JP2000301728A - インクジェットプリンタ用ヘッド装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 底部に張出し凹部の発生が抑制された精度の
高いインク圧力室やインク流路等を効率的に形成する。 【解決手段】 レーザ装置１１から出射されたレーザ１
３を、加工台装置１７の加工台１８上に載置されたヘッ
ド部材２に照射することによって止まり穴構造のインク
流路６やインク圧力室５等をレーザ加工する。レーザ加
工は、レーザ装置１１のレーザ出射部１２或いは加工台
１８の振動動作によってレーザ１３とヘッド部材２とが
相対的に所定の直径をもった同軸円周上を周回する振動
動作を行った状態で行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタに備えられるヘッド装置の製造方法に関し、さら
に詳しくはノズル孔にインクや希釈液を供給する媒体流
路及び／又は媒体圧力室をヘッド部材に精密に形成する
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】オンデマンド型インクジェットプリンタ
は、記録画像等の解像度や画質の飛躍的な向上を可能と
する小型で低廉なプリンタとして実用化されている。オ
ンデマンド型インクジェットプリンタは、制御信号に応
じてインクの液滴をヘッド装置のノズルより吐出して、
これを紙やフィルムなどの記録媒体上に飛翔させて画像
等の記録を行う。オンデマンド型インクジェットプリン
タは、インク滴を飛翔させる方法として、ピエゾ素子の
変位によりインクを加圧する圧電方法と、発熱素子によ
りノズル中のインクを加熱気化して発生する泡の圧力を
利用するバブルジェット方法とが採用される。

【０００３】プリンタについては、オフィスにおいて、
デスクトップ・パブリッシングと称されるコンピュータ
を利用した文書等の作成が盛んとなっており、文字や図
形のみならず写真のようなカラー自然画像も文字や図形
とともに印刷する要求が増加している。プリンタは、パ
ーソナルユースにおいても、年賀状やグリーティングカ
ードの作成用としてかかる需要が大きい。プリンタにお
いては、高品位な自然画像をプリントアウトするため
に、中間調の表示による階調表現が重要となっている。
上述した圧電方法やバブルジェット方法による記録方法
においては、いずれも原理的にインクの濃度を吐出直前
に変えることができないために、記録媒体上でドット単
位での中間調濃度の階調表現は困難である。

【０００４】オンデマンド型インクジェットプリンタに
おいては、従来、記録画像の階調表現を疑似的に行うた
めに種々の方法が提案されている。例えば第１の方法と
しては、ピエゾ素子や発熱素子に印加する電圧やパルス
幅を変調させて吐出する液滴サイズを制御し、印字ドッ
トの径を可変とし階調を表現する方法が提案されてい
る。しかしながら、かかる第１の方法は、電圧やパルス
幅を下げすぎるとインクが吐出しなくなるために最小液
滴径に限界があり、特に低濃度の階調表現には不向きで
ある。

【０００５】また、第２の方法としては、ドット径を一
定として１画素を複数のマトリックス、例えば１画素を
４×４のドットマトリクスで構成し、このマトリックス
単位でいわゆるディザ法を用いて階調表現を行う方法で
ある。第２の方法は、１７階調の表現が可能となる。し
かしながら、かかる第２の方法は、上述した第１の方法
と同一のドット密度で印刷を行った場合に解像度が１／
４に劣化して粗さが目立ち易く自然画像が充分に表現し
得ないといった問題がある。また、第２の方法は、かか
る問題を解決するために画像処理を精密に行った場合
に、制御回路等の複雑化や演算処理速度の低下、すなわ
ちプリントアウト時間の長時間化を招くといった問題が
生じる。

【０００６】本出願人は、上述した従来のオンデマンド
型プリンタの問題点を原理的に解決する方法として、先
に特開平５−２０１０２４号「インクジェットプリンタ
ヘッド及びインクジェットプリンタ」公報に開示された
新規なインクジェットプリンタヘッド及びインクジェッ
トプリンタ（以下、キャリアジェット型プリンタと称す
る。）を提供した。キャリアジェット型プリンタは、制
御信号等に基づいてインクと透明媒体である希釈液を所
定の混合比で吐出直前に混合して希釈インクとし、この
希釈インクを直ちにノズルから吐出させて記録媒体上に
飛翔させて画像等をプリントアウトする。キャリアジェ
ット型プリンタは、希釈液を所定の混合比で混合するこ
とにより吐出するインクの液滴毎にインクの濃度を制御
することで、記録媒体上のドット毎に自在に階調を表現
することを可能とする。したがって、キャリアジェット
型プリンタは、解像度を劣化することなく中間階調が豊
富な自然画像についても高精度にプリントアウトするこ
とを可能とする。

【０００７】従来のインクジェットプリンタには、例え
ば図１２に示したヘッド装置１００が備えられている。
ヘッド装置１００は、ヘッドプレート１０１と、振動板
１０２と、積層型ピエゾ素子１０３とが備えられてい
る。ヘッドプレート１０１は、例えば樹脂材料や金属材
料或いはセラミック材料等によって形成され、インク圧
力室１０４と、インク流路１０５と、ノズル孔１０６及
びインク供給流路１０７や図示しないインク溜め室等が
形成されている。インク圧力室１０４は、ヘッドプレー
ト１０１の一方主面１０１ａに開口する凹部からなり、
その底部１０４ａに一端を開口されてやや小径とされた
インク流路１０５が連通されている。インク流路１０５
には、その底部１０５ａに一端を開口されたノズル孔１
０６が連通されている。ノズル孔１０６は、他端がヘッ
ドプレート１０１を貫通して他方主面１０１ｂに開口し
ている。

【０００８】ヘッド装置１００は、ヘッドプレート１０
１に対して、インク圧力室１０４を閉塞するようにして
一方主面１０１ａに振動板１０２が接合される。ヘッド
装置１００は、インク圧力室１０４に対応して振動板１
０２にピエゾ素子１０３が接合される。ヘッド装置１０
０は、画像信号等に基づいて制御部から供給された駆動
電圧がピエゾ素子１０３に印加されると、このピエゾ素
子１０３に長手方向の振動動作が発生してインク圧力室
１０４内に容積変動を生じさせる。ヘッド装置１００
は、これによってインク圧力室１０４からインクをイン
ク流路１０５に押し出してノズル孔１０６から吐出する
ようにする。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ヘッド装置１００にお
いては、ヘッドプレート１０１に対して上述した各部を
形成するために、材料に応じた適宜の精密加工法、例え
ば電鋳加工、プレス加工、エッチング加工、放電加工、
射出成形、レーザ加工等が施される。レーザ加工は、材
料の局部を瞬間的に昇温させて溶熱蒸発させて加工を行
う方法であり、雰囲気条件の制限が無いこと、非接触加
工であること、特別な騒音や粉塵対策が不要であるこ
と、制御が容易であること等の種々の利点を有してい
る。レーザ加工には、一般にエキシマレーザ加工が採用
され、レーザ装置から出射されたエキシマレーザが所定
形状のマスクを介してヘッドプレート１０１に照射され
る。

【００１０】インク圧力室１０４或いはインク流路１０
５は、上述したようにそれぞれ底部１０４ａ、１０５ａ
を有する凹部、すなわち止まり穴としてエキシマレーザ
加工によってヘッドプレート１０１に高精度に形成され
る。ところで、インク圧力室１０４或いはインク流路１
０５は、レーザスポットの外周部位において加工が進行
するエキシマレーザ加工の特性上、図１２及び図１３に
示すように底部１０５ａの外周縁の部位においてダレ状
態となってそれぞれ張出し凹部１０８、１０９が形成さ
れる。したがって、インク圧力室１０４或いはインク流
路１０５は、それぞれの底部１０４ａ、１０５ａが鋭角
に尖った外周縁を有する円弧面を呈して形成される。張
出し凹部１０８、１０９は、インク圧力室１０４やイン
ク流路１０５の深さ寸法にほぼ比例し、加工深さが大き
いほどその深さ寸法も大きい。

【００１１】ヘッド装置１００は、インク圧力室１０４
やインク流路１０５にインクが供給される際に、張出し
凹部１０８、１０９に気泡が溜まりやすくなる。ヘッド
装置１００は、このためにピエゾ素子１０３が振動動作
してインク圧力室１０４内の容積変動に伴ってノズル孔
１０６からインクを吐出する際に、吐出力の低下や吐出
量の減少等が発生する。ヘッド装置１００は、これによ
って画像等のプリントアウト精度が劣化するといった問
題が生じる。ヘッド装置１００においては、張出し凹部
１０８、１０９に溜まった気泡を、例えばインク溜め室
側からの加圧操作やノズル孔１０６側からの吸引操作等
を行って除去することも考慮されるが、効率的に除去す
ることは困難であった。

【００１２】一方、キャリアジェット型プリンタにおい
ては、上述したようにインクと希釈液とを混合した希釈
インク液によって画像等をプリントアウトすることによ
り中間階調が豊富な自然画像を高精度にプリントアウト
可能としている。キャリアジェット型プリンタは、この
ためにインク或いは希釈液を精度良く吐出させる必要が
あり、上述した張出し凹部１０８、１０９に溜まった気
泡による吐出力の低下や吐出量の減少が大きな問題とな
る。

【００１３】本発明は、インク圧力室やインク流路を形
成する際に上述した張出し凹部の発生を抑制することに
よって、インクや希釈液が精度良く吐出されるようにし
たインクジェットプリンタ用ヘッド装置の製造方法を提
供することを目的に提案されたものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
本発明にかかるインクジェットプリンタ用ヘッド装置の
製造方法は、加工台装置の加工台上に位置決め載置され
たヘッド部材に対して、所定形状のマスクを介してレー
ザ装置から出射されたレーザを照射することによって、
ヘッド部材に止まり穴構造のインク供給部と連通された
やや大径のインク流路やインク圧力室等をレーザ加工す
る。ヘッド装置の製造方法は、レーザ装置のレーザ出射
部と加工台の少なくともいずれか一方が、中心軸を固定
した同一面内の振動動作を行っている状態で上述したイ
ンク流路やインク圧力室を形成するようにする。

【００１５】本発明にかかるインクジェットプリンタ用
ヘッド装置の製造方法によれば、レーザ装置から出射さ
れたレーザが、レーザ出射部或いは加工台装置の加工台
の振動動作によって所定の直径をもった同軸円周上を周
回しながらヘッド部材に対してインク流路やインク圧力
室を施すことで、加工されるこれらインク流路やインク
圧力室がその底部の外周縁部位における加工の進行を抑
制されてほぼ平坦面を呈して形成されるようになる。し
たがって、インクジェットプリンタ用ヘッド装置の製造
方法によれば、インク流路やインク圧力室がその底部の
外周縁部位に張出し凹部の発生を抑制された精度の高い
形状を以って形成されることで気泡の発生が抑制され、
インクや希釈液を精度良く吐出するヘッド装置が製作さ
れる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。図１及び図２に示
したヘッド装置１は、一般的なインクジェットプリンタ
に搭載され、ヘッドプレート２と、振動板３と、積層型
ピエゾ素子４とを備える基本的な構成を従来のヘッド装
置１００と同等とし、ヘッドプレート２に形成したノズ
ル孔７からインク１０を吐出させる。ヘッド装置１は、
ヘッドプレート２に対して振動板３を接合するとともに
この振動板３の所定の位置にピエゾ素子４を接合し、図
示しないホルダ部材によってこれらを保持することによ
りヘッド部を構成する。

【００１７】ヘッドプレート２は、例えばインクに対す
る化学的な耐性を有するとともに機械的特性を有するポ
リエーテルイミドやポリエチレンテレフタレート等のプ
ラスチック材によって形成される。勿論、ヘッドプレー
ト２は、ニッケルやステンレス等の金属プレート、或い
はガラスやシリコン等のセラミックプレート等の素材に
よって形成することも可能である。ヘッドプレート２
は、具体的には厚さ寸法が０．５ｍｍのポリエーテルイ
ミドプレートを素材とし、レーザ加工を施すことによっ
て詳細を後述する精密なインク圧力室５やインク流路６
或いはノズル孔７が形成されてなる。ヘッドプレート２
には、インク圧力室５の側方に位置してインク供給室８
が凹設されるとともに、このインク供給室８とインク圧
力室５とに連通するインク供給流路９が形成される。

【００１８】インク圧力室５は、ヘッドプレート２の一
方主面２ａに凹設された略楕円形を呈する凹部によって
構成される。インク圧力室５は、具体的には長軸寸法が
０．９ｍｍ、短軸寸法が０．４ｍｍであり、深さ寸法が
０．１ｍｍとされる。インク圧力室５は、ヘッドプレー
ト２に形成された底付き穴であり、いわゆる止まり穴構
造を構成する。

【００１９】ヘッドプレート２には、インク圧力室５の
底部５ａの一端部側に位置して、高さ方向のインク流路
６が連通して形成されている。インク流路６は、内径寸
法が０．２ｍｍ、深さ寸法が０．３５ｍｍとされた底付
きの円孔であり、いわゆる止まり穴構造を構成する。ヘ
ッドプレート２には、インク流路６の底部６ａから他方
の主面２ｂに貫通する内径寸法を０．０３ｍｍとされた
ノズル孔７が形成されている。ノズル孔７は、円孔に限
らず、楕円形状や、三角形或いは三日月形状等の適宜の
形状であってもよい。

【００２０】ヘッドプレート２は、後述するようにエキ
シマレーザ加工によってインク圧力室５やインク流路６
或いはノズル孔７が形成されるが、その加工特性上、各
部の内周壁に約２°程度のテーパが付される。ヘッドプ
レート２は、インク圧力室５及びインク流路６が止まり
穴構造を呈しているが、後述する方法によってエキシマ
レーザ加工を施すことにより、それぞれの底部５ａ、６
ａが張出し凹部の発生を抑制された精度の高い平坦面を
以って構成される。

【００２１】以上のように構成されたヘッドプレート２
には、インク圧力室５やインク供給室８を閉塞するよう
にして一方主面２ａに振動板３が接合される。振動板３
は、化学的な耐性を有する適宜の材料、例えばポリイミ
ド系樹脂フィルムによって形成される。なお、振動板３
は、図１及び図２に示すようにインク圧力室５の開口縁
に沿った部位を薄肉として振動特性の向上が図られてい
る。振動板３には、上述したインク圧力室５に対応位置
してピエゾ素子４の先端部が接合される。

【００２２】ピエゾ素子４は、詳細を省略するが、圧電
セラミックと電極材とが交互に積層されてなり、電圧の
印加により歪み変位動作が発生する。ピエゾ素子は、印
加電圧に対して長手方向に伸びる変位動作を生じるもの
や、縮む変位動作を生じるものが用いられる。勿論、ピ
エゾ素子は、印加電圧に対して直交する方向に変位動作
が生じるものが用いられてもよい。

【００２３】なお、ヘッド装置１は、振動板３の駆動手
段として、上述したピエゾ素子４に変えて例えば発熱素
子や電磁変換素子或いは電歪素子等によるアクチュエー
タを採用してもよい。また、ヘッド装置１は、これら駆
動素子をインク圧力室５内に収納するようにしてもよ
い。

【００２４】以上のように構成されたヘッド装置１にお
いては、画像信号等に基づいて制御部から供給された駆
動電圧がピエゾ素子４に印加されると、このピエゾ素子
４に長手方向の歪み変位動作が発生して振動板３が駆動
される。ヘッド装置１は、この振動板３の振動動作によ
ってインク圧力室５内に容積変動が生じ、内部のインク
１０をインク流路６へと押し出すようにする。ヘッド装
置１００は、これによってインク１０をノズル孔７から
吐出して、記録媒体に画像等をプリントアウトする。な
お、ヘッド装置１は、インク圧力室５内にインク供給室
８からインク１０が補充供給される。

【００２５】上述したヘッドプレート２は、図３に示す
エキシマレーザ装置１１を用いていわゆるマスクイメー
ジ法により各部が形成される。エキシマレーザ装置１１
は、レーザ出射部１２からパワー密度の高いエキシマレ
ーザ１３を出射し、ヘッドプレート素材１４に対して所
定のアブレーション加工を施す。エキシマレーザ装置１
１は、ヘッドプレート素材１４の加工部位に対する深さ
寸法に応じて発信周波数とパルス数とが適宜調整されて
所望のエキシマレーザ１３を出射する。エキシマレーザ
装置１１には、エキシマレーザ１３の光学系の途中に詳
細を省略するマスク機構１５が配置されている。マスク
機構１５には、それぞれ上述したインク圧力室５等の各
部に対応した形状を呈して開口されてエキシマレーザ１
３を透過させるマスク孔が形成されたマスク部材１６が
取り付けられる。

【００２６】マスク部材１６は、銅板やステンレス板等
にエッチング処理を施したりニッケル等をエレクトロフ
ォーミングすることによって高精度の各マスク孔を形成
してなる。マスク部材１６は、ヘッドプレート素材１４
に形成する各部の寸法とエキシマレーザ１３の光学系の
縮小率とによって、マスク孔の開口寸法が適宜設定され
る。エキシマレーザ装置１１は、光学系の縮小率が例え
ば４．５の仕様とされている。

【００２７】エキシマレーザ装置１１は、図示しないが
上述したマスク機構１５を数値制御するマスクチェンジ
ャが備えられている。エキシマレーザ装置１１は、この
マスクチェンジャによってマスク機構１５を制御するこ
とによって、エキシマレーザ１３の光路中に加工する所
定の部位に対応した所定のマスク孔を位置させるように
する。

【００２８】ヘッドプレート素材１４は、加工台装置１
７上に位置決め載置された状態で、上述したエキシマレ
ーザ装置１１によって所定の部位に対するレーザ加工が
施される。加工台装置１７は、詳細を省略するがヘッド
プレート素材１４を載置する加工台１８が、水平面にお
ける位置、すなわちｘ軸とｙ軸に対して調整移動自在と
されるとともに、高さ方向における位置、すなわちｚ軸
に対しても調整移動自在とされて構成されている。加工
台装置１７は、加工台１８をｘ軸或いはｙ軸にに調整移
動することによってヘッドプレート素材１４に対する加
工位置の調整を行い、ｚ軸に調整移動することによって
ヘッドプレート素材１４に対するエキシマレーザ１３の
スポット調整を行う。

【００２９】加工台１８に位置決めされたヘッドプレー
ト素材１４の加工部位に対してエキシマレーザ１３を照
射して行うエキシマレーザ加工は、ヘッドプレート素材
１４とエキシマレーザ１３とが相対的に所定の直径をも
った円周上を所定の速度で周回しながら動くようにして
行われる。エキシマレーザ加工は、具体的にはインク圧
力室５を加工する場合には、エキシマレーザ装置１１か
ら周波数１００Ｈｚ、パルス数２３０ショットのエキシ
マレーザ１３が出射され、このエキシマレーザ１３とヘ
ッドプレート素材１４とが相対的に直径２４μｍ、３０
ｍｍ／ｍｉｎの周回速度をもって動くようにして行われ
る。また、エキシマレーザ加工は、インク流路６を加工
する場合には、エキシマレーザ装置１１から周波数１０
０Ｈｚ、パルス数５７５ショットのエキシマレーザ１３
が出射され、このエキシマレーザ１３とヘッドプレート
素材１４とが相対的に直径３０μｍ、３０ｍｍ／ｍｉｎ
の周回速度をもって動くようにして行われる。

【００３０】エキシマレーザ装置１１は、上述したエキ
シマレーザ加工を行うために、例えば本体或いはレーザ
出射部１２が図示しない駆動機構部によって振動動作さ
れるように構成される。エキシマレーザ装置１１は、レ
ーザ出射部１２から出射されたエキシマレーザ１３が、
加工台１８上に位置決めした状態で固定されたヘッドプ
レート素材１４に対して上述した動作を行いながら照射
されて所定のエキシマレーザ加工が行われるようにす
る。

【００３１】本発明においては、エキシマレーザ装置１
１側を固定側とするとともに加工台装置１７側を可動部
として構成してもよい。加工台装置１７は、上述したエ
キシマレーザ加工を行うために、加工台１８が図示しな
い駆動機構部によって振動動作されるように構成され
る。加工台装置１７は、加工台１８上にヘッドプレート
素材１４を位置決めした状態で固定するとともに、この
加工台１８が駆動機構部によって上述した周回速度で振
動動作される。加工台装置１７には、エキシマレーザ装
置１１のレーザ出射部１２から出射されたエキシマレー
ザ１３がヘッドプレート素材１４に照射されることによ
って、上述した振動動作を行いながら所定のエキシマレ
ーザ加工が行われるようにする。

【００３２】さらに、本発明においては、エキシマレー
ザ装置１１のレーザ出射部１２と加工台装置１７の加工
台１８とを可動部として構成し、これらが相対的に上述
した振動動作を行うように構成してもよい。また、エキ
シマレーザ装置１１及び加工台装置１７については、レ
ーザ出射部１２や加工台１８以外の部位を可動部として
構成して上述した振動動作を行うようにしてもよい。エ
キシマレーザ装置１１は、例えばレーザ出射部１２から
出射されるエキシマレーザ１３が上述した振動動作を行
うように制御してもよい。

【００３３】本発明は、図４乃至図６に示したキャリア
ジェット型プリンタ（以下、単にインクジェットプリン
タと称する。）に備えられるヘッド装置２０を製作する
際にも採用される。インクジェットプリンタは、詳細を
後述するヘッド装置２０の定量側からインク２１が吐出
されるとともに吐出側から希釈液２２が吐出され、これ
らを混合することによって所定の濃度の希釈インク液２
３が記録紙などの被記録材に飛翔されて画像等を記録す
る。ヘッド装置２０は、インク２１或いは希釈液２２の
吐出手段として後述するように一対のピエゾ素子２４、
２５を備えるが、いわゆるバブルジェット方式によって
インク２１や希釈液２３を定量供給するバブルジェット
プリンタに用いられるものであってもよい。

【００３４】ヘッド装置２０は、定量側のノズル孔（イ
ンクノズル孔）２７と吐出側のノズル孔（希釈液ノズル
孔）２８とがそれぞれ独立に形成されたヘッドプレート
２６を有している。ヘッド装置２０は、ヘッドプレート
２６が、上述した第１の実施の形態のヘッド装置１と同
様に、インク２１や希釈液２２に対する化学的な耐性を
有するとともに機械的特性を有する厚さ寸法が０．５ｍ
ｍのポリエーテルイミドを素材として形成されている。
ヘッドプレート２６は、その他のプラスチック材や、ニ
ッケル、ステンレス等の金属プレート或いはガラスやシ
リコン等のセラミックプレート等の素材によって形成す
ることも可能である。勿論、ヘッド装置２０は、いわゆ
るバブルジェット方式によってインク２１や希釈液２２
を定量供給するバブルジェットプリンタに用いられるも
のであってもよい。

【００３５】ヘッドプレート２６には、図４に示すよう
にヘッドプレート素材に対してエキシマレーザ加工を施
すことにより一方主面２６ａに開口するインク圧力室２
９が形成されるとともに、このインク圧力室２９とイン
クノズル孔２７とに連通するインク流路３０が形成され
ている。ヘッドプレート２６には、インク圧力室２９の
側方に位置して一方主面２６ａに開口するインク供給室
３１が形成されるとともに、このインク供給室３１とイ
ンク圧力室２９とに連通するインク供給流路３２が形成
されている。インクノズル孔２７は、詳細を後述するが
ヘッドプレート２６の他方主面２６ｂに開口され、イン
ク流路３０とともに垂直方向に対して３０°の傾斜が付
された傾斜貫通孔として構成されている。

【００３６】ヘッドプレート２６には、ヘッドプレート
素材に対してエキシマレーザ加工を施すことにより一方
主面２６ａに開口する希釈液圧力室３３が形成されると
ともに、この希釈液圧力室３３と希釈液ノズル孔２８と
に連通する希釈液流路３４が形成されている。ヘッドプ
レート２６には、希釈液圧力室３３の側方に位置して一
方主面２６ａに開口する希釈液供給室３５が形成される
とともに、この希釈液供給室３５と希釈液圧力室３３と
に連通する希釈液供給流路３６が形成されている。希釈
液ノズル孔２８は、詳細を後述するがヘッドプレート２
６の他方主面２６ｂに開口され、希釈液流路３４ととも
に垂直孔として構成される。

【００３７】ヘッドプレート２６は、上述した第１の実
施の形態によって詳細に説明した方法と同様のエキシマ
レーザ加工が施されて形成される。ヘッドプレート２６
は、例えば希釈液２２の供給部側が加工形成された後
に、インク液２１の供給部側の加工形成が行われる。す
なわち、ヘッドプレート２６は、素材を上述した加工台
装置１７に位置決め載置した状態で、その主面にエキシ
マレーザ装置１１から出射されるエキシマレーザ１３を
所定のマスク部材１６を有するマスク機構１５を介して
照射することによって互いに隣り合って開口する希釈液
圧力室３３や希釈液供給室３５が形成される。

【００３８】希釈液圧力室３３は、図５及び図７に示す
ように楕円形状の凹部、いわゆる止まり穴構造を以って
ヘッドプレート素材の主面に形成される。希釈液圧力室
３３は、エキシマレーザ装置１１から出射された周波数
１００Ｈｚ、パルス数２３０ショットのエキシマレーザ
１３が素材に照射されるとともにこのエキシマレーザ１
３と素材とが相対的に直径２４μｍ、３０ｍｍ／ｍｉｎ
の周回速度をもって振動動作された状態で加工される。
希釈液圧力室３３は、かかるエキシマレーザ加工によっ
て、底部３３ａの外周縁に張出し凹部の発生が抑制され
て高精度の平坦面を以って形成される。

【００３９】ヘッドプレート２６には、上述した工程に
よって形成された希釈液圧力室３３の底部３３ａの一端
部側に所定の深さを有する希釈液流路３４が凹設され
る。すなわち、ヘッドプレート２６には、希釈液圧力室
３３の底部３３ａの所定位置に所定のマスク部材１６に
交換されたマスク機構１５を介してエキシマレーザ１３
が照射されることによって、所定の深さを有する希釈液
流路３４が凹設される。希釈液流路３４は、エキシマレ
ーザ装置１１から出射された周波数１００Ｈｚ、パルス
数５７５ショットのエキシマレーザ１３が希釈液圧力室
３３の底部３３ａの所定位置に照射されるとともに、こ
のエキシマレーザ１３と素材１４とが相対的に直径３０
μｍ、３０ｍｍ／ｍｉｎの周回速度をもって振動動作さ
れた状態で加工される。希釈液流路３４は、かかるエキ
シマレーザ加工により、その底部３４ａが外周縁に張出
し凹部の発生を抑制された高精度の平坦面を以って形成
される。

【００４０】ヘッドプレート２６には、上述した工程に
よって形成された希釈液流路３４の底部３４ａに、所定
のマスク部材１６に交換されたマスク機構１５を介して
エキシマレーザ１３が照射されることによって、素材を
貫通する希釈液ノズル孔２８が形成される。この希釈液
ノズル孔２８は、貫通孔であることから上述したように
エキシマレーザ１３と素材１４とを相対的に振動動作さ
せながらのエキシマレーザ加工を施して形成する必要は
無い。希釈液ノズル孔２８は、希釈液２２を吐出すると
いう機能上、その吐出口の形状が点対象形状とされてい
る。希釈液ノズル孔２８は、吐出口が設計や製造の容易
さから円形を呈しているが、例えば正方形状に形成して
もよい。

【００４１】ヘッドプレート２６は、上述した希釈液２
２の供給部側の加工が施されると、インク液２１の供給
部側の加工形成が行われる。ヘッドプレート２６には、
素材の主面にエキシマレーザ装置１１から出射されるエ
キシマレーザ１３が所定のマスク部材１６を有するマス
ク機構１５を介して照射されることによって、上述した
希釈液圧力室３３に隣り合ってインク圧力室２９やイン
ク供給室３１が形成される。インク圧力室２９は、図５
及び図８に示すように楕円形状の凹部、いわゆる止まり
穴構造を以ってヘッドプレート素材の主面に形成され
る。インク圧力室２９は、エキシマレーザ装置１１から
出射された周波数１００Ｈｚ、パルス数２３０ショット
のエキシマレーザ１３が素材に照射されるとともにこの
エキシマレーザ１３と素材とが相対的に直径２４μｍ、
３０ｍｍ／ｍｉｎの周回速度をもって振動動作された状
態で加工される。インク圧力室２９は、かかるエキシマ
レーザ加工によって、底部２９ａの外周縁に張出し凹部
の発生が抑制されて高精度の平坦面を以って形成され
る。なお、インク圧力室２９及びインク供給室３１につ
いては、上述した希釈液２２の供給部側の加工と同時に
行うようにしてもよい。

【００４２】ヘッドプレート２６は、上述したインク圧
力室２９の加工が終了すると加工台装置１７の加工台１
８が傾倒動作されることによって、素材主面が水平方向
に対して３０°の傾斜を付された状態とされる。ヘッド
プレート２６には、この状態でインク圧力室２９の底部
２９ａの一端部側に所定の深さを有するインク流路３０
が凹設される。すなわち、ヘッドプレート２６には、イ
ンク圧力室２９の底部２９ａの所定位置に所定のマスク
部材１６に交換されたマスク機構１５を介してエキシマ
レーザ１３が照射されることによって、水平面に対して
３０°傾斜した所定の深さを有する傾斜止まり穴からな
るインク流路３０が凹設される。

【００４３】インク流路３０は、エキシマレーザ装置１
１から出射された周波数１００Ｈｚ、パルス数６６０シ
ョットのエキシマレーザ１３がインク圧力室２９の底部
２９ａの所定位置に照射されるとともに、このエキシマ
レーザ１３と素材１４とが相対的に直径３０μｍ、３０
ｍｍ／ｍｉｎの周回速度をもって振動動作された状態で
加工される。インク流路３０は、かかるエキシマレーザ
加工により、その底部３０ａが外周縁に張出し凹部の発
生を抑制された高精度の平坦面を以って形成される。

【００４４】ヘッドプレート２６には、上述した工程に
よって形成されたインク流路３０の底部３０ａに、所定
のマスク部材１６に交換されたマスク機構１５を介して
エキシマレーザ１３が照射されることによって、素材を
貫通するインクノズル孔２７が形成される。このインク
ノズル孔２８は、貫通孔であることから上述したように
エキシマレーザ１３と素材１４とを相対的に振動動作さ
せながらのエキシマレーザ加工を施して形成する必要は
無い。インクノズル孔２７は、その形状についての自由
度が高く、円形状に限らず、例えば楕円形状や三角形或
いは三日月形状等の適宜の形状を以って形成される。

【００４５】ヘッドプレート２６には、図６に示すよう
に上述したように他方主面２６ｂに３０°の傾斜を付さ
れたインクノズル孔２７と垂直な希釈液ノズル孔２８の
吐出口とが互いに近接してそれぞれ開口されている。ヘ
ッドプレート２６は、詳細を後述するようにインクノズ
ル孔２７からインク２１を吐出するとともに希釈液ノズ
ル孔２８から希釈液２２を吐出して主面２６ｂ上におい
て希釈インク液２３を生成する。ヘッドプレート２６
は、インクノズル孔２７や希釈液ノズル孔２８の吐出口
の周辺でインク２１や希釈液２２或いは希釈インク液２
３による濡れを防止して希釈インク液２３の吐出の安定
性や吐出方向の精度を向上させるために、その主面２６
ｂに撥水処理が施されている。

【００４６】以上のように構成されたヘッドプレート２
６には、その一方主面２６ａにインク圧力室２９及び希
釈液圧力室３３を閉塞するようにして振動板３７が接合
される。振動板３７は、化学的な耐性を有する適宜の材
料、例えばポリイミド系樹脂フィルムによって形成され
る。なお、振動板３７は、図４に示すようにインク圧力
室２９や希釈液圧力室３３の開口縁に沿った部位を薄肉
として振動特性の向上が図られている。振動板３７に
は、上述したインク圧力室インク圧力室２９や希釈液圧
力室３３に対応位置してそれぞれピエゾ素子２４、２５
の先端部が接合されている。

【００４７】ピエゾ素子２４、２５は、詳細を省略する
が、圧電セラミックと電極材とが交互に積層されてな
り、電圧の印加により歪み変位動作が発生する。ピエゾ
素子２４、２５は、印加電圧に対して長手方向に伸びる
変位動作を生じるものや、縮む変位動作を生じるものが
用いられる。勿論、ピエゾ素子は、印加電圧に対して直
交する方向に変位動作が生じるものが用いられてもよ
い。

【００４８】なお、ヘッド装置２０は、図示を省略する
が上述した構成のインク供給部と希釈液供給部とを１６
組備えて構成されており、各組のインクノズル孔２７と
希釈液ノズル孔２８とがそれぞれ互いに隣り合って形成
されている。また、ヘッド装置２０は、カラー画像をプ
リントアウトする場合には、イエロー、マゼンタ、シア
ン及びブラックの４色に対応する４個によってヘッドア
ッセンブリを構成し、これらヘッドアッセンブリがライ
ン上に多数個配列してカラー記録画像をプリントアウト
する。

【００４９】以上のように構成されたヘッド装置２０
は、画像信号等に基づいて制御部から供給された駆動電
圧がピエゾ素子２４，２５に印加されると、これらピエ
ゾ素子２４，２５が駆動されることによって長手方向の
歪み変位動作が発生して振動板３７が駆動される。ヘッ
ド装置２０は、この振動板３７の振動動作によってイン
ク圧力室２９、希釈液圧力室３３内に容積変動が生じ
て、インク２１及び希釈液２２をインクノズル孔２７及
び希釈液ノズル孔２８から吐出させる。ヘッド装置２０
は、インク２１と希釈液２２とを所定の濃度に混合した
希釈インク液２３を被記録媒体に飛翔させて画像等をプ
リントアウトする。

【００５０】ヘッド装置２０は、詳細には図９に示した
一連の動作によって、所定の濃度の希釈インク液２３に
よって画像等をプリントアウトする。ヘッド装置２０に
おいては、同図（ａ）に示すように待機状態において、
毛細管圧力によってインク流路３０及び希釈液流路３４
を介してインクノズル孔２７及び希釈液ノズル孔２８内
にそれぞれインク２１及び希釈液２２が供給された状態
となっている。インク２１及び希釈液２２は、それぞれ
インクノズル孔２７及び希釈液ノズル孔２８の吐出口に
おいてインクメニスカス２１ａ、希釈液メニスカス２２
ａを形成している。

【００５１】ヘッド装置２０においては、画像信号等に
基づいて制御部からの駆動電圧がインク供給部側のピエ
ゾ素子２４に印加されることによってインク圧力室２９
内に容積変動が生じ、同図（ｂ）に示すようにインクノ
ズル孔２７から定量のインク２１がヘッドプレート２６
の主面２６ｂ上に押し出される。インクノズル孔２７
は、上述したように吐出口が希釈液ノズル孔２８に近接
して開口されるとともに３０°の傾斜孔として構成され
ていることにより、定量のインク２１を希釈液ノズル孔
２８の吐出口に向かって吐出する。

【００５２】ヘッド装置２０においては、インク２１
が、同図（ｃ）に示すように希釈液ノズル孔２８の吐出
口に形成された希釈液メニスカス２２ａと表面張力によ
って結合した状態となる。ヘッドプレート２６には、イ
ンクノズル孔２７と希釈液ノズル孔２８の周囲に希釈イ
ンク液２３による濡れ部位２３ａが生成される。

【００５３】ヘッド装置２０においては、インク供給部
側のピエゾ素子２４に対する電圧印可が切られることに
よってインク圧力室２９内の容積変動が初期状態に復旧
することから、インクメニスカス２１ａが次第にインク
ノズル孔２７内に引き込まれはじめる。ヘッド装置２０
においては、希釈液供給部側のピエゾ素子２５に画像信
号等に基づいて制御部からの駆動電圧が印加されること
によって希釈液圧力室３３内に容積変動が生じ、同図
（ｄ）に示すように希釈液ノズル孔２８から希釈液２２
がヘッドプレート２６の主面２６ｂ上に押し出される。
なお、インク圧力室２９には、その容積変動が初期状態
に復旧する際にインク供給室３１からインク２１が補充
供給される。

【００５４】ヘッド装置２０においては、希釈液ノズル
孔２８から希釈液２２がさらに吐出されるに伴って、同
図（ｅ）に破線で示すようにインクメニスカス２１ａが
インクノズル孔２７内に引き込まれる。ヘッド装置２０
においては、希釈液供給部側のピエゾ素子２５に対する
電圧印可が切られることによって希釈液圧力室３３内の
容積変動が初期状態に復旧することから、同図（ｆ）に
破線で示すように希釈液メニスカス２２ａが次第に希釈
液ノズル孔２８内に引き込まれるとともに、希釈インク
液２３が吐出口から次第に離れていく。なお、希釈液圧
力室３３には、その容積変動が初期状態に復旧する際に
希釈液供給室３５から希釈液２２が補充供給される。

【００５５】希釈インク液２３は、インク２１と希釈液
２２とが所定の混合割合となり、希釈液２２から引きち
ぎられて同図（ｇ）に示すように記録媒体に向かって飛
翔される。希釈インク液２３は、記録媒体に着弾して画
像等の記録を行う。一方、インク２１は、インクノズル
孔２７内に引き込まれた状態から毛細管圧力によって次
第に吐出口へとはみ出して、同図（ｈ）に示すように吐
出口において再びインクメニスカス２１ａを形成する。
なお、インクメニスカス２１ａには、インクノズル孔２
７の吐出口部位において慣性によって若干の振動が生じ
る。

【００５６】希釈液２２は、希釈液ノズル孔２８内に引
き込まれた状態から毛細管圧力によって同図（ｉ）に示
すように次第に吐出口へとはみ出して、吐出口において
再び希釈液メニスカス２２ａを形成する。この希釈液メ
ニスカス２２ａも、希釈液ノズル孔２８の吐出口におい
て慣性によって若干の振動が生じる。ヘッド装置２０に
おいては、上述した動作を経た後に、同図（ｊ）に示す
ようにインク２１及び希釈液２２が、それぞれインクノ
ズル孔２７及び希釈液ノズル孔２８の吐出口においてイ
ンクメニスカス２１ａ、希釈液メニスカス２２ａを形成
した初期状態に復帰して次の印刷動作までの待機状態と
なる。ヘッド装置２０においては、上述した希釈インク
液２３の吐出動作が繰り返されることによって、記録媒
体に所定の画像等の記録を行う。

【００５７】なお、上述したヘッド装置２０の一連の動
作については、一例であってこれに限定されるものでは
無い。ヘッド装置２０の動作は、そのタイミングや状
態、例えば希釈インク液２３の形状、充填動作などはイ
ンクノズル孔２７や希釈液ノズル孔２８或いはその吐出
口の開口径等のヘッドプレート２６の構造的要素、イン
ク２１や希釈液２２の粘度や表面張力などの物理的要
素、吐出周波数などの動作条件によって変化する。

【００５８】ヘッド装置２０においては、インク２１を
吐出する吐出圧力の上昇量及び上昇時間、すなわちピエ
ゾ素子２４に与える電圧パルスの電圧値或いはパルス幅
を調節することにより、希釈インク液２３に含まれる希
釈液２２の混合比率、すなわちインク濃度が調節され
る。ヘッド装置２０は、１ドット毎に濃度を変化させる
ことが可能であり、このドットを多数形成することで、
中間調の階調表現が可能となり、精度の高い階調表現に
よる自然画像がプリントアウトされる。

【００５９】ヘッド装置２０は、上述したようにエキシ
マレーザ１３とヘッドフレート２６とを相対的に中心軸
を固定した同一面内の振動動作を行わさせた状態でエキ
シマレーザ加工が施されて止まり穴構造のインク圧力室
２９及びインク流路３０或いは希釈液圧力室３３及び希
釈液流路３４が形成される。ヘッド装置２０は、かかる
エキシマレーザ加工によってインク圧力室２９及びイン
ク流路３０或いは希釈液圧力室３３及び希釈液流路３４
が、それぞれの底部の外周縁において張出し凹部の発生
が抑制されて高精度に形成されるようになる。

【００６０】したがって、ヘッド装置２０は、インク２
１や希釈液２２を充填する際に、これらインク圧力室２
９及びインク流路３０或いは希釈液圧力室３３及び希釈
液流路３４においてインク２１や希釈液２２に気泡を生
じさせることは無い。ヘッド装置２０は、気泡によるイ
ンクノズル孔２７や希釈液ノズル孔２８の詰り現象が抑
制されるとともにインク２１や希釈液２２が精密に吐出
されて、高精度な画像等の記録が行われるようになる。
また、ヘッド装置２０は、ノズル孔２７や希釈液ノズル
孔２８の補充が簡単に行われるとともに、面倒かつ困難
な気泡抜きの作業が不要となり取扱いが簡便となる。

【００６１】ところで、ヘッド装置においては、ノズル
孔からインクの吐出を滑らかに行うために、例えば特開
平５−３１８７４４号「インクジェットヘッドの製造方
法」公報に開示されるようないわゆる等高線加工によっ
てノズル孔を形成する方法が提案されている。すなわ
ち、この先願公報のヘッド装置４０は、図１０に示すよ
うに、ベースプレート４１にレーザ加工によってノズル
孔４２を構成する貫通孔を形成するとともに、このノズ
ル孔４２の周囲に非貫通孔である止め穴４３の加工を施
すことによって任意曲線のプロフィールを有するノズル
オリフィス４４を構成してなる。ヘッド装置４０は、ノ
ズル孔４２に連通して中心軸を一致されるとともに次第
に内径を小径とした止め穴４３が多段に形成されること
で、ノズル体積が大きくなってインクメニスカスの挙動
が安定するようになる。

【００６２】しかしながら、かかるヘッド装置４０にお
いては、各止め穴４３を形成する際に同図に示すように
それぞれの底部の外周縁に張出し凹部４５が形成される
ことによってインクの流れが悪くなるといった問題があ
る。したがって、ヘッド装置４０においては、各止め穴
４３についてその深さを浅くすることにより、換言すれ
ば止め穴４３を多段に形成することで張出し凹部４５の
発生量を小さくする対応が図られる。ヘッド装置４０
は、かかる対応によって加工時間が長くなってしまうと
いった問題が生じる。

【００６３】上述した問題点を解決するために、図１１
に示したヘッド装置５０は、ベースプレート５１にレー
ザ加工によってノズル孔５２を構成する貫通孔を形成す
るとともにこのノズル孔５２の周囲に非貫通孔である止
まり穴５３の加工を施す基本工程を同様とするが、各止
まり穴５３を形成する際に上述したエキシマレーザ加工
が施されることを特徴とする。すなわち、ヘッド装置５
０は、エキシマレーザ１３とヘッドフレート５１とに直
径２０μｍ、３０ｍｍ／ｍｉｎの相対的な同一面内の振
動動作を行う状態でエキシマレーザ加工を施こして各止
まり穴５３が形成される。

【００６４】ヘッド装置５０は、かかるエキシマレーザ
加工が施されることで、同図に示すように各止まり穴５
３が張出し凹部の発生を抑制された高精度に形成され
る。したがって、ヘッド装置５０は、止まり穴５３の段
数を増やすこと無く、換言すれば加工時間が短縮されて
滑らかなプロフィールのノズルオリフィス５４が構成さ
れる。

【００６５】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明にかか
るインクジェットプリンタ用ヘッド装置の製造方法によ
れば、加工ステージ上に載置されたヘッド部材に対して
レーザ装置から出射されたレーザを照射して止まり穴構
造のインク流路やインク圧力室等をレーザ加工する際
に、レーザ出射部或いは加工ステージの振動動作によっ
て相対的に所定の直径をもった同軸円周上を周回する振
動動作を行った状態で行うようにすることから、これら
インク流路やインク圧力室等がその底部の外周縁部位に
おける張出し凹部の発生を抑制された精度の高い平坦面
を呈して形成されるようになる。したがって、インクジ
ェットプリンタ用ヘッド装置の製造方法によれば、イン
ク流路やインク圧力室等を滑らかな形状を以って形成す
ることでこれらの内部に気泡が発生することが抑制され
るようになり、インクや希釈液を精度良く吐出して画像
等を高精度に記録するヘッド装置が廉価に製造される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用されたインクジェットプリンタ用
のヘッド装置の正面側からの要部縦断面図である。

【図２】同ヘッド装置の側面側からの要部縦断面図であ
る。

【図３】同ヘッド装置に備えられるヘッドプレートにエ
キシマレーザ加工を施すエキシマレーザ加工装置及び加
工台装置の概略構成の説明図である。

【図４】本発明を適用されたオンディマンド型インクジ
ェットプリンタ用のヘッド装置の正面側からの要部縦断
面図である。

【図５】同ヘッド装置の要部平面図である。

【図６】同ヘッド装置に備えられるヘッドプレートに形
成されるインクノズル孔と希釈液ノズル孔の開口部の構
成を説明する図である。

【図７】同希釈液の供給部の構成を説明する要部縦断面
図である。

【図８】同インクの供給部の構成を説明する要部縦断面
図である。

【図９】同希釈インク液の吐出動作の説明図である。

【図１０】等高線加工を施して形成されたノズル孔の説
明図である。

【図１１】本発明を適用して等高線加工を施して形成さ
れたノズル孔の説明図である。

【図１２】従来のインクジェットプリンタ用のヘッド装
置の要部縦断面図である。

【図１３】同ヘッド装置のインク流路及びノズル孔部位
の構成を説明する要部縦断面図である。

【符号の説明】

１ ヘッド装置、２ ヘッドプレート、３ 振動板、４
ピエゾ素子、５ インク圧力室、６ インク流路、７
ノズル孔、８ インク供給室、９ インク供給流路、
１０ インク、１１ エキシマレーザ装置、１２ レー
ザ出射部、１３エキシマレーザ、１４ ヘッドプレート
素材、１５ マスク機構、１６ マスク部材、１７ 加
工台装置、１８ 加工台、２０ ヘッド装置、２１ イ
ンク、２２ 希釈液、２３ 希釈インク液、２４，２５
ピエゾ素子、２６ ヘッドプレート、２７ インクノ
ズル孔、２８ 希釈液ノズル孔２２、２９ インク圧力
室、３０ インク流路、３１ インク供給室、３２ イ
ンク供給流路、３３ 希釈液圧力室、３４ 希釈液流
路、３５ 希釈液供給室、３６ 希釈液供給流路、３７
振動板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工台装置の加工台上に位置決め載置さ
   れたヘッド部材に対して、所定形状のマスクを介してレ
   ーザ装置から出射されたレーザを照射することによっ
   て、上記ヘッド部材に止まり穴構造のインク供給部と連
   通されたインク圧力室やノズル孔が連通するインク流路
   等を形成してなり、 上記レーザ装置のレーザ出射部と加工台の少なくともい
   ずれか一方が、中心軸を固定した同一面内の振動動作を
   行っている状態で上記インク圧力室やインク流路等を形
   成することを特徴とするインクジェットプリンタ用ヘッ
   ド装置の製造方法。
2. 【請求項２】 上記レーザ装置は、エキシマレーザ装置
   であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェッ
   トプリンタ用ヘッド装置の製造方法。
3. 【請求項３】 上記インク圧力室やインク流路等は、上
   記ヘッド部材の一方の主面に開口するとともに底部に他
   方の主面に貫通する小径のインクノズル孔が形成されか
   つインク供給部と連通されたやや大径のインク流路及び
   ／又は、上記ヘッド部材の一方の主面に開口するととも
   に振動板によって閉塞されかつ上記インク流路にインク
   を供給するインク圧力室であることを特徴とする請求項
   １に記載のインクジェットプリンタ用ヘッド装置の製造
   方法。
4. 【請求項４】 上記インク圧力室やインク流路等は、 上記ヘッド部材の一方の主面に開口するとともに底部に
   他方の主面に貫通する小径の吐出媒体ノズル孔が形成さ
   れかつ吐出媒体供給部と連通されたやや大径の吐出媒体
   流路及び／又は、上記ヘッド部材の一方の主面に開口す
   るとともに振動板によって閉塞されかつ上記吐出媒体流
   路に吐出媒体を供給する吐出媒体圧力室及び／又は、 上記ヘッド部材の一方の主面に開口するとともに底部に
   他方の主面に上記吐出媒体ノズルに近接して貫通する小
   径の定量媒体ノズル孔が形成されかつ定量媒体供給部と
   連通されたやや大径の定量媒体流路及び／又は、上記ヘ
   ッド部材の一方の主面に開口するとともに振動板によっ
   て閉塞されかつ上記定量媒体流路に定量媒体を供給する
   定量媒体圧力室であり、 上記定量媒体ノズルから吐出媒体ノズル側に定量媒体を
   しみ出させた状態で上記吐出媒体ノズルから吐出媒体を
   吐出させることによって希釈混合媒体が飛翔されること
   を特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタ
   用ヘッド装置の製造方法。
5. 【請求項５】 上記定量媒体はインク又は希釈液である
   とともに上記吐出媒体は希釈液又はインクであることを
   特徴とする請求項４に記載のインクジェットプリンタ用
   ヘッド装置の製造方法。