JP2000304322A - クリーンルーム構造 - Google Patents
クリーンルーム構造Info
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ファンフィルタユニットを間引きして設置して
も間引した下方領域に塵埃が滞留することがなく、且つ
天井面周縁領域にも塵埃が滞留することのないので、高
い清浄度のクリーンルームを得ることができる。 【解決手段】間引きした開口部分３７に通気性を有する
通気部材３８を配設してクリーンルーム１２内のエアの
一部を通気部材３８を介して天井裏空間２４に戻すよう
にし、且つ天井面１６と側壁部６４の突き合わせ部分６
６に丸みをつける湾曲部材６８を配設した。これによ
り、間引きした下方領域や天井面１６の周縁領域に塵埃
が滞留しないので、クリーンルーム１２内の清浄度が向
上する。
も間引した下方領域に塵埃が滞留することがなく、且つ
天井面周縁領域にも塵埃が滞留することのないので、高
い清浄度のクリーンルームを得ることができる。 【解決手段】間引きした開口部分３７に通気性を有する
通気部材３８を配設してクリーンルーム１２内のエアの
一部を通気部材３８を介して天井裏空間２４に戻すよう
にし、且つ天井面１６と側壁部６４の突き合わせ部分６
６に丸みをつける湾曲部材６８を配設した。これによ
り、間引きした下方領域や天井面１６の周縁領域に塵埃
が滞留しないので、クリーンルーム１２内の清浄度が向
上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルーム構造
に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度なクリ
ーンルームを必要とするクリーンルーム構造に関する。
に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度なクリ
ーンルームを必要とするクリーンルーム構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場等のように精密機器を配
設するクリーンルームを備えたクリーンルーム構造とし
ては、高清浄度な環境を形成することが要求される。ク
リーンルームの天井面には、敷設された格子状の天井フ
レームに複数のファンフィルタユニットが設置され、こ
のファンフィルタユニットによって天井裏空間のエアが
浄化されてクリーンルーム内に供給される。しかし、フ
ァンフィルタユニットは、必ずしも全ての格子空間に載
置されるのではなく、設備コストやランニングコストの
低減のために間引きされて配設されることがある。この
場合、天井裏空間の清浄前のエアがクリーンルーム内に
流入するのを防ぐため、ファンフィルタユニットの間引
き空間には天井裏空間とクリーンルームとを完全に遮断
する閉塞板を設置していた。
設するクリーンルームを備えたクリーンルーム構造とし
ては、高清浄度な環境を形成することが要求される。ク
リーンルームの天井面には、敷設された格子状の天井フ
レームに複数のファンフィルタユニットが設置され、こ
のファンフィルタユニットによって天井裏空間のエアが
浄化されてクリーンルーム内に供給される。しかし、フ
ァンフィルタユニットは、必ずしも全ての格子空間に載
置されるのではなく、設備コストやランニングコストの
低減のために間引きされて配設されることがある。この
場合、天井裏空間の清浄前のエアがクリーンルーム内に
流入するのを防ぐため、ファンフィルタユニットの間引
き空間には天井裏空間とクリーンルームとを完全に遮断
する閉塞板を設置していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにファンフィルタユニットを間引きした間引き空間
に閉塞板を設置すると閉塞板の下方領域において渦流が
発生するため、この領域の塵埃がクリーンルーム内に滞
留してクリーンルームの清浄度を低下させてしまうとい
う欠点がある。
ようにファンフィルタユニットを間引きした間引き空間
に閉塞板を設置すると閉塞板の下方領域において渦流が
発生するため、この領域の塵埃がクリーンルーム内に滞
留してクリーンルームの清浄度を低下させてしまうとい
う欠点がある。
【０００４】また、側壁や柱等から成るクリーンルーム
の側壁部と天井面周縁の突き合わせ部分の領域において
も渦流が発生するため、この領域の塵埃がクリーンルー
ム内に滞留してクリーンルームの清浄度を低下させてし
まうという欠点がある。ちなみに、特開平９─３１８１
１８号公報には、天井面から清浄空気をクリーンルーム
内に吹き出し、クリーンルーム内の空気を床面から床下
の排気チャンバに吸引する際に、床面に、開口率を変化
させて空気抵抗係数を調整することにより空気の流れを
一様化する整流装置を配設することが開示されている。
しかし、本願のように天井面にファンフィルタユニット
を間引き配設する場合には、特開平９─３１８１１８号
公報の整流装置を床面に配設しても、前記した閉塞板の
下方領域やクリーンルームの側壁部と天井面周縁の突き
合わせ部分の領域における渦流の発生を解決することは
できない。
の側壁部と天井面周縁の突き合わせ部分の領域において
も渦流が発生するため、この領域の塵埃がクリーンルー
ム内に滞留してクリーンルームの清浄度を低下させてし
まうという欠点がある。ちなみに、特開平９─３１８１
１８号公報には、天井面から清浄空気をクリーンルーム
内に吹き出し、クリーンルーム内の空気を床面から床下
の排気チャンバに吸引する際に、床面に、開口率を変化
させて空気抵抗係数を調整することにより空気の流れを
一様化する整流装置を配設することが開示されている。
しかし、本願のように天井面にファンフィルタユニット
を間引き配設する場合には、特開平９─３１８１１８号
公報の整流装置を床面に配設しても、前記した閉塞板の
下方領域やクリーンルームの側壁部と天井面周縁の突き
合わせ部分の領域における渦流の発生を解決することは
できない。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ファンフィルタユニットを間引きして設置して
も間引した下方領域に塵埃が滞留することがなく、且つ
天井面周縁領域にも塵埃が滞留することがないので、高
い清浄度のクリーンルームを得ることのできるクリーン
ルーム構造を提供することを目的とする。
もので、ファンフィルタユニットを間引きして設置して
も間引した下方領域に塵埃が滞留することがなく、且つ
天井面周縁領域にも塵埃が滞留することがないので、高
い清浄度のクリーンルームを得ることのできるクリーン
ルーム構造を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、クリーンルームの天井面に、該クリーンル
ーム内に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニットを
間引きして配設したクリーンルーム構造において、前記
間引きした開口部分に通気性を有する通気部材を配設し
て前記クリーンルーム内のエアの一部を前記通気部材を
介して天井裏空間に通気させると共に、前記クリーンル
ームの側壁部と前記天井面周縁との突き合わせ部分に丸
みをつけるための湾曲部を設けたことを特徴とする。
するために、クリーンルームの天井面に、該クリーンル
ーム内に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニットを
間引きして配設したクリーンルーム構造において、前記
間引きした開口部分に通気性を有する通気部材を配設し
て前記クリーンルーム内のエアの一部を前記通気部材を
介して天井裏空間に通気させると共に、前記クリーンル
ームの側壁部と前記天井面周縁との突き合わせ部分に丸
みをつけるための湾曲部を設けたことを特徴とする。
【０００７】請求項１の発明によれば、間引きした開口
部分に通気性を有する通気部材を配設してクリーンルー
ム内のエアの一部を通気部材を介して天井裏空間に通気
するようにしたので、間引きした開口部分の下方領域に
渦流が発生しない。これにより、間引きした開口部分の
下方領域に塵埃が滞留するのを防止することができる。
また、天井面と側壁部の突き合わせ部分に湾曲部を設け
たので、ファンフィルタユニットからクリーンルーム内
に吹き出された清浄エアのうち、天井面周縁近傍に吹き
出された清浄エアは、湾曲部に沿ってスムーズに下降す
る。これにより、突き合わせ部分が角張っていた従来の
ように、天井面周縁領域に渦流が発生しないので、天井
面周縁領域に塵埃が滞留するのを防止することができ
る。従って、クリーンルーム内の清浄度を上げることが
できる。
部分に通気性を有する通気部材を配設してクリーンルー
ム内のエアの一部を通気部材を介して天井裏空間に通気
するようにしたので、間引きした開口部分の下方領域に
渦流が発生しない。これにより、間引きした開口部分の
下方領域に塵埃が滞留するのを防止することができる。
また、天井面と側壁部の突き合わせ部分に湾曲部を設け
たので、ファンフィルタユニットからクリーンルーム内
に吹き出された清浄エアのうち、天井面周縁近傍に吹き
出された清浄エアは、湾曲部に沿ってスムーズに下降す
る。これにより、突き合わせ部分が角張っていた従来の
ように、天井面周縁領域に渦流が発生しないので、天井
面周縁領域に塵埃が滞留するのを防止することができ
る。従って、クリーンルーム内の清浄度を上げることが
できる。
【０００８】請求項２の発明によれば、湾曲部に通気性
をもたせるようにしたので、天井面周縁領域のエアの一
部を湾曲部を介してクリーンルーム外に通気させること
ができる。これにより、天井面周縁領域に塵埃が滞留す
るのを一層確実に防止できる。また、請求項３の発明に
よれば、通気部材及び湾曲部は、多数の通気孔が形成さ
れた多孔板と、該多孔板に摺動自在に設けられたスライ
ド板から構成して、スライド板を摺動させて多孔板の開
口率を可変できるようにしたので、通気部材及び湾曲部
の通気量に依存するクリーンルーム内の清浄度を簡単に
調節することができる。従って、クリーンルームの規模
や所望する清浄度に自由に対応させることができる。
をもたせるようにしたので、天井面周縁領域のエアの一
部を湾曲部を介してクリーンルーム外に通気させること
ができる。これにより、天井面周縁領域に塵埃が滞留す
るのを一層確実に防止できる。また、請求項３の発明に
よれば、通気部材及び湾曲部は、多数の通気孔が形成さ
れた多孔板と、該多孔板に摺動自在に設けられたスライ
ド板から構成して、スライド板を摺動させて多孔板の開
口率を可変できるようにしたので、通気部材及び湾曲部
の通気量に依存するクリーンルーム内の清浄度を簡単に
調節することができる。従って、クリーンルームの規模
や所望する清浄度に自由に対応させることができる。
【０００９】また、請求項４の発明によれば、請求項２
又は３に係る通気部材及び湾曲部にフィルタを設けたの
で、通気部材及び湾曲部を通過するエア中の塵埃を捕集
することができる。
又は３に係る通気部材及び湾曲部にフィルタを設けたの
で、通気部材及び湾曲部を通過するエア中の塵埃を捕集
することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るクリーンルーム構造の好ましい実施の形態について詳
説する。図１は、本発明のクリーンルーム構造を有する
クリーンルーム設備の全体構成図である。
るクリーンルーム構造の好ましい実施の形態について詳
説する。図１は、本発明のクリーンルーム構造を有する
クリーンルーム設備の全体構成図である。
【００１１】図１に示すように、クリーンルーム設備１
０は、クリーンルーム１２の天井面１６の一部を構成す
る格子状の天井フレーム３６が複数の吊りボルト１３、
１３…により吊設され、この天井フレーム３６に、複数
台のファンフィルタユニット１４、１４…が配設され
る。そして、ファンフィルタユニット１４により清浄エ
アがクリーンルーム１２内に供給され、クリーンルーム
１２内の塵埃と共にグレーチング床１８から床下空間２
０に吸い込まれる。床下空間２０に吸い込まれたエア
は、ドライ冷却コイル２１で冷却乾燥された後、リター
ン空間２２を通って天井裏空間２４に戻される。また、
クリーンルーム１２内のエアの一部は床下空間２０の側
面から還気ダクト２６を介して空調機２８に送られ、外
気取り込みダクト３０からの新鮮空気と混合されて所定
の温湿度に調整された後、給気ダクト３２を介して天井
裏空間２４に給気される。このように天井裏空間２４に
送られたエアは、再びファンフィルタユニット１４によ
り浄化されてクリーンルーム１２内に供給される。ま
た、クリーンルーム１２内のエアの一部は、床下空間２
０のもう一方の側面に設けられた排気ダクト３４によ
り、クリーンルーム１２外に排気される。
０は、クリーンルーム１２の天井面１６の一部を構成す
る格子状の天井フレーム３６が複数の吊りボルト１３、
１３…により吊設され、この天井フレーム３６に、複数
台のファンフィルタユニット１４、１４…が配設され
る。そして、ファンフィルタユニット１４により清浄エ
アがクリーンルーム１２内に供給され、クリーンルーム
１２内の塵埃と共にグレーチング床１８から床下空間２
０に吸い込まれる。床下空間２０に吸い込まれたエア
は、ドライ冷却コイル２１で冷却乾燥された後、リター
ン空間２２を通って天井裏空間２４に戻される。また、
クリーンルーム１２内のエアの一部は床下空間２０の側
面から還気ダクト２６を介して空調機２８に送られ、外
気取り込みダクト３０からの新鮮空気と混合されて所定
の温湿度に調整された後、給気ダクト３２を介して天井
裏空間２４に給気される。このように天井裏空間２４に
送られたエアは、再びファンフィルタユニット１４によ
り浄化されてクリーンルーム１２内に供給される。ま
た、クリーンルーム１２内のエアの一部は、床下空間２
０のもう一方の側面に設けられた排気ダクト３４によ
り、クリーンルーム１２外に排気される。
【００１２】図２はクリーンルーム１２の天井面１６部
分の斜視図である。同図に示すように、天井フレーム３
６の多数の格子空間である開口部分３７、３７…（図１
及び図５参照）に複数のファンフィルタユニット１４が
間引きして配設される。このファンフィルタユニット１
４は、主として、ケーシング、ファン及びフィルタから
成り、ファンを駆動することにより天井裏空間２４に給
気された空調エアをケーシング内に吸引し、そのエアを
ケーシング下面に取り付けた塵埃捕集用のフィルタを介
してクリーンルーム１２内に吹き出すように構成され
る。また、ファンフィルタユニット１４を間引きした開
口部分３７、３７…には、通気部材３８が設置される。
分の斜視図である。同図に示すように、天井フレーム３
６の多数の格子空間である開口部分３７、３７…（図１
及び図５参照）に複数のファンフィルタユニット１４が
間引きして配設される。このファンフィルタユニット１
４は、主として、ケーシング、ファン及びフィルタから
成り、ファンを駆動することにより天井裏空間２４に給
気された空調エアをケーシング内に吸引し、そのエアを
ケーシング下面に取り付けた塵埃捕集用のフィルタを介
してクリーンルーム１２内に吹き出すように構成され
る。また、ファンフィルタユニット１４を間引きした開
口部分３７、３７…には、通気部材３８が設置される。
【００１３】図３は、通気部材３８の分解図であり、図
４は通気部材３８を間引きした開口部分３７に設置した
状態図である。これらの図に示すように、通気部材３８
は、主として多孔板４２、スライド板４４及びフィルタ
４６で形成されている。多孔板４２は上面が開放された
長四角な箱状に形成され、底板４０には多数の円孔４０
Ａ、４０Ａ…が均一に形成され、対向する一対の側面に
はガイド板４８、４８が形成されると共に、対向するも
う一方の側面にはストッパ板５０、５０が形成される。
このように形成された多孔板４２は、天井フレーム３６
に載置した状態で支持されると共に、天井フレーム３６
と多孔板４２の間からのエアのリークを防止するため
に、枠状に形成されたゴムパッキン５２を介して天井フ
レーム３６上に載置される。
４は通気部材３８を間引きした開口部分３７に設置した
状態図である。これらの図に示すように、通気部材３８
は、主として多孔板４２、スライド板４４及びフィルタ
４６で形成されている。多孔板４２は上面が開放された
長四角な箱状に形成され、底板４０には多数の円孔４０
Ａ、４０Ａ…が均一に形成され、対向する一対の側面に
はガイド板４８、４８が形成されると共に、対向するも
う一方の側面にはストッパ板５０、５０が形成される。
このように形成された多孔板４２は、天井フレーム３６
に載置した状態で支持されると共に、天井フレーム３６
と多孔板４２の間からのエアのリークを防止するため
に、枠状に形成されたゴムパッキン５２を介して天井フ
レーム３６上に載置される。
【００１４】スライド板４４は、多孔板４２に載置さ
れ、多孔板４２と同じ奥行き寸法で形成される。これに
より、スライド板４４は、ガイド板４８、４８でガイド
され、図３の矢印５６方向にスライドすることができ
る。また、図４のように、スライド板４４は、多孔板４
２の長さＬよりも短い長さＤで形成されており、ストッ
パ板５０、５０が規制する範囲でスライドすることがで
きる。スライド板４４には、多孔板４２の底板４０の円
孔４０Ａと同形状の多数の円孔４４Ａ、４４Ａ…が多孔
板４２の底板４０と同じ配置で形成されており、スライ
ド板４４をスライドさせると、スライド板４４の円孔４
４Ａと多孔板４２の底板４０の円孔４０Ａが一致した
り、スライド板４４が多孔板４２の円孔４０Ａを閉塞し
たりする。これにより、多孔板４２の開口率を調節する
ことができる。更に、スライド板４４の下面には、凸部
４４Ｂが形成されると共に、前記した多孔板４２には該
凸部４４Ｂが挿入されるスライド方向の長穴４２Ａが形
成され、この長穴４２Ａを介して凸部４４Ｂがクリーン
ルーム１２内側に突出される。従って、凸部４４Ｂを摘
んで動かすと、スライド板４４をスライドさせることが
できるので、クリーンルーム１２内から多孔板４２の開
口率を調節することができる。
れ、多孔板４２と同じ奥行き寸法で形成される。これに
より、スライド板４４は、ガイド板４８、４８でガイド
され、図３の矢印５６方向にスライドすることができ
る。また、図４のように、スライド板４４は、多孔板４
２の長さＬよりも短い長さＤで形成されており、ストッ
パ板５０、５０が規制する範囲でスライドすることがで
きる。スライド板４４には、多孔板４２の底板４０の円
孔４０Ａと同形状の多数の円孔４４Ａ、４４Ａ…が多孔
板４２の底板４０と同じ配置で形成されており、スライ
ド板４４をスライドさせると、スライド板４４の円孔４
４Ａと多孔板４２の底板４０の円孔４０Ａが一致した
り、スライド板４４が多孔板４２の円孔４０Ａを閉塞し
たりする。これにより、多孔板４２の開口率を調節する
ことができる。更に、スライド板４４の下面には、凸部
４４Ｂが形成されると共に、前記した多孔板４２には該
凸部４４Ｂが挿入されるスライド方向の長穴４２Ａが形
成され、この長穴４２Ａを介して凸部４４Ｂがクリーン
ルーム１２内側に突出される。従って、凸部４４Ｂを摘
んで動かすと、スライド板４４をスライドさせることが
できるので、クリーンルーム１２内から多孔板４２の開
口率を調節することができる。
【００１５】スライド板４４の上方には、繊維状の材料
をアコーディオン状に幾重にも折りたたんで多孔板４２
と同形状に形成したフィルタ４６が多孔板４２に蓋をす
るように載置される。これにより、通気部材３８に通気
されるエア中の塵埃がフィルタ内部の繊維に捕集される
ので、クリーンルーム１２及び天井裏空間２４の塵埃が
相互間で移動するのを防止することができる。
をアコーディオン状に幾重にも折りたたんで多孔板４２
と同形状に形成したフィルタ４６が多孔板４２に蓋をす
るように載置される。これにより、通気部材３８に通気
されるエア中の塵埃がフィルタ内部の繊維に捕集される
ので、クリーンルーム１２及び天井裏空間２４の塵埃が
相互間で移動するのを防止することができる。
【００１６】そして、フィルタ４６の上側から複数の支
持板５４、５４、５４を当てがい、支持板５４の止めね
じ５４Ａの先端部を多孔板４２のガイド板４８、４８に
形成された係止孔４２Ａ、４２Ａ…に螺合する。これに
より、通気部材３８を分解自在に組み立てることができ
る。また、図２及び図５に示すように、側壁６０や柱６
２等から成るクリーンルーム１２の側壁部６４と天井面
１６周縁との突き合わせ部分６６には、突き合わせ部分
６６に丸みをつけるための湾曲部材６８が複数配設され
る。この湾曲部材６８は、天井面１６又は側壁部６４の
一部とした湾曲部として設けられてもよいし、天井面１
６と側壁部６４とを連結する独立した部材として設けら
れてもよい。
持板５４、５４、５４を当てがい、支持板５４の止めね
じ５４Ａの先端部を多孔板４２のガイド板４８、４８に
形成された係止孔４２Ａ、４２Ａ…に螺合する。これに
より、通気部材３８を分解自在に組み立てることができ
る。また、図２及び図５に示すように、側壁６０や柱６
２等から成るクリーンルーム１２の側壁部６４と天井面
１６周縁との突き合わせ部分６６には、突き合わせ部分
６６に丸みをつけるための湾曲部材６８が複数配設され
る。この湾曲部材６８は、天井面１６又は側壁部６４の
一部とした湾曲部として設けられてもよいし、天井面１
６と側壁部６４とを連結する独立した部材として設けら
れてもよい。
【００１７】湾曲部材６８は、図６に示すように、湾曲
多孔板７０、湾曲スライド板７２及び湾曲フィルタ７４
で形成され、基本構成としては前述した通気部材３８と
同様である。この湾曲部材６８の場合、湾曲多孔板７０
が一番クリーンルーム１２側に位置し、次に湾曲スライ
ド板７２が位置し、湾曲フィルタ７４がリターン空間側
に位置するように構成される。湾曲多孔板７０は、多数
の円孔７０Ａ、７０Ａ…が均一に形成された底板７０Ｂ
と、対向する一対の側面に形成されたガイド板７６、７
６と、対向するもう一方の側縁に形成されたストッパ板
７８、７８とで形成される。そして、湾曲スライド板７
２は、その湾曲長さ（Ｄ）が湾曲多孔板７０の湾曲長さ
（Ｌ）よりも短く形成されており、湾曲多孔板７０の円
孔７０Ａと同形状の円孔７２Ａが湾曲多孔板７０と同じ
配置で形成されている。これにより、湾曲スライド板７
２をガイド板７６、７６にガイドさせて矢印８０方向に
スライドさせることにより、通気部材３８と同様に湾曲
多孔板７０の開口率を調整することができる。更に、湾
曲スライド板７２のクリーンルーム１２側面には、通気
部材３８と同様に図示しない凸部が形成されると共に、
湾曲多孔板７０には該凸部が挿入されるスライド方向の
長穴（図示せず）が形成される。これにより、クリーン
ルーム１２内から凸部を摘んで動かすと、湾曲多孔板７
０の開口率を調整することができる。
多孔板７０、湾曲スライド板７２及び湾曲フィルタ７４
で形成され、基本構成としては前述した通気部材３８と
同様である。この湾曲部材６８の場合、湾曲多孔板７０
が一番クリーンルーム１２側に位置し、次に湾曲スライ
ド板７２が位置し、湾曲フィルタ７４がリターン空間側
に位置するように構成される。湾曲多孔板７０は、多数
の円孔７０Ａ、７０Ａ…が均一に形成された底板７０Ｂ
と、対向する一対の側面に形成されたガイド板７６、７
６と、対向するもう一方の側縁に形成されたストッパ板
７８、７８とで形成される。そして、湾曲スライド板７
２は、その湾曲長さ（Ｄ）が湾曲多孔板７０の湾曲長さ
（Ｌ）よりも短く形成されており、湾曲多孔板７０の円
孔７０Ａと同形状の円孔７２Ａが湾曲多孔板７０と同じ
配置で形成されている。これにより、湾曲スライド板７
２をガイド板７６、７６にガイドさせて矢印８０方向に
スライドさせることにより、通気部材３８と同様に湾曲
多孔板７０の開口率を調整することができる。更に、湾
曲スライド板７２のクリーンルーム１２側面には、通気
部材３８と同様に図示しない凸部が形成されると共に、
湾曲多孔板７０には該凸部が挿入されるスライド方向の
長穴（図示せず）が形成される。これにより、クリーン
ルーム１２内から凸部を摘んで動かすと、湾曲多孔板７
０の開口率を調整することができる。
【００１８】湾曲フィルタ７４は、湾曲スライド板７２
のリターン空間２２側に設けられ、通気部材３８のフィ
ルタ４６と同じ構造に形成される。これにより、湾曲部
材６８を通過するエア中の塵埃を湾曲フィルタ７４の繊
維に捕集して、クリーンルーム１２及びリターン空間２
２間の塵埃が相互間で移動するのを防止する。そして、
湾曲フィルタ７４の上から複数の湾曲支持板８０、８
０、８０を当てがい、湾曲支持板８０の止めねじ８０Ａ
の先端部を湾曲多孔板７０に形成された係止孔７０Ｂ、
７０Ｂ…に螺合する。これにより、湾曲部材６８を分解
自在に組み立てる。また、湾曲部材６８を天井面１６と
側壁部６４との間に配設する場合には、その天井面１６
と湾曲部材６８の連結部、及び側壁部６４と湾曲部材６
８の連結部にはゴムパッキンを介在させて連結部からエ
アがリークしないようにするとよい。
のリターン空間２２側に設けられ、通気部材３８のフィ
ルタ４６と同じ構造に形成される。これにより、湾曲部
材６８を通過するエア中の塵埃を湾曲フィルタ７４の繊
維に捕集して、クリーンルーム１２及びリターン空間２
２間の塵埃が相互間で移動するのを防止する。そして、
湾曲フィルタ７４の上から複数の湾曲支持板８０、８
０、８０を当てがい、湾曲支持板８０の止めねじ８０Ａ
の先端部を湾曲多孔板７０に形成された係止孔７０Ｂ、
７０Ｂ…に螺合する。これにより、湾曲部材６８を分解
自在に組み立てる。また、湾曲部材６８を天井面１６と
側壁部６４との間に配設する場合には、その天井面１６
と湾曲部材６８の連結部、及び側壁部６４と湾曲部材６
８の連結部にはゴムパッキンを介在させて連結部からエ
アがリークしないようにするとよい。
【００１９】このように開口率を調整可能な湾曲部材６
８を、側壁部６４と天井面１６周縁の突き合わせ部分６
６の全てに設けてもよい。又は、開口率を調整可能な湾
曲部材６８を突き合わせ部分６６に対して一定間隔を置
いて配設し、残りの突き合わせ部分には、開口率の調整
できない例えば湾曲多孔板７０だけを配設してもよい。
尚、特に図示しなかったが、突き合わせ部分６６におけ
るクリーンルーム１２の４隅には、上記四角形状の湾曲
部材６８ではなく、逆扇形状の湾曲部材を配設するとよ
い。
８を、側壁部６４と天井面１６周縁の突き合わせ部分６
６の全てに設けてもよい。又は、開口率を調整可能な湾
曲部材６８を突き合わせ部分６６に対して一定間隔を置
いて配設し、残りの突き合わせ部分には、開口率の調整
できない例えば湾曲多孔板７０だけを配設してもよい。
尚、特に図示しなかったが、突き合わせ部分６６におけ
るクリーンルーム１２の４隅には、上記四角形状の湾曲
部材６８ではなく、逆扇形状の湾曲部材を配設するとよ
い。
【００２０】次に上記の如く構成されたクリーンルーム
設備１０の作用について説明する。まず、ファンフィル
タユニット１４のファンを駆動し、クリーンルーム設備
１０内に清浄エアを吹き出す。これにより、ファンフィ
ルタユニット１４の下方では、天井面１６からグレーチ
ング床１８に流れるエアのダウンフローを生じ、クリー
ンルーム設備１０内のエアの大部分は塵埃と共にグレー
チング床１８を介して床下空間２０に吸い込まれる。床
下空間２０に吸い込まれたエアは前述したように、外に
排気される一部のエアを除いて、空調機２８において再
び空調されてから天井裏空間２４に戻り、ファンフィル
タユニット１４により浄化されて、再びクリーンルーム
設備１０内に吹き出される。
設備１０の作用について説明する。まず、ファンフィル
タユニット１４のファンを駆動し、クリーンルーム設備
１０内に清浄エアを吹き出す。これにより、ファンフィ
ルタユニット１４の下方では、天井面１６からグレーチ
ング床１８に流れるエアのダウンフローを生じ、クリー
ンルーム設備１０内のエアの大部分は塵埃と共にグレー
チング床１８を介して床下空間２０に吸い込まれる。床
下空間２０に吸い込まれたエアは前述したように、外に
排気される一部のエアを除いて、空調機２８において再
び空調されてから天井裏空間２４に戻り、ファンフィル
タユニット１４により浄化されて、再びクリーンルーム
設備１０内に吹き出される。
【００２１】また、天井裏空間２４からファンフィルタ
ユニット１４によりクリーンルーム設備１０にエアを吹
き出したことにより、クリーンルーム設備１０と天井裏
空間２４との間には気圧差が発生し、クリーンルーム１
２内が正圧となり天井裏空間２４が負圧になる。これに
より、クリーンルーム設備１０内のエアの一部が通気部
材３８を介して天井裏空間２４に逆流（通気）する。し
たがって、通気部材３８の下方では上昇気流を生じるの
で、従来の閉塞板を用いていた場合に発生していた渦流
を抑制でき、クリーンルーム設備１０内を高い清浄度に
維持することができる。
ユニット１４によりクリーンルーム設備１０にエアを吹
き出したことにより、クリーンルーム設備１０と天井裏
空間２４との間には気圧差が発生し、クリーンルーム１
２内が正圧となり天井裏空間２４が負圧になる。これに
より、クリーンルーム設備１０内のエアの一部が通気部
材３８を介して天井裏空間２４に逆流（通気）する。し
たがって、通気部材３８の下方では上昇気流を生じるの
で、従来の閉塞板を用いていた場合に発生していた渦流
を抑制でき、クリーンルーム設備１０内を高い清浄度に
維持することができる。
【００２２】また、ファンフィルタユニット１４からク
リーンルーム１２内に吹き出されたエアのうち、天井面
１６周囲近傍のファンフィルタユニット１４から吹き出
されたエアは、側壁部６４に沿ってダウンフローする。
この時、側壁部６４と天井面１６の突き合わせ部分６６
に湾曲部材６８を配設して突き合わせ部分６６に丸みを
つけるようにしたので、湾曲部材６８の湾曲形状に沿っ
てスムーズに下降する。これにより、突き合わせ部分６
６が角張っていた従来のように天井面１６の周縁領域に
渦流が発生しないので、天井面１６の周縁領域に塵埃が
滞留するのを防止することができる。従って、クリーン
ルーム１２内の清浄度を上げることができる。更に、湾
曲部材６８に通気性をもたせたので、上記した通気部材
３８の作用と同様に、天井面１６の周縁領域のエアの一
部が湾曲部材６８からリターン空間２２に通気され、天
井裏空間２４に戻る。これにより、天井面１６の周縁領
域における渦流の発生を一層抑制でき、通気部材３８と
相まってクリーンルーム設備１０内の清浄度を向上させ
ることができる。
リーンルーム１２内に吹き出されたエアのうち、天井面
１６周囲近傍のファンフィルタユニット１４から吹き出
されたエアは、側壁部６４に沿ってダウンフローする。
この時、側壁部６４と天井面１６の突き合わせ部分６６
に湾曲部材６８を配設して突き合わせ部分６６に丸みを
つけるようにしたので、湾曲部材６８の湾曲形状に沿っ
てスムーズに下降する。これにより、突き合わせ部分６
６が角張っていた従来のように天井面１６の周縁領域に
渦流が発生しないので、天井面１６の周縁領域に塵埃が
滞留するのを防止することができる。従って、クリーン
ルーム１２内の清浄度を上げることができる。更に、湾
曲部材６８に通気性をもたせたので、上記した通気部材
３８の作用と同様に、天井面１６の周縁領域のエアの一
部が湾曲部材６８からリターン空間２２に通気され、天
井裏空間２４に戻る。これにより、天井面１６の周縁領
域における渦流の発生を一層抑制でき、通気部材３８と
相まってクリーンルーム設備１０内の清浄度を向上させ
ることができる。
【００２３】ところで、通気部材３８及び湾曲部材６８
から逆流するエアの風量が多過ぎると、浄化されたエア
がそのまま逆流してしまい、肝心なクリーンルーム１２
内の浄化効率が悪くなる。逆に、逆流するエアの風量が
少な過ぎると、通気部材３８の下方や湾曲部材６８の近
傍での渦流防止効果が小さくなる。そこで、最適量のエ
アが逆流するように、クリーンルーム１２の規模や清浄
度に合わせて通気部材３８及び湾曲部材６８の開口率を
調節する。開口率の調節は、前述したように、クリーン
ルーム１２内から通気部材３８の凸部４４Ｂや湾曲部材
６８の凸部を摘んで、スライド板４４、７２をスライド
させることにより行う。これにより、最適量のエアを天
井裏空間２４に逆流させることができる。
から逆流するエアの風量が多過ぎると、浄化されたエア
がそのまま逆流してしまい、肝心なクリーンルーム１２
内の浄化効率が悪くなる。逆に、逆流するエアの風量が
少な過ぎると、通気部材３８の下方や湾曲部材６８の近
傍での渦流防止効果が小さくなる。そこで、最適量のエ
アが逆流するように、クリーンルーム１２の規模や清浄
度に合わせて通気部材３８及び湾曲部材６８の開口率を
調節する。開口率の調節は、前述したように、クリーン
ルーム１２内から通気部材３８の凸部４４Ｂや湾曲部材
６８の凸部を摘んで、スライド板４４、７２をスライド
させることにより行う。これにより、最適量のエアを天
井裏空間２４に逆流させることができる。
【００２４】また、通気部材３８は天井裏空間２４側に
フィルタ４６を配設し、湾曲部材６８はリターン空間２
２側に湾曲フィルタ７４を配設しているので、天井裏空
間２４内の塵埃やリターン空間２２側の塵埃がクリーン
ルーム１２内に侵入することはない。従って、ファンフ
ィルタユニット１４を停止させた際に、クリーンルーム
１２内の清浄度が低下するのを防止することができる。
フィルタ４６を配設し、湾曲部材６８はリターン空間２
２側に湾曲フィルタ７４を配設しているので、天井裏空
間２４内の塵埃やリターン空間２２側の塵埃がクリーン
ルーム１２内に侵入することはない。従って、ファンフ
ィルタユニット１４を停止させた際に、クリーンルーム
１２内の清浄度が低下するのを防止することができる。
【００２５】尚、通気部材３８及び湾曲部材６８は、特
に上記した構造に限定するものではなく、天井裏空間２
４やリターン空間２２に通気するエア量を簡単に調整で
きるように構成されているのであれば何でもよい。例え
ば、スライド板４４や湾曲スライド板７２に円孔を設け
る代わりにスリットを設けてもよい。また、スライド板
４４や湾曲スライド板７２をスライドさせる駆動装置を
設け、該駆動装置を駆動することによって開口率を自動
的に調節できるようにしてもよい。また、該駆動装置を
ファンフィルタユニット１４に連動させて、ファンフィ
ルタユニット１４の停止とともに通気部材３８及び湾曲
部材６８を閉塞するようにスライド板４４や湾曲スライ
ド板７２がスライドするようにしてもよい。
に上記した構造に限定するものではなく、天井裏空間２
４やリターン空間２２に通気するエア量を簡単に調整で
きるように構成されているのであれば何でもよい。例え
ば、スライド板４４や湾曲スライド板７２に円孔を設け
る代わりにスリットを設けてもよい。また、スライド板
４４や湾曲スライド板７２をスライドさせる駆動装置を
設け、該駆動装置を駆動することによって開口率を自動
的に調節できるようにしてもよい。また、該駆動装置を
ファンフィルタユニット１４に連動させて、ファンフィ
ルタユニット１４の停止とともに通気部材３８及び湾曲
部材６８を閉塞するようにスライド板４４や湾曲スライ
ド板７２がスライドするようにしてもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルーム構造によれば、ファンフィルタユニットを間引き
して設置しても間引した下方領域に塵埃が滞留すること
がなく、且つ天井面周縁領域にも塵埃が滞留することが
ない。従って、高い清浄度のクリーンルームを得ること
ができる。
ルーム構造によれば、ファンフィルタユニットを間引き
して設置しても間引した下方領域に塵埃が滞留すること
がなく、且つ天井面周縁領域にも塵埃が滞留することが
ない。従って、高い清浄度のクリーンルームを得ること
ができる。
【図１】本発明のクリーンルーム構造を有するクリーン
ルーム設備の全体構成図
ルーム設備の全体構成図
【図２】クリーンルームの主として天井部分造を説明す
る斜視図
る斜視図
【図３】通気部材の分解図
【図４】通気部材を天井フレームに設置した状態図
【図５】クリーンルームの側壁部と天井面の突き合わせ
部分に配設した湾曲部材を主として説明する側面断面図
部分に配設した湾曲部材を主として説明する側面断面図
【図６】湾曲部材の分解図
１０…クリーンルーム設備、１２…クリーンルーム、１
４…ファンフィルタユニット、１６…天井面、１８…グ
レーチング床、２０…床下空間、２２…リターン空間、
２４…天井裏空間、２８…空調機、３６…天井フレー
ム、３８…通気部材、４２…多孔板、４４…スライド
板、４６…フィルタ、６４…側壁部、６６…突き合わせ
部分、６８…湾曲部材、７０…湾曲多孔板、７２…湾曲
スライド板、７４…湾曲フィルタ
４…ファンフィルタユニット、１６…天井面、１８…グ
レーチング床、２０…床下空間、２２…リターン空間、
２４…天井裏空間、２８…空調機、３６…天井フレー
ム、３８…通気部材、４２…多孔板、４４…スライド
板、４６…フィルタ、６４…側壁部、６６…突き合わせ
部分、６８…湾曲部材、７０…湾曲多孔板、７２…湾曲
スライド板、７４…湾曲フィルタ
Claims (4)
- 【請求項１】クリーンルームの天井面に、該クリーンル
ーム内に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニットを
間引きして配設したクリーンルーム構造において、 前記間引きした開口部分に通気性を有する通気部材を配
設して前記クリーンルーム内のエアの一部を前記通気部
材を介して天井裏空間に通気させると共に、前記クリー
ンルームの側壁部と前記天井面周縁との突き合わせ部分
に丸みをつけるための湾曲部を設けたことを特徴とする
クリーンルーム構造。 - 【請求項２】前記湾曲部に通気性をもたせて、前記クリ
ーンルーム内のエアの一部を前記湾曲部を介して前記天
井裏空間に通気させるようにしたことを特徴とする請求
項１のクリーンルーム構造。 - 【請求項３】前記通気部材及び／又は前記湾曲部は、多
数の通気孔が形成された多孔板と、該多孔板に摺動自在
に設けられたスライド板から成り、前記スライド板を摺
動させて前記多孔板の開口率を可変可能にしたことを特
徴とする請求項１又は２のクリーンルーム構造。 - 【請求項４】前記通気部材及び／又は前記湾曲部には、
フィルタが設けられていることを特徴とする請求項２又
は３のクリーンルーム構造。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11337799A JP3911904B2 (ja) | 1999-04-21 | 1999-04-21 | クリーンルーム構造 |
| US10/031,435 US6572468B1 (en) | 1999-04-21 | 1999-07-26 | Clean room device |
| TW88112814A TW393556B (en) | 1998-01-29 | 1999-07-28 | Clean room apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11337799A JP3911904B2 (ja) | 1999-04-21 | 1999-04-21 | クリーンルーム構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000304322A true JP2000304322A (ja) | 2000-11-02 |
| JP3911904B2 JP3911904B2 (ja) | 2007-05-09 |
Family
ID=14610759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11337799A Expired - Fee Related JP3911904B2 (ja) | 1998-01-29 | 1999-04-21 | クリーンルーム構造 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6572468B1 (ja) |
| JP (1) | JP3911904B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN101457960A (zh) * | 2007-12-14 | 2009-06-17 | 通用电气-日立核能美国有限责任公司 | 核反应器的可居住区域的空气过滤和处理 |
| JP2011252633A (ja) * | 2010-06-01 | 2011-12-15 | T Hasegawa Co Ltd | におい除去システム |
| CN111237963A (zh) * | 2020-01-18 | 2020-06-05 | 徐媛滨 | 一种安全低压内的uv光触媒杀菌动力通风模块 |
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| JP4354675B2 (ja) * | 2002-06-04 | 2009-10-28 | ローツェ株式会社 | 薄板状電子部品クリーン移載装置および薄板状電子製品製造システム |
| KR100474577B1 (ko) * | 2002-07-06 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 청정 공기 덕트 및 청정실용 공기 제공 장치 |
| KR100524875B1 (ko) * | 2003-06-28 | 2005-10-31 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 청정시스템 |
| KR20050062366A (ko) * | 2003-12-18 | 2005-06-23 | 엠 플러스 더블유 짠더 퍼실리티 엔지니어링 게엠베하 | 순환공기, 특히 청정공기의 공조장치 |
| US7510470B2 (en) * | 2004-07-27 | 2009-03-31 | Arts Theodore A M | Safe rooms and other such spaces and air processing systems for such safe rooms and spaces |
| WO2006102465A2 (en) * | 2005-03-21 | 2006-09-28 | Camfil Farr Inc. | An exhaust filter module, and a method and apparatus for efficiency testing the same |
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| DE102007019109B4 (de) * | 2007-04-23 | 2009-10-01 | Airbus Deutschland Gmbh | Luftabsaugelement für eine Flugzeugklimaanlage |
| SE534353C2 (sv) * | 2009-10-02 | 2011-07-19 | Flaekt Woods Ab | Kylbaffel med VAV-funktion via reglerskena |
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Family Cites Families (9)
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| JPH068695B2 (ja) | 1985-12-05 | 1994-02-02 | 清水建設株式会社 | クリ−ンル−ム |
| EP0250596B1 (en) | 1985-11-26 | 1992-01-15 | SHIMIZU CONSTRUCTION Co. LTD. | Clean room |
| US4747341A (en) * | 1986-11-19 | 1988-05-31 | Donaldson Company, Inc. | Integral grid structure for providing negative pressure plenum |
| JPH042346Y2 (ja) | 1987-10-27 | 1992-01-27 | ||
| JPH02111411A (ja) | 1988-10-20 | 1990-04-24 | Sanki Eng Co Ltd | 天吊型クリーンユニット |
| JPH09287791A (ja) | 1996-04-23 | 1997-11-04 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | チャンバー付きファンフィルターユニット及びクリーンルーム |
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-
1999
- 1999-04-21 JP JP11337799A patent/JP3911904B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-07-26 US US10/031,435 patent/US6572468B1/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3911904B2 (ja) | 2007-05-09 |
| US6572468B1 (en) | 2003-06-03 |
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