JP2000298207A - カラーフィルターおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐熱性に優れ、凹凸の少ない平坦な透明導電
膜が形成でき、透明基板との接着強度が大きい保護膜を
有するカラーフィルターおよびその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域にお
いてほとんど吸収のない含フッ素芳香族樹脂を含む保護
膜を有するカラーフィルター。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
に関するものである。より詳しくは、本発明は、耐熱性
に優れ、凹凸の少ない平坦な透明導電膜が形成でき、さ
らに、透明基板との接着強度が大きい保護膜を有するカ
ラーフィルター、特にカラー液晶表示装置に使用される
カラーフィルターおよびその製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶表示装置は、透明電極を設け
たガラス等の透明な基板を１ないし１０μｍ程度の間隔
を設けてその間に液晶物質を封入し、電極間に印加した
電圧によって液晶を一定の方向に配向させて透明部分と
不透明部分を形成して画像を表示するが、この際、カラ
ー液晶表示装置には、いずれかの透明電極基板上に光の
三原色に対応する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の三
色のカラーフィルターが設けられており、透明電極への
印加電圧の調整によって液晶の光の透過を制御してＲ、
Ｇ、Ｂの３色のフィルターを透過する光量を制御して３
原色の加色による発色によってカラー表示を行ってい
る。

【０００３】カラー液晶表示装置のカラーフィルターで
は、透明基板、着色層、保護膜、及び透明導電膜がこの
順で積層されている。このうち、保護膜は熱、水蒸気や
エッチングに使用される薬剤から着色層を保護すると共
に、透明導電膜の基材としての役割を果たしている。保
護膜としては、従来、透明でかつその後のカラーフィル
ターの製造工程での熱処理温度に耐える材料から製造さ
れるものが挙げられるが、特に、熱硬化性のウレタン樹
脂、アクリル樹脂（例えば、特開平１−１０２４２９
号、特開昭６４−３５４１７号、特開昭６４−７０７９
２号、特開平５−７０１２２号、特公平５−７０１２２
号公報）やポリイミド樹脂（特開昭６２−１６３０１７
号、特開平１−１１４８２０号公報）、および光硬化性
のアクリル樹脂（例えば、特許第２８３９９３６号、特
開平５−４０２０４号、特開平５−２６４８１１号公
報）やポリイミド樹脂から製造される保護膜；２種の材
料から形成される保護膜（例えば、特許第２６４００９
７号公報）；ならびに２層状の保護膜（例えば、特開昭
６３−２６９５７０号、特開平２−３７３２５号、特開
平６−４３３１７号公報）などが使われている。

【０００４】しかしながら、カラー液晶表示装置の保護
膜として熱硬化性樹脂を使用した場合には、保護膜がカ
ラーフィルターの全面に形成されるので、保護膜を所定
の領域に限定することが困難である。また、保護膜がカ
ラーフィルター全面に形成されている場合には、カラー
フィルターと対向電極を接着剤によってはり合わせる際
に対向電極との接着を保護膜を介して行うこととなるた
めに充分な接着強度が得られないという問題がある。ま
た、カラーフィルターと透明電極とをはり合わせた後の
表示品質を検査した際にその品質に問題があって不良品
と判断された場合、カラーフィルターを再利用するため
に液晶のシール剤を剥離し、さらにタブを剥離する際
に、着色層の外周部の全面に保護膜を有するとシール剤
あるいはタブと共にカラーフィルターに形成された透明
電極もともに剥離してしまい、カラーフィルターの再利
用ができないという問題もある。

【０００５】このような問題を考慮して、保護膜を形成
する部分を特定の部分に限るため、硬化すべき部分をマ
スクによって限定することが容易な光硬化性樹脂を用い
ることが試みられた。しかしながら、光硬化性樹脂とし
て従来から使用されている感光性ポリイミド樹脂は、吸
湿性が高く、また電極の形成等の際に使用するアルカリ
性の溶液に対する耐食性に欠ける上、高価であるため、
実用上好ましくない。また、従来の感光性アクリル樹脂
は、耐熱性に乏しく更に保護膜上に比較的厚い透明導電
性膜を形成した際に、カラーフィルター上にクラックや
しわが発生するという欠点を有する。

【０００６】また、カラー液晶表示装置のカラーフィル
ターとして利用するためには、着色層のＲ、Ｇ、Ｂの位
置に対応する部分の液晶を駆動する透明導電膜（透明電
極）が、着色層の保護膜上に設けられている。カラーテ
レビの表示装置のように透明基板上に形成した薄膜トラ
ンジスタ（ＴＦＴ）の対極として作用する透明電極を保
護膜上に形成するアクティブ方式の液晶の駆動において
は透明電極の平坦性の問題は特に重要ではないが、パソ
コンのカラーディスプレーに使用されているＳＴＮ方式
による液晶の駆動方法の場合には、透明電極の平坦性が
大きな問題となる。このため、保護膜が十分平坦である
か否かが透明電極の平坦性を得る上での大きな鍵とな
る。

【０００７】さらに、保護膜を着色層上に限定する場合
にも着色層の周囲の壁面および壁面と隣接した透明基板
上に保護膜を形成して着色層を保護するが、着色層の周
辺部の透明基板と保護膜との接着強度が十分でない場合
には保護膜が透明基板から剥離したり、透明電極の成膜
工程や液晶表示装置の組立工程において使用される薬剤
や上記工程中で生じる水蒸気等が透明基板と保護膜との
間を浸透して着色層に悪影響を及ぼす。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、カラーフィルターの製造工程、特に透明導電膜
の形成工程における熱処理から着色層を有効に保護で
き、これによりカラーフィルター上にクラックやしわが
発生が防止できる保護膜を有するカラーフィルターおよ
びその製造方法を提供することである。

【０００９】本発明の他の目的は、カラーフィルターの
製造工程、特に透明導電膜の形成工程における熱処理か
ら着色層を有効に保護できると同時に、凹凸の少ない平
坦な透明導電膜を形成することが可能な保護膜を有する
カラーフィルターおよびその製造方法を提供することで
ある。

【００１０】本発明のさらなる他の目的は、カラーフィ
ルターの製造工程、特に透明導電膜の形成工程における
熱処理から着色層を有効に保護でき、凹凸の少ない平坦
な透明導電膜を形成することが可能であり、かつ透明基
板と保護膜との接着強度を向上させて保護膜の周囲から
の剥離や透明基板及び保護膜間に透明電極の成膜工程や
液晶表示装置の組立工程において使用される薬剤や上記
工程中で生じる水蒸気が浸透するのを有効に防止できる
保護膜を有するカラーフィルターおよびその製造方法を
提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記諸目
的を達成するために鋭意検討した結果、含フッ素芳香族
樹脂が耐熱性や耐薬品性に優れていることに着目し、こ
のような含フッ素芳香族樹脂を用いて保護膜を製造する
ことにより、耐熱性及び耐薬品性に優れた保護膜が形成
でき、保護膜上に比較的厚い透明導電性膜を形成する際
であっても、カラーフィルター上にほとんどクラックや
しわが発生しないことを発見した。

【００１２】また、本発明者らは、含フッ素芳香族樹脂
をＣＶＤ処理により保護膜とすることにより、着色層上
に形成されたＲ、Ｇ、Ｂ部分と基板表面との高さが違う
（Ｒ、Ｇ、Ｂ部分及び基板表面により凹凸部が形成され
る）にもかかわらず、凹凸がきわめて少ない平坦性の良
好な表面を有する保護膜となり、これによりカラーフィ
ルター上の透明電極が対向基板と短絡したり、あるいは
凹凸による液晶層の厚さの違いによる表示むらが生じた
りすることを有効に防止できることをも発見した。

【００１３】さらに、本発明者らは、含フッ素芳香族樹
脂の保護膜を用いることにより、優れた基板と保護膜と
の密着性が得られ、これにより保護膜が透明基板から剥
離したり、透明電極の成膜工程や液晶表示装置の組立工
程において使用される薬剤や上記工程中で生じる水蒸気
等が透明基板と保護膜との間を浸透しないカラーフィル
ターの製造方法が達成できることをも発見した。これら
の知見に基づいて、本発明を完成するに至った。

【００１４】すなわち、上記諸目的は、以下の（ア）〜
（オ）によって達成される。

【００１５】（ア）可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域
における透過率が９０％以上である含フッ素芳香族樹脂
を含む保護膜を有するカラーフィルター。

【００１６】（イ）透明基板上に着色層を形成し、該着
色層上に前記（ア）に記載の含フッ素芳香族樹脂の薄膜
を保護膜として形成することからなるカラーフィルター
の製造方法。

【００１７】（ウ）前記保護膜が含フッ素芳香族化合物
の化学的蒸着によって形成される、前記（イ）に記載の
方法。

【００１８】（エ）前記含フッ素芳香族化合物が以下の
群から選ばれるものである、前記（ウ）に記載の方法：

【００１９】

【化１】

【００２０】ただし、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²及びＸ³は、それぞ
れ独立して、フッ素原子、塩素原子またはメチル基を表
し；Ｚ¹及びＺ²は、それぞれ独立して、臭素原子、塩素
原子またはヨウ素原子を表し；ｋ及びｋ’は、それぞれ
独立して、０〜４の整数であり；ｍ及びｍ’は、それぞ
れ独立して、０〜３の整数であり；ならびにｎは０〜２
の整数である。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。

【００２２】第一の概念によると、本発明は、可視光
（４６０〜６１０ｎｍ）領域における透過率が９０％以
上である含フッ素芳香族樹脂を含む保護膜を有するカラ
ーフィルターを提供する。

【００２３】本発明において、含フッ素芳香族樹脂は、
可視光領域においてほとんど吸収のない、すなわち、可
視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域全域にわたって実質的
に透明であることを必須とし、詳しくは、含フッ素芳香
族樹脂を５０重量％以上含む膜厚１μｍの膜での、可視
光（４６０〜６１０ｎｍ）領域における透過率が９０％
以上、より好ましくは９５％以上、最も好ましくは９８
％以上である。

【００２４】本発明において保護膜に使用される含フッ
素芳香族樹脂は、可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域に
おいてほとんど吸収のないものであれば特に制限される
ものではなく、含フッ素芳香族化合物を重合することに
よって得られる。本発明において使用される含フッ素芳
香族化合物としては、特に制限されないが、具体的に
は、環状骨格部に２個のＣＦ₂Ｚ（Ｚ＝Ｂｒ、Ｉまたは
Ｃｌ）基を有するベンゼン、ビフェニル、フェニルエー
テル、インデン、インダン、ナフタレン、１，４−ジヒ
ドロナフタレン、テトラリン、ビフェニレン、アセナフ
チレン、アセナフテン、フルオレン、フェナントレン、
アントラセン、フルオランテン、アセアントレン、ピレ
ン、１−フェニルナフタリン及び２−フェニルナフタリ
ン；ならびに下記式（１）〜（３）で示される化合物が
挙げられる。

【００２５】

【化２】

【００２６】

【化３】

【００２７】

【化４】

【００２８】上記式（１）及び（２）において、Ｘ¹及
びＸ²は、それぞれ独立して、フッ素原子、塩素原子ま
たはメチル基、好ましくはフッ素原子を表し；ならびに
ｋ及びｋ’は、それぞれ独立して、０〜４、好ましくは
０、３、４の整数、より好ましくは０、４の整数であ
る。また、上記式（３）において、Ｙ¹及びＹ²は、それ
ぞれ独立して、フッ素原子またはメチル基、好ましくは
フッ素原子を表し；ｐ及びｐ’は、それぞれ独立して、
１〜４、好ましくは１、３、４の整数、より好ましくは
１、４の整数であり；かつＹ¹及びＹ²の少なくとも一は
フッ素原子を表す。

【００２９】上記した含フッ素芳香族化合物のうち、環
状骨格部において２個のＣＦ₂Ｚ（Ｚ＝Ｂｒ、Ｉまたは
Ｃｌ；以下、同様）基を有するベンゼン、ナフタレン及
びアントラセン；ならびに式（１）〜（３）で示される
化合物、より好ましくは環状骨格部において２個のＣＦ
₂Ｚ基を有するベンゼン、ナフタレン及びアントラセン
が好ましく使用される。さらに、本発明において好まし
く使用される環状骨格部に２個のＣＦ₂Ｚ基を有するベ
ンゼン、ナフタレン及びアントラセンにおいて、置換基
であるＣＦ₂Ｚ基の結合位置は、重合する際の含フッ素
芳香族樹脂の２次構造の点を考慮すると、環状骨格部に
おいて対称の位置となることが望ましく、即ち、下記６
種の含フッ素芳香族化合物が本発明において特に好まし
く使用される。

【００３０】

【化５】

【００３１】上記式において、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²及びＸ
³は、それぞれ独立して、フッ素原子、塩素原子または
メチル基、好ましくはフッ素原子を表し；Ｚ¹及びＺ
²は、それぞれ独立して、臭素原子、塩素原子またはヨ
ウ素原子、好ましくは臭素原子を表し；ｋ及びｋ’は、
それぞれ独立して、０〜４、好ましくは０、３、４の整
数、より好ましくは０、４の整数であり；ｍ及びｍ’
は、それぞれ独立して、０〜３、好ましくは０、３の整
数であり；ならびにｎは０〜２、好ましくは０、２の整
数である。

【００３２】本発明によると、含フッ素芳香族樹脂は、
上記含フッ素芳香族化合物を、必要であれば重合開始剤
等の他の添加剤と共に重合することによって得られる。
含フッ素芳香族樹脂としては、好ましくは、以下の６種
のいずれかが使用される。なお、本発明において、一種
の含フッ素芳香族樹脂が保護膜を形成することが好まし
いが、所望の特性によっては、二種以上の含フッ素芳香
族樹脂から保護膜を形成してもよい。

【００３３】

【化６】

【００３４】上記式において、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²、Ｘ³、
ｋ、ｋ’、ｍ、ｍ’、及びｎは、上記含フッ素芳香族化
合物の好ましい例で記載された定義と同様であり、なら
びにｑは、保護膜の所定の膜厚によって異なるが、平
均、通常、１，０００〜１，０００，０００、好ましく
は１０，０００〜１００，０００である。

【００３５】本発明において、保護膜は、含フッ素芳香
族樹脂に加えて、さらに他の成分を含んでいてもよい。
さらなる成分としては、例えば、ポリイミド、ポリアミ
ドイミド、ポリ尿素、ポリウレタン、及びポリアゾメチ
ンなどが挙げられる。

【００３６】第二の概念によると、本発明は、透明基板
上に着色層を形成し、この着色層上に本発明の含フッ素
芳香族樹脂の薄膜を保護膜として形成することからなる
カラーフィルターの製造方法を提供する。

【００３７】以下に、上記概念を図１を参照しながら説
明する。

【００３８】図１は、本発明の一実施態様によるカラー
フィルターの断面図を示すものである。本発明におい
て、カラーフィルターの製造は、周知の方法により行う
ことができ、例えば、図示したものを例にとると、ガラ
ス基板上に、印刷法やフォトリソグラフィー法によりブ
ラックマトリックスと、色フィルターの赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）及び青（Ｂ）等の染料、顔料等の色材による各色
層を形成した後、着色層の上に本発明による保護膜を形
成し、さらに、保護膜上に透明導電膜（透明電極）を形
成することによって行われる。

【００３９】本発明において、透明基板の素材として
は、光透過性及び好ましくは耐熱性を有するものが使用
されるが、特に制限されず公知のものが使用できる。こ
のような透明基板を構成する素材の例としては、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、
ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホ
ン、ポリビニルアルコールや酢酸セルロース等の高分子
化合物；ソーダガラスや硼珪酸ガラス等のガラス；およ
び石灰やサファイア等の無機物質などが挙げられる。

【００４０】本発明において、このような透明基板は、
公知の方法を用いて、上記素材を板状、シート状あるい
はフィルム状に成形することによって製造される。ま
た、透明基板の厚みは、目的とする特性及びその材質に
合わせて適宜選択することができる。

【００４１】本発明において、着色層もまた、特に制限
されず公知のものが使用できる。具体的には、図１に示
されるような赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の組み合
わせあるいはシアン、マゼンタ及びイエローの組み合わ
せ；ならびに上記組み合わせのうち２種の画素を有する
ものが挙げられる。また、これらの画素の配列は、スト
ライプ状やモザイク状など、規則的であればいずれの配
列でもよい。さらに、着色層の厚みは、透明基板の場合
と同様、用途及びその材質などに合わせて適宜選択する
ことができる。

【００４２】本発明において、着色層の表面に形成され
る保護膜は、本願発明による含フッ素芳香族樹脂からな
ることを必須とし、これにより、たとえ保護膜上に厚い
透明電極を形成しても、クラックやしわが発生せず、同
時に凹凸の少ない平坦性の優れた膜であって透明基板と
の接着性の優れた保護膜が得られる。

【００４３】本発明において、保護膜の厚みは、前記と
同様、用途及びその材質などに合わせて適宜選択するこ
とができる。

【００４４】また、本発明において、保護膜の着色層上
への形成方法としては、特に制限されず公知の方法が使
用されるが、例えば、スピンコーティング、ロールコー
ティング、スプレイコーティング、バーコーティング、
フレキソ印刷、および化学的蒸着（ＣＶＤ）などの方法
により、上記含フッ素芳香族化合物を着色層上で重合し
て本発明による含フッ素芳香族樹脂膜を形成する方法な
どが挙げられ、これらのうち、凹凸の少ない平滑な保護
膜の形成が可能である点などを考慮すると、化学的蒸着
（ＣＶＤ）法が好ましい。

【００４５】ここで、化学的蒸着（ＣＶＤ）により含フ
ッ素芳香族樹脂の保護膜を着色膜上に形成する実施態様
を以下に詳述する。

【００４６】本発明において使用される化学的蒸着（Ｃ
ＶＤ）としては、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ及び光ＣＶ
Ｄ等公知の化学的蒸着法が使用されるが、これらのう
ち、熱によって活性種を容易に生成することができるか
ら、熱ＣＶＤが好ましく使用され、特に、特開平６−３
３，２２４号に記載される方法が好ましく使用される。

【００４７】また、ＣＶＤ工程において、上記含フッ素
芳香族化合物を必須に使用するが、必要であれば、アル
ゴン、窒素、ヘリウムガス等のキャリアガスをさらに使
用してもよい。

【００４８】さらに、ＣＶＤ法において、反応条件は使
用するＣＶＤの種類および目的とする薄膜の均一性や厚
さなどによって異なるが、例えば、熱ＣＶＤ法を用いる
際には、温度は、蒸発室では、０〜３００℃、好ましく
は１００〜２００℃であり、分解室では、４００〜１０
００℃、好ましくは６００〜８００℃であり、さらに蒸
着室では、−５０〜３００℃、好ましくは室温である。
この際、抵抗線加熱、高周波誘導加熱、赤外線ランプ加
熱やレーザビーム加熱等の公知の手段によって上記温度
範囲に設定できる。また、圧力は、７６０〜１０ｍｍＴ
ｏｒｒである。

【００４９】さらにまた、ＣＶＤ法に使用される反応装
置としては、特に制限されず、例えば、特開平６−３
３，２２４号に記載される装置、常圧ＣＶＤの際には、
縦型常圧ＣＶＤ装置、インライン型常圧ＣＶＤ装置やベ
ルトコンベア型常圧ＣＶＤ装置などが；減圧ＣＶＤの際
には、ホットウォール型減圧ＣＶＤ装置やコールドウォ
ール型減圧ＣＶＤ装置などが；プラズマＣＶＤの際に
は、丸型平行平板電極型プラズマＣＶＤ装置、誘導コイ
ル型プラズマＣＶＤ装置、ホットウォール型プラズマＣ
ＶＤ装置やマイクロ波電子サイクロトロン共鳴（ＥＣ
Ｒ）型プラズマＣＶＤ装置などが；ならびに光ＣＶＤの
際には、低圧水銀ランプ、エキシマレーザ、アルゴンレ
ーザ、超高圧水銀ランプ、重水素ランプ、希ガス共鳴
線、ハロゲンランプやＦｅ／Ｈｇ金属・ハロゲンランプ
を光源として用いたＣＶＤ装置およびこれらの２種以上
のフォトンを同時に吸収させて所定のエネルギー準位ま
で電子を励起させる多光子吸収法などが挙げられる。こ
れらのうち、特開平６−３３，２２４号に記載される装
置が特に好ましく使用される。

【００５０】上記態様では、保護膜の形成に、本発明に
よる含フッ素芳香族化合物、及び必要であればキャリア
ガスを使用したが、さらに必要であれば、重合開始剤を
使用してもよい。重合開始剤を使用する際の重合開始剤
の例としては、ベンゾフェノン、イルガキュアー１８４
（チバガイギー社製）、イルガキュアー９０７（チバガ
イギー社製）、イルガキャアー６５１（チバガイギー社
製）、およびダロキュアー（メルク社製）などが挙げら
れる。

【００５１】次に、このようにして着色膜上に本発明に
よる含フッ素芳香族樹脂の保護膜が形成された後は、保
護膜上に既知の方法を用いてさらに透明導電性膜を設け
て、本願発明のカラーフィルターが得られる。

【００５２】

【実施例】以下、本発明の実施例により具体的に説明す
る。

【００５３】実施例１ 赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の顔料を、それ
ぞれ、下記表１に示すような組成比で、感光性樹脂に分
散させて、赤色、緑色及び青色の着色感光性樹脂を作製
する。

【００５４】

【表１】 本実施例において、基板としては、厚さ１．１ｍｍのガ
ラス基板（旭硝子（株）製ＡＬ材）を充分に洗浄して用
いた。

【００５５】次に、この基板上に、上記表１の組成の赤
色感光性樹脂を１．２μｍの膜厚になるように塗布し、
その後温度７０℃で３０分間オーブン中で乾燥させ、水
銀ランプを用いて露光し、水によるスプレー現像を１分
間行い、赤色画素を形成すべき領域に赤色のレリーフ画
像を形成し、さらに１５０℃で３０分間、加熱硬化させ
た。

【００５６】さらに、同様の工程を繰り返して、緑色画
素を形成すべき領域に緑色のレリーフ画素を形成し、青
色画素を形成すべき領域に青色のレリーフ画素を形成す
ることによって、着色層を基板上に形成した。

【００５７】続いて、下記式の含フッ素芳香族化合物を
アルゴンガス中に０．５（ｖ／ｖ）％で、蒸発室におい
て１７５℃の温度かつ１Ｔｏｒｒの圧力で、分解室にお
いて６８０℃の温度でかつ０．５Ｔｏｒｒの圧力で、さ
らに蒸着室において３０℃の温度でかつ０．１Ｔｏｒｒ
の圧力で２０分間、熱ＣＶＤ処理することによって、上
記で作製された着色層上に１μｍの厚さの保護膜を成膜
した。

【００５８】

【化７】

【００５９】次に、このようにして形成された保護膜上
にスパッタリング法により、厚さ０．４μｍのＩＴＯ膜
（Indium Tin Oxide：酸化インジウムと酸化錫の複合
膜）を被覆し、透明導電膜を形成した。この透明導電膜
の平坦性を探針式膜厚計によって測定したところ、平坦
性は良好であった。

【００６０】また、得られたカラーフィルターを４００
℃で加熱したところ、異状は認められず、カラーフィル
ターは充分な耐熱性を有することも示された。

【００６１】実施例２ 実施例１と同様の方法にしたがって、含フッ素芳香族樹
脂の保護膜を着色層上に形成した。保護膜とガラス基板
との接着強度を碁盤目試験（ＪＩＳ規格）により評価し
たところ、保護膜の基板からの剥離は全く認められなか
った。したがって、本発明の含フッ素芳香族樹脂の保護
膜は、基板との密着性の面で優れた特性を発揮している
ことが分かった。また、本発明の含フッ素芳香族樹脂の
保護膜の透明性あるいは光の透過特性の変化を肉眼で観
察したことろ、特段の変化は認められなかった。

【００６２】比較例１ 実施例１において、含フッ素芳香族化合物の代わりにポ
リイミドを用いて保護膜を形成する以外は、実施例１と
同様にして、カラーフィルターを製造した。このカラー
フィルターについて、実施例２と同様にして、保護膜と
ガラス基板との接着強度を評価したところ、保護膜の一
部が着色層から剥離していた。

【００６３】比較例２ 実施例１において、保護膜の形成をＣＶＤの代わりにス
ピンコーティングを用いて行った以外は、実施例１と同
様にして、カラーフィルターを製造した。このカラーフ
ィルターについて、実施例１と同様にして、透明導電膜
の平坦性を測定したところ、保護膜上にかなりの凹凸が
認められた。

【００６４】

【発明の効果】上述したように、本願発明のカラーフィ
ルターは、可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域において
ほとんど吸収のない、好ましくは膜厚１μｍの際の可視
光（４６０〜６１０ｎｍ）領域全域における透過率が９
０％以上の含フッ素芳香族樹脂を含むことを特徴とする
ものである。したがって、本願発明のカラーフィルター
は耐熱性や耐薬品性に優れた含フッ素芳香族樹脂からな
る保護膜を有するので、耐熱性及び耐薬品性に優れた保
護膜が形成でき、カラーフィルターの製造工程、特に透
明導電膜の形成工程における熱処理から着色層を有効に
保護でき、さらに保護膜上に比較的厚い透明導電性膜を
形成する際であっても、カラーフィルター上にクラック
やしわが発生が防止できるという利点がある。

【００６５】また、本願発明のカラーフィルターの製造
方法は、透明基板上に着色層を形成し、この着色層上に
本願発明による含フッ素芳香族樹脂の薄膜を保護膜とし
て形成する、好ましくは保護膜を含フッ素芳香族化合物
の化学的蒸着（ＣＶＤ）によって形成することからなる
ことを特徴とするものである。したがって、本願発明の
方法は、上記利点に加えて、以下の多くの利点が得られ
る。

【００６６】（ａ）着色層上に形成されたＲ、Ｇ、Ｂ部
分と基板表面との高さがかなり違う（Ｒ、Ｇ、Ｂ部分及
び基板表面により凹凸部が形成される）場合でも、凹凸
がきわめて少ない平坦性の良好な表面を有する保護膜が
形成でき、これによりカラーフィルター上の透明電極が
対向基板と短絡したり、あるいは凹凸による液晶層の厚
さの違いによる表示むらが生じたりすることを有効に防
止できる。

【００６７】（ｂ）基板と保護膜との密着性に優れるの
で、保護膜が透明基板から剥離したり、透明電極の成膜
工程や液晶表示装置の組立工程において使用される薬剤
や上記工程中で生じる水蒸気等が透明基板と保護膜との
間を浸透するのを有効に防止できる。

【００６８】（ｃ）本願発明による含フッ素芳香族樹脂
は優れた薬剤耐性を有するため、透明導電膜のパターニ
ングの際に基板と着色層が良好に保護される。

【図面の簡単な説明】

【図１】は、本発明の一実施態様によるカラーフィルタ
ーの断面図を示す。

【付号の説明】

１ ブラックマトリックス ２ 着色層（Ｒ，Ｇ，Ｂ） ３ 保護膜 ４ 透明導電膜 ５ 透明基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅子 佳延 茨城県つくば市観音台１丁目25番地12 株 式会社日本触媒内 Ｆターム(参考） 2H048 BA02 BB02 BB14 BB42

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可視光（４６０〜６１０ｎｍ）領域にお
   ける透過率が９０％以上である含フッ素芳香族樹脂を含
   む保護膜を有するカラーフィルター。
2. 【請求項２】 透明基板上に着色層を形成し、該着色層
   上に請求項１に記載の含フッ素芳香族樹脂の薄膜を保護
   膜として形成することからなるカラーフィルターの製造
   方法。
3. 【請求項３】 該保護膜が含フッ素芳香族化合物の化学
   的蒸着によって形成される、請求項２に記載の方法。