JP2000286471A - 熱電材料の製造方法 - Google Patents
熱電材料の製造方法Info
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- JP2000286471A JP2000286471A JP11094423A JP9442399A JP2000286471A JP 2000286471 A JP2000286471 A JP 2000286471A JP 11094423 A JP11094423 A JP 11094423A JP 9442399 A JP9442399 A JP 9442399A JP 2000286471 A JP2000286471 A JP 2000286471A
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Abstract
ことができる熱電材料の製造方法を提供する。 【解決手段】 原料を溶融し、原料を溶湯射出ノズル2
から冷却ロ−ル1に溶湯3射出する液体急冷方法により
急冷箔5を作製し、この急冷箔5をそのまま又は粉砕し
た後、固化成形して熱電材料を作製する熱電材料の製造
方法において、原料はBi及びSbからなる群から選択
された少なくとも1種の元素と、Te及びSeからなる
群から選択された少なくとも1種の元素と、を含有する
組成を有し、溶湯3射出の溶湯射出温度をTLとし、冷
却ロ−ル1の回転速度をRとするとき、TLは600乃
至1100℃であり、Rは2乃至80m/秒であり、T
Lは(20R+46760)/78乃至(100R+7
7800)/78である条件で急冷箔5を製造する工程
を有する。
Description
法に関し、特に、結晶の配向性が良い、急冷箔粉末等を
形成することができる熱電材料の製造方法に関する。
方向凝固させた材料を粉砕して固化成形する方法が知ら
れている。図7(a)乃至(d)は従来の熱電材料の製
造方法を示す模式図である。
1を石英管100に入れた後、石英管100を溶断して
封入する。次に、図7(b)に示すように、石英管10
0を管状炉102に入れて溶解し管状炉102を揺動し
て攪拌する。次に、図7(c)に示すように、管状炉1
02内に温度勾配をつけ、結晶方位を配向させながら凝
固させて凝固材103を形成する。次に、図7(d)に
示すように、凝固材103を粉砕しホットプレス等によ
り固化成形し、固化成形材を作製する。このとき、圧力
の作用方向と垂直方向に低抵抗の結晶方向が成長するた
め、この方向に電流を流すように電極を取りつけてモジ
ュ−ルを作製している。また、凝固材103をそのまま
モジュールに使用している。
熱電材料の製造方法では、例えば、凝固材103では製
造された熱電材料の結晶粒径が数mm以上になり、へき
開性があるため脆くなるという問題点がある。また、熱
伝導率が高い。熱電材料の性能指数をZ、熱起電力を
α、熱伝導率をκ、比抵抗をρとするとき、下記数式1
のように示される。
性能の向上に限界がある。
では粉砕された粉末の大きさが結晶粒径であるため、κ
を低下させるために結晶粒を微細化しても限界がある。
また、粉砕時の粉末の表面酸化又は不純物の混入のため
に比抵抗の増大を招いて、数式1に示されるように性能
指数が低下し、性能が劣化するという問題点がある。
のであって、結晶の配向性が良い、急冷箔粉末を形成す
ることができる熱電材料の製造方法を提供することを目
的とする。
製造方法は、原料を溶融し、前記原料を溶湯射出ノズル
から冷却ロ−ルに溶湯射出する液体急冷方法により急冷
箔を作製し、この急冷箔をそのまま又は粉砕した後、固
化成形して熱電材料を作製する熱電材料の製造方法にお
いて、前記原料はBi及びSbからなる群から選択され
た少なくとも1種の元素と、Te及びSeからなる群か
ら選択された少なくとも1種の元素と、を含有する組成
を有し、前記溶湯射出の溶湯射出温度をTLとし、前記
冷却ロ−ルの回転速度をRとするとき、前記TLは60
0乃至1100℃であり、前記Rは2乃至80m/秒で
あり、前記TLは(20R+46760)/78乃至
(100R+77800)/78である条件で急冷箔を
製造する工程を有することを特徴とする。
g、Br、Ag及びCuからなる群から選択された少な
くとも1種の元素を含有させて、キャリア密度の制御が
可能である。
温度をTRとするとき、前記TRは5乃至80℃であ
り、前記TRは(TL−100)/100乃至(TL+
2900)/50である条件で急冷箔を製造する工程を
有することが好ましい。
ルとの間隔をdとするとき、前記dは0.3乃至20m
mであり、前記Rは(8d+37)/19.7乃至(3
0d+976)/19.7である条件で急冷箔を製造す
る工程を有することが好ましい。
き、前記Pは0.1乃至7kgf/cm2であり、前記
Rは(P+4.5)/2.3乃至(25P+377)/
6.9である条件で急冷箔を製造する工程を有すること
が好ましい。
とするとき、前記φは0.1乃至10mmであり、前記
Pは(−0.4φ+4.99)/9.9乃至(−2φ+
69.5)/9.9である条件で急冷箔を製造する工程
を有することが好ましい。
として、前記急冷箔を還元ガス雰囲気で熱処理し、固化
成形する工程を有することが好ましい。
度をTLとし、冷却ロ−ルの回転速度をRとするとき、
TLは600乃至1100℃であり、Rは2乃至80m
/秒であり、TLは(20R+46760)/78乃至
(100R+77800)/78である条件で急冷箔を
製造することにより、低抵抗に配向された結晶を有する
急冷箔を製造することができる。
材料の製造方法について添付の図面を参照して詳細に説
明する。図1は本発明の実施例に係る熱電材料の製造装
置を示す模式図である。
料を冷却ロ−ル1表面に射出させるノズル2が間隔をd
あけて配置されている。このノズル2には溶融した溶湯
3が充填され、溶湯3を射出する口径φの開口部4が形
成されている。また、溶湯3を射出するための溶湯射出
圧力Pを作用させる圧力発生手段(図示せず)に接続さ
れている。
せ、冷却ロ−ル1の中心に向けてノズル2から溶湯3を
射出し、冷却ロ−ル1により冷却されて急冷箔5が形成
される。この作製された急冷箔5を還元ガス雰囲気で熱
処理し、固化成形して熱電材料が形成される。なお、冷
却ロ−ル1の材質としては銅、銅合金、鉄、鋼又はチタ
ン合金等を使用することができる。
限定理由について説明する。
きないか又は溶湯の粘性が高くて射出できない。一方、
溶湯射出温度が1100℃を超えると、蒸気圧の高いT
e及びSeが蒸発して組成が変わってしまい熱電材料の
性能が高性能を得ることができない。従って、溶湯射出
温度は600乃至1100℃とする。
分に得ることができず低抵抗方位に配向した超急冷箔を
得ることができない。一方、冷却ロ−ルの回転速度が8
0m/秒を超えると、冷却ロ−ルと溶湯との濡れ性が悪
化し、箔が粉末状になるため、急冷速度を十分に得るこ
とができず、低抵抗方位に配向した超急冷箔が得られな
いと共に、箔の形状が一定化せず、安定した性能を得る
ことができない。従って、冷却ロ−ルの回転速度は2乃
至80m/秒とする。
78乃至(100R+77800)/78 図2は縦軸に溶湯射出温度、横軸に冷却ロールの回転速
度をとり、急冷箔の製造条件を示すグラフ図である。図
2に示すように、下記数式2及び3に示す直線により表
すことができる。
78の値未満では溶湯の粘性が高すぎて冷却ロ−ルで十
分に急冷されず急冷速度が十分に得ることができない。
このため、低抵抗方位に配向した超急冷箔を得ることが
できない。一方、溶湯射出温度が(100R+7780
0)/78を超えると、冷却ロ−ルと溶湯との濡れ性が
悪化すると共に、箔が粉末状になるため急冷速度を十分
に得ることができず、低抵抗方位に配向した超急冷箔を
得ることができない。従って、溶湯射出温度:(20R
+46760)/78乃至(100R+77800)/
78とする。
歪が過度に生じ、結晶性が崩れるため、低抵抗の方位に
配向性を揃えることができず、抵抗が高くなり、性能指
数が低下し、高性能の熱電材料を得ることができない。
一方、冷却ロ−ルの表面温度が80℃を超えると、溶湯
と冷却ロ−ルとの濡れ性が悪化し、低抵抗の配向性を得
ることが難しくなり、高性能の熱電材料を得ることがで
きない。従って、冷却ロ−ルの表面温度は5乃至80℃
とすることが好ましい。
/100乃至(TL+2900)/50 図3は縦軸に冷却ロールの表面温度、横軸に溶湯射出温
度をとり、急冷箔の製造条件を示すグラフ図である。図
3に示すように、下記数式4及び5に示す直線により表
すことができる。
/100未満では、急冷時に溶湯に歪が過度に生じ、結
晶性が崩れるため、低抵抗の方位に配向性を揃えること
ができず、抵抗が高くなり、性能指数が低下し、高性能
の熱電材料を得ることができない。一方、冷却ロ−ルの
表面温度が(TL+2900)/50を超えると、溶湯
と冷却ロ−ルとの濡れ性が悪化し、低抵抗の配向性を得
ることが難しくなり、高性能の熱電材料を得ることがで
きない。従って、冷却ロ−ルの表面温度は(TL−10
0)/100乃至(TL+2900)/50とすること
が好ましい。
0.3乃至20mm 溶湯射出ノズルと冷却ロールとの間隔が0.3mm未満
では、冷却ロ−ル上の溶湯にノズルが埋没する射出形態
となり、均質な急冷箔を得ることができない。一方、溶
湯射出ノズルと冷却ロールとの間隔が20mmを超える
と、溶湯がロ−ルに接触するまでの時間が長くなり、冷
却速度が遅くなるため、結晶の配向性が乱れ高性能の熱
電材料を得ることができない。従って、溶湯射出ノズル
と冷却ロールとの間隔は0.3乃至20mmとすること
が好ましい。
19.7乃至(30d+976)/19.7 図4は縦軸に冷却ロールの回転速度、横軸に溶湯射出ノ
ズルと冷却ロールとの間隔をとり、急冷箔の製造条件を
示すグラフ図である。図4に示すように、下記数式6及
び7に示す直線により表すことができる。
19.7未満では、急冷速度が十分に得ることができ
ず、低抵抗方位に配向した超急冷箔を得ることができな
い。冷却ロールの回転速度が(30d+976)/1
9.7を超えると、溶湯と冷却ロ−ルとの濡れ性が悪化
すると共に、箔が粉末状になるため、急冷速度が十分に
得ることができない。このため、低抵抗方位に配向した
超急冷箔を得ることができないと共に、箔の形状が一定
化せず、安定した性能を得ることができない。従って、
冷却ロールの回転速度は(8d+37)/19.7乃至
(30d+976)/19.7とすることが好ましい。
2 溶湯射出圧力が0.1kgf/cm2未満では、圧力が
不足して溶湯を射出することができない。一方、溶湯射
出圧力が7kgf/cm2を超えると、溶湯量、即ち、
溶湯の熱容量が大きくなりすぎて急冷速度が低下し、配
向性のよい箔を得ることができず、高性能の熱電材料を
得ることができない。従って、溶湯射出圧力は0.1乃
至7kgf/cm2とすることが好ましい。
2.3乃至(25P+377)/6.9 図5は縦軸に冷却ロールの回転速度、横軸に溶湯射出圧
力をとり、急冷箔の製造条件を示すグラフ図である。図
5に示すように、下記数式8及び9に示す直線により表
すことができる。
2.3未満では、冷却速度が低下し、必要な冷却速度を
得ることができない。このため、配向性の良い箔を得る
ことができず、高性能の熱電材料を得ることができな
い。一方、冷却ロールの回転速度が(25P+377)
/6.9を超えると、急冷箔が薄くなりすぎ粉末状にな
り箔の形状が一定化せず、配向性も崩れるため安定した
熱電材料を得ることができない。従って、冷却ロールの
回転速度は(P+4.5)/2.3乃至(25P+37
7)/6.9とすることが好ましい。
m 溶湯射出ノズルの口径が0.1mm未満では口径が小さ
すぎて溶湯を射出することができない。一方、溶湯射出
ノズルの口径が10mmを超えると、射出される溶湯の
熱容量が大きすぎて急冷が効かず、低抵抗方位に揃った
箔を形成することができない。このため、高性能の熱電
材料を形成することができない。従って、溶湯射出ノズ
ルの口径は0.1乃至10mmとすることが好ましい。
/9.9乃至(−2φ+69.5)/9.9 図6は縦軸に溶湯射出圧力、横軸にノズルの口径をと
り、急冷箔の製造条件を示すグラフ図である。図6に示
すように、下記数式10及び11に示す直線により表す
ことができる。
/9.9未満では溶湯の粘性及び溶湯とノズルとの間の
摩擦力のため、射出することができない。一方、溶湯射
出圧力が(−2φ+69.5)/9.9を超えると、射
出される溶湯の量が多すぎて急冷が効かず、低抵抗方位
に配向の揃った箔を形成することができない。このた
め、高性能の熱電材料を得ることができない。従って、
溶湯射出圧力は(−0.4φ+4.99)/9.9乃至
(−2φ+69.5)/9.9とすることが好ましい。
法の実施例について、その特性を比較例と比較して具体
的に説明する。
0.2Te2.85Se0.15+0.15重量%Sbの原料を使
用し、溶湯射出温度及び冷却ロ−ルの回転速度を表1に
示す条件で急冷箔を作製し、この急冷箔を使用して熱電
材料を作製した。この得られた熱電材料の熱起電力、熱
伝導率及び比抵抗を測定し、性能指数Zを上記数式1に
より算出した。これらの結果を表1に示す。
例No.46乃至48はBi0.5Sb1.5Te3+2重量%T
eの組成の熱電材料である。表1の実施例No.4乃至6
及び比較例No.50乃至56はBi1.8Sb0.2Te2.85
Se0.15+0.15重量%Sbの組成の熱電材料であ
る。
る実施例No.1乃至6は比抵抗値が低いため、性能指数
が4.21×10-31/Kを超える高い値となった。
能指数を得ることができなかった。比較例No.46は冷
却ロ−ルの回転速度が本発明の範囲未満であるため、低
抵抗方位に配向した急冷箔を得ることができず、性能指
数が低くなった。
本発明の範囲を超えているため、低抵抗方位に配向した
急冷箔を得ることができず、性能指数が低くなった。
00R+77800)/78の値よりも大きいため、低
抵抗方位に配向した急冷箔を得ることができず、性能指
数が低くなった。
0R+46760)/78の値よりも小さいため、低抵
抗方位に配向した急冷箔を得ることができず、性能指数
が低くなった。
0R+46760)/78の値よりも小さいため、低抵
抗方位に配向した急冷箔を得ることができず、性能指数
が低くなった。
0R+46760)/78の値よりも小さいため、低抵
抗方位に配向した急冷箔を得ることができず、性能指数
が低くなった。
00R+77800)/78の値よりも大きいため、低
抵抗方位に配向した急冷箔を得ることができず、性能指
数が低くなった。
本発明の範囲を超えているため、低抵抗方位に配向した
急冷箔を得ることができず、性能指数が低くなった。
本発明の範囲未満であるため、急冷速度を十分に得るこ
とができず、性能指数が低くなった。
範囲未満であるため、溶湯を射出することできなかっ
た。
範囲を超えているため、組成が変化してしまい低抵抗方
位に配向した急冷箔を得ることができず、性能指数が低
くなった。
冷却用のロ−ル表面温度及び溶湯射出温度を表2に示す
条件で急冷箔を作製し、この急冷箔を使用して熱電材料
を作製した。この得られた熱電材料の熱起電力、熱伝導
率及び比抵抗を測定し、性能指数Zを上記数式1により
算出した。これらの結果を表2に示す。
る実施例No.8乃至17は比抵抗値が低いため、性能指
数が4.22×10-31/Kを超える高い値となった。
能指数を得ることができなかった。比較例No.57は溶
湯射出温度が本発明の範囲を超えているため、組成が変
化してしまい低抵抗方位に配向した急冷箔を得ることが
できず、性能指数が低くなった。
のロ−ル表面温度の値が(TL−100)/100の値
よりも小さいため、急冷時に歪が過度に入り結晶性が崩
れ、低抵抗の方位に配向を揃えることができないため、
性能指数が若干低かった。
のロ−ル表面温度の値が(TL−100)/100の値
よりも小さいため、急冷時に歪が過度に入り結晶性が崩
れ、低抵抗の方位に配向を揃えることができないため、
性能指数が若干低かった。
のロ−ル表面温度の値が(TL+2900)/50の値
よりも大きいため、溶湯と冷却ロ−ルとの濡れ性が悪化
し、低抵抗の方位に配向を揃えることができないため、
性能指数が若干低かった。
のロ−ル表面温度の値が(TL+2900)/50の値
よりも大きいため、溶湯と冷却ロ−ルとの濡れ性が悪化
し、低抵抗の方位に配向を揃えることができないため、
性能指数が若干低かった。
範囲未満であるため、溶湯を射出することができなかっ
た。
を使用し、冷却用のロ−ルの回転速度及びノズル口径を
表3に示す条件で急冷箔を作製し、この急冷箔を使用し
て熱電材料を作製した。この得られた熱電材料の熱起電
力、熱伝導率及び比抵抗を測定し、性能指数Zを上記数
式1により算出した。これらの結果を表3に示す。
の範囲に入る実施例No.18乃至24は比抵抗値が低い
ため、性能指数が4.21×10-31/Kを超える高い
値となった。
指数を得ることができなかった。比較例No.63は請求
項1は満足するもののノズル口径が本発明の範囲未満で
あるため、均質な急冷箔を得ることができない。このた
め、性能指数が低かった。
のノズル口径が本発明の範囲を超えるため、溶湯の熱容
量が大きく急冷箔を得ることができない。このため、性
能指数が低かった。
のロ−ル回転速度の値が(30d+976)/19.7
の値よりも大きいため、原料と冷却ロ−ルとの濡れ性が
悪化すると共に、箔が粉末状になる。このため、結晶の
配向が乱れ、性能指数が低かった。
のロ−ル回転速度の値が(8d+37)/19.7の値
よりも小さいため、急冷速度が十分に得ることができな
い。このため、性能指数が低かった。
のロ−ル回転速度の値が(30d+976)/19.7
の値よりも大きいため、原料と冷却ロ−ルとの濡れ性が
悪化すると共に、箔が粉末状になる。このため、結晶の
配向が乱れ、性能指数が低かった。
本発明の範囲未満であるため、急冷速度を十分に得るこ
とができず、性能指数が低くなった。
本発明の範囲を超えているため、低抵抗方位に配向した
急冷箔を得ることができず、性能指数が低くなった。
Br2の原料を使用し、冷却用のロ−ルの回転速度及び
溶湯射出圧力を表4に示す条件で急冷箔を作製し、この
急冷箔を使用して熱電材料を作製した。この得られた熱
電材料の熱起電力、熱伝導率及び比抵抗を測定し、性能
指数Zを上記数式1により算出した。これらの結果を表
4に示す。
の範囲に入る実施例No.25乃至34は比抵抗値が低い
ため、性能指数が4.21×10-31/Kを超える高い
値となった。特に、実施例No.33及び34は比抵抗値
が低いために起電力が同じ値のものに比べて高い性能指
数を得ることができる。
能指数を得ることができなかった。比較例No.70は溶
湯射出圧力が本発明の範囲未満であるため、溶湯を射出
することができなかった。
の溶湯射出圧力が本発明の範囲を超えているため、溶湯
量即ち、溶湯の熱容量が大きくなりすぎて急冷速度が低
下し、配向性の良い箔を得ることができない。このた
め、性能指数が低かった。
のロ−ル回転速度の値が(P+4.5)/2.3の値よ
りも小さいため、原料の冷却速度が低下し、必要な冷却
速度を得ることができない。このため、性能指数が低か
った。
のロ−ル回転速度の値が(25P+377)/6.9の
値よりも大きいため、急冷箔が薄くなりすぎ粉末状にな
り、箔の形状が一定化せず配向性も崩れる。このため、
性能指数が低かった。
本発明の範囲を超えているため、低抵抗方位に配向した
急冷箔を得ることができず、性能指数が低くなった。
本発明の範囲未満であるため、急冷速度を十分に得るこ
とができず、性能指数が低くなった。
lの原料を使用し、ノズルの口径及び溶湯射出圧力を表
5に示す条件で急冷箔を作製し、この急冷箔を使用して
熱電材料を作製した。この得られた熱電材料の熱起電
力、熱伝導率及び比抵抗を測定し、性能指数Zを上記数
式1により算出した。これらの結果を表5に示す。
の範囲に入る実施例No.35乃至45は比抵抗値が低い
ため、性能指数が4.27×10-31/Kを超える高い
値となった。
能指数を得ることができなかった。
出圧力の値が(−2φ+69.5)/9.9の値より大
きいため、射出される溶湯の熱容量が大きすぎて急冷す
ることができず、低抵抗方位に配向の揃った箔を形成す
ることができない。このため、性能定数が低くくなっ
た。
0.4φ+4.99)/9.9の値よりも小さいため、
溶湯の粘性及び溶湯とノズルとの間の摩擦力のため、射
出することができない。このため、性能指数が低くなっ
た。
0.4φ+4.99)/9.9の値よりも小さいため、
溶湯の粘性及び溶湯とノズルとの間の摩擦力のため、射
出することができない。このため、性能指数が低くくな
った。
2φ+69.5)/9.9の値より大きいため、射出さ
れる溶湯の熱容量が大きすぎて急冷することができず、
低抵抗方位に配向の揃った箔を形成することができな
い。このため、性能定数が低くくなった。
囲を超えているため、射出される溶湯の熱容量が大きす
ぎて急冷することができず、低抵抗方位に配向の揃った
箔を形成することができない。このため、性能定数が低
くくなった。
囲未満であるため、口径が狭すぎて溶湯を射出すること
ができなかった。
溶湯射出の溶湯射出温度をTLとし、冷却ロ−ルの回転
速度をRとするとき、TLは600乃至1100℃であ
り、Rは2乃至80m/秒であり、TLは(20R+4
6760)/78乃至(100R+77800)/78
である条件で急冷箔を製造することにより、低抵抗に配
向された結晶を有する急冷箔を製造することができる。
このため、性能指数が高い熱電材料を得ることができ
る。
示す模式図である。
転速度をとり、急冷箔の製造条件を示すグラフ図であ
る。
出温度をとり、急冷箔の製造条件を示すグラフ図であ
る。
出ノズルと冷却ロールとの間隔をとり、急冷箔の製造条
件を示すグラフ図である。
出圧力をとり、急冷箔の製造条件を示すグラフ図であ
る。
とり、急冷箔の製造条件を示すグラフ図である。
法を示す模式図である。
口部、 5;急冷箔、100;石英管、 101;原
料、 102;管状炉、 103;凝固材
Claims (7)
- 【請求項1】 原料を溶融し、前記原料を溶湯射出ノズ
ルから冷却ロ−ルに溶湯射出する液体急冷方法により急
冷箔を作製し、この急冷箔をそのまま又は粉砕した後、
固化成形して熱電材料を作製する熱電材料の製造方法に
おいて、 前記原料はBi及びSbからなる群から選択された少な
くとも1種の元素と、Te及びSeからなる群から選択
された少なくとも1種の元素と、を含有する組成を有
し、前記溶湯射出の溶湯射出温度をTLとし、前記冷却
ロ−ルの回転速度をRとするとき、前記TLは600乃
至1100℃であり、前記Rは2乃至80m/秒であ
り、前記TLは(20R+46760)/78乃至(1
00R+77800)/78である条件で急冷箔を製造
する工程を有することを特徴とする熱電材料の製造方
法。 - 【請求項2】 前記原料は更にI、Cl、Hg、Br、
Ag及びCuからなる群から選択された少なくとも1種
の元素を含有することを特徴とする請求項1に記載の熱
電材料の製造方法。 - 【請求項3】 前記冷却ロ−ルの表面温度をTRとする
とき、前記TRは5乃至80℃であり、前記TRは(T
L−100)/100乃至(TL+2900)/50で
ある条件で急冷箔を製造する工程を有することを特徴と
する請求項1又は2に記載の熱電材料の製造方法。 - 【請求項4】 前記溶湯射出ノズルと前記冷却ロールと
の間隔をdとするとき、前記dは0.3乃至20mmで
あり、前記Rは(8d+37)/19.7乃至(30d
+976)/19.7である条件で急冷箔を製造する工
程を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか
1項に記載の熱電材料の製造方法。 - 【請求項5】 前記溶湯射出の圧力をPとするとき、前
記Pは0.1乃至7kgf/cm2であり、前記Rは
(P+4.5)/2.3乃至(25P+377)/6.
9である条件で急冷箔を製造する工程を有することを特
徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の熱電材
料の製造方法。 - 【請求項6】 前記溶湯射出ノズルの口径をφとすると
き、前記φは0.1乃至10mmであり、前記Pは(−
0.4φ+4.99)/9.9乃至(−2φ+69.
5)/9.9である条件で急冷箔を製造する工程を有す
ることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記
載の熱電材料の製造方法。 - 【請求項7】 前記急冷箔を製造する工程の後工程とし
て、前記急冷箔を還元ガス雰囲気で熱処理し、固化成形
する工程を有することを特徴とする請求項1乃至6のい
ずれか1項に記載の熱電材料の製造方法。
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1999
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