JPH04256817A - 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 - Google Patents

漏洩試験方法及び漏洩試験装置

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JPH04256817A
JPH04256817A JP3039350A JP3935091A JPH04256817A JP H04256817 A JPH04256817 A JP H04256817A JP 3039350 A JP3039350 A JP 3039350A JP 3935091 A JP3935091 A JP 3935091A JP H04256817 A JPH04256817 A JP H04256817A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＨｅ（ヘリウム）等のガ
スをプローブガスとして、被試験体における微小なガス
の漏洩を検出する漏洩試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のリーク検出装置としては、以下に
示すものがある。即ち、図３に示す真空法（プローブガ
ス吹き付け法）においては、被試験体１の内部に導通可
能にリークディテクタ２を接続すると共に、被試験体１
の内部を真空排気する粗引ポンプ３を被試験体に接続す
る。そして、ヘリウムガスボンベに接続されたＨｅガス
吹き付け管から被試験体１にＨｅガスを吹き付けること
ができるようになっている。
【０００３】この装置においては、ポンプ３により被試
験体を真空に排気した後、リークディテクタ２を被試験
体の内部に連結し、吹き付け管５を介してＨｅガスを被
試験体に吹き付ける。そうすると、漏洩個所があれば、
そこからＨｅガスが被試験体１中に入り、リークディテ
クタ２に検出される。
【０００４】図４に示す真空法（フード式プローブガス
吹き付け法）においては、図３の場合と同様に被試験体
１の内部とリークディテクタ２及び粗引きポンプ３とを
選択的に連結できるように接続し、更に被試験体１を容
器内に挿入する等して被試験体１をフード６で覆うよう
になっている。
【０００５】この装置においては、ポンプ３により被試
験体１の内部を真空に排気し、次いで、フード６内にヘ
リウムガスを充填する。そうすると、被試験体１に漏洩
個所があると、この部分を介してＨｅガスがリークディ
テクタ２に入り、Ｈｅが検出される。この装置によれば
、被試験体１の全体のリークの有無を検出し、全体のリ
ーク量の判定を行うことができる。
【０００６】図５に示す真空内圧法においては、チャン
バ７内に、予めＨｅガスを封入した被試験体１を装入し
、ポンプ３によりチャンバ７内を排気すると、漏洩個所
がある場合に、そこからＨｅガスが漏出してリークディ
テクタ２に検出される。
【０００７】また、図６に示すスニファ法による漏洩検
出装置においては、Ｈｅガスを加圧圧入した被試験体を
チャンバ７内に装入し、ポンプ３によりチャンバ７内を
排気し、被試験体１の周囲をスニファープローブ４によ
り探索し、被試験体１の漏洩個所から漏れてきたＨｅガ
スをリークディテクタ２により検出する。
【０００８】更に、図７に示す積分法による漏洩検出装
置においては、Ｈｅガスを加圧圧入した被試験体１を容
量が既知のフード８内に装入し、フード８内をポンプ３
により排気した後、長時間放置し、その間に被試験体１
から漏れてくるＨｅガスによるヘリウム濃度の変化を測
定し、これを積分することにより微少リーク量を検出す
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の漏洩検出装置は、いずれも以下に示すような欠
点を有する。
【００１０】図３及び図４に示す装置は、被試験体１内
を真空排気した後、その周囲にＨｅガスを充填すること
により内部に侵入してくるＨｅガスを検出して漏洩を検
知し、図５乃至図７に示す装置は、Ｈｅガスを被試験体
に圧入した後、排気状態の外部に漏出してくるＨｅガス
を検出することにより漏洩を検知する。このように、被
試験体１の内側又は外側（チャンバ内）をポンプにより
排気するが、大気中に約５ｐｐｍ存在するＨｅガスがリ
ークディテクタに対してバックグラウンド値になり、微
少漏れを検出しにくい。
【００１１】微少漏れを検出したい場合には、高真空状
態まで排気する必要があるので、試験時間が長くなった
り、真空排気手段として２段以上の異種ポンプを組み合
わせたものを使用する必要があって排気系が複雑になる
という欠点がある。
【００１２】また、被試験体を大量に検査する場合など
は、なるべく短時間に真空引きしたいため、大型の真空
排気装置を設ける必要があり、装置コストが高くなると
いう欠点がある。
【００１３】更に、大型の高真空排気装置を使用しても
、被試験体及び試験槽内壁等から発生する揮発物質又は
水分及び微小孔から出るガス又は空気のために、短時間
に一定以上の真空度には上がり難く、大気中に存在して
いたＨｅガスがバックグラウンドノイズとなって、Ｈｅ
ガスの漏れ検出精度には限界があった。
【００１４】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、低真空下でもプローブガスのバックグラウ
ンドノイズを受けにくく、微小な漏洩も容易に且つ迅速
に検出することができ、装置の複雑化をもたらすことな
く、大量検査が可能な漏洩試験装置を提供することを目
的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る漏洩試験装
置は、被試験体を気密的に格納可能の試験槽と、この試
験槽内を排気可能の試験槽排気手段と、前記被試験体の
内部にプローブガスを導入可能のプローブガス導入手段
と、前記試験槽に連結されてこの試験槽内の前記プロー
ブガスを検出するプローブガス検出手段と、前記試験槽
内に置換ガスを供給可能の置換ガス供給手段とを有する
ことを特徴とする。
【００１６】また、請求項２に記載の漏洩試験装置は、
前記被試験体の内部を排気可能の被試験体排気手段を備
えている。
【００１７】
【作用】本発明においては、被試験体を試験槽内に格納
した後、前記試験槽内に置換ガス供給手段により置換ガ
スを供給して、試験槽の内部をこの置換ガスで置換する
。次いで、試験槽排気手段により、試験槽内部を排気し
て、試験槽内のプローブガス濃度を低下させる。そして
、プローブガス検出手段により試験槽内部のプローブガ
スの濃度を検出する。これがバックグラウンド値になる
。その後、プローブガス導入手段により被試験体内にプ
ローブガスを導入する。そうすると、被試験体に漏洩個
所がある場合は、被試験体内からこれをとりまく試験槽
内の空間にプローブガスが漏出し、検出手段により検出
される。これにより、バックグラウンド値よりも高い濃
度が検出されたときに、被試験体に漏洩個所があること
が検知される。
【００１８】なお、置換ガス供給手段による試験槽内の
ガス置換は、大気圧下で置換ガスを導入する場合、試験
槽内を完全に排気した後置換ガスを導入する場合、試験
槽内の空気をある程度排出した後、置換ガスを試験槽内
に導入する場合がある。本願でいうガス置換には、試験
槽内の空気を置換ガスで希釈する程度の処理も含む。し
かし、バックグラウンド値を下げ、漏洩検出精度を向上
させるには、試験槽内を排気した後に、置換ガスを導入
することが好ましい。
【００１９】また、被試験体内へのプローブガスの導入
は、前述のように、被試験体内部に空気が存在する状態
で行う場合の外、被試験体排気手段により、被試験体内
部を排気した後にプローブガスを導入することとしても
よい。漏洩検出精度を向上させるためには、被試験体内
部を排気した後にプローブガスを導入することが好まし
い。
【００２０】更に、プローブガスとしては、フロンガス
、水素ガス又はヘリウムガス等がある。一方、置換ガス
には、窒素ガス、酸素ガス、水蒸気又はフロンガス等が
あるが、プローブガスの成分を含まないものであれば使
用可能である。なお、フロンガスをプローブガスに使用
した場合には、置換ガスとしてフロンガスを使用するこ
とはできない。
【００２１】
【実施例】以下、添付の図面を参照して本発明の実施例
について具体的に説明する。
【００２２】図１は本発明の実施例に係る漏洩検出装置
を示す模式図である。真空装１２内には、被試験体１１
が気密的に格納可能になっている。この被試験体１１は
その内部が例えば１／４インチ径の銅製パイプＰ１に連
結されており、このパイプＰ１は真空槽１２の外部に気
密的に導出され、パイプＰ４を介してプローブガスとし
てのヘリウムガスのボンベ１４に連結されている。この
パイプＰ１には開閉弁Ｖ２が介装されている。
【００２３】真空槽１２はパイプＰ５を介して置換ガス
としてのＮ２ガス用の予備タンク１５に連結されている
。この予備タンク１５はパイプＰ６を介してＮ２ガスボ
ンベ１５に連結されている。そして、パイプＰ５とパイ
プＰ６とには、夫々ベント弁Ｖ３，開閉弁Ｖ４と、開閉
弁Ｖ５，Ｖ６とが介装されている。
【００２４】真空槽１２は、パイプＰ７を介して真空排
気装置１８に連結されている。このパイプＰ７には開閉
弁Ｖ７が介装されている。また、真空槽１２には、パイ
プＰ８を介してリークディテクタ１９が連結されている
。リークディテクタ１９はプローブガスを検出してこれ
を電気信号に変換し、その検出信号を配線２０を介して
漏洩判定装置（図示せず）に出力する。
【００２５】次に、このように構成された漏洩検出装置
の動作について説明する。先ず、真空槽１２内に被試験
体１１を装入し、パイプＰ１と被試験体１１とを連結し
た後、真空排気装置１８を駆動し、開閉弁Ｖ７を開にし
て真空槽１２内を排気する。真空槽１２内の圧力が約１
０Ｔｏｒｒ（１．３３Ｘ１０３Ｐａ）乃至約１Ｔｏｒｒ
（１．３３Ｘ１０２Ｐａ）になった後、弁Ｖ３を開にし
て真空槽１２内に予備タンク１５及びボンベ１６からＮ
２ガスを供給する。開閉弁Ｖ５，Ｖ６は予備タンク１５
に常時Ｎ２ガスを充填しておくため、常に開にしておく
。また、弁Ｖ４は流量調整用の弁であって常に最小開度
以上の開度で開いている。なお、Ｎ２ガス量の調整は弁
Ｖ３又はＶ４のいずれで行ってもよい。Ｎ２ガスの導入
後、真空槽１２内の圧力が約５０Ｔｏｒｒ（６．６５Ｘ
１０３Ｐａ）になった後、開閉弁Ｖ３を閉にする。これ
らの弁開閉タイミングを決定する真空槽１２内の圧力は
Ｈｅガスの検出仕様による。
【００２６】開閉弁Ｖ３を閉にすることにより、真空槽
１２内は排気装置１８により継続的に排気されて減圧し
ていく。そして、この真空槽１２内の圧力がＨｅリーク
ディテクタ１９が稼働可能な圧力（例えば、０．７５Ｔ
ｏｒｒ；約１００Ｐａ）まで低下したときに、開閉弁Ｖ
８を開にする。次いで、開閉弁Ｖ７を閉にしてリークデ
ィテクタ１９により真空槽１２内のＨｅガスを検出する
。この検出濃度がバックグラウンド値になり、そのデー
タが判定装置に送出される。なお、このバックグラウン
ド値の測定に際しては、開閉弁Ｖ７を閉にしないで、真
空槽１２内の排気を継続していてもよい。
【００２７】次いで、開閉弁Ｖ２を開にして被試験体１
１内にＨｅガスを導入する。そうすると、被試験体１１
に漏洩個所がある場合は、このＨｅガスがこの漏洩個所
を介して被試験体１１から排出され、真空槽１２内の空
間に出てくる。そして、真空槽１２内のＨｅガス濃度が
リークディテクタ１９により検出される。この検出信号
は配線２０を介して判定装置に送出され、前述のバック
グラウンド値と比較されてＨｅガス導入後の検出値がバ
ックグラウンド値よりも高い場合に被試験体１１の漏洩
があると判定される。
【００２８】本実施例においては、真空槽１２内をＮ２
ガスで置換（希釈も含めて）し、更に真空槽１２内を排
気した後、プローブガスとしてのＨｅガスを被試験体内
に導入するから、Ｈｅガスのバックグラウンド値を従来
に比して低減することができ、この状態で被試験体から
漏出してくるＨｅガスを検出するので、漏出量が極めて
微量である場合も本実施例によればこれを確実に検出す
ることができる。また、高真空ではなく、比較的品位が
悪い低真空（圧力が高い真空）の状態でも被試験体から
のＨｅガスの漏洩を検出することができるので、真空ポ
ンプ又は真空排気装置１８の容量も低くて足りる。従っ
て、短時間で且つ簡素な排気装置で漏洩を試験すること
が可能になる。
【００２９】図２は本発明の第２の実施例に係る漏洩検
出装置を示す模式図である。図２において、図１と同一
物には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。本
実施例においては、パイプＰ１とパイプＰ４との間に、
バルブネットワークＶ１が介装されている点が第１の実
施例と異なる。このバルブネットワークＶ１には、ポン
プ１３が介装されたパイプＰ３及び空気を導入するため
のパイプＰ２が連結されている。
【００３０】このように構成された本実施例においては
、真空槽１２内に被試験体１１を装入し、パイプＰ１と
被試験体１１とを連結した後、バルブネットワークＶ１
をポンプ１３に切換え、ポンプ１３を駆動すると共に、
開閉弁Ｖ２を開にして被試験体１１内を排気する。 次いで、真空排気装置１８を駆動し、開閉弁Ｖ７を開に
して真空槽１２内を排気する。その後、第１の実施例と
同様にして、バックグラウンド値を測定する。
【００３１】次いで、バルブネットワークＶ１をパイプ
Ｐ１とパイプＰ２との連結に切換え、開閉弁Ｖ２を開に
して被試験体１１内にＨｅガスを導入する。その後、第
１の実施例と同様にして、真空槽１２内のＨｅガス濃度
をリークディテクタ１９により検出し、この検出結果を
前述のバックグラウンド値と比較する。そして、Ｈｅガ
ス導入後の検出値がバックグラウンド値よりも高い場合
に被試験体１１の漏洩があると判定される。
【００３２】本実施例においては、被試験体１１の内部
を排気した後に、プローブガス（Ｈｅガス）を被試験体
１１内に導入するので、漏洩検出精度を更に一層向上さ
せることができる。
【００３３】次に、本発明により実際に漏洩を検出した
場合の効果について説明する。図２は横軸に時間をとり
、縦軸にＨｅガスリーク速度（リークディテクタの検出
電圧）をとって、真空槽内を真空排気装置により排気し
ている過程のＨｅ濃度の時間変化を示すグラフ図である
。図中、Ｎ２ガスで置換した後排気した場合と、Ｎ２ガ
スによる置換をしなかった場合とについて、リーク速度
の変化を示した。この図から明らかなように、いずれの
場合も、時間の経過と共に、Ｈｅガス濃度は低下して行
くが、Ｎ２ガス置換しなかった場合はＨｅガス濃度が高
く、バックグラウンド値が高いのに対し、Ｎ２ガス置換
後排気をすることによってＨｅガスの検出濃度が低くな
り、バックグラウンド値が著しく低下することがわかる
。
【００３４】なお、本実施例においては、真空槽１２内
をＮ２ガスにより置換した後、低真空域迄排気した状態
で、Ｈｅガスの漏洩を検出するので、リークディテクタ
１９としては、低真空（圧力が高い真空）下でＨｅガス
を検出できるものであることが必要である。従来、低真
空下でＨｅガスを検出できる装置として図５乃至図７に
示すものがある。これらの装置においては、抵抗を大き
くして差圧をつけるリークバルブ又はキャピラリを使用
する。また、これらのリークバルブ及びキャピラリを使
用しないでＨｅガスを高応答性且つ高感度で検知する方
式として、近時、図８に示すように、ターボモレキュラ
ーポンプのカウンターフローを利用して圧力が高い真空
下でＨｅガスを検出するリークディテクタが開発されて
いる。
【００３５】しかし、これらの技術においては、圧力が
高い低真空下でＨｅガスを検出することができるものの
、大気中には約５ｐｐｍのＨｅガスが存在する。このた
め、Ｈｅガスのバックグラウンド値が高くなり、微小な
漏洩を検出することができない。微小な漏洩を検出しよ
うとすると、前述のごとく、高真空まで排気してＨｅガ
スのバックグラウンド値を低減せざるを得ず、上述の技
術を有効利用する迄に至っていない。
【００３６】これに対し、本実施例は真空槽１２内をＮ
２ガス等で置換し、更に真空槽１２内を排気して試験槽
１２内に存在するプローブガス濃度を低下させた後、Ｈ
ｅガス等をプローブガスとして漏洩を検出するので、バ
ックグラウンド値が低い状態で漏洩を検出することがで
き、低真空下でＨｅガスを検出できるターボモレキュラ
ーポンプ式リークディテクタの優れた特性を微小な漏洩
の検出に有効に利用することができる。
【００３７】量産品の漏洩を試験する場合には、検査に
要する時間を短縮したいため、可及的に圧力が高い真空
下でＨｅガスを測定したいという要求がある。一方、漏
洩の検査基準としては、近時、フロンガスの大気汚染に
みられるように、可及的に低い漏洩も検出したいという
要請がある。これに対し、従来技術においては、微少漏
れを検出するためには、真空度を上げて高真空にし、Ｈ
ｅガスのバックグラウンド値を低下させてＳ／Ｎ値を大
きくした状態で微少漏れを判定することとせざるを得な
かった。
【００３８】一方、被試験体１１は一般的に油、水分及
び有機溶剤等の揮発物を多量に発生するものが多い。例
えば、完成品は塗装済みであることが多く、樹脂製品を
使用していたり、スポンジ等のように水分を含んでいた
り、埃又は微少異物を含んでいることが多い。このため
、高真空又は中真空を得ようとすると、大容量の、しか
も中真空から高真空の領域にかけて排気特性がよい真空
ポンプを使用する必要がある。しかし、この領域で使用
されるポンプは油、埃、繊維状異物、微細な砂状微塵等
の侵入に対し、構造的に弱く、耐久性が劣化するという
難点がある。また、この事情は、Ｈｅガスのリークディ
テクタでも同様である。油拡散方式又はターボポンプの
ダイレクトフロー方式のものでは、汚染又は故障等によ
り分析管等が短時間で故障したり、不具合を生じたりす
る。
【００３９】これに対し、ターボポンプのカウンターフ
ロー方式（逆拡散方式）の場合には、Ｈｅガス及び水素
ガス以外は分析管（スペクトロメータ）がある高真空又
は超高真空のセクションには行かない構造になっている
。即ち、汚染又は異物はターボポンプの吐出側（フォロ
ーライン側）の粗引きポンプ（通常、ロータリーポンプ
）により排出され、汚染及び異物の混入による分析管及
びターボポンプの故障又は動作異常は極めて起こりにく
い。
【００４０】従って、本実施例のように、ターボポンプ
又はモレキュラードラックポンプ、ホロイックポンプ等
を使用した逆拡散型Ｈｅガスリークディテクタと、Ｈｅ
ガスを含まないＮ２若しくはＯ２等のガス又は有機溶剤
若しくは水分の蒸気等でＨｅガスを含む大気の一部又は
全部を置換し、排気した後にＨｅガス分圧を低下させる
手段とを組み合わせたことは、微少な漏洩を迅速に且つ
簡素な装置で検出する上で、極めて有益である。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、試験槽内の大気を置換
ガスで置換し、排気した後、プローブガスを被試験体内
に導入するから、バックグラウンド値を低くすることが
できる。このため、低真空状態であっても微少な漏洩を
検出することができる。従って、漏洩の検出が迅速化さ
れると共に、装置も簡素化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】　　本発明の第１の実施例装置を示す模式図で
ある。
【図２】　　本発明の第２の実施例装置を示す模式図で
ある。
【図３】　　Ｎ２ガスによる置換のバックグラウンド値
に及ぼす効果を示すグラフ図である。
【図４】　　従来の真空吹き付け式漏洩検出装置を示す
模式図である。
【図５】　　従来の真空フード式漏洩検出装置を示す模
式図である。
【図６】　　従来の真空内圧式漏洩検出装置を示す模式
図である。
【図７】　　従来のスニファ式漏洩検出装置を示す模式
図である。
【図８】　　従来のスニファ積分式漏洩検出装置を示す
模式図である。
【図９】　　ターボモレキュラーポンプ式Ｈｅガスリー
クディテクタを示す模式図である。
【符号の説明】
１，１１；被試験体、２，１９；リークディテクタ、１
２；真空槽、　　３，１３；真空排気ポンプ、１４；Ｈ
ｅガスボンベ、１６；Ｎ２ガスボンベ、　　１８；真空
排気装置

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　被試験体を気密的に格納可能の試験槽
    と、この試験槽内を排気可能の試験槽排気手段と、前記
    被試験体の内部にプローブガスを導入可能のプローブガ
    ス導入手段と、前記試験槽に連結されてこの試験槽内の
    前記プローブガスを検出するプローブガス検出手段と、
    前記試験槽内に置換ガスを供給可能の置換ガス供給手段
    とを有することを特徴とする漏洩検出装置。
  2. 【請求項２】　　被試験体を気密的に格納可能の試験槽
    と、この試験槽内を排気可能の試験槽排気手段と、前記
    被試験体の内部を排気可能の被試験体排気手段と、前記
    被試験体の内部にプローブガスを導入可能のプローブガ
    ス導入手段と、前記試験槽に連結されてこの試験槽内の
    前記プローブガスを検出するプローブガス検出手段と、
    前記試験槽内に置換ガスを供給可能の置換ガス供給手段
    とを有することを特徴とする漏洩検出装置。
JP3039350A 1991-02-08 1991-02-08 漏洩試験方法及び漏洩試験装置 Expired - Lifetime JP2500488B2 (ja)

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EP92102013A EP0498434B2 (en) 1991-02-08 1992-02-06 Gas leakage testing method
DE69208108T DE69208108T3 (de) 1991-02-08 1992-02-06 Verfahren zur Prüfung von Gasleckage
US08/118,011 US5386717A (en) 1991-02-08 1993-09-08 Gas leakage testing method

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10185752A (ja) * 1996-12-26 1998-07-14 Teijin Seiki Co Ltd 密封体の漏れ検査方法および装置
JP2001508536A (ja) * 1996-10-12 2001-06-26 ライボルト ヴァクーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 包装材のシール性の検査
JP2002267564A (ja) * 2001-03-09 2002-09-18 Yamaha Fine Technologies Co Ltd ワークの漏れ検査装置
CN113108997A (zh) * 2021-04-12 2021-07-13 大庆隆锋机械设备制造有限公司 一种填料密封性检测方法

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4228148A1 (de) * 1992-08-25 1994-03-03 Leybold Ag Vakuum-Lecksuchgerät für die Testgaslecksuche mit leichten Gasen
CN1052539C (zh) * 1992-08-28 2000-05-17 北京科技大学 高炉密闭软水冷却环路检测方法
EP0718613B1 (de) * 1994-12-23 2003-03-05 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Verfahren zur Gasanalyse und Gasanalysator
DE10354234B4 (de) * 2003-11-19 2008-10-16 Eaton Fluid Power Gmbh Messverfahren für CO2-Leckagen und -Permeationen
US7299681B2 (en) * 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc Method and system for detecting leak in electronic devices
KR101224467B1 (ko) * 2011-02-28 2013-01-21 현대로템 주식회사 철도차량의 원도우 누수 검사장치
CN102507102B (zh) * 2011-10-26 2015-06-10 余姚康富特电子材料有限公司 靶材的焊接检测方法
CN103471777B (zh) * 2013-08-29 2015-12-02 中国计量学院 一种基于二氧化碳传感器的气体泄漏检测方法
CN103913279A (zh) * 2014-04-04 2014-07-09 浙江银轮机械股份有限公司 利用氦气与空气混合测试油冷器密封性的方法及设备
KR101594247B1 (ko) * 2014-06-13 2016-02-17 현대중공업 주식회사 액체저장탱크 관리 시스템
FR3074320A1 (fr) * 2017-11-30 2019-05-31 Airbus Operations Systeme et procede de detection automatisee de bruit de fuite dans un aeronef
FR3131362B1 (fr) * 2021-12-24 2024-07-05 Fives Filling & Sealing Dispositif et procédé de remplissage d’une enceinte par un fluide sous pression puis de vidange de celle-ci avec récupération du fluide
CN115597795A (zh) * 2022-10-14 2023-01-13 上海置信电气有限公司（Cn） 用于充气密封容器的扣罩式泄露检测装置、方法及系统
CN116253075B (zh) * 2023-05-15 2023-07-07 常州远大新材料科技股份有限公司 一种制备抹泥板的氰酸酯混合物原料储料罐

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52124782U (ja) * 1976-03-19 1977-09-22
JPS62170546U (ja) * 1986-04-21 1987-10-29

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2403360A1 (de) * 1974-01-24 1975-08-14 Maschf Augsburg Nuernberg Ag Leckpruefverfahren
US4785666A (en) * 1986-12-19 1988-11-22 Martin Marietta Corporation Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52124782U (ja) * 1976-03-19 1977-09-22
JPS62170546U (ja) * 1986-04-21 1987-10-29

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001508536A (ja) * 1996-10-12 2001-06-26 ライボルト ヴァクーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 包装材のシール性の検査
JPH10185752A (ja) * 1996-12-26 1998-07-14 Teijin Seiki Co Ltd 密封体の漏れ検査方法および装置
JP2002267564A (ja) * 2001-03-09 2002-09-18 Yamaha Fine Technologies Co Ltd ワークの漏れ検査装置
CN113108997A (zh) * 2021-04-12 2021-07-13 大庆隆锋机械设备制造有限公司 一种填料密封性检测方法

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