JP2000285486A - 情報記録再生装置 - Google Patents

情報記録再生装置

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JP2000285486A
JP2000285486A JP11094211A JP9421199A JP2000285486A JP 2000285486 A JP2000285486 A JP 2000285486A JP 11094211 A JP11094211 A JP 11094211A JP 9421199 A JP9421199 A JP 9421199A JP 2000285486 A JP2000285486 A JP 2000285486A
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Nobutaka Kikuiri
信孝 菊入
Masatoshi Hirono
方敏 廣野
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Abstract

(57)【要約】 【課題】エバネッセント光発生用レンズと記録媒体間の
間隙変化を極力小さくして高密度かつ良好な記録、再生
を可能とした情報記録再生装置を提供する。 【解決手段】半導体レーザ14から出射された光を集束
させる対物レンズ20をを通過した光を受けてエバネッ
セント光を発生するエバネッセント光発生用レンズ(S
IL)21を記録媒体11に対向して設け、エバネッセ
ント光発生用レンズ21の記録媒体11に対向する面で
反射される戻り光の強度を光検出器27を介して検出
し、この戻り光強度がほぼ一定となるようにアナログ演
算回路28、サーボ回路29およびアクチュエータドラ
イバ30を介してサスペンションアーム23を上下動さ
せるSIL駆動用アクチュエータ25を駆動して、エバ
ネッセント光発生用レンズ21と記録媒体11間の間隙
を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は情報記録再生装置に
係り、特にエバネッセント光を記録媒体に照射して情報
の記録および再生の少なくとも一方を行う情報記録再生
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】記録媒体に光を照射することにより、情
報の記録または再生あるいはその両方を行う情報記録再
生装置において、光の回折限界を越える高密度の記録、
再生が可能な方式として、エバネッセント光と呼ばれる
局在電磁波を利用する方式が知られている。
【0003】エバネッセント光を利用する公知の情報記
録再生装置では、レーザ光源からの光をほぼ平行光束に
して対物レンズに入射し、この対物レンズを通過した光
を微小な球状のエバネッセント光発生用レンズに入射す
ることによりエバネッセント光を発生させ、これをエバ
ネッセント光発生用レンズに近接して配置された記録媒
体にトンネルリングさせて照射する。
【0004】エバネッセント光発生用レンズは、磁気デ
ィスク装置(HDD:ハードディスク装置)の磁気ヘッ
ドに使用されるのと同様の浮上スライダに載せられ、記
録媒体の高速回転に伴って浮上スライダと記録媒体との
間に発生する動圧により、記録媒体に対してほぼ一定の
数10乃至100nm程度の微小間隙を維持するように
制御される。
【0005】しかし、このような構成では、記録媒体の
回転に伴う記録媒体の面振れや外乱による振動によっ
て、エバネッセント光発生用レンズと記録媒体間の間隙
が変動することは避けられない。このようなエバネッセ
ント光発生用レンズと記録媒体間の間隙変化は、エバネ
ッセント光発生用レンズから記録媒体にトンネリングす
る光の強度変化を生じさせる。このトンネリング光強度
の変化は、記録媒体への記録の際には記録ビット(ピッ
ト、マーク等)形状の均一化を損ない、また、記録媒体
からの再生の際には再生信号振幅の変化によるジッタの
増大などの原因となり、好ましくない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のエバネッセント光を利用した情報記録再生装置では、
エバネッセント光発生用レンズと記録媒体間の間隙変化
により、良好な記録や再生が期待できないという問題点
があった。
【0007】本発明は、エバネッセント光発生用レンズ
と記録媒体間の間隙変化を極力小さくするか、この間隙
変化によるトンネリング光強度の変化を補償することに
よって、高密度かつ良好な記録、再生を可能とした情報
記録再生装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明は記録媒体に光を照射して情報の記録および
再生の少なくとも一方を行う情報記録再生装置におい
て、エバネッセント光発生用レンズの記録媒体に対向す
る面で反射される戻り光の強度から、エバネッセント光
発生用レンズと記録媒体間の間隙をモニタし、この間隙
がほぼ一定となるように、あるいは、この間隙変化に対
してエバネッセント光発生用レンズへの入射光強度が一
定となるように、フィードバック制御を施すようにした
ことを骨子としている。
【0009】すなわち、本発明に係る情報記録再生装置
は、光を出射する光源と、この光源から出射された光が
入射される対物レンズと、記録媒体に対向して設けら
れ、対物レンズを通過した光を受けてエバネッセント光
を発生するエバネッセント光発生用レンズと、このエバ
ネッセント光発生用レンズの記録媒体に対向する面で反
射される光の強度を検出する検出手段と、この検出手段
により検出される光強度に基づいて、該光強度がほぼ一
定となるようにエバネッセント光発生用レンズと記録媒
体間の間隙を制御する制御手段とを具備することを特徴
とする。
【0010】本発明に係る他の情報記録再生装置は、光
を出射する光源と、この光源から出射された光が入射さ
れる対物レンズと、記録媒体に対向して設けられ、対物
レンズを通過した光を受けてエバネッセント光を発生す
るエバネッセント光発生用レンズと、このエバネッセン
ト光発生用レンズの記録媒体に対向する面で反射される
光の強度を検出する検出手段と、この検出手段により検
出される光強度に基づいて、該光強度がほぼ一定となる
ようにエバネッセント光用レンズに入射する光の強度を
制御する制御手段とを具備することを特徴とする。
【0011】ここで、検出手段により検出される光強度
がほぼ一定となるようにエバネッセント光用レンズに入
射する光の強度を制御する制御手段は、光源から出射さ
れる光を強度変調する光変調素子を有し、該光変調素子
を検出手段により検出される光強度に基づいて制御する
ことにより、エバネッセント光用レンズに入射する光の
強度を制御するように構成される。
【0012】また、光源として半導体レーザを用いた場
合においては、検出手段により検出される光強度がほぼ
一定となるようにエバネッセント光用レンズに入射する
光の強度を制御する制御手段は、半導体レーザの駆動電
流を検出手段により検出される光強度に基づいて制御す
ることにより、エバネッセント光用レンズに入射する光
の強度を制御する構成であってもよい。
【0013】このように本発明では、エバネッセント光
発生用レンズと記録媒体間の間隙がほぼ一定に保たれる
か、または、この間隙変化がエバネッセント光発生用レ
ンズへの入射光強度の制御により補償されることによっ
て、記録時には記録ビット形状の均一化が達成され、再
生時には再生信号振幅の変化によるジッタの増大などの
ない良好な記録、再生が可能となる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。 (第1の実施形態)図1は、本発明の第1の実施形態に
係る情報記録再生装置の構成を示す図である。本実施形
態は、エバネッセント光発生用レンズとして代表的なS
IL(Solid Imersion Lens)を用いた情報記録再生装
置に本発明を適用した例である。
【0015】記録媒体11は、例えば光磁気ディスク、
相変化光ディスク、あるいはフォトレジスト層を有する
光ディスク原盤であり、記録/再生時にはスピンドルモ
ータ12により回転駆動される。LDドライバ13から
駆動電流が供給されることによって駆動される半導体レ
ーザ(LD)14から出射されるレーザ光は、図示しな
いコリメータレンズにより平行光束とされた後、ビーム
スプリッタ15を透過し、反射ミラー16により可動光
学系17に導かれる。
【0016】可動光学系17は、反射ミラー18、反射
ミラー19、対物レンズ20およびエバネッセント光発
生用レンズであるSIL21を主たる光学要素として含
み、SIL21は浮上スライダ22に搭載されている。
浮上スライダ22は、サスペンションアーム23の先端
に支持され、サスペンションアーム23の基端はロータ
リアクチュエータ24に支持されている。サスペンショ
ンアーム23は、記録再生時にはロータリアクチュエー
タ24によって記録媒体11の半径方向に回転され、こ
れによりトラックシークやトラッキングが行われる。
【0017】サスペンションアーム23の途中には、S
IL駆動用アクチュエータ25が設けられている。SI
L駆動用アクチュエータ25は、例えば圧電素子を用い
たアクチュエータ、より具体的には積層型圧電アクチュ
エータまたはバイモル型アクチュエータにより構成され
る。このSIL駆動用アクチュエータ25は、アクチュ
エータドライバ30により駆動されてサスペンションア
ーム23をロータリアクチュエータ24に支持された基
端側を支点として上下動させることによって、サスペン
ションアーム23先端の浮上スライダ22に搭載されて
いるSIL21を上下動、すなわち記録媒体11の厚み
方向に移動させる。これにより、SIL21と記録媒体
11間の間隙が変化することになる。
【0018】前述のように半導体レーザ14から出射さ
れ、コリメータレンズ14、ビームスプリッタ15、反
射ミラー16により可動光学系17に導かれたレーザ光
は、反射ミラー18および反射ミラー19により順次案
内されて対物レンズ20に入射し、ここで集束されて細
いビームとされた後、SIL21に入射する。SIL2
1に入射したレーザ光は、浮上スライダ22の記録媒体
に対向する下面に微小なエバネッセント光のスポットを
形成する。このエバネッセント光スポットは、SIL2
1と記録媒体11間の間隙が半導体レーザ14の波長の
1/2以下、例えば100nmあるいはそれ以下になる
と、記録媒体11にトンネリングする。
【0019】一方、記録媒体11にトンネリングしなか
った光は、SIL21の底面で反射し、入射光の経路を
逆に戻る。これを戻り光という。すなわち、SIL21
の底面で反射された戻り光は、対物レンズ20、反射ミ
ラー19、反射ミラー18および反射ミラー16を順次
通過してビームスプリッタ15に入射する。ビームスプ
リッタ15に入射した戻り光は、ここで反射されて半導
体レーザ14からの入射光と光路が分離され、集光レン
ズ26により光検出器27に導かれる。
【0020】光検出器27は、例えば受光面を複数の領
域(一例として4つの領域)に分割した分割光検出器で
あり、その各領域からの出力信号はアナログ演算回路2
8に入力される。アナログ演算回路28では、再生信号
やトラッキングサーボ、フォーカスサーボのためのトラ
ッキング誤差信号およびフォーカス誤差信号が生成され
るほか、後述する戻り光強度信号が生成される。なお、
ここでいうフォーカスサーボはSIL21の下面の所定
位置に光スポットを形成するためにSIL21の位置を
制御する動作である。
【0021】図2に、SIL21と記録媒体11間の間
隙変化に対するエバネッセント光のトンネリング光強度
(エバネッセント光強度)の変化と、光検出器21で検
出される戻り光強度の変化を示す。ただし、図2ではS
IL21と記録媒体11間の間隙をG、半導体レーザ1
4の波長(光源波長)をλとして、G/λを横軸にと
り、トンネリング光および戻り光の光強度を縦軸にとっ
ている。エバネッセント光のトンネリング光強度は間隙
の増加に伴い減少するのに対して、戻り光強度は逆に間
隙の増加に伴い増加していることが分かる。
【0022】従って、戻り光強度が一定となるように間
隙を制御すれば、SIL21と記録媒体11間の間隙間
隙はほぼ一定に保たれる。具体的には、本実施形態では
受光面が複数の領域に分割された光検出器27の出力信
号がアナログ演算回路28に導かれ、ここで例えば再生
信号と同様に複数の領域の出力信号の総和をとるか、あ
るいは特定の一つの領域の出力信号を取り出すことによ
って、戻り光強度信号が生成される。この戻り光強度信
号がサーボ制御回路29に入力され、このサーボ制御回
路29によって戻り光強度が一定となるようにアクチュ
エータドライバ30を介してSIL駆動用アクチュエー
タ25が制御されることにより、SIL21と記録媒体
11間の間隙がほぼ一定に維持される。
【0023】このように本実施形態によれば、SIL2
1と記録媒体11間の間隙をほぼ一定に保つことができ
るため、エバネッセント光のトンネリング光強度の変化
を抑制でき、高密度でかつ安定した良好な記録、再生を
行うことが可能となる。
【0024】例えば、記録媒体11として記録膜の非晶
質と結晶質との相変化を利用して記録を行う相変化光デ
ィスクを用いた場合を例にとると、情報の記録は半導体
レーザ14の駆動電流を記録すべき二値の信号(記録信
号)に従って変調することにより、エバネッセント光の
トンネリング光強度も記録信号に従って変調されること
により、記録媒体11である相変化光ディスクの記録膜
上に相変化マークが形成されることで行われる。ここ
で、本実施形態によると、SIL21と記録媒体11間
の間隙をほぼ一定に保つことにより、記録信号が0のと
きのトンネルリング光強度をほぼ一定に保つことができ
るため、記録信号以外の要因による相変化マークの形状
変化を回避して、良好な記録が可能となる。
【0025】一方、記録媒体11である相変化光ディス
クに記録された情報の再生に際しては、記録媒体11に
照射されたエバネッセント光による反射光を光検出器2
7で検出し、光検出器27の複数の領域の出力信号の総
和をアナログ演算回路28で求めることにより、再生信
号が得られる。この場合においても、SIL21と記録
媒体11間の間隙をほぼ一定に保つことで、記録信号が
0のときのトンネルリング光強度をほぼ一定に保つこと
ができるため、再生信号振幅の変動を回避してジッタの
少ない良好な再生が可能となる。
【0026】(第2の実施形態)図3は、本発明の第2
の実施形態に係る情報記録再生装置の構成を示す図であ
る。以下、図1と同一部分に同一符号を付して第1の実
施形態との相違点を説明する。
【0027】本実施形態においては、図3に示すように
図1におけるSIL駆動用アクチュエータ25とサーボ
回路29およびアクチュエータドライバ30が除去さ
れ、代わって半導体レーザ14の光出射側に光変調素子
の一つである音響光学変調素子(AOM)31が配置さ
れている。また、アナログ演算回路28から出力される
戻り光強度信号はサーボ回路32に入力され、このサー
ボ回路32によって戻り光強度がほぼ一定となるように
音響光学変調素子31が制御されることにより、半導体
レーザ14から出射されるレーザ光の強度、つまりはS
IL21に入射する光の強度が制御される構成となって
いる。
【0028】次に、図4を用いて本実施形態におけるト
ンネリング光強度を一定に保つ制御について説明する。
図4は、図2と同様にSIL21と記録媒体11間の間
隙変化に対するエバネッセント光のトンネリング光強度
の変化と、光検出器27で検出される戻り光強度の変化
を示しており、SIL21と記録媒体11間の間隙を
G、半導体レーザ14の波長をλとして、G/λを横軸
にとって無次元化し、トンネリング光および戻り光の光
強度を縦軸にとっている。エバネッセント光のトンネリ
ング光強度は間隙の増加に伴い減少するのに対して、戻
り光強度は逆に間隙の増加に伴い増加する点は、図2と
同様である。
【0029】今、SIL21への入射光強度をIIとする
と、G/λに対しトンネリング光強度はの特性、戻り
光強度はの特性に従って、それぞれ変化する。トンネ
リング光強度を所望の値、例えばIT1とするには、記録
媒体11に対するSIL21の間隙はG1に設定しなけ
ればならないことになる。トンネリング光強度を直接観
測することは不可能であるが、観測可能な戻り光強度で
見ると、間隙がG1のときの戻り光強度はIM1となる。
逆に言えば、トンネリング光強度IT1はIT1=II−IM1
により計測できる。
【0030】浮上スライダ22は、記録媒体11の回転
に伴い上下に振動するために、これに支持されたS1L
21と記録媒体11間の間隙が変化し、トンネリング光
強度も変化することになる。すなわち、この間隙をG1
にしようとしたときに、振動によりΔGだけ間隙が変化
してG2になったとすると、トンネリング光強度はIT 2
となってしまう。
【0031】そこで、本実施形態ではSIL21への入
射光強度をIIからII×kへと変化させることにより、記
録媒体11へのトンネリング光強度を制御する。kは係
数である。入射光強度がIIのときに、間隙G1の下で検
出される戻り光強度はIM1であり、入射光強度をIIのま
ま変えなければ、間隙G2の下での戻り光強度はIM2
なるため、トンネリング光強度IT2はIT2=(II−I
M2)によって計測できる。従って、(II−IM2)が
(II−IM1)となるように、当初の入射光強度IIにk=
(II−IM2)/(II−IM1)なる係数を乗じたII×k
を新たな入射光強度とすることで、常にトンネリング光
強度を一定(IT1)に保つことができる。
【0032】すなわち、SIL21への入射光強度をII
からII×kに変更すると、G/λに対して、トンネリン
グ光強度はの特性、戻り光強度はの特性に従って、
それぞれ変化する。このとき、間隙G2の下での戻り光
強度はIM2、トンネリング光強度はIT1となる。
【0033】なお、上述した制御を具体的に実現するに
は、サーボ回路32において入射光強度がIIのときの戻
り光強度IM1を求めてメモリに保持しておき、SIL2
1と記録媒体11間の間隙の変化によって戻り光強度が
変化してIM2となったとき、k=(II−IM2)/(II
−IM1)により係数kを求めて、入射光強度をII×kの
ように制御すればよい。
【0034】このように本実施形態によれば、SIL2
1と記録媒体11間の間隙の変化に対して戻り光強度が
ほぼ一定となるように、音響光学変調素子31を制御し
て入射光強度を制御することにより、SIL21と記録
媒体11間の間隙変化に対するエバネッセント光のトン
ネリング光強度の変化を抑制でき、非常に高密度であり
ながら安定した記録、再生を行うことが可能となる。
【0035】(第3の実施形態)図5は、本発明の第3
の実施形態に係る情報記録再生装置の構成を示す図であ
る。本実施形態では、アナログ演算回路28から出力さ
れる戻り光強度信号はサーボ回路33に入力され、この
サーボ回路33によって戻り光強度がほぼ一定となるよ
うにLDドライバ13が制御され、半導体レーザ14の
駆動電流(バイアス電流)が制御されることにより、半
導体レーザ14から出射されるレーザ光の強度、つまり
はSIL21に入射する光の強度が制御される構成とな
っている。
【0036】従って、本実施形態は半導体レーザ14を
直接制御するか、半導体レーザ14の光出射側に挿入さ
れた音響光学変調素子31を制御するかを除いて、第2
の実施形態と動作は基本的に同様であるので、詳細な説
明を省略する。
【0037】なお、本発明は上述した実施形態に限られ
るものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形し
て実施が可能である。例えば、上記実施形態では記録媒
体として相変化光ディスクを用いた場合について説明し
たが、光磁気ディスクや、情報をピット列として記録す
る光ディスクの場合にも本発明を適用することができ
る。
【0038】また、本発明は記録と再生の両方の機能を
有する装置のみでなく、記録と再生のいずれか一方の機
能のみを有する装置にも適用でき、例えば再生専用光デ
ィスクに記録された情報を再生する装置に適用できる。
【0039】また、本発明はエバネッセント光を記録ま
たは再生に直接的に使用する装置でなく、記録と再生は
磁気で行うが、記録/再生を行っている部分に局部的に
光を照射して加熱することにより、熱擾乱の影響を避け
て例えば0.2μmというような狭トラックピッチでも
良好な記録/再生を可能とする、いわゆる光アシスト方
式の磁気記録再生装置にも適用できる。
【0040】さらに、本発明はフォトレジスト層をディ
スク基板上に形成した光ディスク原盤のフォトレジスト
層に光ビームを照射して情報を記録する原盤記録装置に
も適用が可能である。
【0041】その他、エバネッセント光を発生する手段
としては、対物レンズとエバネッセント光発生用レンズ
の組み合わせに代えて、先端に微細な開口を持たせ光フ
ァイバを用いてもよい。また、光源としては半導体レー
ザに限らず、ガスレーザを用いてもよい。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればエ
バネッセント光を用いて非常に高密度化しながらも、記
録ビット形状の均一である良好な記録と、再生信号振幅
の変化によるジッタの増大のない良好な再生を実現する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る情報記録再生装
置の構成を示す図
【図2】同実施形態に係る情報記録再生装置におけるエ
バネッセント光発生用レンズと記録媒体間の間隙とトン
ネリング光強度および戻り光の関係を示す図
【図3】本発明の第2の実施形態に係る情報記録再生装
置の構成を示す図
【図4】同実施形態に係る滋養法記録再生装置において
エバネッセント光発生用レンズと記録媒体間の間隙変化
に対してトンネリング光強度を一定に保つ原理を説明す
る図
【図5】本発明の第3の実施形態に係る情報記録再生装
置の構成を示す図
【符号の説明】
11…記録媒体 13…LDドライバ 14…半導体レーザ 20…対物レンズ 21…SIL(エバネッセント光発生用レンズ) 25…SIL駆動用アクチュエータ 27…光検出器 28…アナログ演算回路 29…サーボ回路 30…アクチュエータドライバ 31…音響光学変調素子 32,33…サーボ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5D118 AA13 BA01 BB02 BF02 BF03 CA11 CC06 CC12 CD02 CD03 CD08 CD15 DC03 FA08 FA49 5D119 AA11 AA22 AA23 BA01 CA06 DA01 DA05 EA02 EA03 FA05 JA44 KA02 MA06

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】記録媒体に光を照射して情報の記録および
    再生の少なくとも一方を行う情報記録再生装置におい
    て、 光を出射する光源と、 前記光源から出射された光が入射される対物レンズと、 前記記録媒体に対向して設けられ、前記対物レンズを通
    過した光を受けてエバネッセント光を発生するエバネッ
    セント光発生用レンズと、 前記エバネッセント光発生用レンズの前記記録媒体に対
    向する面で反射される光の強度を検出する検出手段と、 前記検出手段により検出される光強度に基づいて、該光
    強度がほぼ一定となるように前記エバネッセント光発生
    用レンズと前記記録媒体間の間隙を制御する制御手段と
    を具備することを特徴とする情報記録再生装置。
  2. 【請求項2】記録媒体に光を照射して情報の記録および
    再生の少なくとも一方を行う情報記録再生装置におい
    て、 光を出射する光源と、 前記光源から出射された光が入射される対物レンズと、 前記記録媒体に対向して設けられ、前記対物レンズを通
    過した光を受けてエバネッセント光を発生するエバネッ
    セント光発生用レンズと、 前記エバネッセント光発生用レンズの前記記録媒体に対
    向する面で反射される光の強度を検出する検出手段と、 前記検出手段により検出される光強度に基づいて、該光
    強度がほぼ一定となるように前記エバネッセント光用レ
    ンズに入射する光の強度を制御する制御手段とを具備す
    ることを特徴とする情報記録再生装置。
  3. 【請求項3】前記制御手段は、前記光源から出射される
    光を強度変調する光変調素子を有し、該光変調素子を前
    記検出手段により検出される光強度に基づいて制御する
    ことにより、前記エバネッセント光用レンズに入射する
    光の強度を制御することを特徴とする請求項2記載の情
    報記録再生装置。
  4. 【請求項4】前記光源は半導体レーザであり、 前記制御手段は、前記半導体レーザの駆動電流を前記検
    出手段により検出される光強度に基づいて制御すること
    により、前記エバネッセント光用レンズに入射する光の
    強度を制御することを特徴とする請求項2記載の情報記
    録再生装置。
JP09421199A 1999-03-31 1999-03-31 情報記録再生装置 Expired - Fee Related JP3492934B2 (ja)

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