバの内部と
を同時に真空吸引する工程と、前記被検査容器内にトレ
ーサガスを注入する工程と、前記チャンバ内に漏出して
きたトレーサガスを検出する工程と、を有することを特
徴とする。
法は、密閉された被検査容器の漏洩を試験する漏洩試験
方法において、前記被検査容器をチャンバ内に装入する
工程と、前記被検査容器の内部と前記チャンバの内部と
を同時に真空吸引する工程と、前記被検査容器内にトレ
ーサガスを注入する工程と、前記チャンバ内に漏出して
きたトレーサガスを検出する工程と、を有することを特
徴とする。
【００１６】本発明に係る漏洩試験装置は、チャンバ
と、真空ポンプと、この真空ポンプに連結された第１配
管と、この第１配管と前記チャンバとを連結する第２配
管と、前記第１配管と前記チャンバ内に装入された被検
査容器とを連結する第３配管と、前記第１配管とトレー
サガス供給源とを連結する第４配管と、前記第１配管と
大気とを連結する第５配管と、前記第１配管及び第２配
管に夫々介装された第１及び第２開閉弁とを有すること
を特徴とする。
と、真空ポンプと、この真空ポンプに連結された第１配
管と、この第１配管と前記チャンバとを連結する第２配
管と、前記第１配管と前記チャンバ内に装入された被検
査容器とを連結する第３配管と、前記第１配管とトレー
サガス供給源とを連結する第４配管と、前記第１配管と
大気とを連結する第５配管と、前記第１配管及び第２配
管に夫々介装された第１及び第２開閉弁とを有すること
を特徴とする。
【００１７】本発明に係る他の漏洩試験装置は、チャン
バと、第１真空ポンプと、第２真空ポンプと、前記第１
真空ポンプに連結された第１配管と、前記第２真空ポン
プに連結された第２配管と、前記第１配管と前記チャン
バ内に装入された被検査容器とを連結する第３配管と、
前記第３配管とトレーサガス供給源とを連結する第４配
管と、前記第３配管と大気とを連結する第５配管と、前
記第２配管と前記チャンバとを連結する第６配管と、前
記第３配管と前記第２配管とを連結する第７配管と、前
記第６配管と大気とを連結する第８配管と、前記第１配
管、第２配管及び第７配管に夫々介装された第１開閉
弁、第２開閉弁及び第７開閉弁とを有することを特徴と
する。
バと、第１真空ポンプと、第２真空ポンプと、前記第１
真空ポンプに連結された第１配管と、前記第２真空ポン
プに連結された第２配管と、前記第１配管と前記チャン
バ内に装入された被検査容器とを連結する第３配管と、
前記第３配管とトレーサガス供給源とを連結する第４配
管と、前記第３配管と大気とを連結する第５配管と、前
記第２配管と前記チャンバとを連結する第６配管と、前
記第３配管と前記第２配管とを連結する第７配管と、前
記第６配管と大気とを連結する第８配管と、前記第１配
管、第２配管及び第７配管に夫々介装された第１開閉
弁、第２開閉弁及び第７開閉弁とを有することを特徴と
する。
【００１８】本発明に係る他の漏洩試験装置は、被検査
物の漏洩を検査する漏洩試験装置において、内部に被検
査物を収容可能なチャンバと、被検査物又はチャンバに
接続されてこれを真空排気する真空ポンプと、被検査物
とチャンバとを連通する配管と、を有し、前記配管を介
して被検査物とチャンバとを前記真空ポンプにより同時
に排気することを特徴とする。
物の漏洩を検査する漏洩試験装置において、内部に被検
査物を収容可能なチャンバと、被検査物又はチャンバに
接続されてこれを真空排気する真空ポンプと、被検査物
とチャンバとを連通する配管と、を有し、前記配管を介
して被検査物とチャンバとを前記真空ポンプにより同時
に排気することを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について添
付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明の
第１実施例に係る漏洩試験装置を示す図である。チャン
バ３０内にワーク３１が収納されるようになっており、
このワーク３１のワークポートシール３２には配管３６
ｃが接続され、チャンバ３０には配管３６ｂが接続され
ている。配管３６ｂ、３６ｃはいずれも配管３６ａに接
続されており、この配管３６ａは真空ポンプ３３に接続
されている。また、配管３６ａには、Ｈｅ等のトレーサ
ガス供給源３８に接続された配管３６ｄと、空気源３９
に接続された配管３６ｅとが接続されている。更に、チ
ャンバ３０には配管３６ｇが接続されており、この配管
３６ｇには真空ポンプ３４に接続された配管３６ｆと空
気源４０に接続された配管３６ｈが接続されている。更
にまた、チャンバ３０には配管３６ｉが接続されてお
り、この配管３６ｉにはトレーサガス検知器３５が接続
されている。そして、各配管３６ａ、３６ｂ、３６ｄ、
３６ｅ、３６ｆ、３６ｈ、３６ｉには、夫々開閉弁３７
ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ、３７ｅ、３７ｆ、３７ｇ
が介装されている。
付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明の
第１実施例に係る漏洩試験装置を示す図である。チャン
バ３０内にワーク３１が収納されるようになっており、
このワーク３１のワークポートシール３２には配管３６
ｃが接続され、チャンバ３０には配管３６ｂが接続され
ている。配管３６ｂ、３６ｃはいずれも配管３６ａに接
続されており、この配管３６ａは真空ポンプ３３に接続
されている。また、配管３６ａには、Ｈｅ等のトレーサ
ガス供給源３８に接続された配管３６ｄと、空気源３９
に接続された配管３６ｅとが接続されている。更に、チ
ャンバ３０には配管３６ｇが接続されており、この配管
３６ｇには真空ポンプ３４に接続された配管３６ｆと空
気源４０に接続された配管３６ｈが接続されている。更
にまた、チャンバ３０には配管３６ｉが接続されてお
り、この配管３６ｉにはトレーサガス検知器３５が接続
されている。そして、各配管３６ａ、３６ｂ、３６ｄ、
３６ｅ、３６ｆ、３６ｈ、３６ｉには、夫々開閉弁３７
ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ、３７ｅ、３７ｆ、３７ｇ
が介装されている。
【００２０】上述の如く構成された本実施例の漏洩試験
装置においては、先ず、開閉弁３７ｂを開にし、その
後、開閉弁３７ａを開にして、真空ポンプ３３によりワ
ーク３１とチャンバ３０の双方を同時に真空排気する。
次いで、開閉弁３７ａ及び３７ｂを閉にし、開閉弁３７
ｃを開にして、ワーク３１内にＨｅ等のトレーサガスを
導入すると共に、開閉弁３７ｇを開にする。もし、ワー
ク３１に漏洩欠陥が存在する場合は、ワーク３１からチ
ャンバ３０内にトレーサガスが漏出してくるので、この
トレーサガスを検知器３５により検出する。
装置においては、先ず、開閉弁３７ｂを開にし、その
後、開閉弁３７ａを開にして、真空ポンプ３３によりワ
ーク３１とチャンバ３０の双方を同時に真空排気する。
次いで、開閉弁３７ａ及び３７ｂを閉にし、開閉弁３７
ｃを開にして、ワーク３１内にＨｅ等のトレーサガスを
導入すると共に、開閉弁３７ｇを開にする。もし、ワー
ク３１に漏洩欠陥が存在する場合は、ワーク３１からチ
ャンバ３０内にトレーサガスが漏出してくるので、この
トレーサガスを検知器３５により検出する。
【００２１】次いで、開閉弁３７ｃ、３７ｇを閉にし、
開閉弁３７ｂ、３７ｄを開にしてチャンバ３０内及びワ
ーク３１内に同時に空気を導入し、大気圧にする。
開閉弁３７ｂ、３７ｄを開にしてチャンバ３０内及びワ
ーク３１内に同時に空気を導入し、大気圧にする。
【００２２】本実施例においては、チャンバ３０内及び
ワーク３１内を同時に真空排気し、また同時に空気導入
により真空破壊するので、ワーク３１の強度が低い場合
でも、このワーク３１が変形したり、破壊したりする虞
がない。このように、強度が低いワーク（例えば、ワー
クの許容できるワーク内外の差圧が１ｋｇｆ／ｃｍ2未
満）を漏洩検査（Ｈｅ漏れ検査）する場合に、チャンバ
とワークの中を一旦真空排気する必要があるが、本実施
例においては、チャンバとワークを同時に一つの系列の
ポンプで真空引するようにしたので、強度が低いワーク
でもワーク内外の差圧を真空排気中に監視する必要がな
い上、専用の補強用治具も不要である。
ワーク３１内を同時に真空排気し、また同時に空気導入
により真空破壊するので、ワーク３１の強度が低い場合
でも、このワーク３１が変形したり、破壊したりする虞
がない。このように、強度が低いワーク（例えば、ワー
クの許容できるワーク内外の差圧が１ｋｇｆ／ｃｍ2未
満）を漏洩検査（Ｈｅ漏れ検査）する場合に、チャンバ
とワークの中を一旦真空排気する必要があるが、本実施
例においては、チャンバとワークを同時に一つの系列の
ポンプで真空引するようにしたので、強度が低いワーク
でもワーク内外の差圧を真空排気中に監視する必要がな
い上、専用の補強用治具も不要である。
【００２３】なお、ワーク３１の内容積とチャンバ３０
の内容積の比によっては、ワークの内外で圧力差が生じ
ることがある。例えば、チャンバ内の圧力がワーク内の
圧力より高くなるときには、真空ポンプ３３を動作させ
た状態で、開閉弁３７ｅを開にし、真空ポンプ３４によ
りチャンバ３０内を真空排気する。これにより、チャン
バ３０は２個の真空ポンプ３３，３４により排気され、
チャンバ３０内とワーク３１内との圧力差が解消され
る。また、真空破壊する場合は、開閉弁３７ｆを開にす
ることにより、大気をチャンバ３０内に導入する。一
方、ワーク３１の方が圧力が高くなる場合は、配管３６
ｇを配管３６ｃと同様に、ワーク３１に接続し、真空ポ
ンプ３４によりワーク３１内を真空排気するように構成
すればよい。
の内容積の比によっては、ワークの内外で圧力差が生じ
ることがある。例えば、チャンバ内の圧力がワーク内の
圧力より高くなるときには、真空ポンプ３３を動作させ
た状態で、開閉弁３７ｅを開にし、真空ポンプ３４によ
りチャンバ３０内を真空排気する。これにより、チャン
バ３０は２個の真空ポンプ３３，３４により排気され、
チャンバ３０内とワーク３１内との圧力差が解消され
る。また、真空破壊する場合は、開閉弁３７ｆを開にす
ることにより、大気をチャンバ３０内に導入する。一
方、ワーク３１の方が圧力が高くなる場合は、配管３６
ｇを配管３６ｃと同様に、ワーク３１に接続し、真空ポ
ンプ３４によりワーク３１内を真空排気するように構成
すればよい。
【００２４】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図２は本第２実施例を示す図である。チャンバ４０
内にワーク４１が装入され、ワーク４１のシール４２に
配管４９ｂが接続されている。配管４９ｂには、真空ポ
ンプ４３に接続された配管４９ａ、トレーサガス供給源
４６に接続された配管４９ｃ、空気源４７に接続された
配管４９ｄが接続されている。一方、チャンバ４０に
は、配管４９ｇが接続されており、この配管４９ｇには
真空ポンプ４４に接続された配管４９ｆと、空気源４８
に接続された配管４９ｈが接続されている。また、チャ
ンバ４０には配管４９ｉが接続されており、この配管４
９ｉはトレーサガス検知器４５が接続されている。そし
て、配管４９ａ、４９ｃ、４９ｄ、４９ｅ、４９ｆ、４
９ｈ、４９ｉには夫々開閉弁５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、
５０ｄ、５０ｅ、５０ｆ、５０ｇが介装されている。
る。図２は本第２実施例を示す図である。チャンバ４０
内にワーク４１が装入され、ワーク４１のシール４２に
配管４９ｂが接続されている。配管４９ｂには、真空ポ
ンプ４３に接続された配管４９ａ、トレーサガス供給源
４６に接続された配管４９ｃ、空気源４７に接続された
配管４９ｄが接続されている。一方、チャンバ４０に
は、配管４９ｇが接続されており、この配管４９ｇには
真空ポンプ４４に接続された配管４９ｆと、空気源４８
に接続された配管４９ｈが接続されている。また、チャ
ンバ４０には配管４９ｉが接続されており、この配管４
９ｉはトレーサガス検知器４５が接続されている。そし
て、配管４９ａ、４９ｃ、４９ｄ、４９ｅ、４９ｆ、４
９ｈ、４９ｉには夫々開閉弁５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、
５０ｄ、５０ｅ、５０ｆ、５０ｇが介装されている。
【００２５】本実施例においては、先ず、開閉弁５０
ａ、５０ｄ、５０ｅを同時に開にし、真空ポンプ４３，
４４により同時にチャンバ４０内及びワーク４１内を真
空排気する。次に、開閉弁５０ａ、５０ｄ、５０ｅを閉
にし、開閉弁５０ｂを開にしてトレーサガスをワーク４
１内に注入する。そして、開閉弁５０ｇを開にして、検
知器４５とチャンバ４０とを接続する。もし、ワーク４
１に欠陥が存在する場合には、ワーク４１内のトレーサ
ガスがチャンバ４０内に漏出してくるので、これが検知
器４５により検出される。
ａ、５０ｄ、５０ｅを同時に開にし、真空ポンプ４３，
４４により同時にチャンバ４０内及びワーク４１内を真
空排気する。次に、開閉弁５０ａ、５０ｄ、５０ｅを閉
にし、開閉弁５０ｂを開にしてトレーサガスをワーク４
１内に注入する。そして、開閉弁５０ｇを開にして、検
知器４５とチャンバ４０とを接続する。もし、ワーク４
１に欠陥が存在する場合には、ワーク４１内のトレーサ
ガスがチャンバ４０内に漏出してくるので、これが検知
器４５により検出される。
【００２６】次いで、開閉弁５０ｂ、５０ｇを閉にし、
開閉弁５０ｃ、５０ｆを開にして、ワーク４１内及びチ
ャンバ４０内に同時に大気を導入して真空破壊する。
開閉弁５０ｃ、５０ｆを開にして、ワーク４１内及びチ
ャンバ４０内に同時に大気を導入して真空破壊する。
【００２７】本実施例においても、ワーク４１に対する
真空排気及び空気導入による真空破壊は、チャンバ内の
真空排気及び空気導入による真空破壊と同時に行われる
ので、ワーク４１が変形しやすいものであっても、補強
部材等を必要としない。
真空排気及び空気導入による真空破壊は、チャンバ内の
真空排気及び空気導入による真空破壊と同時に行われる
ので、ワーク４１が変形しやすいものであっても、補強
部材等を必要としない。
【００２８】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、種々の変形が可能である。例えば図１に示す実施例
ではチャンバ３０とワーク３１の双方に連結されている
配管３６ａに接続された真空ポンプ３３からチャンバ３
０とワーク３１とを同時に真空排気するように構成した
が、真空ポンプ３３、配管３６ａ、開閉弁３７ａを使用
せず、開閉弁３７ｃ、３７ｄを閉にし、開閉弁３７ｂを
開にした状態で、開閉弁３７ｅを開にして真空ポンプ３
４により真空排気することにより、先ず、チャンバ３０
内の空気を排気しながら、連通している配管３６ｂ、３
６ｃを介して、ワーク３１内を排気することとしても良
い。この場合も、チャンバ内の空気の排気抵抗が小さけ
れば、チャンバ３０内とワーク３１内とは実質的に同時
に真空排気される。
ず、種々の変形が可能である。例えば図１に示す実施例
ではチャンバ３０とワーク３１の双方に連結されている
配管３６ａに接続された真空ポンプ３３からチャンバ３
０とワーク３１とを同時に真空排気するように構成した
が、真空ポンプ３３、配管３６ａ、開閉弁３７ａを使用
せず、開閉弁３７ｃ、３７ｄを閉にし、開閉弁３７ｂを
開にした状態で、開閉弁３７ｅを開にして真空ポンプ３
４により真空排気することにより、先ず、チャンバ３０
内の空気を排気しながら、連通している配管３６ｂ、３
６ｃを介して、ワーク３１内を排気することとしても良
い。この場合も、チャンバ内の空気の排気抵抗が小さけ
れば、チャンバ３０内とワーク３１内とは実質的に同時
に真空排気される。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
チャンバ内に装入された被検査容器内と、チャンバ内と
を同時に真空排気し、また同時に空気導入をするので、
被検査対象の容器の強度が低い場合であっても、補強治
具等を設ける必要がなく、容器の変形及び破壊を防止す
ることができる。
チャンバ内に装入された被検査容器内と、チャンバ内と
を同時に真空排気し、また同時に空気導入をするので、
被検査対象の容器の強度が低い場合であっても、補強治
具等を設ける必要がなく、容器の変形及び破壊を防止す
ることができる。
【図１】本発明の第１実施例に係る漏洩試験装置を示す
図である。
図である。
【図２】本発明の第２実施例に係る漏洩試験装置を示す
図である。
図である。
【図３】従来の漏洩試験装置を示す図である。
【図４】従来の他の漏洩試験装置を示す図である。
３０，４０：チャンバ ３１，４１：ワーク ３３、４３、４４：真空ポンプ ３６ａ〜３６ｉ、４９ａ〜４９ｉ：配管 ３７ａ〜３７ｇ、５０ａ〜５０ｇ：開閉弁 ３８、４６：トレーサガス供給源 ３９、４０、４７、４８：空気源 ４５：トレーサガス検知器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹山 光晴 静岡県浜松市中沢町10番１号 ヤマハ株式 会社内 (72)発明者 久保田 一成 静岡県浜松市中沢町10番１号 ヤマハ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2G067 AA44 BB31 CC11 CC13 DD17 DD18
Claims (4)
- 【請求項１】 密閉された被検査容器の漏洩を試験する
漏洩試験方法において、前記被検査容器をチャンバ内に
装入する工程と、前記被検査容器の内部と前記チャンバ
の内部とを同時に真空吸引する工程と、前記被検査容器
内にトレーサガスを注入する工程と、前記チャンバ内に
漏出してきたトレーサガスを検出する工程と、を有する
ことを特徴とする漏洩試験方法。 - 【請求項２】 チャンバと、真空ポンプと、この真空ポ
ンプに連結された第１配管と、この第１配管と前記チャ
ンバとを連結する第２配管と、前記第１配管と前記チャ
ンバ内に装入された被検査容器とを連結する第３配管
と、前記第１配管とトレーサガス供給源とを連結する第
４配管と、前記第１配管と大気とを連結する第５配管
と、前記第１配管及び第２配管に夫々介装された第１及
び第２開閉弁とを有することを特徴とする漏洩試験装
置。 - 【請求項３】 チャンバと、第１真空ポンプと、第２真
空ポンプと、前記第１真空ポンプに連結された第１配管
と、前記第２真空ポンプに連結された第２配管と、前記
第１配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを
連結する第３配管と、前記第３配管とトレーサガス供給
源とを連結する第４配管と、前記第３配管と大気とを連
結する第５配管と、前記第２配管と前記チャンバとを連
結する第６配管と、前記第３配管と前記第２配管とを連
結する第７配管と、前記第６配管と大気とを連結する第
８配管と、前記第１配管、第２配管及び第７配管に夫々
介装された第１開閉弁、第２開閉弁及び第７開閉弁とを
有することを特徴とする漏洩試験装置。 - 【請求項４】 被検査物の漏洩を検査する漏洩試験装置
において、内部に被検査物を収容可能なチャンバと、被
検査物又はチャンバに接続されてこれを真空排気する真
空ポンプと、被検査物とチャンバとを連通する配管と、
を有し、前記配管を介して被検査物とチャンバとを前記
真空ポンプにより同時に排気することを特徴とする漏洩
試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07871999A JP3921867B2 (ja) | 1999-03-23 | 1999-03-23 | 漏洩試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07871999A JP3921867B2 (ja) | 1999-03-23 | 1999-03-23 | 漏洩試験装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275134A true JP2000275134A (ja) | 2000-10-06 |
| JP3921867B2 JP3921867B2 (ja) | 2007-05-30 |
Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07871999A Expired - Fee Related JP3921867B2 (ja) | 1999-03-23 | 1999-03-23 | 漏洩試験装置 |
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| JP (1) | JP3921867B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002267565A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-18 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 |
| JP2002277342A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏洩試験装置 |
| JP2006250789A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏れ検査装置および漏れ検査方法 |
| KR101259582B1 (ko) * | 2011-06-01 | 2013-05-07 | 주식회사 삼영검사엔지니어링 | 압축가스 저장탱크의 휴대용 기밀 누설 검사 장치 및 방법 |
| JP2015017846A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 株式会社アルバック | 漏洩検知装置 |
| CN104697714A (zh) * | 2015-02-13 | 2015-06-10 | 金华市志能科技有限公司 | 一种真空检漏及封口装置、真空检漏及封口方法 |
| JP2016080438A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 日鉄住金ドラム株式会社 | 密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置 |
| EP3193150A1 (de) * | 2016-01-15 | 2017-07-19 | Sartorius Stedim Biotech GmbH | Verfahren und vorrichtung zur durchführung eines integritätstests an einem flexiblen testbehälter |
| CN119146047A (zh) * | 2024-11-18 | 2024-12-17 | 苏州中科科仪技术发展有限公司 | 一种离子泵抽速测量工装及测量方法 |
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|---|---|---|---|---|
| CN104019948A (zh) * | 2014-06-25 | 2014-09-03 | 中发输配电设备（平湖）有限公司 | 三联耐压试验装置 |
-
1999
- 1999-03-23 JP JP07871999A patent/JP3921867B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JP2002267565A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-18 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 漏洩試験装置及び漏洩試験方法 |
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| JP2016080438A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 日鉄住金ドラム株式会社 | 密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置 |
| CN104697714A (zh) * | 2015-02-13 | 2015-06-10 | 金华市志能科技有限公司 | 一种真空检漏及封口装置、真空检漏及封口方法 |
| EP3193150A1 (de) * | 2016-01-15 | 2017-07-19 | Sartorius Stedim Biotech GmbH | Verfahren und vorrichtung zur durchführung eines integritätstests an einem flexiblen testbehälter |
| CN119146047A (zh) * | 2024-11-18 | 2024-12-17 | 苏州中科科仪技术发展有限公司 | 一种离子泵抽速测量工装及测量方法 |
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|---|---|
| JP3921867B2 (ja) | 2007-05-30 |
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